JPH01218081A - レーザ発振装置 - Google Patents
レーザ発振装置Info
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- JPH01218081A JPH01218081A JP4396688A JP4396688A JPH01218081A JP H01218081 A JPH01218081 A JP H01218081A JP 4396688 A JP4396688 A JP 4396688A JP 4396688 A JP4396688 A JP 4396688A JP H01218081 A JPH01218081 A JP H01218081A
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- laser oscillation
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は金属加工等に使用されるレーザ発振装置に関し
、特に出力鏡の汚染を防止したレーザ発振装置に関する
。
、特に出力鏡の汚染を防止したレーザ発振装置に関する
。
ＣＯ，ガスレーザ等のガスレーザ加工機は高出力が得ら
れ、ビーム特性もよいので金属の加工等に広く使用され
るようになった。
れ、ビーム特性もよいので金属の加工等に広く使用され
るようになった。
このようなガスレーザ加工機に使用されるレーザ発振装
置の一例を第２図に示す。図において、１は発振器カバ
ー、１ａはビーム通過孔、２ａ及び２ｂは放電管、３は
出力鏡、４はリア鏡、５ａ及び５ｂは折り返し鏡、Ｌは
レーザ光である。第２図ではレーザガスを励起させる高
周波電源、レーザガスを循環させる送風機等は省略しで
ある。
置の一例を第２図に示す。図において、１は発振器カバ
ー、１ａはビーム通過孔、２ａ及び２ｂは放電管、３は
出力鏡、４はリア鏡、５ａ及び５ｂは折り返し鏡、Ｌは
レーザ光である。第２図ではレーザガスを励起させる高
周波電源、レーザガスを循環させる送風機等は省略しで
ある。
第３図に出力鏡３の近傍の詳細を示す。図において、２
ａは放電管、３は出力鏡、６は出力鏡を保持するための
出力鏡ホルダー、７は固定用Ｑ ＩＪング、８は出力鏡
を固定する固定フランジであり、レーザ光りが出力され
る。
ａは放電管、３は出力鏡、６は出力鏡を保持するための
出力鏡ホルダー、７は固定用Ｑ ＩＪング、８は出力鏡
を固定する固定フランジであり、レーザ光りが出力され
る。
第３図に示すような構成では、出力鏡３は常に外気に解
放された環境下にあり、外気の埃やゴミ等がビーム通過
孔１ａから流入し、汚染される。
放された環境下にあり、外気の埃やゴミ等がビーム通過
孔１ａから流入し、汚染される。
他の光学部品、リア鏡４、折り返し鏡５ａ、５ｂ等はレ
ーザ光を反射する目的で構成されているので、外気によ
る汚染のおそれはない。
ーザ光を反射する目的で構成されているので、外気によ
る汚染のおそれはない。
汚染された出力鏡３はクリーニングすることで殆ど使用
前の初期性能を回復できるので、定期的にあるいはビー
ムモードが劣化した場合に放電管２ａから取り外しクリ
ーニングを行う。
前の初期性能を回復できるので、定期的にあるいはビー
ムモードが劣化した場合に放電管２ａから取り外しクリ
ーニングを行う。
〔発明が解決しようとする課題］
しかし、出力鏡３を交換するとき発振器内部に周辺の外
気が流入してしまい、内部を汚染することとなる。また
、出力鏡３を取りつけるときに、煩雑なアライメントを
その都度行わなければならない。
気が流入してしまい、内部を汚染することとなる。また
、出力鏡３を取りつけるときに、煩雑なアライメントを
その都度行わなければならない。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、出
力鏡の汚染を防止したレーザ発振装置を提供することを
目的とする。
力鏡の汚染を防止したレーザ発振装置を提供することを
目的とする。
本発明では上記課題を解決するために、放電管内にレー
ザガスを循環させて、レーザ発振を行うレーザ発振装置
において、 レーザ発振波長に対して透明で、かつクリーニングに対
して十分強度を有する材質で作られた窓材と、 該窓材を保持し、出力鏡を外気から密封するビームカバ
ーと、 を有することを特徴とするレーザ発振装置が、提供され
る。
ザガスを循環させて、レーザ発振を行うレーザ発振装置
において、 レーザ発振波長に対して透明で、かつクリーニングに対
して十分強度を有する材質で作られた窓材と、 該窓材を保持し、出力鏡を外気から密封するビームカバ
ーと、 を有することを特徴とするレーザ発振装置が、提供され
る。
出力鏡は窓材とビームカバーにより、外気より遮蔽され
、汚染から保護される。窓材はレーザ光に対して透明で
あり、取り外してクリーニングしても取り付は時のアラ
イメントが不要である。また、十分強度を有するので、
そのままでもクリーニングできる。
、汚染から保護される。窓材はレーザ光に対して透明で
あり、取り外してクリーニングしても取り付は時のアラ
イメントが不要である。また、十分強度を有するので、
そのままでもクリーニングできる。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に本発明のレーザ発振装置の出力鏡近傍の断面図
を示す。図において、２ａは放電管であり、石英等でつ
くられており、内部にレーザガスが循環され、図示され
ていない高周波電源からの高周波電圧によってレーザガ
スが励起され、出力鏡３とリア鏡４の間を往復して、増
幅され、レーザ光りが外部に出力され、金属の切断等に
使用される。
を示す。図において、２ａは放電管であり、石英等でつ
くられており、内部にレーザガスが循環され、図示され
ていない高周波電源からの高周波電圧によってレーザガ
スが励起され、出力鏡３とリア鏡４の間を往復して、増
幅され、レーザ光りが外部に出力され、金属の切断等に
使用される。
３は出力鏡であり、ジンクセレン（ＺｎＳｅ）に誘電体
多層膜がコーティングされており、レーザ光りの一部を
反射し、残部を出力する。６は出力鏡ホルダーであり、
放電管２ａに取り付けられ、出力鏡３を保持する。７は
０リングであり、放電管２ａの内部と外部とを遮蔽する
ために使用されている。８は固定フランジであり、出力
鏡３を出力鏡ホルダー６に押しつけて保持している。
多層膜がコーティングされており、レーザ光りの一部を
反射し、残部を出力する。６は出力鏡ホルダーであり、
放電管２ａに取り付けられ、出力鏡３を保持する。７は
０リングであり、放電管２ａの内部と外部とを遮蔽する
ために使用されている。８は固定フランジであり、出力
鏡３を出力鏡ホルダー６に押しつけて保持している。
１０は窓部を構成する窓材であり、例えばＣＯ□レーザ
であれば、発振波長が１０．６μｍであり、ジンクセレ
ン（ＺｎＳｅ）に反射防止膜である誘電体多層膜がコー
ティングされた平行平板であり、レーザ光に対しては透
明体となっている。また、ジンクセレン（ＺｎＳｅ）に
替えて、ゲルマニューム（Ｇ ｅ ）に反射防止膜であ
る誘電体多層膜がコーティングした平行平板でもよい。
であれば、発振波長が１０．６μｍであり、ジンクセレ
ン（ＺｎＳｅ）に反射防止膜である誘電体多層膜がコー
ティングされた平行平板であり、レーザ光に対しては透
明体となっている。また、ジンクセレン（ＺｎＳｅ）に
替えて、ゲルマニューム（Ｇ ｅ ）に反射防止膜であ
る誘電体多層膜がコーティングした平行平板でもよい。
さらに、窓材１０は取り外すことなくクリーニングでき
るように、強度的に一定以上の厚さとする。
るように、強度的に一定以上の厚さとする。
１１はビームカバーであり、機密を保つために、０リン
グ１４が出力鏡ホルダー６との間に挿入されている。ま
た、窓材１０は窓材固定フランジ１３によって、ビーム
カバー１１に固定され、ビームカバー１１と窓材１０の
間には０リング１２が挿入されている。
グ１４が出力鏡ホルダー６との間に挿入されている。ま
た、窓材１０は窓材固定フランジ１３によって、ビーム
カバー１１に固定され、ビームカバー１１と窓材１０の
間には０リング１２が挿入されている。
従って、出力鏡３はビームカバー１１と窓材１０によっ
て外気より、完全に遮断され、外気と接触するのは窓材
１０の外気側のみであり、直接窓材ｌＯをクリーニング
することができる。
て外気より、完全に遮断され、外気と接触するのは窓材
１０の外気側のみであり、直接窓材ｌＯをクリーニング
することができる。
また、窓材１０が汚染されてクリーニングや交換が必要
になった場合は窓材固定フランジ１３を取り外し、クリ
ーニングしてもよい。このとき、外気が放電管２ａの内
部に入って他の光学部品を汚染することもない。さらに
、窓材はレーザ光に対して透明であるので、取り付ける
ときにアライメントが不要であり、保守が簡単になる。
になった場合は窓材固定フランジ１３を取り外し、クリ
ーニングしてもよい。このとき、外気が放電管２ａの内
部に入って他の光学部品を汚染することもない。さらに
、窓材はレーザ光に対して透明であるので、取り付ける
ときにアライメントが不要であり、保守が簡単になる。
上記の説明ではレーザ光に対して透明な窓材は反射防止
膜がコーティングされた平行平板として説明したが、直
線偏光の場合はブリュースタ入射角に設定した平行平板
の透明材料であってもよい。
膜がコーティングされた平行平板として説明したが、直
線偏光の場合はブリュースタ入射角に設定した平行平板
の透明材料であってもよい。
以上説明したように本発明では、出力鏡をレーザ光に対
して透明な窓材とビームカバーで外気から遮断するよう
に構成したので、出力鏡が汚染されず、ビームモードの
劣化が少ない。
して透明な窓材とビームカバーで外気から遮断するよう
に構成したので、出力鏡が汚染されず、ビームモードの
劣化が少ない。
また、窓材が汚染しても窓材のみをクリーニングすれば
よい。
よい。
さらに、窓材はクリーニングのために取り外しても、取
り付は時に出力鏡のようなアライメントが必要なく、保
守が容易となる。
り付は時に出力鏡のようなアライメントが必要なく、保
守が容易となる。
第１図は本発明のレーザ発振装置の出力鏡近傍の断面図
、 第２図は従来のレーザ発振装置の構成図、第３図は従来
のレーザ発振装置の出力鏡近傍の構成図である。 １−−一−−・−−−−−−・−・発振器カバー１ａ−
・−−−−−−−−−−−−ビーム通過孔２ ａ 、
２ ｂ−−−−−−−−一・・−・・−放電管３−−−
−−−−−−−−−−・−・出力鏡４−−−−−−−−
−−−−−−−リア鏡５−・−−−−−−−−−−−−
一折り返し鏡６−・−・−・−・・−出力鏡ホルダー７
．１２．１４・−・・・・−・−固定用Ｏリング８−・
−・−・・−−−一−−−−固定フランジ１０−−−−
・・−・−−−−−・窓材１１−・−・−・−一一一一
一・−ビームカバー１３・・・−−−−−一−−−−−
−窓材固定フランジ特許出願人 ファナック株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖 第１図
、 第２図は従来のレーザ発振装置の構成図、第３図は従来
のレーザ発振装置の出力鏡近傍の構成図である。 １−−一−−・−−−−−−・−・発振器カバー１ａ−
・−−−−−−−−−−−−ビーム通過孔２ ａ 、
２ ｂ−−−−−−−−一・・−・・−放電管３−−−
−−−−−−−−−−・−・出力鏡４−−−−−−−−
−−−−−−−リア鏡５−・−−−−−−−−−−−−
一折り返し鏡６−・−・−・−・・−出力鏡ホルダー７
．１２．１４・−・・・・−・−固定用Ｏリング８−・
−・−・・−−−一−−−−固定フランジ１０−−−−
・・−・−−−−−・窓材１１−・−・−・−一一一一
一・−ビームカバー１３・・・−−−−−一−−−−−
−窓材固定フランジ特許出願人 ファナック株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）放電管内にレーザガスを循環させて、レーザ発振
を行うレーザ発振装置において、 レーザ発振波長に対して透明で、かつクリーニングに対
して十分強度を有する材質で作られた窓材と、 該窓材を保持し、出力鏡を外気から密封するビームカバ
ーと、 を有することを特徴とするレーザ発振装置。（２）前記
窓部の材質がジンクセレン（ＺｎＳｅ）に誘電体多層膜
をコーティングした平行平板であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のレーザ発振装置。 （３）前記窓部の材質がゲルマニューム（Ｇｅ）に誘電
体多層膜をコーティングした平行平板であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ発振装置。 （４）前記窓部がブリュースタ入射角の平行平板透明体
から構成されていることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載のレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4396688A JPH01218081A (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | レーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4396688A JPH01218081A (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | レーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01218081A true JPH01218081A (ja) | 1989-08-31 |
Family
ID=12678449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4396688A Pending JPH01218081A (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | レーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01218081A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5856993A (en) * | 1994-08-24 | 1999-01-05 | Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. | Gas laser oscillator |
| JP2011159901A (ja) * | 2010-02-03 | 2011-08-18 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ装置 |
| WO2014145525A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Synrad, Inc. | Laser optic protection |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5615090A (en) * | 1979-07-17 | 1981-02-13 | Agency Of Ind Science & Technol | Gas laser oscillator |
| JPS5624168B2 (ja) * | 1977-01-27 | 1981-06-04 | ||
| JPS57106507A (en) * | 1980-12-22 | 1982-07-02 | Agency Of Ind Science & Technol | Manufacture of polycrystalline zinc selenide body |
| JPS5889886A (ja) * | 1981-11-24 | 1983-05-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振器 |
| JPS60176283A (ja) * | 1984-02-22 | 1985-09-10 | Mitsubishi Electric Corp | 単一偏光レ−ザ発振器 |
| JPS6119183A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-28 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | ガスレーザー管とその製造方法 |
| JPS62142381A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-06-25 | Mitsubishi Electric Corp | 横方向励起大気圧炭酸ガスレ−ザ |
-
1988
- 1988-02-26 JP JP4396688A patent/JPH01218081A/ja active Pending
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| CN105229874A (zh) * | 2013-03-15 | 2016-01-06 | 新路德公司 | 激光器光学件保护 |
| JP2016520994A (ja) * | 2013-03-15 | 2016-07-14 | シンラッド，インコーポレイテッド | レーザの光学部品の保護 |
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