KR100796611B1

KR100796611B1 - 어닐링 윈도우

Info

Publication number: KR100796611B1
Application number: KR1020060108669A
Authority: KR
Inventors: 이기웅; 연강흠; 김태경; 양상희
Original assignee: 코닉시스템 주식회사
Priority date: 2006-11-06
Filing date: 2006-11-06
Publication date: 2008-01-22

Abstract

어닐링 윈도우가 개시된다. 본 발명에 따른 어닐링 윈도우는 레이저광이 조사될 수 있도록 챔버의 일측에 형성된 입사구의 상측에 배치되며, 수평방향을 따라 이 입사구에 대하여 상대이동 가능하게 챔버에 결합되는 상부프레임; 입사구와 상부프레임 사이에서 개재되어 상부프레임에 결합되는 하부프레임과, 하부프레임의 내측에 끼워져 결합되는 투명창을 구비하여, 입사구와 상부프레임 사이에서 승강가능하며 그 하강시에 투명창이 챔버의 입사구에 밀착되는 윈도우 유닛; 상부프레임을 수평방향으로 이동시키기 위한 수평이동수단; 및 윈도우 유닛을 승강시키기 위한 승강수단;을 구비하는 것에 특징이 있다.

어닐링, 입사구

Description

어닐링 윈도우{Annealing window}

도 1은 종래의 레이저 어닐링 장치를 설명하기 위한 개략적 도면이다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어닐링 윈도우의 개략적 사시도로서, 도 2a는 전체 사시도이며, 도 2b는 일부 절개 사시도이다.

도 3은 도 2a에 도시된 어닐링 윈도우의 개략적 평면도이다.

도 4는 도 2a의 Ⅳ-Ⅳ선 개략적 단면도로서, 도 4a는 윈도우 유닛이 상승한 상태의 단면도이며, 도 4b는 윈도우 유닛이 하강한 상태의 단면도이다.

도 5는 도 2a의 Ⅴ-Ⅴ선 개략적 단면도로서, 도 5a는 윈도우 유닛이 상승한 상태의 단면도이며, 도 5b는 윈도우 유닛이 하강한 상태의 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100 ... 어닐링 윈도우 1 ... 챔버

2 ... 입사구 3 ... X축 스테이지

4 ... Y축 스테이지 5 ... 로딩 플레이트

10 ... 상부프레임 20 ... 하부프레임

30 ... 투명창 40 ... 윈도우 유닛

50 ... 밀폐 튜브 60 ... 스프링

70 ... 모터 80 ... 볼스크류

80 ... 매개부재 p ... 레이저 광원

r ... 레이저광

본 발명은 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display) 또는 유기 발광 다이오드 디스플레이(Organic Light Emitting Diode Display)의 기판을 열처리하기 위한 어닐링 장치에 장착되어 레이저가 조사되는 어닐링 윈도우에 관한 것이다.

유기 발광 다이오드 디스플레이(Organic Light Emitting Diode Display) 또는 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display) 등의 기판으로는 일반적으로 유리기판이 사용된다. 이 유리기판을 결정화시키거나 결정화도(crystallinity)를 향상시키기 위하여, 유리기판에 대하여 어닐링 공정, 특히 레이저를 이용한 어닐링 공정을 행하게 된다. 이러한 어닐링 공정은 도 1에 도시된 레이저 어닐링 장치에 의해 이루어진다.

도 1은 종래의 레이저 어닐링 장치를 설명하기 위한 개략적 도면이다. 도 1을 참조하면, 종래의 레이저 어닐링 장치(9)는 내측에 공간부가 마련된 챔버(1)를 구비한다. 이 챔버(1)의 상면에는 레이저광(r)이 입사될 수 있도록 슬릿 형태의 입사구(2)가 형성되어 있다. 이 챔버(1)의 내측 공간에는 X축 스테이지(3)와 Y축 스테이지(4)가 마련된다. X축 스테이지(3)는 상호 직교하는 X축, Y축 직교좌표계에 X축 방향으로 왕복이동되며, Y축 스테이지(4)는 X축 스테이지(3) 상에 배치되어 Y축을 따라 왕복이동된다. 또한, Y축 스테이지(4) 상에는 유리기판(s)이 장착되는 로딩 플레이트(5)가 배치된다. 한편, 도 1에 도시되지는 않았지만, Y축 스테이지(4)와 로딩 플레이트(5) 사이에는 수직방향으로 왕복이동가능한 Z축 스테이지, 상기 X축과 Y축을 포함하는 XY평면과 나란한 평면상에서 회전되는 R축 스테이지 등이 개재될 수 있다. 한편, 상기 챔버(1)의 입사구(2)에는 투명창(6)이 결합되는데, 챔버(1)의 내측은 기밀이 유지되어야 하므로 이 투명창(6)은 입사구(2)에 밀착되어 있다. 챔버(1) 외부의 레이저 광원(p)에 의하여 발진된 레이저(r)는 위 투명창(6)과 입사구(2)를 통해 로딩 플레이트(5) 위에 장착된 기판(s)에 조사됨으로써 어닐링이 이루어진다. 상기 입사구(2)가 Y축을 따라 형성된 경우 상기 X축 스테이지(3)는 X축을 따라 이동하여 기판(s) 전면에 대하여 레이저가 조사될 수 있도록 한다. 반면, 상기 입사구(2)가 X축을 따라 형성된 경우 상기 Y축 스테이지(4)는 X축을 따라 이동하여 기판(s) 전면에 대하여 레이저가 조사될 수 있도록 한다.

상기한 구성으로 이루어진 종래의 레이저 어닐링 장치(9)에서 레이저가 조사될 때 기판(s)으로부터 튀어나온 파티클(particle)들이 상기 투명창(6)의 하면에 부착된다. 이렇게 파티클들이 투명창(6)의 하면에 부착되면, 레이저의 투명창(6) 투과율이 현저하게 저하되는 문제점이 있었다. 이러한 문제점은 레이저 어닐링 장치(9)의 사용기간이 늘어날수록 더욱 심각해져 결국 챔버(1)로부터 투명창(6)을 분리하여 새로운 투명창으로 교체해야 하므로 비경제적일 뿐만 아니라, 교체로 인하여 공정이 중단되게 되어 공정의 효율성도 저하된다는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 장기간 사용하는 경우에도 레이저의 투과율을 일정하게 유지시킬 수 있도록 구조가 개선된 어닐링 윈도우에 관한 것이다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 어닐링 윈도우는, 레이저광이 조사될 수 있도록 챔버의 일측에 형성된 입사구의 상측에 배치되며, 수평방향을 따라 이 입사구에 대하여 상대이동 가능하게 상기 챔버에 결합되는 상부프레임; 상기 입사구와 상부프레임 사이에서 개재되어 상기 상부프레임에 결합되는 하부프레임과, 상기 하부프레임의 내측에 끼워져 결합되는 투명창을 구비하여, 상기 입사구와 상부프레임 사이에서 승강가능하며 그 하강시에 상기 투명창이 상기 챔버의 입사구에 밀착되는 윈도우 유닛; 상기 상부프레임을 수평방향으로 이동시키기 위한 수평이동수단; 및 상기 윈도우 유닛을 승강시키기 위한 승강수단;을 구비하는 것에 특징이 있다.

본 발명에 따르면, 상기 승강수단은 상기 상부프레임의 둘레를 따라 상기 상부프레임의 하측과 상기 투명창의 상면 사이에 개재되는 밀폐 튜브와, 양단이 각각 상기 상부프레임과 하부프레임에 고정되며 상기 하부프레임을 상부프레임쪽으로 바이어스 시키는 스프링을 포함하여 이루어져, 상기 밀폐 튜브에 급기를 통해 공압을 인가시 이 밀폐 튜브는 팽창하여 상기 투명창을 상기 챔버의 입사구 측으로 하강, 밀착시키며, 공압이 해제될 때 상기 스프링에 의하여 상기 하부프레임은 상부프레임쪽으로 상승되는 것이 바람직하다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어닐링 윈도우에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어닐링 윈도우의 개략적 사시도로서, 도 2a는 전체 사시도이며, 도 2b는 일부 절개 사시도이다. 도 3은 도 2a에 도시된 어닐링 윈도우의 개략적 평면도이며, 도 4는 도 2a의 Ⅳ-Ⅳ선 개략적 단면도로서, 도 4a는 윈도우 유닛이 상승한 상태의 단면도이며, 도 4b는 윈도우 유닛이 하강한 상태의 단면도이다.

도 1과 함께 도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어닐링 윈도우(100)는 챔버(1)에 장착된다. 보다 구체적으로 설명하면, 챔버(1)에는 일반적으로 챔버(1)의 내측 공간을 개폐하기 위한 커버(8)가 구비되는데, 본 발명에 따른 어닐링 윈도우(100)는 챔버(1)의 커버(8)에 결합된다. 챔버(1)의 커버에는 챔버(1)의 내측 공간으로 레이저광(r)이 조사될 수 있도록 입사구(2)가 형성된다. 이 입사구(2)는 챔버 커버(8)의 상면과 하면 사이를 관통하여 형성되며, 길이(d)에 비하여 폭(w)이 좁은 슬릿 형태로 이루어진다. 또한, 상기 챔버 커버(8)에는 입사구(2)의 둘레방향을 따라 오목한 홈(7a)이 형성되어 있으며, 이 홈(7a)에는 실링부재(7)가 끼워져 결합된다. 상기 챔버(1)에는 예컨대 질소(N₂), 아르곤(Ar) 등의 불활성 가스가 충전되어 있는데, 이 실링부재(7)는 챔버(1)의 내측 공간이 기밀을 유지하도록 하기 위한 것이다. 이를 위하여 상기 실링부재(7)는 챔버 커버(8)의 상면에 대하여 돌출되게 결합되며, 고무 등 압축가능 한 재질의 오링(O-ring)이 사용된다. 또한, 이 챔버(1)에는, 위에서 설명한 바와 같이, X축 스테이지(3)와 Y축 스테이지(4)가 마련된다. X축 스테이지(3)는 상호 직교하는 X축, Y축 직교좌표계에 X축 방향으로 왕복이동되며, Y축 스테이지(4)는 X축 스테이지(3) 상에 배치되어 Y축을 따라 왕복이동된다. 또한, Y축 스테이지(4) 상에는 유리기판(s)이 장착되는 로딩 플레이트(5)가 배치된다. 한편, 도 1에 도시되지는 않았지만, Y축 스테이지(4)와 로딩 플레이트(5) 사이에는 수직방향으로 왕복이동가능한 Z축 스테이지, 상기 X축과 Y축을 포함하는 XY평면과 나란한 평면상에서 회전되는 R축 스테이지 등이 개재될 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어닐링 윈도우(100)는 상기한 바와 같은구성으로 이루어진 챔버 커버(8)에 장착되는 것으로서, 상부프레임(10)과 윈도우 유닛(40)을 구비한다.

상기 상부프레임(10)은 챔버 커버(8)의 입사구(2) 상측에 배치된다. 상기 상부프레임(10)은 대략 직사각의 고리 형상으로 이루어지는데, 이 상부프레임(10)의 내측 부분에 상기 입사구(2)가 배치된다. 또한, 이 상부프레임(10)은 챔버 커버(8) 상에서 수평방향을 따라 이동가능하게 챔버 커버(8)에 결합되는데, 다시 설명하면 상기 입사구(2)에 대하여 상대이동 가능하되 상기 입사구(2)가 언제나 상부프레임(10)의 내측에 배치되는 상태를 유지한다. 한편, 상부프레임(10)에는 그 둘레방향을 따라 수용부(11)가 형성되는데, 이 수용부(11)는 상부프레임(10)의 하면쪽이 개구되어 있는 홈 형상으로 이루어져 있다. 또한, 이 상부프레임(10)에는 공기유입포트(17)가 마련되어 있으며, 이 공기유입포트(17)는 상기 수용부(11)와 연 통되어 있다.

상기 윈도우 유닛(40)은 하부프레임(20)과 투명창(30)을 구비한다.

상기 하부프레임(20)은 상기 챔버 커버(8)와 상부프레임(10) 사이에 개재되어 이 상부프레임(10)에 결합된다. 하부프레임(20)도 상부프레임(10)과 마찬가지로 대략 직사각의 고리 형상으로 형성되어, 하부프레임(20)의 내측 부분에 상기 챔버 커버(8)의 입사구(2)가 배치된다. 또한, 하부프레임(20)의 상면은 상부프레임(10)의 하면과 대면하게 배치되지만, 상부프레임(10)의 하면의 폭(A1)이 하부프레임(20) 상면의 폭(A2)보다 넓게 형성되어 있는바, 상기 상부프레임(10)의 수용부(11)가 형성된 부분에서는 하부프레임(20)의 상면과 상부프레임(10)의 하면이 상호 대면하지 않게 된다.

상기 투명창(30)은 상기 하부프레임(20)의 내측에 끼워져 결합되는데, 더욱 상세하게는 받침부재(21)가 하부프레임(20)의 하부에 나사(b)에 의하여 결합되며, 이 받침부재(21)는 하부프레임(20)의 내측으로 돌출되도록 배치되는데, 상기 투명창(30)은 하부프레임(20)의 내측에 끼워진 상태로 상기 받침부재(21) 상에 얹어지게 된다. 상기 투명창(30)의 길이는 상기 입사구(2)의 길이(d)보다 같거나 크게 형성되며, 그 폭은 입사구(2)의 폭(d)보다 적어도 2배의 폭을 가지도록 형성된다. 이 투명창(30)은 100nm 내지 400nm의 파장을 가지는 레이저광(r)의 광투과율이 70% 이상 되는 유리 재질로 되어 있는 것이 바람직하다.

상기 윈도우 유닛(40)이 상기 입사구(2)와 상부프레임(10) 사이에서 승강가능하도록, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어닐링 윈도우(100)는 승강수단을 구 비한다. 상기 승강수단은 밀폐 튜브(50)와 스프링(60)을 구비한다.

상기 밀폐 튜브(50)도 대략 직사각의 고리 형상으로 이루어져 상기 상부프레임(10)의 둘레방향을 따라 형성된 수용부(11)에 끼워져 결합되어, 상기 상부프레임(10)의 하측과 투명창(30)의 상면 사이에 개재된다. 이 밀폐 튜브(50)에는 이 밀폐 튜브(50)의 내측과 외측 사이를 관통하는 공기유입홀(51)이 형성되어 있으며, 이 공기유입홀(51)은 상기 상부프레임(10)에 마련된 공기유입포트(17)와 연통되어 있다. 상기 밀폐 튜브(50)의 내측은 공기유입홀(51)만을 제외하고 완전히 밀폐된 공간을 형성한다. 또한, 이 밀폐 튜브는 공기가 유입 및 배출됨에 따라 팽창 및 수축되도록 예컨대 고무 등과 같이 신축성 있는 재질로 이루어져 있다.

상기 스프링(60)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 상부프레임(10)과 하부프레임(20) 사이에 지지된다. 즉, 스프링(60)의 양단은 각각 상부프레임(10)과 하부프레임(20)에 각각 고정되며, 상기 하부프레임(20)을 상부프레임(10) 쪽으로 탄성바이어스 시킨다. 본 실시예에서 상기 스프링(60)은 판스프링이 채용된다.

한편, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어닐링 윈도우(100)는 상기 상부프레임(10)을 수평방향으로 왕복이동시키기 위한 수평이동수단을 구비한다. 상기 수평이동수단은 모터(70), 볼스크류(80) 및 매개부재(90)를 구비한다.

상기 모터(70)는 정역회전이 가능한 것으로서 챔버 커버(8)에 고정된다. 또한, 모터(70)의 회전축(71)은 상기 볼스크류(80)의 스크류축(81)에 결합되어 있어, 상기 회전축(71)이 정역회전시에 스크류축(81)도 함게 정역회전된다. 이 스크류축(81)의 외주면에는 나사산(미도시)이 형성되어 있다. 이 스크류축(81)에는 상기 볼스크류(80)의 이동자(82)가 끼워진다. 즉, 상기 볼스크류(80) 이동자(82)는 중공형으로 스크류축(81)에 끼워지는데, 이동자(82)의 내주면에는 스크류축(81)의 나사산과 대응되는 나사산이 형성되어 있으며, 이동자(82)의 나사산과 스크류축(81)의 나사산 사이에는 다수의 볼(미도시)이 나사산들과 구름접촉되도록 개재되어 있다. 상기 스크류축(81)의 정역회전시에 상기 이동자(82)는 스크류축(81)을 따라 직진 왕복이동된다. 또한, 상기 챔버 커버(8)에는 상기 볼스크류(80) 이동자(82)의 직선 왕복운동을 가이드하기 위한 리니어 가이드(83)가 마련된다. 상기 이동자(82)는 이 리니어 가이드(83) 상에서 직진 왕복이동된다. 한편, 상기 매개부재(90)는 볼스크류(80)의 이동자(82)와 상부프레임(10)을 상호 연결하여 상기 모터(70)의 구동력을 상기 상부프레임(10)에 전달하기 위한 것이다. 이에 따라, 상기 매개부재(90)의 일단부(91)는 볼스크류(80)의 이동자(82)에 고정되며 타단부(92)는 상부프레임(10)에 고정된다. 이렇게 상기 매개부재(90)에 의하여 직진운동하는 볼스크류(80)의 이동자(82)와 상부프레임(10)이 결합되므로 상기 이동자(82)의 왕복이동시 상부프레임(10)도 함께 왕복이동되며, 상부프레임(10)은 상하방향을 따라 위치가 고정되어 승강될 수 없다.

이하, 상기한 구성으로 이루어진 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어닐링 윈도우(100)의 작동 및 사용상태에 대하여 더욱 상세히 설명한다.

미도시된 로봇암 등에 의하여 유리기판(s)이 로딩 플레이트(5)에 장착되면 레이저 어닐링 공정이 행해진다. 우선, 상기 밀폐 튜브(50)에 공압을 인가한다. 즉, 공기유입포트(17)로 공기를 유입하게 되면 이 공기는 공기유입홀(51)을 통해 밀폐 튜브(50)에 유입되어 이 밀폐 튜브(50)는 팽창하게 된다. 밀폐 튜브(50)의 상측은 상부프레임(10)의 상면에 의하여 막혀 있고 상부프레임(10)은 볼스크류(80)에 결합되어 승강이 불가능하므로, 이 밀폐 튜브(50)는 상기 투명창(30)쪽으로 팽창한다. 이렇게 밀폐 튜브(50)가 팽창되면 Z가 팽창되면, 도 4b에 도시된 바와 같이, 밀폐 튜브(50)는 상기 투명창(30)에 밀착되어 투명창(30)을 챔버 커버(8)의 입사구(2)측으로 가압한다. 투명창(30)은 입사구(2) 둘레에 배치된 오링(7)에 밀착됨으로써 챔버(1)의 내측 공간은 기밀이 유지된다. 한편, 이러한 상태가 되면 상기 판스프링(60)도 하측으로 눌려 도 5b에 도시된 바와 같은 상태가 된다. 이러한 상태에서, 챔버(1) 외부의 레이저 광원(p)에 의하여 발진된 레이저(r)는 위 투명창(30)과 입사구(2)를 통해 로딩 플레이트(5) 위에 장착된 유리기판(s)에 조사됨으로써 어닐링이 이루어진다. 상기 입사구(2)를 통해 조사된 레이저의 조사 영역은 상기 유리기판(s)의 일부에 불과하므로 유리기판(s) 전 영역에 레이저가 조사될 수 있도록, 상기 X축 스테이지(3) 또는 Y축 스테이지(4)를 이동시킨다. 즉, 상기 입사구(2)가 Y축을 따라 형성된 경우 상기 X축 스테이지(3)를 이동시켜 유리기판(s) 전 영역에 대하여 레이저가 조사될 수 있도록 한다. 반면, 상기 입사구(2)가 X축을 따라 형성된 경우 상기 Y축 스테이지(4)는 X축을 따라 이동하여 유리기판(s) 전 영역에 대하여 레이저가 조사될 수 있도록 한다.

한편, 상기 투명창(30)을 일정 위치에 고정시킨 상태로 상기한 바와 같은 어닐링 공정을 일정 기간 지속시키면 레이저(r)의 조사에 따라 유리기판(s)으로부터 튀어나온 파티클들이 입사구(2)를 통해 투명창(30)의 하부에 부착됨으로써 투명 창(30)의 레이저 투과율이 저하된다. 이러한 문제를 극복하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어닐링 윈도우(100)에서는 투명창(30)을 수평이동시켜 입사구(2)의 상측에 투명창(30)의 오염되지 않은 영역을 배치시킨다. 우선, 상기 밀폐 튜브(50)로부터 공압을 해제시킨다. 즉, 상기 공기유입홀(51)과 공기유입포트(17)를 통해 밀폐 튜브(50)의 공기를 배출시키면, 도 4a에 도시된 바와 같이, 밀폐 튜브(50)는 수축된다. 한편, 상기 압축되었던 판스프링(60)은, 도 5a에 도시된 바와 같이, 투명창(30)을 상기 상부프레임(30) 쪽으로 탄성바이어스 시킨다. 이에 따라, 상기 투명창(30)은 상부프레임(30) 쪽으로 상승되어 투명창(30)과 오링(7) 사이에 약간의 간격이 형성된다. 이러한 상태에서, 상기 모터(70)에 전원을 인가하면, 볼스크류(80)의 스크류축(81)이 회전되고 이동자(82)는 스크류축(81)을 따라 직진이동된다. 이동자(82)의 이동에 따라 상부프레임(10)과 이 상부프레임(10)에 결합되어 있는 하부프레임(20)이 함께 이동되며, 하부프레임(20)에 끼워져 있는 투명창(30)도 이동된다. 투명창(30)의 이동에 의하여 파티클이 부착되지 않은 영역이 입사구(2) 상측에 배치되면 모터(70)의 전원인가를 해제하고, 다시 밀폐 튜브(50)에 공압을 인가하여 어닐링 공정을 지속할 수 있다. 위에서 설명한 바와 같이 상기 투명창(30)의 폭은 입사구(2)의 폭(w)에 비하여 두 배 이상으로 형성되며 본 실시예에서는 4배 정도로 형성된다. 이에 따라, 하나의 투명창(30)을 폭방향을 따라 수평이동시키면서 투명창(30)을 제1영역 내지 제4영역(각 영역은 상기 투명창의 폭보다 약간 더 큰 폭으로 형성 됨)으로 나누어 사용하는 경우, 종래기술에서와 같이 투명창을 4번 교체해야 하는 비경제성과 작업효율 저하를 해결할 수 있다.

지금까지, 상기 승강수단이 밀폐튜브(50)와 판 스프링(60)인 것으로 설명 및 도시하였으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 예컨대 실린더 또는 모터와 볼스크류 등의 다른 구성을 채용하여 하부프레임(20)을 승강시킬 수도 있다. 다만, 모터와 볼스크류를 채용하는 경우 구성이 복잡해질 뿐만 아니라 제조단가를 상승시키게 되는 문제가 있다. 또한, 상기 하부프레임(20)의 양측에 공압실린더의 피스톤을 연결하여 사용하는 경우도 구성이 복잡해지고, 예컨대 2 포트 공압실린더의 특성상 실린더의 이동변위가 정해져 있을 뿐만 아니라, 공압의 인가 해제시 피스톤의 급격한 이동으로 인해 챔버를 손상시킬 우려가 있으므로 바람직하지 않다. 본 발명에서와 같이 밀폐 튜브를 이용하는 경우, 매우 간단한 구성으로 투명창을 승강시킬 수 있을 뿐만 아니라 공기의 급기속도 및 급기량, 배기속도 및 배기량 조절을 통해 밀폐 튜브의 팽창 및 수축정도를 미세하게 조절할 수 있어 투명창의 승강 정도도 미세하게 조절할 수 있어 바람직하다. 그러나, 본 발명에서 공압실린더를 사용하는 경우에는 챔버에 스프링 또는 충격흡수재를 부착시켜 투명창이 챔버에 접촉될 때 충격을 완화시키는 구성을 채용할 수 있다.

한편, 지금까지 상부프레임(10)을 수평이동시키기 위한 수단이 모터와 볼스크류인 것으로 설명 및 도시하였으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 리니어 모터 등 다른 선형이동수단이 사용될 수도 있다.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다 양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 어닐링 윈도우는 하나의 투명창을 수평이동시켜 사용함으로써, 레이저 투과율을 일정하게 유지시키기 위하여 오염된 투명창을 매번 교체해야될 필요가 없어 경제적이면서도 매우 간단한 구성으로 이루어져 있어 제조 및 사용이 용이하다는 장점이 있다.

Claims

레이저광이 조사될 수 있도록 챔버의 일측에 형성된 입사구의 상측에 배치되며, 수평방향을 따라 이 입사구에 대하여 상대이동 가능하게 상기 챔버에 결합되는 상부프레임;

상기 입사구와 상부프레임 사이에서 개재되어 상기 상부프레임에 결합되는 하부프레임과 상기 하부프레임의 내측에 끼워져 결합되는 투명창을 구비하여, 상기 입사구와 상부프레임 사이에서 승강가능하며 그 하강시에 상기 투명창이 상기 챔버의 입사구에 밀착되는 윈도우 유닛;

상기 상부프레임을 수평방향으로 이동시키기 위한 수평이동수단; 및

상기 윈도우 유닛을 승강시키기 위한 승강수단;을 구비하며,

상기 승강수단은,

상기 상부프레임의 둘레를 따라 상기 상부프레임의 하측과 상기 투명창의 상면 사이에 개재되는 밀폐 튜브를 포함하여 이루어져,

상기 밀폐 튜브에 급기를 통해 공압을 인가시 이 밀폐 튜브는 팽창하여 상기 투명창을 상기 챔버의 입사구 측으로 하강, 밀착시키는 것을 특징으로 하는 어닐링 윈도우.
제1항에 있어서,

상기 수평이동수단은,

정역회전 가능한 모터;

상기 모터의 회전축에 결합되는 스크류축과 이 스크류축에 나사결합되며 스크류축의 회전시에 직진운동하는 이동자를 포함하는 볼스크류; 및

일단부는 상기 볼스크류의 이동자에 고정되며 타단부는 상기 상부프레임에 고정되는 매개부재;를 구비하는 것을 특징으로 하는 어닐링 윈도우.
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제1항에 있어서,

상기 승강수단은,

양단이 각각 상기 상부프레임과 하부프레임에 고정되며 상기 하부프레임을 상부프레임쪽으로 바이어스 시키는 스프링을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 어닐링 윈도우.
제1항에 있어서,

상기 챔버 내측의 기밀을 유지할 수 있도록, 상기 챔버에는 입사구의 둘레방향을 따라 실링부재가 결합되는 것을 특징으로 하는 어닐링 윈도우.
제1항에 있어서,

상기 투명창은 상기 입사구의 폭보다 적어도 2배의 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 어닐링 윈도우.
제1항에 있어서,

상기 투명창은 100nm 내지 400nm 의 파장을 가지는 레이저광의 투과율이 70% 이상인 것을 특징으로 하는 어닐링 윈도우.