KR101288992B1 - 어닐링 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 어닐링 장치에 관한 것으로, 레이저광이 통과하도록 입사구가 형성되는 하판부와, 하판부에 고정 설치되고 공압에 의해 팽창되는 실링부 및 하판부에 안착되어 실링부에 밀착되는 상판부를 포함한다.
본 발명에 따른 어닐링 장치는 공압에 의해 실링부가 팽창되거나 수축됨으로써, 실링부와 상판부 간의 고착화를 방지하여, 하판부에서 상판부를 원활하게 분리할 수 있다.

Description

어닐링 장치{ANNEALING DEVICE}
본 발명은 어닐링 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 실링이 공압에 의해 팽창되거나 수축되어 상판부와 하판부를 밀폐시키는 어닐링 장치에 관한 것이다.
일반적으로 유기 발광 다이오드 디스플레이(Organic Light Emitting Diode Display)와 같은 평판표시장치의 기판으로는 장변 및 단변을 가지는 사각형상의 유리기판이 사용된다.
이러한 유리기판은 세정공정, 레이저 어닐링공정, 노광공정 및 식각공정 등과 같은 다양한 공정을 거치면서 평판표시장치의 기판으로 제조된다.
어닐링공정은 어닐링(annealing) 장치에 의해 이루어진다. 이러한 어닐링 장치는 챔버의 상면에서 레이저광이 입사되어 기판을 결정화시킨다.
이때, 레이저광의 조사로 인해 기판으로부터 튀어나온 파티클(particle)은 투명창의 저면에 부착된다.
한편, 본 발명의 배경기술은 대한민국 공개특허공보 2003-0024995호(2003.03.28 공개, 발명의 명칭: 유기전계발광소자 및 그의 제조방법)에 개시되어 있다.
종래의 어닐링 장치는 밀폐를 위해 사용되는 실링이 상판부와 하판부에 밀착되어 고착됨으로써, 상판부를 하판부에서 분리하기가 어렵다는 문제점이 있다.
따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로서, 공압에 의해 실링이 팽창되거나 수축됨으로써, 상판부와 하판부 사이에서 실링이 고착되지 않고 밀폐성을 유지하는 어닐링 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 레이저광이 통과하도록 입사구가 형성되는 하판부; 상기 하판부에 고정 설치되고, 공압에 의해 팽창되는 실링부; 및 상기 하판부에 안착되어 상기 실링부에 밀착되는 상판부를 포함하는 것을 특징으로 하는 어닐링 장치를 제공한다.
상기 하판부는 챔버의 상측에 배치되고, 상기 입사구가 형성되는 하부판; 및 상기 하부판의 상측에 형성되고, 상기 입사구에 근접되어 순환되는 실링홈부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 하판부는 상기 하부판에 형성되고 상기 입사구에 연통되어 냉각용 기체가 출입되는 냉각부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 실링홈부는 상기 하부판에 형성되는 삽입홈부; 및 상기 삽입홈부의 저면 중앙에 형성되는 설치홈부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 실링부는 상기 삽입홈부에 삽입되고 공압실이 형성되는 공압실링; 상기 공압실링의 저면에서 연장되어 하방으로 돌출 형성되는 연결실링; 상기 연결실링에서 측방향으로 돌출 형성되어 상기 설치홈부에 안착되는 안착실링; 상기 안착실링과 상기 연결실링을 관통하고, 상기 공압실과 연통되어 공압용 기체가 출입되는 출입관; 상기 출입관에 연결되고 공압용 기체가 저장되는 공압탱크; 및 상기 출입관에 설치되어 공압용 기체의 출입량을 조절하는 공압밸브를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 실링부는 상기 삽입홈부의 저면에 안착되어 상기 안착실링의 상측에 배치되는 고정판; 및 상기 삽입홈부와 나사 결합되어 상기 고정판을 고정시키는 고정체를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 냉각부는 상기 하부판을 관통하고, 상기 입사구에 연통되는 냉각관; 상기 냉각관에 연결되고 냉각용 기체가 저장되는 냉각탱크; 및 상기 냉각관에 설치되어 냉각용 기체의 출입량을 조절하는 냉각밸브를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 냉각관은 상하 방향으로 지그재그를 그리도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 어닐링 장치는 하판부에 설치되는 실링부가 공압에 의해 팽창되거나 수축되어 상판부와 밀착되거나 밀착 해제됨으로써, 실링부가 상판부에 고착되지 않아 하판부와 상판부 간의 분리가 용이한 효과가 있다.
본 발명에 따른 어닐링 장치는 실링부가 팽창되어 상판부에 균일하게 밀착되므로, 입사구 내부와 외부를 차폐 가능한 효과가 있다.
본 발명에 따른 어닐링 장치는 실링부가 실링홈부에 나사 결합됨으로써, 실링부의 이탈을 방지하는 효과가 있다.
본 발명에 따른 어닐링 장치는 냉각부가 입사구의 가열된 부분을 냉각시켜 줌으로써, 입사구의 과열을 방지하는 효과가 있다.
본 발명에 따른 어닐링 장치는 냉각관이 상하로 지그재그 형상을 함으로써, 수분이 입사구로 토출되는 것을 방지하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 어닐링 장치에서 상판부의 투명창이 하판부의 입사구를 커버한 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1에서 실링부가 팽창된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 어닐링 장치에서 상판부의 투명창이 하판부의 입사구를 커버하지 않은 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 도 3에서 실링부가 수축된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 어닐링 장치의 실시예를 설명한다. 이러한 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로써, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 어닐링 장치에서 상판부의 투명창이 하판부의 입사구를 커버한 상태를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 2는 도 1에서 실링부가 팽창된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 어닐링 장치에서 상판부의 투명창이 하판부의 입사구를 커버하지 않은 상태를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 4는 도 3에서 실링부가 수축된 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 어닐링 장치(1)에는 하판부(10), 실링부(20) 및 상판부(30)가 구비된다.
하판부(10)에는 레이저광이 통과하도록 입사구(19)가 형성되고, 상판부(30)는 하판부(10)의 상측에 안착된다. 실링부(20)는 하판부(10)에 고정 설치된다. 이러한 실링부(20)는 공압에 의해 팽창되어 하판부(10)와 상판부(30) 사이 공간을 밀폐시킨다.
본 발명의 일 실시예에 따른 하판부(10)에는 하부판(11) 및 실링홈부(12)가 구비된다.
하부판(11)은 기판이 안착된 챔버의 상단부를 커버한다. 이러한 하부판(11)에는 레이저광이 통과하기 위한 입사구(19)가 형성된다. 이때, 입사구(19)는 레이저광이 투사되도록 장방형 홀 형상을 한다.
실링홈부(12)는 하부판(11)의 상측면에 형성된다. 이러한 실링홈부(12)는 입사구(19)에 근접되도록 배치된다. 예를 들어, 실링홈부(12)는 입사구(19)의 외측방향으로 위치되어 순환된다.
본 발명의 일 실시에에 따른 하판부(10)에는 냉각부(13)가 더 구비된다. 이러한 냉각부(13)는 하부판(11)에 형성되고, 입사구(19)에 연통되어 냉각용 기체를 출입시킨다.
본 발명의 일 실시예에 따른 실링홈부(12)에는 삽입홈부(121) 및 설치홈부(122)가 구비된다.
삽입홈부(121)는 하부판(11)의 상측면에 형성되고, 설치홈부(122)는 삽입홈부(121)의 저면 중앙에 형성된다.
따라서, 하부판(11)의 상측면에서 삽입홈부(121)까지의 거리보다 하부판(11)의 상측면에서 설치홈부(122)까지의 거리가 더 길게 형성된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 실링부(20)에는 공압실링(21), 연결실링(22), 안착실링(23), 출입관(24), 공압탱크(25) 및 공압밸브(26)가 구비된다.
공압실링(21)은 삽입홈부(121)에 삽입된다. 이러한 공압실링(21) 내부에는 공압실(29)이 형성된다.
연결실링(22)은 공압실링(21)의 저면에서 연장되어 하방으로 돌출 형성되고, 안착실링(23)은 연결실링(22)에서 측방향으로 돌출 형성되어 설치홈부(122)에 안착된다.
이때, 안착실링(23)의 저면과 설치홈부(122)의 바닥면은 접착물질에 의해 접합된 상태를 유지할 수 있다.
출입관(24)은 안착실링(23)과 연결실링(22)을 관통하여 공압실(29)과 연통된다. 이러한 출입관(24)은 하부판(11)을 관통하여 공압용 기체가 저장된 공압탱크(25)에 연결된다.
출입관(24)에는 공압용 기체의 출입량을 조절하는 공압밸브(26)가 설치된다.
따라서, 공압탱크(25)가 공압용 기체를 출입관(24)으로 공급하고, 공압밸브(26)에 의해 출입관(24)이 개방되면, 공압용 기체가 출입관(24)을 통해 공압실(29)에 저장되어 공압실링(21)이 팽창된다(도 2 참조).
공압실링(21)이 팽창되면, 하부판(11)의 삽입홈부(121) 내벽 및 상판부(30)의 저면에 밀착되어 입사구(19)를 밀폐시킨다.
한편, 공압탱크(25)가 공압용 기체를 흡입하면, 공압실(29)에 저장된 공압용 기체가 출입관(24)을 통해 배출되어 공압실링(21)이 수축된다(도 4 참조).
공압실링(21)이 수축되면, 공압실링(21)과 상판부(30) 간의 밀착상태가 해제된다.
공압실링(21)은 레이저광을 이용한 어닐링 작업시 팽창되고, 어닐링 작업이 완료되면 수축되는 과정을 반복하므로, 공압실링(21)이 상판부(30)의 저면에 밀착되어 고착되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 실링부(20)에는 고정판(27) 및 고정체(28)가 더 구비된다.
고정판(27)은 삽입홈부(121)의 저면에 안착된다. 이러한 고정판(27)은 삽입홈부(121)의 폭길이 보다 길게 형성되어 안착실링(23)의 상측에 배치된다.
고정체(28)는 삽입홈부(121)와 나사 결합되어 고정판(27)을 삽입홈부(121)에 고정시킨다.
따라서, 안착실링(23)의 상단부가 고정판(27)에 걸리므로, 안착실링(23)은 설치홈부(122)에 설치된 상태를 유지한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 냉각부(13)에는 냉각관(131), 냉각탱크(132) 및 냉각밸브(133)가 구비된다.
냉각관(131)은 하부판(11)을 관통하고, 입사구(19)에 연통된다. 냉각탱크(132)는 냉각관(131)에 연결되고, 냉각용 기체가 저장된다. 예를 들어 냉각용 기체로는 질소를 사용한다.
냉각밸브(133)는 냉각관(131)에 설치되고 냉각관(131)을 개폐하여 냉각용 기체의 출입량을 조절한다.
이때, 냉각관(131)은 상하 방향으로 지그재그를 그리도록 형성된다. 이와 같이 냉각관(131)이 지그재그 형상을 하면, 온도차로 인해 냉각관(131)에 형성되는 수분이 냉각관(131)을 통해 입사구(19)로 배출되는 것을 억제할 수 있다.
상기와 같은 구조를 갖는 본 발명의 일 실시예에 따른 어닐링 장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.
챔버에는 어닐링 공정이 실시되기 위한 기판이 설치되고, 챔버의 상부에는 하부판(11)이 배치된다. 이러한 하부판(11)에는 레이저광이 입사되기 위한 입사구(19)가 형성된다.
하부판(11)의 상측면에는 입사구(19)를 감싸는 실링홈부(12)가 형성된다. 이러한 실링홈부(12)에는 삽입홈부(121) 및 삽입홈부(121)의 중앙지점에서 함몰된 설치홈부(122)가 구비된다.
삽입홈부(121)에는 공압실(29)이 형성되는 공압실링(21)이 삽입되고, 설치홈부(122)에는 공압실링(21)에서 연장된 안착실링(23)이 삽입된다.
출입관(24)은 안착실링(23) 및 안착실링(23)과 공압실링(21)을 연결하는 연결실링(22)을 관통하여 공압실(29)과 연통되고, 공압탱크(25)에서 공압용 기체가 펌핑되거나 흡입됨에 따라 공압실링(21)이 팽창되거나 수축된다.
이때, 출입관(24)에 장착된 공압밸브(26)는 출입관(24)을 통해 토출되거나 흡입되는 공압용 기체의 출입량을 조절한다.
하부판(11)에는 냉각관(131)이 관통되어 입사구(19)와 연통되고, 냉각관(131)과 연결된 냉각탱크(132)에서 냉각용 기체가 펌핑되거나 흡입됨에 따라, 입사구(19)로 냉각용 기체가 주입되거나 입사구(19)에 분포된 냉각용 기체가 배출된다.
하부판(11)의 상측에는 상판부(30)가 안착된다. 이러한 상판부(30)에는 투명창(39)이 형성되고, 하부판(11)에 형성되는 레일(38)을 따라 이동된다.
상기한 상태에서, 어닐링 공정을 위해 투명창(39)이 입사구(19)의 수직선상에 배치되도록 상판부(30)가 하부판(11)에 이동되면(도 1 참조), 공압탱크(25)에서 공급된 공압용 기체가 공압실링(21)의 공압실(29)로 주입되어 공압실링(21)이 팽창된다(도 2 참조).
이와 같이 공압실링(21)이 팽창되어 상판부(30)의 저면에 밀착되면, 입사구(19) 부분이 밀폐되어 어닐링 공정 중 이물질 유입이 차단된다.
이때, 어닐링 공정 중 레이저광에 의해 입사구(19) 부분이 가열되면, 냉각관(131)을 통해 냉각용 유체가 입사구(19)로 유입되어 가열된 부분을 냉각시킨다.
그리고, 입사구(19)에 대한 냉각이 완료되면, 입사구(19)로 분포된 냉각용 기체가 냉각관(131)을 통해 배출된다.
한편, 입사구(19)를 통해 입사된 레이저광에 의해 기판에서 튀어나온 이물질이 투명창(39)에 부착되면, 투명창(39)의 투과율이 저하된다.
따라서, 어닐링 공정이 중단되면, 공압실(29)의 공압용 기체가 배출되어 공압실링(21)이 수축됨으로써, 공압실링(21)과 상판부(30) 간의 밀착이 해제된다(도 4 참조).
이와 같이 공압실링(21)과 상판부(30) 간의 밀착이 해제되면, 레일(38)을 따라 상판부(30)를 이동시켜 투명창(39) 및 입사구(19)를 세척한다(도 3 참조).
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
10 : 하판부 11 : 하부판
12 : 실링홈부 13 : 냉각부
20 : 실링부 21 : 공압실링
22 : 연결실링 23 : 안착실링
24 : 출입관 25 : 공압탱크
26 : 공압밸브 27 : 고정판
28 : 고정체 29 : 공압실
30 : 상판부 38 : 레일
39 : 투명창

Claims (8)

  1. 레이저광이 통과하도록 입사구가 형성되는 하판부;
    상기 하판부에 고정 설치되고, 공압에 의해 팽창되는 실링부; 및
    상기 하판부에 안착되어 상기 실링부에 밀착되는 상판부를 포함하고,
    상기 하판부는,
    챔버의 상측에 배치되고, 상기 입사구가 형성되는 하부판; 및
    상기 하부판에 형성되고 상기 입사구에 연통되어 냉각용 기체가 출입되는 냉각부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 어닐링 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 하판부는 상기 하부판의 상측에 형성되고, 상기 입사구에 근접되어 순환되는 실링홈부를 포함하는 것을 특징으로 하는 어닐링 장치.
  3. 삭제
  4. 제 2항에 있어서, 상기 실링홈부는
    상기 하부판에 형성되는 삽입홈부; 및
    상기 삽입홈부의 저면 중앙에 형성되는 설치홈부를 포함하는 것을 특징으로 하는 어닐링 장치.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 실링부는
    상기 삽입홈부에 삽입되고 공압실이 형성되는 공압실링;
    상기 공압실링의 저면에서 연장되어 하방으로 돌출 형성되는 연결실링;
    상기 연결실링에서 측방향으로 돌출 형성되어 상기 설치홈부에 안착되는 안착실링;
    상기 안착실링과 상기 연결실링을 관통하고, 상기 공압실과 연통되어 공압용 기체가 출입되는 출입관;
    상기 출입관에 연결되고 공압용 기체가 저장되는 공압탱크; 및
    상기 출입관에 설치되어 공압용 기체의 출입량을 조절하는 공압밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 어닐링 장치.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 실링부는
    상기 삽입홈부의 저면에 안착되어 상기 안착실링의 상측에 배치되는 고정판; 및
    상기 삽입홈부와 나사 결합되어 상기 고정판을 고정시키는 고정체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 어닐링 장치.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 냉각부는
    상기 하부판을 관통하고, 상기 입사구에 연통되는 냉각관;
    상기 냉각관에 연결되고 냉각용 기체가 저장되는 냉각탱크; 및
    상기 냉각관에 설치되어 냉각용 기체의 출입량을 조절하는 냉각밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 어닐링 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 냉각관은 상하 방향으로 지그재그를 그리도록 형성되는 것을 특징으로 하는 어닐링 장치.
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