JP2579539Y2 - エキシマレーザ用ウインドウ - Google Patents
エキシマレーザ用ウインドウInfo
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- JP2579539Y2 JP2579539Y2 JP6880292U JP6880292U JP2579539Y2 JP 2579539 Y2 JP2579539 Y2 JP 2579539Y2 JP 6880292 U JP6880292 U JP 6880292U JP 6880292 U JP6880292 U JP 6880292U JP 2579539 Y2 JP2579539 Y2 JP 2579539Y2
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- Japan
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- laser
- window
- ring
- excimer laser
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、エキシマレーザ装置の
レーザチャンバに装着された、レーザ光透過ウインドウ
に関する。
レーザチャンバに装着された、レーザ光透過ウインドウ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１はエキシマレーザ装置のブロック構
成図であり、レーザ媒質ガスを密封するレーザチャンバ
１の両端にはレーザ光を取り出すためのウインドウ２a
および２b が装着されている。レーザチャンバ１の内部
には励起電極３a および３b が配設されており、レーザ
光は点線のように進む。
成図であり、レーザ媒質ガスを密封するレーザチャンバ
１の両端にはレーザ光を取り出すためのウインドウ２a
および２b が装着されている。レーザチャンバ１の内部
には励起電極３a および３b が配設されており、レーザ
光は点線のように進む。
【０００３】エキシマレーザ用のウインドウは紫外光を
透過する材料である必要があり、一般にはフッ化カルシ
ウムやフッ化マグネシウムが使用される。これらは非常
に脆い結晶材料なので、レーザ媒質ガスをレーザチャン
バ内に密封するためのシールとしてはメタルシールの使
用は困難で、通常はゴム製のＯリングが使用される。
透過する材料である必要があり、一般にはフッ化カルシ
ウムやフッ化マグネシウムが使用される。これらは非常
に脆い結晶材料なので、レーザ媒質ガスをレーザチャン
バ内に密封するためのシールとしてはメタルシールの使
用は困難で、通常はゴム製のＯリングが使用される。
【０００４】図２はウインドウ部の詳細図であり、１は
レーザチャンバ、２はウインドウ、４および５はウイン
ドウホルダ、６はＯリングである。
レーザチャンバ、２はウインドウ、４および５はウイン
ドウホルダ、６はＯリングである。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】Ｏリングが封止してい
るレーザ媒質ガスは、非常に反応性に富んだハロゲンガ
ス（塩化水素やフッ素）を含むため、わずかではあるが
Ｏリングのゴム材料と反応して不純物を発生し、レーザ
の出力を低下させる。
るレーザ媒質ガスは、非常に反応性に富んだハロゲンガ
ス（塩化水素やフッ素）を含むため、わずかではあるが
Ｏリングのゴム材料と反応して不純物を発生し、レーザ
の出力を低下させる。
【０００６】ウインドウは機械的強度が弱いため、あま
り大きなものは使用しにくく、通常、レーザビームぎり
ぎりの大きさのものが使用される。そのため、ウインド
ウの外周に密接したＯリングに、図６の点線矢印に示す
ようにウインドウの表面および裏面より多重反射した紫
外光が、余り減衰せずに照射され、前記の反応が促進さ
れて不純物がより多く発生する。
り大きなものは使用しにくく、通常、レーザビームぎり
ぎりの大きさのものが使用される。そのため、ウインド
ウの外周に密接したＯリングに、図６の点線矢印に示す
ようにウインドウの表面および裏面より多重反射した紫
外光が、余り減衰せずに照射され、前記の反応が促進さ
れて不純物がより多く発生する。
【０００７】更に、Ｏリング自体も紫外光によって劣化
し、ガス漏れを発生し、不純物の増加と合わせてレーザ
媒質ガスの寿命を低下させている。
し、ガス漏れを発生し、不純物の増加と合わせてレーザ
媒質ガスの寿命を低下させている。
【０００８】本考案は上記の問題点に着目してなされた
もので、不純物の発生を少なくしてレーザ出力の低下を
防止し、Ｏリング自体の劣化を少なくして、レーザ媒質
ガスの寿命を伸長させるエキシマレーザ用ウインドウを
提供することを目的としている。
もので、不純物の発生を少なくしてレーザ出力の低下を
防止し、Ｏリング自体の劣化を少なくして、レーザ媒質
ガスの寿命を伸長させるエキシマレーザ用ウインドウを
提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的達成のため、
本考案に係るエキシマレーザ用ウインドウの第１の考案
においては、レーザ発振器のレーザチャンバに、レーザ
光取り出し用のウインドウをＯリングを介して装着して
なるエキシマレーザ装置において、前記ウインドウが、
前記Ｏリングとの密接面に、蒸着した紫外光を透過しな
い膜を具備せることを特徴としており、第２の考案にお
いては、前記ウインドウに蒸着した前記紫外光を透過し
ない膜の上に、被着した酸化保護膜を具備せることを特
徴としている。
本考案に係るエキシマレーザ用ウインドウの第１の考案
においては、レーザ発振器のレーザチャンバに、レーザ
光取り出し用のウインドウをＯリングを介して装着して
なるエキシマレーザ装置において、前記ウインドウが、
前記Ｏリングとの密接面に、蒸着した紫外光を透過しな
い膜を具備せることを特徴としており、第２の考案にお
いては、前記ウインドウに蒸着した前記紫外光を透過し
ない膜の上に、被着した酸化保護膜を具備せることを特
徴としている。
【００１０】
【作用】上記構成によれば、レーザ光取り出し用のウイ
ンドウのＯリングとの密接面に紫外光を透過しない膜を
蒸着し、その膜の上に酸化保護膜を被着したため、紫外
光が直接Ｏリングに照射されるのを防止するとともに、
紫外光の透過を防止する膜が酸化することを防止する。
ンドウのＯリングとの密接面に紫外光を透過しない膜を
蒸着し、その膜の上に酸化保護膜を被着したため、紫外
光が直接Ｏリングに照射されるのを防止するとともに、
紫外光の透過を防止する膜が酸化することを防止する。
【００１１】
【実施例】以下に本考案に係るエキシマレーザ用ウイン
ドウの実施例について、図面を参照して説明する。図３
はウインドウ部の詳細断面図であり、２はウインドウ、
４および５はウインドウホルダ、６はゴム製のＯリング
である。用いるレーザはエキシマレーザの一種であるＫ
ｒＦレーザである。
ドウの実施例について、図面を参照して説明する。図３
はウインドウ部の詳細断面図であり、２はウインドウ、
４および５はウインドウホルダ、６はゴム製のＯリング
である。用いるレーザはエキシマレーザの一種であるＫ
ｒＦレーザである。
【００１２】ウインドウ２のＯリング６との密接面には
紫外光の透過を防止するアルミニウム膜１０を蒸着す
る。アルミニウムは空気中で酸化するので、その上に酸
化防止用のフッ化マグネシウム膜１１を蒸着する。
紫外光の透過を防止するアルミニウム膜１０を蒸着す
る。アルミニウムは空気中で酸化するので、その上に酸
化防止用のフッ化マグネシウム膜１１を蒸着する。
【００１３】これにより、図６に示す多重反射による紫
外光のゴム製Ｏリングに対する照射が防止されるので、
不純物の発生が促進されることなく、レーザ出力の低下
が防止でき、Ｏリング自体の劣化も防止できる。
外光のゴム製Ｏリングに対する照射が防止されるので、
不純物の発生が促進されることなく、レーザ出力の低下
が防止でき、Ｏリング自体の劣化も防止できる。
【００１４】図４は不純物の一例であるＣＦ4 の発生状
況を示すグラフであり、横軸はレーザ発振時間、縦軸は
ＣＦ4 濃度である。実線は本考案の場合、一点鎖線は従
来の場合を示し、図のごとく本考案のものは従来のもの
よりＣＦ4 の濃度は低い。
況を示すグラフであり、横軸はレーザ発振時間、縦軸は
ＣＦ4 濃度である。実線は本考案の場合、一点鎖線は従
来の場合を示し、図のごとく本考案のものは従来のもの
よりＣＦ4 の濃度は低い。
【００１５】図５はレーザの平均出力の変化を示すグラ
フであり、横軸はレーザ発振時間、縦軸はレーザの平均
出力である。実線は本考案の場合、一点鎖線は従来の場
合を示し、図のごとく本考案のものは従来のものより出
力低下が少ない。
フであり、横軸はレーザ発振時間、縦軸はレーザの平均
出力である。実線は本考案の場合、一点鎖線は従来の場
合を示し、図のごとく本考案のものは従来のものより出
力低下が少ない。
【００１６】
【考案の効果】以上説明したごとく、本考案は、エキシ
マレーザ装置のレーザチャンバに装着された、レーザ光
取り出し用のウインドウのＯリングとの密接面に、紫外
光を透過しない膜を蒸着し、その上に酸化防止膜を蒸着
した。
マレーザ装置のレーザチャンバに装着された、レーザ光
取り出し用のウインドウのＯリングとの密接面に、紫外
光を透過しない膜を蒸着し、その上に酸化防止膜を蒸着
した。
【００１７】そのため、ゴム製のＯリングに紫外光が直
接照射されることはなく、従って、不純物の発生はＯリ
ングとハロゲンガスとのスタティックな反応分だけとな
り、紫外線により促進されることはない。
接照射されることはなく、従って、不純物の発生はＯリ
ングとハロゲンガスとのスタティックな反応分だけとな
り、紫外線により促進されることはない。
【００１８】また、Ｏリングの劣化によるガスの漏れも
防止でき、紫外光を透過しない膜自体も酸化することが
ないため、レーザ媒質ガスの寿命を伸長できるエキシマ
レーザ用ウインドウが得られる。
防止でき、紫外光を透過しない膜自体も酸化することが
ないため、レーザ媒質ガスの寿命を伸長できるエキシマ
レーザ用ウインドウが得られる。
【図１】エキシマレーザのレーザチャンバのブロック構
成図である。
成図である。
【図２】レーザチャンバのウインドウ装着部の詳細断面
図である。
図である。
【図３】本考案のウインドウ部の詳細断面図である。
【図４】レーザ発振時間に対する不純物ＣＦ4 の濃度変
化状況を示すグラフである。
化状況を示すグラフである。
【図５】レーザ発振時間に対するレーザの平均出力低下
状況を示すグラフである。
状況を示すグラフである。
【図６】ウインドウ内の紫外光の光路の一例を示す図で
ある。
ある。
１ レーザチャンバ ６ Ｏリ
ング ２ ウインドウ １０ アル
ミニウム膜 ４、５ ウインドウホルダ １１ フッ
化マグネシウム膜
ング ２ ウインドウ １０ アル
ミニウム膜 ４、５ ウインドウホルダ １１ フッ
化マグネシウム膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−5952（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−12183（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−122289（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−65163（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭64−22062（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01S 3/034
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ発振器のレーザチャンバに、レー
ザ光取り出し用のウインドウをＯリングを介して装着し
てなるエキシマレーザ装置において、前記ウインドウ
が、前記Ｏリングとの密接面に、蒸着した紫外光を透過
しない膜を具備せることを特徴とするエキシマレーザ用
ウインドウ。 - 【請求項２】 前記ウインドウに蒸着した前記紫外光を
透過しない膜の上に、被着した酸化保護膜を具備せるこ
とを特徴とする請求項１のエキシマレーザ用ウインド
ウ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6880292U JP2579539Y2 (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | エキシマレーザ用ウインドウ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6880292U JP2579539Y2 (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | エキシマレーザ用ウインドウ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0629160U JPH0629160U (ja) | 1994-04-15 |
| JP2579539Y2 true JP2579539Y2 (ja) | 1998-08-27 |
Family
ID=13384220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6880292U Expired - Lifetime JP2579539Y2 (ja) | 1992-09-08 | 1992-09-08 | エキシマレーザ用ウインドウ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2579539Y2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4803680B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2011-10-26 | ギガフォトン株式会社 | ガスレーザ装置 |
| US10040700B2 (en) | 2015-03-11 | 2018-08-07 | Photoscience Japan Corporation | Ultraviolet treatment apparatus and light-shielding component therefor |
| WO2017199395A1 (ja) * | 2016-05-19 | 2017-11-23 | ギガフォトン株式会社 | 波長検出装置 |
| CN111801854B (zh) | 2018-04-23 | 2022-10-21 | 极光先进雷射株式会社 | 激光腔、密封部件的制造方法和电子器件的制造方法 |
| WO2022009289A1 (ja) * | 2020-07-06 | 2022-01-13 | ギガフォトン株式会社 | ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 |
| KR102675082B1 (ko) * | 2021-09-30 | 2024-06-13 | 한국원자력연구원 | 핵연료 피복관 다차원 거동 실험 장치 |
-
1992
- 1992-09-08 JP JP6880292U patent/JP2579539Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0629160U (ja) | 1994-04-15 |
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