JPH03188689A - 光学窓 - Google Patents
光学窓Info
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- JPH03188689A JPH03188689A JP1328815A JP32881589A JPH03188689A JP H03188689 A JPH03188689 A JP H03188689A JP 1328815 A JP1328815 A JP 1328815A JP 32881589 A JP32881589 A JP 32881589A JP H03188689 A JPH03188689 A JP H03188689A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 68
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract 1
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- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
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- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、低圧や高圧装置において、気密を維持しなが
゛ら光を透過させる光学素子が交換できる光学窓に関す
るものである。
゛ら光を透過させる光学素子が交換できる光学窓に関す
るものである。
以下、具体例としてガスレーザ装置の場合について述べ
る。
る。
レーザガスを励起してレーザ光を得るためのレーザ容器
を少なくとも具備するガスレーザ装置において、レーザ
容器の端部に設けた従来の光学窓の一例を第４図の縦断
面図に示す。第４図に示す従来の光学窓では、レーザ容
器壁２８の開口部２９にレーザ共振器やレーザ光透過窓
などを光学素子２３を損傷防止体２７を介して固定ネジ
２５を締め付けることにより押え部材２４でレーザ容器
壁２８に固定している。この場合、レーザ容器の気密は
、レーザ容器壁２８と光学素子２３との間の０−リング
２６で維持するようになっている。
を少なくとも具備するガスレーザ装置において、レーザ
容器の端部に設けた従来の光学窓の一例を第４図の縦断
面図に示す。第４図に示す従来の光学窓では、レーザ容
器壁２８の開口部２９にレーザ共振器やレーザ光透過窓
などを光学素子２３を損傷防止体２７を介して固定ネジ
２５を締め付けることにより押え部材２４でレーザ容器
壁２８に固定している。この場合、レーザ容器の気密は
、レーザ容器壁２８と光学素子２３との間の０−リング
２６で維持するようになっている。
レーザフォーカス（Ｌａ５ｅｒ Ｆｏｃｕｓ）誌、１９
８１年、１０月号、６８頁に記載されているように、ガ
スレーザ装置であるエキシマレーザ装置を長時間動作さ
せると、光学素子が汚れてくる。光学素子が汚れるとレ
ーザ出力が低下するので、光学素子を交換する必要があ
る。
８１年、１０月号、６８頁に記載されているように、ガ
スレーザ装置であるエキシマレーザ装置を長時間動作さ
せると、光学素子が汚れてくる。光学素子が汚れるとレ
ーザ出力が低下するので、光学素子を交換する必要があ
る。
従来のエキシマレーザ装置において、光学素子を交換す
る場合、レーザガスをレーザ容器から排気した後、光学
素子をレーザ容器の開口部から取り外して光学素子を交
換していたので、レーザ容器の内部を外気に晒すことに
なる。レーザガスを排気することはガスレーザ装置のラ
ンニングコストが高くなるということで問題である。ま
た、レーザ容器の内部を外気に一旦晒すと、外気のガス
分子がレーザ容器内部に吸着しレーザガスを劣化させた
り、レーザ動作に悪影響を与えるため問題である。
る場合、レーザガスをレーザ容器から排気した後、光学
素子をレーザ容器の開口部から取り外して光学素子を交
換していたので、レーザ容器の内部を外気に晒すことに
なる。レーザガスを排気することはガスレーザ装置のラ
ンニングコストが高くなるということで問題である。ま
た、レーザ容器の内部を外気に一旦晒すと、外気のガス
分子がレーザ容器内部に吸着しレーザガスを劣化させた
り、レーザ動作に悪影響を与えるため問題である。
レーザ容器の内部を外気に晒さないようにするため、レ
ーザガスの劣化やレーザ動作に悪影響を与えないガス、
例えばＨｅなどをレーザ容器の内部から開口部を通じレ
ーザ容器の外へ大量に流す方法が取られていた。しかし
、完全には外気のレーザ容器内への混入を避けられず、
またレーザガスの劣化やレーザ動作に悪影響を与えない
ガスの費用も発生し問題である。
ーザガスの劣化やレーザ動作に悪影響を与えないガス、
例えばＨｅなどをレーザ容器の内部から開口部を通じレ
ーザ容器の外へ大量に流す方法が取られていた。しかし
、完全には外気のレーザ容器内への混入を避けられず、
またレーザガスの劣化やレーザ動作に悪影響を与えない
ガスの費用も発生し問題である。
外気がレーザ容器内に入った場合、新たな光学素子を取
り付はガスレーザ装置を復旧させるときにはパッシベー
ションを行う必要がある。
り付はガスレーザ装置を復旧させるときにはパッシベー
ションを行う必要がある。
パッシベーションについては、カナダのルモニツクス（
ＬＵＭＯＮＩＣ３）社の取扱説明書（ＰＲＥＬＩＭＩＮ
ＡＲＹＩＮＳＴＲＵＭＥＮＴＡｔｒＯＮ ＭＡＮＵＡ
Ｌ ＬＵＭＯＮＩＣ５ＨＹＰＥＲＥＸ４００５ＥＲＩ
ＥＳ ＥＸＣＩＭＥＲＬＡＳＥＲ７６０００）ＩＥ４Ｐ
） ノＰ 、 ３〜Ｐ、１３に示されている。パッシベ
ーションを行う場合は装置を休止させなければならない
こと、またガスの費用が発生することの問題がある。
ＬＵＭＯＮＩＣ３）社の取扱説明書（ＰＲＥＬＩＭＩＮ
ＡＲＹＩＮＳＴＲＵＭＥＮＴＡｔｒＯＮ ＭＡＮＵＡ
Ｌ ＬＵＭＯＮＩＣ５ＨＹＰＥＲＥＸ４００５ＥＲＩ
ＥＳ ＥＸＣＩＭＥＲＬＡＳＥＲ７６０００）ＩＥ４Ｐ
） ノＰ 、 ３〜Ｐ、１３に示されている。パッシベ
ーションを行う場合は装置を休止させなければならない
こと、またガスの費用が発生することの問題がある。
本発明の目的は、光学素子を交換する場合にもガスレー
ザ装置内部のガスの排気やガスの導入を行なわず、さら
にガスレーザ装置内部への外気の混入が全く無い光学窓
を提供することにある。
ザ装置内部のガスの排気やガスの導入を行なわず、さら
にガスレーザ装置内部への外気の混入が全く無い光学窓
を提供することにある。
本発明による光学窓は、光の通る貫通口を持ち貫通口の
両端に光学素子を取り付ける手段を備えた球状または円
柱状保持部と、内側に球状または円柱状保持部が入る球
状または円柱状の穴と貫通口の中心軸と平行な中心軸を
持つ光学素子を交換するための開口（以下交換口）およ
び光が通る開口く以下透過口）と、さらに貫通口と交換
口の中心軸からなる面内に含まれ、かつ交換口に対して
直交する中心軸を持つ２箇所のガス排気用の開口（以下
ガス排気口）とを備えた球用または円柱用ケース部と、
球状または円柱状保持部を貫通口と交換口の各々の中心
軸を含む面に沿って回転させる手段とから構成されてい
る光学素子保持手紐を備えたことを特徴としている。
両端に光学素子を取り付ける手段を備えた球状または円
柱状保持部と、内側に球状または円柱状保持部が入る球
状または円柱状の穴と貫通口の中心軸と平行な中心軸を
持つ光学素子を交換するための開口（以下交換口）およ
び光が通る開口く以下透過口）と、さらに貫通口と交換
口の中心軸からなる面内に含まれ、かつ交換口に対して
直交する中心軸を持つ２箇所のガス排気用の開口（以下
ガス排気口）とを備えた球用または円柱用ケース部と、
球状または円柱状保持部を貫通口と交換口の各々の中心
軸を含む面に沿って回転させる手段とから構成されてい
る光学素子保持手紐を備えたことを特徴としている。
本発明による光学窓では、球状または円柱状保持部のガ
スレーザ装置側の透過口に位置する汚れた光学素子の交
換を行う場合、反対側に清浄な光学素子を取り付け、回
転手段で球状または円柱状保持部を９０度回転し、光学
素子が取り付けられている部分のガスを２箇所のガス排
気口で排気する。排気後、さらに回転手段で球状または
円柱状保持部を同一方向に９０度回転させ、清浄な光学
素子をガスレーザ装置側に位置させるとともに、汚れた
光学素子を交換口側に位置させる。このようにして、ガ
スレーザ装置内部を外気に晒すことなく短時間で汚れた
光学素子を清浄な光学素子と簡単に交換することが可能
になる。
スレーザ装置側の透過口に位置する汚れた光学素子の交
換を行う場合、反対側に清浄な光学素子を取り付け、回
転手段で球状または円柱状保持部を９０度回転し、光学
素子が取り付けられている部分のガスを２箇所のガス排
気口で排気する。排気後、さらに回転手段で球状または
円柱状保持部を同一方向に９０度回転させ、清浄な光学
素子をガスレーザ装置側に位置させるとともに、汚れた
光学素子を交換口側に位置させる。このようにして、ガ
スレーザ装置内部を外気に晒すことなく短時間で汚れた
光学素子を清浄な光学素子と簡単に交換することが可能
になる。
次に、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図及び第２図は本発明の第１の実施例、第３図は本
発明の第２の実施例を示す図である。
発明の第２の実施例を示す図である。
第１図及び第２図はガスレーザ装置における、第１の実
施例である光学窓部分の横断面図及び縦断面図を各々示
している。
施例である光学窓部分の横断面図及び縦断面図を各々示
している。
第１図及び第２図から判るように本発明を用いた光学窓
の光学素子保持手段は、光学素子３を保持する球状保持
部１と内側に球状の穴を持つ球用ケース部２と球状保持
部１を回転させる手段である回転用ハンドル１つとから
構成されている。さらに、球状保持部１は光を通る貫通
口１１と、その両端に光学素子３を保持するための保持
用溝１５と、光学素子３を保持するための押え部材４を
固定するためのネジ穴１４と、貫通口１１の同心円上に
開けられた４箇所の調整用ネジ穴１７を持つ構造に成っ
ている。球用ケース部２は、球状保持部１が入る球状保
持部１より僅かに大きい球状の穴１６と、貫通口１１の
中心軸を通る面と一致する中心軸を持つ交換口１２およ
び透過口１３と、貫通口１１と交換口１２の中心軸が作
る面に対して直交し、かつ中心軸が球状の穴１６の中心
を通る回転用穴１８と、さらに貫通口１１と交換口１２
の中心軸からなる面内に含まれ、かつ交換口１２の中心
軸に対して直交する中心軸を持つ２箇所のガス排気口１
０を持つ構造からなっている。
の光学素子保持手段は、光学素子３を保持する球状保持
部１と内側に球状の穴を持つ球用ケース部２と球状保持
部１を回転させる手段である回転用ハンドル１つとから
構成されている。さらに、球状保持部１は光を通る貫通
口１１と、その両端に光学素子３を保持するための保持
用溝１５と、光学素子３を保持するための押え部材４を
固定するためのネジ穴１４と、貫通口１１の同心円上に
開けられた４箇所の調整用ネジ穴１７を持つ構造に成っ
ている。球用ケース部２は、球状保持部１が入る球状保
持部１より僅かに大きい球状の穴１６と、貫通口１１の
中心軸を通る面と一致する中心軸を持つ交換口１２およ
び透過口１３と、貫通口１１と交換口１２の中心軸が作
る面に対して直交し、かつ中心軸が球状の穴１６の中心
を通る回転用穴１８と、さらに貫通口１１と交換口１２
の中心軸からなる面内に含まれ、かつ交換口１２の中心
軸に対して直交する中心軸を持つ２箇所のガス排気口１
０を持つ構造からなっている。
この実施例において、ガスレーザ装置側の透過口１３に
位置する汚れた光学素子３を交換するためには、調整ネ
ジ８を外し保持用溝１５に損傷防止体つと清浄な光学素
子３を入れ、押え部材４と光学素子３との間及び押え部
材４と球状保持部１との間にＯ−リング６．７ｆ！：挟
んで押え部材４をネジ穴１４を用い固定ネジ５で球状保
持部１に固定する。その後、回転用ハンドル１つで球状
保持部１を９０度回転させ、光学素子３が取り付けられ
ている部分のガスを排気口１０を通して排気する。光学
素子３が取り付けられている部分のガスを十分排気した
後、さらに回転用ハンドル１つで球状保持部１を同一の
方向に９０度回転させる。
位置する汚れた光学素子３を交換するためには、調整ネ
ジ８を外し保持用溝１５に損傷防止体つと清浄な光学素
子３を入れ、押え部材４と光学素子３との間及び押え部
材４と球状保持部１との間にＯ−リング６．７ｆ！：挟
んで押え部材４をネジ穴１４を用い固定ネジ５で球状保
持部１に固定する。その後、回転用ハンドル１つで球状
保持部１を９０度回転させ、光学素子３が取り付けられ
ている部分のガスを排気口１０を通して排気する。光学
素子３が取り付けられている部分のガスを十分排気した
後、さらに回転用ハンドル１つで球状保持部１を同一の
方向に９０度回転させる。
この結果、汚れた光学素子３と清浄な光学素子３の位置
が入れ替わり、汚れた光学素子３の取り外しが可能にな
る。また、汚れた光学素子３を取り外した後、調整用ネ
ジ穴１７に調整ネジ８を通し清浄な光学素子３の傾きの
調整を行うことができる。
が入れ替わり、汚れた光学素子３の取り外しが可能にな
る。また、汚れた光学素子３を取り外した後、調整用ネ
ジ穴１７に調整ネジ８を通し清浄な光学素子３の傾きの
調整を行うことができる。
次に、本発明の第２の実施例である光学窓を第３図の縦
断面図に示す。第３図から判るように、本発明の第１の
実施例と異なり球状保持部１と球用ケース部２の代わり
に形状のみが円柱状の円柱状保持部２０と内側に円柱状
保持部２０が入る円柱状の穴２２を持つ円柱用ケース部
２１を用いている。この他は第１の実施例と同様の構成
である。この光学窓において、上記第１の実施例と同様
な操作で光学素子３を交換する。
断面図に示す。第３図から判るように、本発明の第１の
実施例と異なり球状保持部１と球用ケース部２の代わり
に形状のみが円柱状の円柱状保持部２０と内側に円柱状
保持部２０が入る円柱状の穴２２を持つ円柱用ケース部
２１を用いている。この他は第１の実施例と同様の構成
である。この光学窓において、上記第１の実施例と同様
な操作で光学素子３を交換する。
また、上記第１および第２の実施例ては、球状保持部１
と球用ケース部２及び円柱状保持部２０と円柱用ケース
部２１との気密を各々の保持部と各々のケース部との微
少な空隙にグリースを入れることにより行っている。
と球用ケース部２及び円柱状保持部２０と円柱用ケース
部２１との気密を各々の保持部と各々のケース部との微
少な空隙にグリースを入れることにより行っている。
この結果、ガスレーザ装置の気密を維持したままガスレ
ーザ装置内部を外気に晒すことなく汚れた光学素子を清
浄な光学素子に交換することが可能になる。
ーザ装置内部を外気に晒すことなく汚れた光学素子を清
浄な光学素子に交換することが可能になる。
本発明の実施例において、ガスレーザ装置の光学窓の場
合について説明したが、光ＣＶＤ装置などの装置内部へ
の光の導入や装置外部への光の導出が必要な他の装置に
用いても良いことは明らかである。さらに、各々の保持
部と各々のケース部との間の気密を各々の保持部と各々
のケース部との間にグリースを入れることにより行って
いるが、各々の保持部と各々のケース部との間にＯ−リ
ングを入れ気密を取るようにしても良い。
合について説明したが、光ＣＶＤ装置などの装置内部へ
の光の導入や装置外部への光の導出が必要な他の装置に
用いても良いことは明らかである。さらに、各々の保持
部と各々のケース部との間の気密を各々の保持部と各々
のケース部との間にグリースを入れることにより行って
いるが、各々の保持部と各々のケース部との間にＯ−リ
ングを入れ気密を取るようにしても良い。
以上述べたように、本発明による光学窓では装置の気密
を維持しながら短時間に汚れた光学素子を交換できる。
を維持しながら短時間に汚れた光学素子を交換できる。
第１図及び第２図は本発明の第１の実施例であるガスレ
ーザ装置の光学窓部分の横断面図及び縦断面図、第３図
は本発明の第２の実施例である光学窓部分の縦断面図、
第４図は従来のガスレーザ装置の光学窓部分の断面図を
示している。 １・・・球状保持部、２・・・線用ケース部、３．２３
・・・光学素子、４．２４・・・押え部材、２，２５・
・・固定ネジ、６，７．２６・・・０−リング、８・・
・調整ネジ、９，２７・・・損傷防止体、１０・・・ガ
ス排気口、１１・・貫通口、１２・・・交換口、１３・
・・透過口、１４・・・ネジ穴、１５・・・保持用講、
１６・・・球状の穴、１７・・・調整用ネジ穴、１８・
・・回転用穴、１つ・・・回転用ハンドル、２０・・・
円柱状保持部、２１・・・円柱用ケース部、２２・・・
円柱状の穴、２８・・・レーザ容器壁、２つ・・・開口
部。
ーザ装置の光学窓部分の横断面図及び縦断面図、第３図
は本発明の第２の実施例である光学窓部分の縦断面図、
第４図は従来のガスレーザ装置の光学窓部分の断面図を
示している。 １・・・球状保持部、２・・・線用ケース部、３．２３
・・・光学素子、４．２４・・・押え部材、２，２５・
・・固定ネジ、６，７．２６・・・０−リング、８・・
・調整ネジ、９，２７・・・損傷防止体、１０・・・ガ
ス排気口、１１・・貫通口、１２・・・交換口、１３・
・・透過口、１４・・・ネジ穴、１５・・・保持用講、
１６・・・球状の穴、１７・・・調整用ネジ穴、１８・
・・回転用穴、１つ・・・回転用ハンドル、２０・・・
円柱状保持部、２１・・・円柱用ケース部、２２・・・
円柱状の穴、２８・・・レーザ容器壁、２つ・・・開口
部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、光を透過させる透過窓や光を反射する反射窓の光学
素子と、前記光学素子を保持する光学素子保持手段とか
らなる光学窓において、前記光学素子保持手段が、光を
通す開口（以下貫通口）を持ち前記貫通口の両端に前記
光学素子を取り付ける手段を備えた球状の球状保持部と
、内側に前記球状保持部が入る球状の穴と前記貫通口の
中心軸と平行で、かつお互いに向かい合う位置にある前
記光学素子を交換するための開口（以下交換口）および
光が通る開口（以下透過口）と、さらに前記貫通口と前
記交換口の中心軸からなる面内に含まれ、かつ前記交換
口の中心軸に対して直交する中心軸を持つお互いに向か
い合う位置にある２箇所のガス排気のための開口（以下
ガス排気口）を備えた球用ケース部と、前記球状保持部
を前記貫通口と前記交換口の各々の中心軸を含む面に沿
って回転させる手段とから構成されたことを特徴とする
光学窓。 ２、請求項１記載の前記光学窓の前記球状保持部と前記
球用ケース部の代わりに形状のみが円柱状の円柱保持部
と内側に前記円柱状保持部が入る円柱状の穴を持つ円柱
用ケース部を用いたことを特徴とする光学窓。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1328815A JPH03188689A (ja) | 1989-12-18 | 1989-12-18 | 光学窓 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1328815A JPH03188689A (ja) | 1989-12-18 | 1989-12-18 | 光学窓 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03188689A true JPH03188689A (ja) | 1991-08-16 |
Family
ID=18214406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1328815A Pending JPH03188689A (ja) | 1989-12-18 | 1989-12-18 | 光学窓 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03188689A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011107522A (ja) * | 2009-11-19 | 2011-06-02 | Yuji Ko | 光学素子保持構造及びこの構造を用いた光学システム |
| JP2014099608A (ja) * | 2012-11-13 | 2014-05-29 | Ap Systems Inc | 透光装置及びこれを備えるアニーリング装置 |
| CN110352028A (zh) * | 2017-11-10 | 2019-10-18 | 松下知识产权经营株式会社 | 移动机器人以及移动机器人的控制方法 |
-
1989
- 1989-12-18 JP JP1328815A patent/JPH03188689A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011107522A (ja) * | 2009-11-19 | 2011-06-02 | Yuji Ko | 光学素子保持構造及びこの構造を用いた光学システム |
| JP2014099608A (ja) * | 2012-11-13 | 2014-05-29 | Ap Systems Inc | 透光装置及びこれを備えるアニーリング装置 |
| CN110352028A (zh) * | 2017-11-10 | 2019-10-18 | 松下知识产权经营株式会社 | 移动机器人以及移动机器人的控制方法 |
| CN110352028B (zh) * | 2017-11-10 | 2021-11-19 | 松下知识产权经营株式会社 | 移动机器人以及移动机器人的控制方法 |
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