JP3245814B2 - レーザ発振装置 - Google Patents
レーザ発振装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザ発振装置に関
し、特にレーザ発振を行う容器の両側に配設されて共振
器を構成する共振ミラーの内側に配置して容器のガスを
封じ込めるために設けられるウインドウの取付け構造で
あってウインドウが汚れた時のウインドウの交換を容易
にするための構造に関する。
し、特にレーザ発振を行う容器の両側に配設されて共振
器を構成する共振ミラーの内側に配置して容器のガスを
封じ込めるために設けられるウインドウの取付け構造で
あってウインドウが汚れた時のウインドウの交換を容易
にするための構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザ発振装置には各種のタイプがある
が、例えばレーザアニーリングを行うためにエキシマレ
ーザ発振装置が使用されている。レーザアニーリング
は、例えばアモルファスシリコン薄膜に、パルス発振さ
せたエキシマレーザを照射して多結晶化する。このよう
なレーザアニーリングは、例えば液晶表示パネルの薄膜
トランジスタ（ＴＦＴ）を形成するための多結晶シリコ
ン薄膜の製造に用いられている。
が、例えばレーザアニーリングを行うためにエキシマレ
ーザ発振装置が使用されている。レーザアニーリング
は、例えばアモルファスシリコン薄膜に、パルス発振さ
せたエキシマレーザを照射して多結晶化する。このよう
なレーザアニーリングは、例えば液晶表示パネルの薄膜
トランジスタ（ＴＦＴ）を形成するための多結晶シリコ
ン薄膜の製造に用いられている。
【０００３】この種のエキシマレーザ発振装置の概略構
成を図７を参照して説明する。エキシマレーザ発振装置
は、レーザ媒質及びこのレーザ媒質を励起するための励
起手段とを収容した容器１００と、この容器内で発生し
た光を共振させるために容器１００の両側に配設された
一対の共振ミラー１０１、１０２とを含む。共振ミラー
１０１、１０２のうち、一方は全反射ミラーであり、レ
ーザ光を出力する方のミラーは部分透過ミラーである。
なお、後で詳しく説明するように、共振ミラー１０１、
１０２は、容器１００の外側に配設されるものである。
そして、容器１００内の雰囲気と隔離するために、容器
１００と共振ミラーのハウジングとの間にはウインドウ
１０３が配置される。共振ミラー１０２側についてもウ
インドウ１０３が配置される。容器１００内で発生した
レーザ光の一部は、共振ミラー１０２を透過してホモジ
ナイザ１０５に入射し、ホモジナイザ１０５は基板１０
６の直線状の領域にレーザ光を集光する。
成を図７を参照して説明する。エキシマレーザ発振装置
は、レーザ媒質及びこのレーザ媒質を励起するための励
起手段とを収容した容器１００と、この容器内で発生し
た光を共振させるために容器１００の両側に配設された
一対の共振ミラー１０１、１０２とを含む。共振ミラー
１０１、１０２のうち、一方は全反射ミラーであり、レ
ーザ光を出力する方のミラーは部分透過ミラーである。
なお、後で詳しく説明するように、共振ミラー１０１、
１０２は、容器１００の外側に配設されるものである。
そして、容器１００内の雰囲気と隔離するために、容器
１００と共振ミラーのハウジングとの間にはウインドウ
１０３が配置される。共振ミラー１０２側についてもウ
インドウ１０３が配置される。容器１００内で発生した
レーザ光の一部は、共振ミラー１０２を透過してホモジ
ナイザ１０５に入射し、ホモジナイザ１０５は基板１０
６の直線状の領域にレーザ光を集光する。
【０００４】この種のレーザ発振装置では、発振を繰り
返していると、ウインドウに容器内に導入されたガスの
不純物や反応生成物が付着してレーザ光の透過率が低下
するので、ウインドウのクリーニングや交換が必要とな
る。
返していると、ウインドウに容器内に導入されたガスの
不純物や反応生成物が付着してレーザ光の透過率が低下
するので、ウインドウのクリーニングや交換が必要とな
る。
【０００５】このような点を考慮した、ウインドウ及び
共振ミラーの設置構造について図８を参照して説明す
る。図８において、発振を行うための容器１１０の側壁
に、ゲート弁１１１を収容するためのゲート弁ハウジン
グ１１２がねじ止め等により取り付けられている。ゲー
ト弁ハウジング１１２の出口側にはウインドウを有する
ウインドウプレート１１３を装着したウインドウハウジ
ング１１４がねじ止め等により取り付けられている。ウ
インドウハウジング１１４の出口側には共振ミラーを収
容した共振ミラーハウジング１１５（便宜上、二点鎖線
で示している）が取り付けられる。なお、ウインドウハ
ウジング１１４には、ガス排気のためのガス口ポート１
１４−１が設けられている。これは、エキシマレーザ発
振装置の場合、容器１１０内には、有毒ガスが導入され
るので、ウインドウのクリーニングあるいは交換時にウ
インドウハウジング１１４内の有毒ガスを排気する必要
があるからである。すなわち、ウインドウのクリーニン
グあるいは交換は、ゲート弁１１１を閉じて容器１１０
とウインドウハウジング１１４とを遮断した状態で行わ
れるが、ウインドウハウジング１１４には微量の有毒ガ
スが残っている。
共振ミラーの設置構造について図８を参照して説明す
る。図８において、発振を行うための容器１１０の側壁
に、ゲート弁１１１を収容するためのゲート弁ハウジン
グ１１２がねじ止め等により取り付けられている。ゲー
ト弁ハウジング１１２の出口側にはウインドウを有する
ウインドウプレート１１３を装着したウインドウハウジ
ング１１４がねじ止め等により取り付けられている。ウ
インドウハウジング１１４の出口側には共振ミラーを収
容した共振ミラーハウジング１１５（便宜上、二点鎖線
で示している）が取り付けられる。なお、ウインドウハ
ウジング１１４には、ガス排気のためのガス口ポート１
１４−１が設けられている。これは、エキシマレーザ発
振装置の場合、容器１１０内には、有毒ガスが導入され
るので、ウインドウのクリーニングあるいは交換時にウ
インドウハウジング１１４内の有毒ガスを排気する必要
があるからである。すなわち、ウインドウのクリーニン
グあるいは交換は、ゲート弁１１１を閉じて容器１１０
とウインドウハウジング１１４とを遮断した状態で行わ
れるが、ウインドウハウジング１１４には微量の有毒ガ
スが残っている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、図８の
ような構造では、ウインドウのクリーニングあるいは交
換時には共振ミラーハウジング１１５を外す必要があ
る。そして、共振ミラーハウジング１１５を再度、ウイ
ンドウハウジング１１４に取り付けた際には、共振ミラ
ーの光軸方向の位置調整が必要となる。
ような構造では、ウインドウのクリーニングあるいは交
換時には共振ミラーハウジング１１５を外す必要があ
る。そして、共振ミラーハウジング１１５を再度、ウイ
ンドウハウジング１１４に取り付けた際には、共振ミラ
ーの光軸方向の位置調整が必要となる。
【０００７】そこで、本発明の課題は、ウインドウのク
リーニングあるいは交換を、共振ミラーハウジングを取
り外すことなく行うことのできるレーザ発振装置を提供
することにある。
リーニングあるいは交換を、共振ミラーハウジングを取
り外すことなく行うことのできるレーザ発振装置を提供
することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザ媒質及
びこのレーザ媒質を励起するための励起手段とを収容し
た容器と、前記容器内で発生した光を共振させるために
該容器の両側に配設され、一方が全反射ミラーである一
対の共振ミラーとを含み、該一対の共振ミラーのうち前
記全反射ミラーは共振ミラーハウジングに収容され、該
共振ミラーハウジングはウインドウハウジングに収容さ
れた光透過材料によるウインドウを介して前記容器内の
雰囲気と隔離するようにされているレーザ発振装置にお
いて、前記容器と前記ウインドウハウジングとの間にゲ
ート弁を収容するためのゲート弁ハウジングを設けて、
前記ウインドウハウジング内の空間を前記容器から遮断
可能にし、前記ウインドウハウジングには、ガス導入及
び排気のためのガス口を設け、前記ウインドウは、前記
ウインドウハウジングに対してスライド式に着脱可能な
スライドプレートに組み込み、前記ウインドウハウジン
グは、前記ゲート弁ハウジングに固定されて前記ガス口
が設けられた主ハウジングと、該主ハウジングに固定さ
れて該主ハウジングとの間に前記スライドプレートを受
け入れる空間を形成するためのガイドリングとを含み、
該ガイドリングにおける前記主ハウジングと反対側の内
壁にはねじを形成すると共に、このねじには押しリング
を螺合して該押しリングをその中心軸方向に移動可能に
することにより、前記スライドプレートを前記主ハウジ
ングに押し付けるようにし、前記ガイドリングにおいて
前記ねじを形成している壁には、周方向に長い長穴を設
け、前記押しリングの外周には周方向に間隔をおいて前
記長穴を通して挿入されるピンの嵌入可能な孔を設け、
前記ピンにより前記押しリングを回転させてその中心軸
方向に移動可能にしたことを特徴とする。
びこのレーザ媒質を励起するための励起手段とを収容し
た容器と、前記容器内で発生した光を共振させるために
該容器の両側に配設され、一方が全反射ミラーである一
対の共振ミラーとを含み、該一対の共振ミラーのうち前
記全反射ミラーは共振ミラーハウジングに収容され、該
共振ミラーハウジングはウインドウハウジングに収容さ
れた光透過材料によるウインドウを介して前記容器内の
雰囲気と隔離するようにされているレーザ発振装置にお
いて、前記容器と前記ウインドウハウジングとの間にゲ
ート弁を収容するためのゲート弁ハウジングを設けて、
前記ウインドウハウジング内の空間を前記容器から遮断
可能にし、前記ウインドウハウジングには、ガス導入及
び排気のためのガス口を設け、前記ウインドウは、前記
ウインドウハウジングに対してスライド式に着脱可能な
スライドプレートに組み込み、前記ウインドウハウジン
グは、前記ゲート弁ハウジングに固定されて前記ガス口
が設けられた主ハウジングと、該主ハウジングに固定さ
れて該主ハウジングとの間に前記スライドプレートを受
け入れる空間を形成するためのガイドリングとを含み、
該ガイドリングにおける前記主ハウジングと反対側の内
壁にはねじを形成すると共に、このねじには押しリング
を螺合して該押しリングをその中心軸方向に移動可能に
することにより、前記スライドプレートを前記主ハウジ
ングに押し付けるようにし、前記ガイドリングにおいて
前記ねじを形成している壁には、周方向に長い長穴を設
け、前記押しリングの外周には周方向に間隔をおいて前
記長穴を通して挿入されるピンの嵌入可能な孔を設け、
前記ピンにより前記押しリングを回転させてその中心軸
方向に移動可能にしたことを特徴とする。
【０００９】
【００１０】
【００１１】
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して本発明の
好ましい実施の形態について説明する。図１は、本発明
によるレーザ発振装置のうち、全反射ミラーとして作用
する方の共振ミラーの周辺構造のみを示している。図１
において、発振を行うための容器１の側壁に、ゲート弁
１１を収容するためのゲート弁ハウジング１０がねじ止
め等により取り付けられている。ゲート弁ハウジング１
０における容器１との接触部にはシール用のＯ−リング
１２が設けられている。ゲート弁ハウジング１０の出口
側にはウインドウを装着したスライドプレート２１を収
容するためのウインドウハウジング２０がねじ止めによ
り取り付けられている。ウインドウハウジング２０の出
口側には共振ミラーを収容した共振ミラーハウジング３
０（便宜上、二点鎖線で外観のみを示している）が取り
付けられる。
好ましい実施の形態について説明する。図１は、本発明
によるレーザ発振装置のうち、全反射ミラーとして作用
する方の共振ミラーの周辺構造のみを示している。図１
において、発振を行うための容器１の側壁に、ゲート弁
１１を収容するためのゲート弁ハウジング１０がねじ止
め等により取り付けられている。ゲート弁ハウジング１
０における容器１との接触部にはシール用のＯ−リング
１２が設けられている。ゲート弁ハウジング１０の出口
側にはウインドウを装着したスライドプレート２１を収
容するためのウインドウハウジング２０がねじ止めによ
り取り付けられている。ウインドウハウジング２０の出
口側には共振ミラーを収容した共振ミラーハウジング３
０（便宜上、二点鎖線で外観のみを示している）が取り
付けられる。
【００１２】ゲート弁１１は、ゲート弁ハウジング１０
に対して着脱可能であり、ウインドウのクリーニングあ
るいは交換を行う際にゲート弁ハウジング１０に装着さ
れて容器１とウインドウハウジング２０との間の通路を
遮断する。
に対して着脱可能であり、ウインドウのクリーニングあ
るいは交換を行う際にゲート弁ハウジング１０に装着さ
れて容器１とウインドウハウジング２０との間の通路を
遮断する。
【００１３】ウインドウハウジング２０は、ゲート弁ハ
ウジング１０に固定される主ハウジング２２と、この主
ハウジング２２に固定されてこの主ハウジング２２との
間にスライドプレート２１を受け入れる空間を形成する
ためのガイドリング２３とを含む。主ハウジング２２に
は、ガス排気のためのガス口ポート２２−１が設けられ
ており、このガス口ポート２２−１は図示しない配管を
通してタンクあるいはガス処理装置に接続される。この
ガス口ポート２２−１には更に、切り換え弁を介して不
活性ガス、例えばネオン、窒素ガス等の導入配管が接続
される。
ウジング１０に固定される主ハウジング２２と、この主
ハウジング２２に固定されてこの主ハウジング２２との
間にスライドプレート２１を受け入れる空間を形成する
ためのガイドリング２３とを含む。主ハウジング２２に
は、ガス排気のためのガス口ポート２２−１が設けられ
ており、このガス口ポート２２−１は図示しない配管を
通してタンクあるいはガス処理装置に接続される。この
ガス口ポート２２−１には更に、切り換え弁を介して不
活性ガス、例えばネオン、窒素ガス等の導入配管が接続
される。
【００１４】図２にも示されているように、ガイドリン
グ２３における主ハウジング２２と反対側の内壁にはね
じ２３−１が形成されている。このねじ２３−１には押
しリング２４を螺合してこの押しリング２４をその中心
軸方向に移動可能にすることにより、ウインドウハウジ
ング２０に収容されているスライドプレート２１を主ハ
ウジング２２に押し付けるようにしている。なお、図１
では、ゲート弁１１、スライドプレート２１、押しリン
グ２４は、便宜上、断面ではなく側面を示している。
グ２３における主ハウジング２２と反対側の内壁にはね
じ２３−１が形成されている。このねじ２３−１には押
しリング２４を螺合してこの押しリング２４をその中心
軸方向に移動可能にすることにより、ウインドウハウジ
ング２０に収容されているスライドプレート２１を主ハ
ウジング２２に押し付けるようにしている。なお、図１
では、ゲート弁１１、スライドプレート２１、押しリン
グ２４は、便宜上、断面ではなく側面を示している。
【００１５】図３をも参照して、押しリング２４は、そ
の外周にねじ２３−１に螺合するねじ２４−１が形成さ
れている。ガイドリング２３においてねじ２３−１を形
成している壁には、周方向に長い長穴２３−２を設けて
いる。一方、押しリング２４の外周には周方向に間隔を
おいて長穴２３−２を通して挿入されるピンの嵌入可能
な孔２４−２を設けている。このことにより、前記ピン
を長穴２３−２を通して孔２４−２に差し込み、このピ
ンを回すことにより押しリング２４を回転させてその中
心軸方向に移動させることができる。また、押しリング
２４のスライドプレート２１と反対側になる面には、押
しリング２４をねじ２３−１に螺合する時の作業を容易
にするためのすり割り２４−３を設けている。
の外周にねじ２３−１に螺合するねじ２４−１が形成さ
れている。ガイドリング２３においてねじ２３−１を形
成している壁には、周方向に長い長穴２３−２を設けて
いる。一方、押しリング２４の外周には周方向に間隔を
おいて長穴２３−２を通して挿入されるピンの嵌入可能
な孔２４−２を設けている。このことにより、前記ピン
を長穴２３−２を通して孔２４−２に差し込み、このピ
ンを回すことにより押しリング２４を回転させてその中
心軸方向に移動させることができる。また、押しリング
２４のスライドプレート２１と反対側になる面には、押
しリング２４をねじ２３−１に螺合する時の作業を容易
にするためのすり割り２４−３を設けている。
【００１６】図４をも参照して、主ハウジング２２には
ガス口ポート２２−１を接続するためのねじ孔２２−２
を有し、このねじ孔２２−２はレーザ光の通路を形成し
ている空間に連通している。主ハウジング２２の両端面
にはそれぞれ、シール用のＯ−リングを嵌め込むための
溝２２−３、２２−４が設けられている。
ガス口ポート２２−１を接続するためのねじ孔２２−２
を有し、このねじ孔２２−２はレーザ光の通路を形成し
ている空間に連通している。主ハウジング２２の両端面
にはそれぞれ、シール用のＯ−リングを嵌め込むための
溝２２−３、２２−４が設けられている。
【００１７】図５、図６をも参照して、スライドプレー
ト２１は、ウインドウ２１−１を設けたプレート本体２
１−２と、押しリング２４側からウインドウ２１−１の
周囲に装着されるねじリング２１−３とから成る。な
お、ウインドウ２１−１は、複数のＯ−リングを介して
プレート本体２１−２に装着され、ねじリング２１−３
を取り外すことでプレート本体２１−２から取り外すこ
とが可能である。
ト２１は、ウインドウ２１−１を設けたプレート本体２
１−２と、押しリング２４側からウインドウ２１−１の
周囲に装着されるねじリング２１−３とから成る。な
お、ウインドウ２１−１は、複数のＯ−リングを介して
プレート本体２１−２に装着され、ねじリング２１−３
を取り外すことでプレート本体２１−２から取り外すこ
とが可能である。
【００１８】プレート本体２１−２の押しリング２４側
の内壁にはねじ２１−４が形成されており、ねじリング
２１−３の外周にはねじ２１−４に螺合するねじ２１−
５が形成されている。プレート本体２１−２の側端に
は、４つの半円形状の切り欠２１−６が設けられてい
る。これらの切り欠２１−６は、スライドプレート２１
の位置決め及び保持のためのものである。すなわち、図
２には示していないが、ガイドリング２３においてスラ
イドプレート２１の収容空間を形成している内壁には、
切り欠２１−６に嵌合可能な４本のピンが設けられてお
り、これらのピンはプレート本体２１−２の側端に直角
な方向に変位可能であってプレート本体２１−２に近付
く方向にばね等により付勢されている。このことによ
り、スライドプレート２１がウインドウハウジング２０
に挿入されると、ピンはプレート本体２１−２の側端に
接するが、切り欠２１−６がピンに対応する位置まで挿
入されると、ピンは切り欠２１−６に嵌まる。その結
果、スライドプレート２１の位置決めと保持とが行われ
る。
の内壁にはねじ２１−４が形成されており、ねじリング
２１−３の外周にはねじ２１−４に螺合するねじ２１−
５が形成されている。プレート本体２１−２の側端に
は、４つの半円形状の切り欠２１−６が設けられてい
る。これらの切り欠２１−６は、スライドプレート２１
の位置決め及び保持のためのものである。すなわち、図
２には示していないが、ガイドリング２３においてスラ
イドプレート２１の収容空間を形成している内壁には、
切り欠２１−６に嵌合可能な４本のピンが設けられてお
り、これらのピンはプレート本体２１−２の側端に直角
な方向に変位可能であってプレート本体２１−２に近付
く方向にばね等により付勢されている。このことによ
り、スライドプレート２１がウインドウハウジング２０
に挿入されると、ピンはプレート本体２１−２の側端に
接するが、切り欠２１−６がピンに対応する位置まで挿
入されると、ピンは切り欠２１−６に嵌まる。その結
果、スライドプレート２１の位置決めと保持とが行われ
る。
【００１９】なお、ピンによってスライドプレート２１
の挿入が妨げられないようにするために、プレート本体
２１−２の先端のコーナ部には面取りを施している。プ
レート本体２１−２の後端には、図１に示されるよう
に、つまみ２５が設けられている。また、ねじリング２
１−３におけるウインドウ２１−１との接触部にはシー
ル用のＯ−リングを装着するための溝２１−７が設けら
れ、反対側の面にはねじリング２１−３をジグにより回
転可能とするためのすり割り２１−８が設けられてい
る。
の挿入が妨げられないようにするために、プレート本体
２１−２の先端のコーナ部には面取りを施している。プ
レート本体２１−２の後端には、図１に示されるよう
に、つまみ２５が設けられている。また、ねじリング２
１−３におけるウインドウ２１−１との接触部にはシー
ル用のＯ−リングを装着するための溝２１−７が設けら
れ、反対側の面にはねじリング２１−３をジグにより回
転可能とするためのすり割り２１−８が設けられてい
る。
【００２０】以上のような構造により、スライドプレー
ト２１はウインドウハウジング２０にスライド式に着脱
可能にされており、以下にその着脱時の操作について説
明する。
ト２１はウインドウハウジング２０にスライド式に着脱
可能にされており、以下にその着脱時の操作について説
明する。
【００２１】ウインドウ２１−１をクリーニングある
いは交換する場合には、まずゲート弁ハウジング１０に
ゲート弁１１を装着し、ロック状態にする。
いは交換する場合には、まずゲート弁ハウジング１０に
ゲート弁１１を装着し、ロック状態にする。
【００２２】ガス口ポート２２−１からウインドウハ
ウジング２０内に残存しているガスを外部に排気する。
ウジング２０内に残存しているガスを外部に排気する。
【００２３】ガス口ポート２２−１を通して、今度は
不活性ガスをウインドウハウジング２０内に大気圧まで
導入する。これは、においてガスを排気した減圧状態
ではスライドプレート２１を抜きにくいからである。
不活性ガスをウインドウハウジング２０内に大気圧まで
導入する。これは、においてガスを排気した減圧状態
ではスライドプレート２１を抜きにくいからである。
【００２４】長穴２３−２を通して押しリング２４の
孔２４−２のピンを差し込み、押しリング２４を回転さ
せることにより、スライドプレート２１への押し付け状
態を解除してスライドプレート２１を抜き取る。
孔２４−２のピンを差し込み、押しリング２４を回転さ
せることにより、スライドプレート２１への押し付け状
態を解除してスライドプレート２１を抜き取る。
【００２５】スライドプレート２１からウインドウ２
１−１を外してクリーニングあるいは新しいウインドウ
と交換する。
１−１を外してクリーニングあるいは新しいウインドウ
と交換する。
【００２６】スライドプレート２１をウインドウハウ
ジング２０に装着し、前述と同様の方法で押しリング２
４を回転させることにより、スライドプレート２１へ押
しリング２４を押し付けてスライドプレート２１を固定
する。
ジング２０に装着し、前述と同様の方法で押しリング２
４を回転させることにより、スライドプレート２１へ押
しリング２４を押し付けてスライドプレート２１を固定
する。
【００２７】ガス口ポート２２−１を通してウインド
ウハウジング２０内の空気を排気し、容器１内の圧力と
同じ圧力のネオンガスを導入する。
ウハウジング２０内の空気を排気し、容器１内の圧力と
同じ圧力のネオンガスを導入する。
【００２８】ゲート弁１１を開放する。
【００２９】以上のように、スライドプレート２１はウ
インドウハウジング２０にスライド式に着脱可能にな
る、なお、上記の形態では、エキシマレーザ発振装置に
適用する場合について説明しているが、本発明はエキシ
マレーザ発振装置に限らず、他のレーザ発振装置にも適
用可能であることは言うまでも無い。
インドウハウジング２０にスライド式に着脱可能にな
る、なお、上記の形態では、エキシマレーザ発振装置に
適用する場合について説明しているが、本発明はエキシ
マレーザ発振装置に限らず、他のレーザ発振装置にも適
用可能であることは言うまでも無い。
【００３０】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明の構造
によれば、ウインドウのクリーニングあるいは交換を、
共振ミラーハウジングを取り外すことなく行うことがで
きるので、ウインドウのクリーニングあるいは交換毎に
共振ミラーの調整を行う必要が無い。また、ウインドウ
のクリーニングあるいは交換に際して、有毒のガス成分
がリークすることが無く、オペレータに対する安全性を
確保することができる。
によれば、ウインドウのクリーニングあるいは交換を、
共振ミラーハウジングを取り外すことなく行うことがで
きるので、ウインドウのクリーニングあるいは交換毎に
共振ミラーの調整を行う必要が無い。また、ウインドウ
のクリーニングあるいは交換に際して、有毒のガス成分
がリークすることが無く、オペレータに対する安全性を
確保することができる。
【図１】本発明によるレーザ発振装置のうち、共振ミラ
ーの周辺の構造を説明するための図である。
ーの周辺の構造を説明するための図である。
【図２】図１におけるガイドリングを説明するための図
である。
である。
【図３】図１における押しリングを説明するための図で
ある。
ある。
【図４】図１におけるウインドウハウジングのうちの主
ハウジングを説明するための図である。
ハウジングを説明するための図である。
【図５】図１におけるスライドプレートを説明するため
の図である。
の図である。
【図６】図１におけるウインドウハウジングの一部を構
成しているねじリングを説明するための図である。
成しているねじリングを説明するための図である。
【図７】本発明が適用されるエキシマレーザ発振装置の
概略構成を示した図である。
概略構成を示した図である。
【図８】従来のレーザ発振装置における共振ミラーの周
辺構造を説明するための図である。
辺構造を説明するための図である。
１、１００、１１０ 容器 １０、１１２ ゲート弁ハウジング １１、１１１ ゲート弁 ２０、１１４ ウインドウハウジング ２１ スライドプレート ２１−１、１０３ ウインドウ ２２ 主ハウジング ２３ ガイドリング ２１−３ ねじリング ２４ 押しリング ３０、１１５ 共振ミラーハウジング １０１、１０２ 共振ミラー
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01S 3/03 - 3/041 H01S 3/097 - 3/0979 H01S 3/104,3/134 H01S 3/22 - 3/227
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ媒質及びこのレーザ媒質を励起す
るための励起手段とを収容した容器と、前記容器内で発
生した光を共振させるために該容器の両側に配設され、
一方が全反射ミラーである一対の共振ミラーとを含み、
該一対の共振ミラーのうち前記全反射ミラーは共振ミラ
ーハウジングに収容され、該共振ミラーハウジングはウ
インドウハウジングに収容された光透過材料によるウイ
ンドウを介して前記容器内の雰囲気と隔離するようにさ
れているレーザ発振装置において、 前記容器と前記ウインドウハウジングとの間にゲート弁
を収容するためのゲート弁ハウジングを設けて、前記ウ
インドウハウジング内の空間を前記容器から遮断可能に
し、 前記ウインドウハウジングには、ガス導入及び排気のた
めのガス口を設け、 前記ウインドウは、前記ウインドウハウジングに対して
スライド式に着脱可能なスライドプレートに組み込み、 前記ウインドウハウジングは、前記ゲート弁ハウジング
に固定されて前記ガス口が設けられた主ハウジングと、
該主ハウジングに固定されて該主ハウジングとの間に前
記スライドプレートを受け入れる空間を形成するための
ガイドリングとを含み、 該ガイドリングにおける前記主ハウジングと反対側の内
壁にはねじを形成すると共に、このねじには押しリング
を螺合して該押しリングをその中心軸方向に移動可能に
することにより、前記スライドプレートを前記主ハウジ
ングに押し付けるようにし、 前記ガイドリングにおいて前記ねじを形成している壁に
は、周方向に長い長穴を設け、前記押しリングの外周に
は周方向に間隔をおいて前記長穴を通して挿入されるピ
ンの嵌入可能な孔を設け、前記ピンにより前記押しリン
グを回転させてその中心軸方向に移動可能にした ことを
特徴とするレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8688297A JP3245814B2 (ja) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | レーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8688297A JP3245814B2 (ja) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | レーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10284774A JPH10284774A (ja) | 1998-10-23 |
| JP3245814B2 true JP3245814B2 (ja) | 2002-01-15 |
Family
ID=13899213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8688297A Expired - Fee Related JP3245814B2 (ja) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | レーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3245814B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002118308A (ja) * | 2000-10-06 | 2002-04-19 | Komatsu Ltd | レーザ装置用筐体、その生産方法、及びその洗浄方法 |
-
1997
- 1997-04-04 JP JP8688297A patent/JP3245814B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10284774A (ja) | 1998-10-23 |
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Legal Events
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