JPS6182490A - 外部反射鏡レ−ザ装置 - Google Patents
外部反射鏡レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6182490A JPS6182490A JP20490184A JP20490184A JPS6182490A JP S6182490 A JPS6182490 A JP S6182490A JP 20490184 A JP20490184 A JP 20490184A JP 20490184 A JP20490184 A JP 20490184A JP S6182490 A JPS6182490 A JP S6182490A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dusts
- cylinder
- optical
- laser device
- window
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、レーザ管の外側に外部反射鏡を設けた外部
反射鏡レーザ装置の改良に関する。
反射鏡レーザ装置の改良に関する。
一般に、レーザ管の外側に反射Ｓｌ！を設置した外部反
射鏡レーザ装置においては、共振器を構成する反射鏡の
反射面及びレーザ管の光学窓（ブリュースタ窓）は、空
気中に露出した構造となりている。そのため、反射鏡、
光学窓に塵埃が付着することは免かれない。ここに付着
した塵埃等は、そのまま共振器内の損失となシ、レーザ
管出力の低下を招き、最悪の場合は発振不可能となる。
射鏡レーザ装置においては、共振器を構成する反射鏡の
反射面及びレーザ管の光学窓（ブリュースタ窓）は、空
気中に露出した構造となりている。そのため、反射鏡、
光学窓に塵埃が付着することは免かれない。ここに付着
した塵埃等は、そのまま共振器内の損失となシ、レーザ
管出力の低下を招き、最悪の場合は発振不可能となる。
又、反射鏡の反射多層膜に付着した水分は、膜の劣化を
促進する。
促進する。
そこで従来の外部反射鏡レーザ装置は第４図に示すよう
に構成され、両端にそれぞれ光学窓２を有するレーザ管
１の外側に、外部反射鏡３を設けて共振器を構成してい
るが、上記光学窓２と外部反射鏡３との間を筒状ダスト
カバー４で覆い、０リング５で密閉して塵埃、水分の侵
入を防いでいる。図中の８は対流を示し、９は光軸を示
す。
に構成され、両端にそれぞれ光学窓２を有するレーザ管
１の外側に、外部反射鏡３を設けて共振器を構成してい
るが、上記光学窓２と外部反射鏡３との間を筒状ダスト
カバー４で覆い、０リング５で密閉して塵埃、水分の侵
入を防いでいる。図中の８は対流を示し、９は光軸を示
す。
ところが、このダストカバー４の装着に当っては、内部
に塵埃が入らないように清浄な雰囲気中で作業を行なわ
なければ、その効果は半減する。しかし、それでも塵埃
や水分の侵入は免かれない。それを防ぐ１つの方法とし
ては、別に加圧したガス容器を用意しダストカバー４内
を僅か加圧する方法がある。しかし、この方法も完全で
はなく、定期的な清掃が必要である。
に塵埃が入らないように清浄な雰囲気中で作業を行なわ
なければ、その効果は半減する。しかし、それでも塵埃
や水分の侵入は免かれない。それを防ぐ１つの方法とし
ては、別に加圧したガス容器を用意しダストカバー４内
を僅か加圧する方法がある。しかし、この方法も完全で
はなく、定期的な清掃が必要である。
その際、清浄な雰囲気が必要であシ、かつ加圧容器の交
換も必要となる。清浄な雰囲気のない場所での清掃は、
その効果が薄く、頻繁な清掃を繰返す一必要がある。
換も必要となる。清浄な雰囲気のない場所での清掃は、
その効果が薄く、頻繁な清掃を繰返す一必要がある。
この考案の目的は、特に清浄でない雰囲気中でダストカ
バーを開は九場合でも、レーザ出力低下が少なく、かつ
長時間安定に動作可能な外部反射鏡レーザ装置全提供す
ることである。
バーを開は九場合でも、レーザ出力低下が少なく、かつ
長時間安定に動作可能な外部反射鏡レーザ装置全提供す
ることである。
この発明は、光学窓と外部反射鏡との光路上に、塵埃が
集−１効率を低下する現象を抑制するため、光軸の回夛
に細い遮蔽筒を配設し、光路を横切る対流の発生を防止
した外部反射鏡レーザ装置である。
集−１効率を低下する現象を抑制するため、光軸の回夛
に細い遮蔽筒を配設し、光路を横切る対流の発生を防止
した外部反射鏡レーザ装置である。
この発明は第１図に示すように構成され、従来例と同一
箇所は同一符号を付すことにする。
箇所は同一符号を付すことにする。
即ち、レーザ管１の両端にそれぞれ設けた光学窓（ブリ
ュースタ窓）２と反射鏡３とは、ダストカバー４で連結
され、０リング５で密閉されている。更にこのダストカ
バー４内には、遮蔽筒６が同軸上に配設され、固定具７
により固定されている。つｔｂ遮蔽筒６は、光路上に設
置され、光軸の回りに位置していることになる。
ュースタ窓）２と反射鏡３とは、ダストカバー４で連結
され、０リング５で密閉されている。更にこのダストカ
バー４内には、遮蔽筒６が同軸上に配設され、固定具７
により固定されている。つｔｂ遮蔽筒６は、光路上に設
置され、光軸の回りに位置していることになる。
この場合、遮蔽筒６の上記光学窓２に対向している一端
は切口６ａが斜めになるように切断され、上向きになっ
ておシ、その先端と光学窓２との距離ｔは好ましくは５
ｗ以下に設定されている。
は切口６ａが斜めになるように切断され、上向きになっ
ておシ、その先端と光学窓２との距離ｔは好ましくは５
ｗ以下に設定されている。
尚、ここではレーザ管１の一方のみにつ匹て説明したが
、他方においても同様に実施されるものである。但し、
装置の都合により、一方のみの実施、あるいは一方の反
射鏡をレーザ管の一部とした半内部鏡での片側実施も含
まれることは言うまでもない。
、他方においても同様に実施されるものである。但し、
装置の都合により、一方のみの実施、あるいは一方の反
射鏡をレーザ管の一部とした半内部鏡での片側実施も含
まれることは言うまでもない。
レーザ装置における共振器内のレーザ光強度は、一般に
レーザ出力の２０〜１００倍の強度を持っている。例え
ば出力４ｗのアルゴンレーザでは共振器内の強度は、お
よそ１００Ｗに達する。このレーザ光は光学窓２を通過
するので、その僅かな吸収によって光学窓２は加熱され
る。
レーザ出力の２０〜１００倍の強度を持っている。例え
ば出力４ｗのアルゴンレーザでは共振器内の強度は、お
よそ１００Ｗに達する。このレーザ光は光学窓２を通過
するので、その僅かな吸収によって光学窓２は加熱され
る。
この熱によって付近の温度が上が９、上昇気流が生じ、
密閉されたダストカバー４内には全体として対流循環が
起る。その流れは、光学窓２の近くで上昇、ダストカバ
ー４の中央付近で下降となり、光軸上を通る。従って、
この対流８によって運ばれた塵埃が、光軸上で吸収され
る現象が起る。つまシ塵埃が強力な内部レーザ光にトラ
、グされ、時間と共に光路に集ってくる。
密閉されたダストカバー４内には全体として対流循環が
起る。その流れは、光学窓２の近くで上昇、ダストカバ
ー４の中央付近で下降となり、光軸上を通る。従って、
この対流８によって運ばれた塵埃が、光軸上で吸収され
る現象が起る。つまシ塵埃が強力な内部レーザ光にトラ
、グされ、時間と共に光路に集ってくる。
これが共振器内の損失を増加させて出力低下を生じ、又
、一部は光学窓２、反射鏡３に付着することになる。し
かしながら、対流の発生点°である光学窓２の近くは、
塵埃があまシ近すかないことを、発明者は実験によシ確
認した。
、一部は光学窓２、反射鏡３に付着することになる。し
かしながら、対流の発生点°である光学窓２の近くは、
塵埃があまシ近すかないことを、発明者は実験によシ確
認した。
上記の現象を利用したものがこの発明であシ、この発明
によれば、対流８によって生じた塵埃の流れは、下降す
る場合でも、上昇する場合でも、光軸上の回りに遮蔽筒
６が存在するので、光路を横切ることがないため、ドラ
ッグされることはない。しかも、塵埃の上昇する光学窓
２側は、遮蔽筒６の切口が斜め上向きに切断されている
ため、塵埃が遮蔽筒６に侵入する恐れも少ない。即ち、
遮蔽筒６の切口が垂直あるいは逆向きだと、塵埃が吹き
上げるとき遮蔽筒６の中に入るが、切口６ａが斜袷上向
きになっているので、遮蔽筒６の中には入らないで、遮
蔽筒６の周囲を通りて行く。
によれば、対流８によって生じた塵埃の流れは、下降す
る場合でも、上昇する場合でも、光軸上の回りに遮蔽筒
６が存在するので、光路を横切ることがないため、ドラ
ッグされることはない。しかも、塵埃の上昇する光学窓
２側は、遮蔽筒６の切口が斜め上向きに切断されている
ため、塵埃が遮蔽筒６に侵入する恐れも少ない。即ち、
遮蔽筒６の切口が垂直あるいは逆向きだと、塵埃が吹き
上げるとき遮蔽筒６の中に入るが、切口６ａが斜袷上向
きになっているので、遮蔽筒６の中には入らないで、遮
蔽筒６の周囲を通りて行く。
又、光学窓２は一旦加熱されると、そこには塵埃が付か
ない。塵埃はその回シを通って行く。
ない。塵埃はその回シを通って行く。
従って、遮蔽筒６を光学窓２の近くまで延ばしておくと
、この部分も塵埃が光路上には行かない。
、この部分も塵埃が光路上には行かない。
従って、この発明によれば、ダストカバー４内に若干の
塵埃が残留していても、又、後から侵入してきても、そ
れによる損失の増加する割合は、従来よシ大幅に小さく
なる。その結果、ダストカバー４を通常の室内で外すこ
とができ、又、清浄間隔も長くすることが可能となり、
長い間安定に動作させることができる。
塵埃が残留していても、又、後から侵入してきても、そ
れによる損失の増加する割合は、従来よシ大幅に小さく
なる。その結果、ダストカバー４を通常の室内で外すこ
とができ、又、清浄間隔も長くすることが可能となり、
長い間安定に動作させることができる。
この発明は上記実施例に限られるものではなく、例えば
遮蔽筒６の他端（反射鏡３側）も切口を斜めに切断した
もの、あるいは第２図（ａ） （ｂ）に示すように遮蔽
筒１０が径の異なる複数の円筒ＩＱ＆、ｌ０ｂｔ−同心
状に並べてなるもの、又は第３図に示すように遮蔽筒６
の切口６＆を斜めに切断しないで、垂直に切断し、かつ
、切断面６ｈと光学窓２との距離ｔを５１１１以下とし
たものなど、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変
形して実施することができる。
遮蔽筒６の他端（反射鏡３側）も切口を斜めに切断した
もの、あるいは第２図（ａ） （ｂ）に示すように遮蔽
筒１０が径の異なる複数の円筒ＩＱ＆、ｌ０ｂｔ−同心
状に並べてなるもの、又は第３図に示すように遮蔽筒６
の切口６＆を斜めに切断しないで、垂直に切断し、かつ
、切断面６ｈと光学窓２との距離ｔを５１１１以下とし
たものなど、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変
形して実施することができる。
又、上記遮蔽筒６，１０の材質、形状を規定するもので
はなく、材質は絶縁物、金属いずれでもよい。形状も円
筒に限ることなく、ベローズを用いるなどの変形も、こ
の発明の要旨を逸脱しない範囲で含まれる。
はなく、材質は絶縁物、金属いずれでもよい。形状も円
筒に限ることなく、ベローズを用いるなどの変形も、こ
の発明の要旨を逸脱しない範囲で含まれる。
更にこの発明は、レーザの種類によシ限定されるもので
はなく、ヘリウム、ネオン、アルコ９ン、クリプトン、
その他のがスレーブ、あるいは固体レーザその他にも適
用されるものである。
はなく、ヘリウム、ネオン、アルコ９ン、クリプトン、
その他のがスレーブ、あるいは固体レーザその他にも適
用されるものである。
第１図はこの発明の一実施例に係る外部反射鏡レーザ装
置を示す断面図、第２図及び第３図はこの発明の変形例
を示す断面図、第４図は従来の外部反射鏡レーザ装置を
示す断面図である。 １・・・レーザ管、２・・・光学窓、３・・・反射鏡、
４・・・ダストカバー、６・・・遮蔽筒、６ａ・・・切
口、１０・・・遮蔽筒、１０ ａ ｅ １０ ｂ・・・
円筒。
置を示す断面図、第２図及び第３図はこの発明の変形例
を示す断面図、第４図は従来の外部反射鏡レーザ装置を
示す断面図である。 １・・・レーザ管、２・・・光学窓、３・・・反射鏡、
４・・・ダストカバー、６・・・遮蔽筒、６ａ・・・切
口、１０・・・遮蔽筒、１０ ａ ｅ １０ ｂ・・・
円筒。
Claims (3)
- （１）両端にそれぞれ光学窓を有するレーザ管の外側に
、外部反射鏡を設けて共振器を構成し、更に上記光学窓
と上記外部反射鏡との間に筒状ダストカバーを設けてな
る外部反射鏡レーザ装置において、 上記光学窓と上記反射鏡との間の光路上に、遮蔽筒を上
記筒状ダストカバーの内側でかつ光軸の回りに配設して
なることを特徴とする外部反射鏡レーザ装置。 - （２）上記遮蔽筒の上記光学窓側の切口を斜めに切断し
、この切口が上向きになるように配置してなる特許請求
の範囲第１項記載の外部反射鏡レーザ装置。 - （３）上記遮蔽筒は、径の異なる複数の円筒を同心状に
設けてなる特許請求の範囲第１項及び第２項記載の外部
反射鏡レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20490184A JPS6182490A (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | 外部反射鏡レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20490184A JPS6182490A (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | 外部反射鏡レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6182490A true JPS6182490A (ja) | 1986-04-26 |
Family
ID=16498266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20490184A Pending JPS6182490A (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | 外部反射鏡レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6182490A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6327080A (ja) * | 1986-06-26 | 1988-02-04 | アモコ・コ−ポレ−ション | 固体レ−ザならびに同レ−ザを製作するための方法 |
| JPS6327079A (ja) * | 1986-06-26 | 1988-02-04 | アモコ・コ−ポレ−ション | オプテイカル ポンピング レ−ザ− |
| JPH0456180A (ja) * | 1990-06-21 | 1992-02-24 | Power Reactor & Nuclear Fuel Dev Corp | レーザー装置 |
| JPH06291390A (ja) * | 1993-04-02 | 1994-10-18 | Hitachi Ltd | ガスレーザ装置 |
| EP0671278A2 (en) * | 1994-03-11 | 1995-09-13 | Eastman Kodak Company | Improved vacuum collection system for dye-ablation printing process |
-
1984
- 1984-09-29 JP JP20490184A patent/JPS6182490A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6327080A (ja) * | 1986-06-26 | 1988-02-04 | アモコ・コ−ポレ−ション | 固体レ−ザならびに同レ−ザを製作するための方法 |
| JPS6327079A (ja) * | 1986-06-26 | 1988-02-04 | アモコ・コ−ポレ−ション | オプテイカル ポンピング レ−ザ− |
| JPH0456180A (ja) * | 1990-06-21 | 1992-02-24 | Power Reactor & Nuclear Fuel Dev Corp | レーザー装置 |
| JPH06291390A (ja) * | 1993-04-02 | 1994-10-18 | Hitachi Ltd | ガスレーザ装置 |
| EP0671278A2 (en) * | 1994-03-11 | 1995-09-13 | Eastman Kodak Company | Improved vacuum collection system for dye-ablation printing process |
| EP0671278A3 (en) * | 1994-03-11 | 1998-01-07 | Eastman Kodak Company | Improved vacuum collection system for dye-ablation printing process |
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