JPH0475393A - レーザー装置 - Google Patents

レーザー装置

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JPH0475393A
JPH0475393A JP18968590A JP18968590A JPH0475393A JP H0475393 A JPH0475393 A JP H0475393A JP 18968590 A JP18968590 A JP 18968590A JP 18968590 A JP18968590 A JP 18968590A JP H0475393 A JPH0475393 A JP H0475393A
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JP
Japan
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glass tube
quartz glass
light
laser
doped quartz
Prior art date
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Pending
Application number
JP18968590A
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English (en)
Inventor
Satoru Miyashita
悟 宮下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野ゴ 本発明は、エネルギー効率の高いレーザー装置に関する
[従来の技術] Nd: YAGレーザーの場合、キセノンフラッシュラ
ンプを励起光源とし、集光反射鏡でレーザー媒質である
YAGロッドに光を照射し、ミラー系からなる共振器で
レーザー発振をさせている。
キセノンランプが高熱を発するため、ランプとYAGロ
ッドを石英管で囲み、冷却水を循環させている。
[発明が解決しようとする課題] しかし、Nd: YAGは720〜830nmの励起光
に対してのみレーザー遷移を行うが、キセノンランプの
発光スペクトルは、全波長域でほぼフラットである。7
20nmより短波長の光はロッドの劣化原因に、830
nmより長波長の光は発熱源となり、エネルギーの大き
な損失となっている。
励起光源とレーザー媒質の少なくとも一方を、ドープト
石英ガラス管で囲むと励起光源の発光スペクトルを変化
させることができ、エネルギー効率を上げ、レーザー媒
質の劣化を防ぐことができる。しかし、ドープト石英ガ
ラス管を用いると反射による損失が大きく、ドープト石
英ガラス管自体の蛍光も拡散してしまい、レーザー媒質
に有効に照射されないというn題があった。
本発明は、励起光源及びドープト石英ガラス管の蛍光が
レーザー媒質に有効に照射され、高いエネルギー効率で
レーザー光を出射するレーザー装置の提供を目的として
いる。
[課題を解決するための手段] 本発明は、励起光源、レーザー媒質、共振器から構成さ
れ、励起光源とレーザー13Mの少なくとも一方を、ド
ープト石英ガラス管で囲んだレーザー装置において、ド
ープト石英ガラス管の表面に反射防止コーティングまた
は、反射防止加工を施すことを特徴とする。
以下、実施例により本発明の詳細を示す。
[実施例] 実施例I Nd:  YAGレーザー装置の断面構造の概念を表す
図を、第1図に示す。YAGロッド1を石英ガラス管4
で囲み、冷却水6を流した。一方キセノンフラッシュラ
ンプ2を表面を反射防止コーティングしたクロムドープ
ト石英ガラス管5(例えば特開昭6O−76933)で
囲み冷却水6を流した。
クロムをドープした石英ガラスは400〜600nmの
波長の光を吸収し、600〜850nmの波長域で発光
する。また、蒸着により3層からなる反射防止コーティ
ングを施すと、広い波長域にわたって反射率は0. 5
%以下におさえられる。
キセノンフラッシュランプから出射した光は、表面を反
射防止コーティングしたクロムドープト石英ガラス管を
通過する際、600nmより長波長の光は減衰せず、6
00nmより短波長の光がガラス管の蛍光に有効に変換
され、600〜850nmの波長域の輝度が倍増した。
このように波長変換した光を、集光反射鏡3でNd: 
 YAGロッドに照射し、共振器でレーザー光を取り出
したところ、レーザーの出射強度は従来のほぼ2倍とな
った。また長時間使用しても、YAGロッドおよびクロ
ムドープト石英ガラス管には、ソーラリゼーションによ
る劣化が発生せず、レーザー特性に変化は認められなか
った。
実施例2 アレキサンドライト(Cr:  BeA1204)0ツ
ドを、表面を反射防止加工したセリウムドープト石英ガ
ラス管で囲み、冷却水を流した。一方キセノンフラッシ
ュラングを石英管で囲み、冷却水を流した。アレキサン
ドライトレーザーは、400〜650nmの励起光を吸
収し、700〜818nmの波長可変レーザー発振を起
こす。
セリウムをドープした石英ガラスは、200〜300n
mの紫外線を吸収し、350〜550nmの波長域で発
光する。また、ガラス管の表面を適度な粗さに機械加工
すると、広い波長域にわたって反射率は1%以下におさ
えられる。
クリプトンフラッシュランプの出射光が集光反射鏡で反
射され、セリウムドープト石英ガラス管を通過する際、
300nmより長波長の光は減衰せず、300nmより
短波長の光がガラス管の蛍光に有効に変換され、350
〜550nmの波長域の輝度が倍増した。このように波
長変換した光をアレキサンドライトロッドに照射し、共
振器でレーザーを取り出したところ、レーザーの出射強
度は従来のほぼ2倍となった。
実施例3 Nd:  YAGロッドを、表面をM g F 2コー
テイングしたクロムドープト石英ガラス管で囲み、冷却
水を流した。一方キセノンフラッシュランプを、同様な
反射防止コーティングしたセリウムドープト石英ガラス
管で囲み、冷却水を流した。
キセノンフラッシュランプの出射光が、表面を反射防止
コーティングしたセリウムドープト石英ガラス管、続い
て表面を反射防止コーティングしたクロムドープト石英
ガラス管を通過すると、600nmより長波長の光は減
衰せず、600nmより短波長の光がガラス管の蛍光に
有効に変換され、600〜850nmの波長域の輝度が
約3倍になった。このように波長変換した光をNd: 
 YAGロッドに照射し、共振器でレーザーを取り出し
たところ、レーザーの出射強度は従来の3倍近くに増加
した。
実施例4 Nd:  YAGロッドを、表面を反射防止加工したセ
リウムとクロムを共ドープした石英ガラス管で囲み、冷
却水を流した。反射防止加工は、酸によるエツチングで
おこなった。一方キセノンフラッシュランプを、石英ガ
ラス管で囲み、冷却水を流した。
キセノンフラッシュランプの出射光が集光され、表面を
反射防止加工しセリウムとクロムを共ドープした石英管
を通過すると、600nmより短波長の光がカットされ
、600〜850nmの波長の光が約3倍の強度になっ
た。このように波長変換した光をNd:  YAGロッ
ドに照射し、共振器でレーザーを取り出したところ、レ
ーザーの出射強度は従来の3倍近くに増加した。
実施例5 アレキサンドライトレーザー装置の断面構造の概念を表
す図を、第2図に示す。アレキサンドライトロッド11
及びキセノンフラッシュランプ12を、表面を適度な粗
さに反射防止加工したセリウムドープト石英ガラス管1
4で囲み、冷却水15を流した。
キセノンランプを出射した光は、表面を反射防止加工し
たセリウムドープト石英ガラス管で、減衰することなく
有効に波長変換され、集光反射鏡13でアレキサンドラ
イトロッドに集光される。
共振器でレーザー光を取り出したところ、レーザーの出
射強度は従来のほぼ2倍となった。
また、レーザーの出射強度が従来並みになるよう、キセ
ノンランプの動作エネルギーを約半分にしたところ、ラ
ンプ寿命を10倍近く延ばすことができた。
以上数種類のレーザー装置について実施例を述べてきた
が、励起光源やレーザー媒質の種類に何ら限定されるこ
とはない。また、反射防止の方法や石英ガラスへのドー
ピング物質も種々考えられる。
[発明の効果] 以上述べたように本発明によれば、励起光源、レーザー
媒質、共振器から構成され、励起光源とレーザー媒質の
少なくとも一方を、ドープト石英ガラス管で囲んだレー
ザー装置において、ドープト石英ガラス管の表面に反射
防止コーティングまたは、反射防止加工を施すことによ
り、励起光源及びドープト石英ガラス管の蛍光がレーザ
ー媒質に有効に照射され、高いエネルギー効率でレーザ
ー光を出射するレーザー装置を提供することができた。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例1における、Nd:YAGレー
ザー装置の断面構造の概念を表す図である。第2図は本
発明の実施例5における、アレキサンドライトレーザー
装置の断面構造の概念を表す図である。 5 ・・・ 15 ・・・ 表面を反射防止コーティングしたクロムドープト石英ガ
ラス管 冷却水 アレキサンドライトロッド キセノンフラッシュランプ 集光反射鏡 表面を反射防止加工したセリウムドープト石英ガラス管 冷却水 以  上

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 励起光源、レーザー媒質、共振器から構成され、励起光
    源とレーザー媒質の少なくとも一方を、ドープト石英ガ
    ラス管で囲んだレーザー装置において、ドープト石英ガ
    ラス管の表面に反射防止コーティングまたは、反射防止
    加工を施すことを特徴とするレーザー装置。
JP18968590A 1990-07-18 1990-07-18 レーザー装置 Pending JPH0475393A (ja)

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JP18968590A JPH0475393A (ja) 1990-07-18 1990-07-18 レーザー装置

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JPH0475393A true JPH0475393A (ja) 1992-03-10

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ID=16245468

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