JP2014099608A - 透光装置及びこれを備えるアニーリング装置 - Google Patents

透光装置及びこれを備えるアニーリング装置 Download PDF

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Abstract

【課題】透光装置及びこれを備えるアニーリング装置を提供する。
【解決手段】透光装置は、光を透過させる透過窓３２０と、透過窓３２０の周縁部に設けられたフレーム３３０及び３４０と、フレーム３３０及び３４０に押付力を加えて透過窓３２０をフレーム３３０及び３４０の間に挟持する複数のクランプ３５０とを備える。クランプ３５０は、胴体３５１と、胴体３５１の内部に嵌入する付勢部材３５４と、付勢部材３５４及び胴体３５１を貫通して下側に突き出る締付部材３５３とを備える。付勢部材３５４は、締付部材３５３によって加えられる締付力を所定の範囲内に収める。アニーリング装置は、当該透光装置を備える。
【選択図】図３

Description

本発明は、アニーリング装置に係り、特に、レーザー光が透過される透過窓を破損させることなく固定することのできる透光装置及びこれを備えるアニーリング装置に関する。
薄膜トランジスター（Thin Film Transistor；ＴＦＴ）は、液晶表示装置（Liquid Crystal Display；ＬＣＤ）や有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置などにおいて各画素を独立的に駆動するための回路として用いられる。薄膜トランジスターは、ゲート電極、活性層、ソース／ドレイン電極及びゲート絶縁膜等を備える。
このような薄膜トランジスターの活性層は、ゲート電極とソース／ドレイン電極との間においてチャンネルの役割を果たす。また、活性層は、非晶質シリコン又は結晶質シリコンを用いて形成していた。ところが、非晶質シリコンは電子移動度が低いので、大画面液晶表示装置を製造する上で大きな制約がある。そこで、最近は、結晶質シリコンを用いて活性層を形成する方法への取り組みが盛んになされている。結晶質シリコンを形成する方法には、結晶質シリコンを直接的に蒸着する方法と、まず非晶質シリコンを蒸着した後に、これを結晶化させて結晶質シリコンを形成する方法とがある。
非晶質シリコンを結晶化させるための方法としては、順次横方向結晶化（sequential lateral solidification；ＳＬＳ）、エキシマレーザーによるアニーリング（Eximer Laser Annealing；ＥＬＡ）等がある。ＳＬＳ方法は、横方向成長を誘導して単結晶に近い結晶を成長させることができ、しかも、大きな電界移動度を有するというメリットがある。しかしながら、ＳＬＳ方法は、照射されるレーザービームのエネルギー依存度が高いので工程マージンが小さく、基板が載置されるステージの精度が工程に大きな影響を及ぼすことから、基板全体に対して均一な結晶化度が得られないという欠点がある。ＥＬＡ方法は、エキシマレーザーを瞬時に照射し、非晶質シリコンを約１４００℃まで瞬時に加熱して結晶化を行うことにより垂直成長を誘導する方法である。これは、ＳＬＳ方法に比べて結晶化度は劣るとはいえ、基板全体に対する結晶化の均一度には一層優れているので、量産化のために最も積極的に検討されている。一方、例えば、下記の特許文献１には、レーザー加工方法が開示されている。
ＥＬＡ方法を用いて非晶質シリコンを結晶化させるために、チャンバーの外部に設けられたレーザー照射装置からチャンバーの内部の基板にレーザーを照射する。つまり、内部に基板が設けられ、上側に開口部が設けられたチャンバーの開口部に透光装置が固定され、透光装置を介して外部からレーザーがチャンバーの内部に照射される。尚、透光装置は、透過窓の上にフレームが設けられ、フレームの複数の領域を押し付けるために複数のクランプが設けられて透過窓を固定する。
大韓民国登録特許第１０−０９０８３２５号
ところが、従来のクランプは、ボルトを締め付けてフレームを押し付けるので、透過窓の締め付け強度、つまり、ボルトの締め付け強度を調節することができず、透過窓に損傷が生じることがあった。つまり、ボルトの締め付け力によってフレームが透過窓に所望の強度以上の強い押付力を加えてしまい、その結果、当該個所の透過窓が割れてしまう。
本発明の目的は、クランプによる透過窓の破損を防ぐことのできる透光装置及びこれを備えるアニーリング装置を提供することである。
本発明の他の目的は、クランプによる過度な押付力を抑えて透過窓の破損を防ぐことのできる透光装置及びこれを備えるアニーリング装置を提供することである。
本発明の一態様による透光装置は、光を透過させる透過窓と、前記透過窓の周縁部に設けられたフレームと、前記フレームに押付力を加えて前記透過窓をフレームの間に挟持する複数のクランプと、を備え、前記クランプは、胴体と、前記胴体の内部に嵌入する付勢部材と、前記付勢部材及び前記胴体を貫通して下側に突き出る締付部材と、を備え、前記付勢部材は、前記締付部材によって加えられる締付力を所定の範囲内に収める。
また、前記透光装置において、前記フレームは、前記透過窓の下側に設けられた下フレームと、前記透過窓の上側に設けられた上フレームと、を備える。
更に、前記透光装置は、前記下フレームと前記透過窓との間、及び、前記上フレームと前記透過窓との間に介装された少なくとも一つの緩衝部材を更に備える。
更にまた、前記透光装置において、前記クランプは、前記胴体の上側の一部から突き出て前記上フレームに接触する延在部をさらに備える。
更にまた、前記透光装置は、前記透過窓及びフレームを内側に収容し、上部に前記クランプが設けられて前記締付部材が外嵌されるハウジングをさらに備える。
本発明の他の態様によるアニーリング装置は、内部に所定の空間が設けられたチャンバーと、前記チャンバーの内部の下側に設けられて、基板を所定の方向に搬送する基板搬送部と、前記チャンバーの外部の上側に設けられて、外部から照射された光を透過させて前記基板の上に導く透光部と、を備え、前記透光部は、光を透過させる透過窓の周縁部に設けられたフレームに押付力を加えて前記透過窓をフレームの間に挟持する複数のクランプを備え、前記クランプは、胴体と、前記胴体の内部に嵌入する付勢部材と、前記付勢部材及び前記胴体を貫通して下側に突き出る締付部材と、を備え、前記付勢部材は、前記締付部材によって加えられる前記締付力を所定の範囲内に収める。
前記アニーリング装置において、前記基板搬送部は、前記チャンバー内に配設され、水平上の一方向に往復動可能な第１のステージと、前記第１のステージの上に設けられて、前記一方向とは直交する水平上の他の方向に往復動可能な第２のステージと、前記第２のステージの上に配設されて、熱処理の対象となる基板がその上面に載置される搬入プレートと、を備える。
前記アニーリング装置は、前記第２のステージと前記搬入プレートとの間に設けられて前記水平上を回転する第３のステージ及び垂直方向に移動する第４のステージのうちの少なくともいずれか一方をさらに備える。
本発明によれば、透過窓の上に設けられたフレームを押し付けて透過窓をフレームの間に挟持するクランプ内に付勢部材を設けて、クランプの過度な押付力を抑えることができる。つまり、クランプの内部に付勢部材を設け、付勢部材を貫くように締付部材を設けて、締付部材を回転させてクランプを押し付けるときに付勢部材が締付部材を付勢して過度な押付力を抑えることができる。
本発明によれば、クランプの過度な押付力を抑えることにより、クランプの過度な押付力による透過窓の破損を防ぐことができる。これにより、透過窓の取替え周期を延ばすことができ、頻繁な取替えによるコストアップを防ぐことができる。
図１は、本発明の一実施形態に係るレーザーアニーリング装置の概略図である。 図２は、本発明の一実施形態に係る透光部の概略斜視図である。 図３は、本発明の一実施形態に係る透光部の部分断面図である。 図４は、本発明の一実施形態に係る透光部におけるクランプの分解断面図である。 図５は、本発明の一実施形態に係るクランプを用いた透光部の締付方法を説明するための概略断面図である。 図６は、本発明の一実施形態に係るクランプを用いた透光部の締付方法を説明するための概略断面図である。
以下、添付図面に基づき、本発明の実施形態を詳述する。しかしながら、本発明は後述する実施形態に限定されるものではなく、互いに異なる態様で実現され得る。これらの実施形態は、単に本発明の開示を完全たるものにし、且つ、通常の知識を有する者に発明の範囲を完全に知らせるために提供されるものである。尚、図中、同じ符号は同じ構成要素を示す。
図１は、本発明の一実施形態に係るレーザーアニーリング装置の概略図であり、図２は、本発明の一実施形態に係る透光部の概略斜視図であり、図３は、本発明の一実施形態に係る透光部の部分断面図であり、図４は、本発明の一実施形態に係る透光部におけるクランプの分解断面図であり、そして、図５及び図６は、本発明の一実施形態に係るクランプを用いた透光部の締付方法を説明するための概略断面図である。
図１を参照すれば、本発明の一実施形態に係るアニーリング装置は、内部に所定の空間が設けられたチャンバー１００と、チャンバー１００の内部の下側に設けられた基板搬送部２００と、チャンバー１００の外部の上部に設けられた透光部３００と、所定の波長の光を照射する光源４００と、を備える。
チャンバー１００は、内部空間を有するチャンバー胴体１１０と、チャンバー胴体１１０に着脱自在に取り付けられるチャンバー蓋体１２０と、を備える。チャンバー胴体１１０は、上部が開放された筒状に製作され、チャンバー蓋体１２０は、チャンバー胴体１１０の上部を覆う板状に製作される。また、チャンバー胴体１１０及びチャンバー蓋体１２０の平面形状は、基板Ｓと略同じ形状を呈するが、例えば、矩形状を呈する。
チャンバー蓋体１２０の例えば中央部には、所定のサイズに開放された開口部１２２が設けられる。更に、チャンバー蓋体１２０は、開口部１２２の周りが他の領域に比べて薄肉に形成されてもよい。開口部１２２の上側には透光部３００が取り付けられる。このため、外部の光源４００から照射されたレーザーは、透光部３００及び開口部１２２を介してチャンバー１００の内部に導かれる。尚、図示はしないが、チャンバー胴体１１０とチャンバー蓋体１２０との結合面にはＯリング又はガスケット等の別途の封止部材が設けられてもよく、チャンバー胴体１１０とチャンバー蓋体１２０とを結合させる別途の結合部材が更に設けられてもよい。もちろん、チャンバー胴体１１０とチャンバー蓋体１２０とが一体化された単一のチャンバー１００が用いられてもよい。
基板搬送部２００は、チャンバー１００の内部の下側に設けられて外部から搬入される基板Ｓを載せて支持し、基板Ｓの複数の領域をレーザー照射位置に移動する。この基板搬送部２００は、チャンバー１００の底面と接触するベースプレート２１０と、ベースプレート２１０の上に設けられて一方向に移動する第１のステージ２２０と、第１のステージ２２０の上に設けられて前記の一方向と直交する他の方向に移動する第２のステージ２３０と、第２のステージ２３０の上に設けられて基板Ｓを載せて支持する支持プレート２４０と、を備える。
第１のステージ２２０は、互いに直交するＸ軸及びＹ軸からなる直交座標上において、例えば、Ｘ軸方向に沿って移動される。例えば、リニアモーター（図示せず）などの線形移動手段が第１のステージ２２０に取り付けられて、リニアモーターに電源が印加されるときに第１のステージ２２０は移動される。また、第１のステージ２２０の移動をガイドするために、ベースプレート２１０にはＸ軸方向に長く形成された複数の第１のリニアガイド（図示せず）が設けられ、第１のステージ２２０は、これらの複数の第１のリニアガイドの上に配設される。
第２のステージ２３０は第１のステージ２２０の上に配設されるが、例えば、Ｙ軸方向に沿って長く形成された第２のリニアガイド（図示せず）が第１のステージ２２０の上に配設され、第２のステージ２３０は第２のリニアガイドの上に配設される。第２のステージ２３０も第１のステージ２２０と同様に、リニアモーター（図示せず）などに取り付けられてＹ軸方向に沿って往復運動する。
支持プレート２４０は、外部からチャンバー１００の内部に搬入される基板Ｓを載せて支持する。このような支持プレート２４０は、例えば、基板Ｓと同じ板状を呈し、そのサイズは、基板Ｓと等しくてもよいし、基板Ｓよりも大きくてもよく、基板Ｓよりも小さくてもよい。ここで、基板Ｓは、例えば、薄膜トランジスターの活性層を形成するために少なくとも所定の領域に非晶質シリコン層が形成されたガラス基板であってもよい。しかしながら、基板Ｓはこれに何ら限定されるものではなく、少なくともある領域にレーザー処理を施すための対象物が形成された基板であってもよい。また、図１には示されていないが、第２のステージ２３０と支持プレート２４０との間には、垂直方向、つまり、Ｚ軸方向に移動する第３のステージや、Ｘ軸及びＹ軸を含むＸＹ平面と平行な平面上において回転される第４のステージ等が設けられてもよい。これらの第１のステージ２２０及び第２のステージ２３０と第３のステージ及び第４のステージを併用して、支持プレート２４０上の基板Ｓの所定の領域をレーザー照射位置に移動することが可能である。
透光部３００は、チャンバー１００の上側の開口部１２２に対応するように設けられて、外部の光源４００から照射されるレーザー光を透過させてチャンバー１００の内部に導く。この透光部３００は、図２及び図３に示すように、ハウジング３１０と、光を透過させる透過窓３２０と、透過窓３２０の下側及び上側にそれぞれ設けられた下フレーム３３０及び上フレーム３４０と、上フレーム３４０を押し付けて透過窓３２０をフレームの間に挟持するクランプ３５０と、を備える。
ハウジング３１０は、図２に示すように、フレーム３３０、３４０と、両フレーム３３０、３４０の間に挟持される透過窓３２０を内側に収容し、上側にクランプ３５０が固定される。すなわち、ハウジング３１０は、概ね透過窓３２０と同じ形状に設けられるが、少なくとも透過窓３２０が配設される領域が中空の枠体状に設けられ、上部には複数のクランプ３５０が固定される。クランプ３５０は、ハウジング３１０に形成された孔に嵌入されている。ここで、ハウジング３１０は下フレーム３３０と結合され、透過窓３２０及び上フレーム３４０とは結合されない。つまり、透過窓３２０及び上フレーム３４０は、ハウジング３１０に対して着脱可能である。また、下フレーム３３０はハウジング３１０の内側面に水平に固定されてもよく、内側の上面に垂直に固定されてもよい。一方、ハウジング３１０は、透過窓３２０が開口部１２２に対応するようにチャンバー蓋体１２０の上に固定される。
透過窓３２０は、光源４００から照射されたレーザー光を透過させる。このために、透過窓３２０は、例えば、１００ｎｍ〜４００ｎｍ波長のレーザー光の透過率が７０％以上であるガラスから製作されてもよい。また、レーザー熱処理は、通常、ラインビーム状のレーザー光を用いて行うので、透過窓３２０は一方向に長尺な矩形状を呈する。例えば、透過窓３２０は、１５００ｍｍ×１２０ｍｍのサイズに設けられてもよい。
下フレーム３３０及び上フレーム３４０は、透過窓３２０の下部及び上部に透過窓３２０の周縁部から所定の幅に設けられ、透過窓３２０の形状に応じて、略矩形の枠体状に設けられる。透過窓３２０は、例えば、１５００ｍｍ×１２０ｍｍのサイズに設けられており、下フレーム３３０及び上フレーム３３０の直径は、これと等しいかあるいはこれよりも大きい。一方、下フレーム３３０は、ハウジング３１０の内側又は上側に固定されていてもよい。このとき、下フレーム３３０はハウジング３１０に一体に設けられてもよく、ハウジング３１０に着脱自在に結合されてもよい。また、下フレーム３３０は上面が平らであってもよく、所定の段差を有してもよい。つまり、下フレーム３３０は、透過窓３２０と同じサイズに上面が平らに製作されて、透過窓３２０の周縁部から内側に所定の幅の部分が載置されてもよいし、透過窓３２０よりも大きなサイズに内側に段差を有するように製作されて、当該段差に、透過窓３２０の周縁部から所定の幅の部分が載置されてもよい。
上フレーム３４０は、下フレーム３３０に対応する領域の透過窓３２０の上に載置される。すなわち、上面が平らな下フレーム３３０に透過窓３２０が載置される場合に、上フレーム３４０は下フレーム３３０と同じ形状を有してもよく、下フレーム３３０に段差が形成されて透過窓３２０が段差に載置される場合には、上フレーム３４０は下フレーム３３０の段差に対応する形状を有してもよい。また、上フレーム３４０の所定の領域、つまり、クランプ３５０が接触される領域には溝が形成されてもよい。つまり、上フレーム３４０に溝が形成され、クランプ３５０が溝に接触されることにより、例えば、ボルト締め付け方式によりクランプ３５０を締め付けるとき、クランプ３５０が上フレーム３４０から外されることを防ぐことができる。
また、フレーム３３０、３４０と透過窓３２０との間には緩衝部材３６０が設けられてもよい。つまり、下フレーム３３０と透過窓３２０との間、及び、上フレーム３４０と透過窓３２０との間に、緩衝部材３６０がそれぞれ設けられてもよい。緩衝部材３６０は、フレーム３３０、３４０と透過窓３２０との直接的な接触による透過窓３２０の破損を防ぐために設けられる。このような緩衝部材３６０は、圧力によってその形状が変形され易い物質、例えば、ゴムなどの弾性材料から製作されてもよい。つまり、図５に示すように、クランプ３５０が下側に移動する前には円形の形状を維持していて、図６に示すように、クランプ３５０が下側に移動すれば形状が変形される。また、緩衝部材３６０は、フレーム３３０、３４０と同じ形状を呈してもよい。一方、緩衝部材３６０は、フレーム３３０、３４０と透過窓３２０との間にそれぞれ一つ設けられてもよいが、フレーム３３０、３４０の幅方向に２以上の複数設けられてもよい。
複数のクランプ３５０は、ハウジング３１０の上に設けられ、少なくとも一部が上フレーム３４０の上に接触してもよい。また、複数のクランプ３５０は、外圧によって上フレーム３４０を下フレーム３３０側に押し付けて、フレーム３３０、３４０の間に透過窓３２０を挟持する。このようなクランプ３５０は、図３及び図４に示すように、ハウジング３１０から立ち上がり、内部に貫通孔が形成された胴体３５１と、胴体３５１の上側の一部から水平方向に延びた延在部３５２と、胴体３５１の内部に嵌入し、下側からハウジング３１０に嵌入する締付部材３５３と、胴体３５１の内部にボルト３５３を囲むように設けられた付勢部材３５４と、を備える。
胴体３５１は、内部に付勢部材３５４及び締付部材３５３を収容可能な空間が設けられ、締付部材３５３が上部から下部に貫通するように貫通孔が形成される。例えば、胴体３５１は筒状に形成される。また、胴体３５１の内部の貫通孔は、下部の一領域がその他の領域よりも狭い幅に形成される。例えば、胴体３５１の下部に側面から内方に延びた下面が形成されてもよく、胴体３５１の内部の所定の領域に内方に突き出た段差が形成されてもよい。このような胴体３５１の下面又は段差の上側に付勢部材３５４が支持され、これにより、付勢部材３５４の付勢力が締付部材３５３に働いて、締付部材３５３の締付力を抑えることができる。また、胴体３５１の下面又は段差の内側に、ねじ山が形成されて、例えば、ボルトなどの締付部材３５３が胴体３５１の下部のねじ山に沿って回転することができる。
延在部３５２は、胴体３５１の上側の一部から水平方向に延設される。このような延在部３５２は、上フレーム３４０と接触して締付部材３５３を締め付けることによって、上フレーム３４０を下フレーム３３０側に押し付ける。また、延在部３５２は、胴体３５１と一緒に一方の側及び他方の側に回転可能である。つまり、締付部材３５３が一方向、例えば、時計回り方向に回転して締め付けられるときに、延在部３５２は上フレーム３４０に接触して上フレーム３４０を押し付ける。更に、締付部材３５３が他の方向、例えば、反時計回り方向に回転して緩められるときに、延在部３５２は上フレーム３４０から外される。
締付部材３５３は、所定の長さの本体部を有し、本体部の上側には本体部よりも広幅の頭部が設けられ、本体部にねじ山が形成される。また、本体部は、異なる幅を有する少なくとも２つの領域を有するように形成されるが、頭部に近い一方の領域の幅が他方の領域の幅よりも広く形成されてもよい。つまり、本体部は下側から例えば中央部まで第１の幅に形成され、中央部から頭部まで第１の幅よりも広い第２の幅に形成される。締付部材３５３として、例えば、ボルトを用いることができる。この締付部材３５３は、胴体３５１を貫通して下側に突き出るが、突き出た部分がハウジング３１０に形成された溝に嵌着される。このとき、締付部材３５３は、延在部３５２が上フレーム３４０から外される場合に、つまり、緩められる場合にもハウジング３１０の溝から引き抜かれないことがある。つまり、締付部材３５３は、緩められる場合にもハウジング３１０の溝から引き抜かれない程度の十分な長さに形成される。
付勢部材３５４は、胴体３５１の内部に設けられるが、胴体３５１の下側の下面又は段差に支持される。また、付勢部材３５４内を貫通して締付部材３５３が嵌入し、締付部材３５３の頭部が付勢部材３５４の上側と接触される。このとき、締付部材３５３の中央部、すなわち、第１の幅と第２の幅との境界部は、胴体３５１の下面に接触されない。付勢部材３５４は、付勢力によって圧縮され、付勢力を除去すれば元の形状に戻る性質を有する物質から製作可能であるが、例えば、ばねなどが採用可能である。
上述したように、本発明のクランプ３５０において、内部に貫通孔が形成された胴体３５１の内部に付勢部材３５４が嵌入され、付勢部材３５４の内部を貫通するように締付部材３５３が嵌入されて下側に突出し、更にハウジング３１０の孔に嵌入している。また、締付部材３５３が回転しながら胴体３５１を貫通してハウジング３１０の孔に嵌入するので、胴体３５１及び延在部３５２が下側に移動することにより、上フレーム３３０を押し付ける。このとき、胴体３５１の内部の付勢部材３５４は、締付部材３５３が回転しながら下側に移動するときに締付部材３５３を付勢して締付部材３５３の移動を抑える。従って、上フレーム３４０に加えられる過度な押付力を抑えることができ、これにより、上フレーム３４０による透過窓３２０の破損を防ぐことができる。
つまり、付勢部材３５４が設けられていない場合には、締付部材３５３、つまり、ボルトの締め付け力を調節することができない結果、上フレーム３４０に過度な押付力が加えられ、これにより透過窓３２０が破損されるおそれがある。これに対し、本発明は、締付部材３５３の締付力を抑えうる付勢部材３５４を設けることにより、上フレーム３４０に加えられる過度な押付力を抑えることができ、これにより、透過窓３２０の破損を防ぐことができる。
以上、添付図面に基づき、本発明に係る基板搬送装置及び基板処理装置の好適な実施形態について詳述したが、本発明はこれらの実施形態に何ら限定されるものではなく、後述する特許請求の範囲によって限定される。よって、この技術分野における通常の知識を有する者であれば、後述する特許請求の範囲の技術的な思想から逸脱しない範囲内で本発明を様々に変形及び修正することができる。
１００ チャンバー
２００ 基板搬送部
３００ 透光部
４００ 光源
３１０ ハウジング
３２０ 透過窓
３３０ 下フレーム
３４０ 上フレーム
３５０ クランプ
３５１ 胴体部
３５２ 延在部
３５３ 締付部材
３５４ 付勢部材
３６０ 緩衝部材

Claims (8)

  1. 光を透過させる透過窓と、
    前記透過窓の周縁部に設けられたフレームと、
    前記フレームに押付力を加えて前記透過窓をフレームの間に挟持する複数のクランプと、
    を備え、
    前記クランプは、胴体と、前記胴体の内部に嵌入する付勢部材と、前記付勢部材及び前記胴体を貫通して下側に突き出る締付部材と、を備え、
    前記付勢部材は、前記締付部材によって加えられる締付力を所定の範囲内に収める、透光装置。
  2. 前記フレームは、前記透過窓の下側に設けられた下フレームと、前記透過窓の上側に設けられた上フレームと、を備える請求項１に記載の透光装置。
  3. 前記下フレームと前記透過窓との間、及び、前記上フレームと前記透過窓との間に介装された少なくとも一つの緩衝部材を更に備える、請求項２に記載の透光装置。
  4. 前記クランプは、前記胴体の上側の一部から突き出て前記上フレームに接触する延在部を更に備える請求項３に記載の透光装置。
  5. 前記透過窓及びフレームを内側に収容し、上部に前記クランプが設けられて前記締付部材が外嵌されるハウジングを更に備える請求項１又は４に記載の透光装置。
  6. 内部に所定の空間が設けられたチャンバーと、
    前記チャンバーの内部の下側に設けられて、基板を所定の方向に搬送する基板搬送部と、
    前記チャンバーの外部の上側に設けられて、外部から照射された光を透過させて前記基板の上に導く透光部と、
    を備え、
    前記透光部は、光を透過させる透過窓の周縁部に設けられたフレームに押付力を加えて前記透過窓をフレームの間に挟持する複数のクランプを備え、
    前記クランプは、胴体と、前記胴体の内部に嵌入する付勢部材と、前記付勢部材及び前記胴体を貫通して下側に突き出る締付部材と、を備え、
    前記付勢部材は、前記締付部材によって加えられる締付力を所定の範囲内に収める、アニーリング装置。
  7. 前記基板搬送部は、
    前記チャンバー内に配設され、水平上の一方向に往復運動可能な第１のステージと、
    前記第１のステージの上に設けられて、前記一方向とは直交する水平上の他の方向に往復運動可能な第２のステージと、
    前記第２のステージの上に配設されて、熱処理の対象となる基板がその上面に載置される搬入プレートと、
    を備える請求項６に記載のアニーリング装置。
  8. 前記第２のステージと前記搬入プレートとの間に設けられ、前記水平上を回転する第３のステージ及び垂直方向に移動する第４のステージのうちの少なくとも一方を更に備える請求項７に記載のアニーリング装置。
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