JPH07154008A - ガス・レ−ザ管 - Google Patents
ガス・レ−ザ管Info
- Publication number
- JPH07154008A JPH07154008A JP29962793A JP29962793A JPH07154008A JP H07154008 A JPH07154008 A JP H07154008A JP 29962793 A JP29962793 A JP 29962793A JP 29962793 A JP29962793 A JP 29962793A JP H07154008 A JPH07154008 A JP H07154008A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anode
- gas
- tube
- return path
- cathode
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、管内の浮遊異物が出力ミラ−に付
着するのを抑制することが出来るガス・レ−ザ管を提供
することを目的とする。 【構成】この発明のガス・レ−ザ管は、陽極３，放電細
管２，および真空外囲器４内に設けられた陰極１が縦列
配設され、陽極側空間と真空外囲器内空間とがガス帰還
路１５により連結され、更に陽極側端部に出力ミラ−８
が陰極側端部に高反射ミラ−７がそれぞれ取付けられて
なり、且つガス帰還路の陽極側の先端１６が光路近くま
で延長されてノズル状となっているので、上記の目的を
達成することが出来る。
着するのを抑制することが出来るガス・レ−ザ管を提供
することを目的とする。 【構成】この発明のガス・レ−ザ管は、陽極３，放電細
管２，および真空外囲器４内に設けられた陰極１が縦列
配設され、陽極側空間と真空外囲器内空間とがガス帰還
路１５により連結され、更に陽極側端部に出力ミラ−８
が陰極側端部に高反射ミラ−７がそれぞれ取付けられて
なり、且つガス帰還路の陽極側の先端１６が光路近くま
で延長されてノズル状となっているので、上記の目的を
達成することが出来る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はガス・レ−ザ管に係
り、特にそのガス帰還路の改良に関する。
り、特にそのガス帰還路の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガス・レ−ザ管は図２に示すよう
に構成され、図中の符号１は螺旋状の直熱含浸型陰極、
２は放電細管、３は陽極、４は陰極１を取り囲む真空外
囲器、５は放熱フィン、６ａ、６ｂは陰極支持リ−ド、
７は高反射ミラ−，８は出力ミラ−、９，１０はミラ−
支持筒、１１はガス帰還路である。尚、動作中に管内を
イオンが移動するため、陽極３と陰極１に圧力差が生じ
る。そこで、この圧力差を解消する作用を上記のガス帰
還路１１で行わせている。
に構成され、図中の符号１は螺旋状の直熱含浸型陰極、
２は放電細管、３は陽極、４は陰極１を取り囲む真空外
囲器、５は放熱フィン、６ａ、６ｂは陰極支持リ−ド、
７は高反射ミラ−，８は出力ミラ−、９，１０はミラ−
支持筒、１１はガス帰還路である。尚、動作中に管内を
イオンが移動するため、陽極３と陰極１に圧力差が生じ
る。そこで、この圧力差を解消する作用を上記のガス帰
還路１１で行わせている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来のガ
ス・レ−ザ管においては、動作中に放電細管２を通して
ガスの対流が生じる。この結果、ガス・レ−ザ管内部の
浮遊異物の移動を伴う。このため、ガス・レ−ザ管の出
力ミラ−は特に放電細管２の近傍に位置することなどか
ら、浮遊異物の付着を招き、レ−ザ出力低下が生じる。
ス・レ−ザ管においては、動作中に放電細管２を通して
ガスの対流が生じる。この結果、ガス・レ−ザ管内部の
浮遊異物の移動を伴う。このため、ガス・レ−ザ管の出
力ミラ−は特に放電細管２の近傍に位置することなどか
ら、浮遊異物の付着を招き、レ−ザ出力低下が生じる。
【０００４】この発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、管内の浮遊異物が出力ミラ−に付着するのを抑制す
ることが出来るガス・レ−ザ管を提供することを目的と
する。
で、管内の浮遊異物が出力ミラ−に付着するのを抑制す
ることが出来るガス・レ−ザ管を提供することを目的と
する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、陽極，放電
細管，および真空外囲器内に設けられた陰極が縦列配設
され、陽極側空間と真空外囲器内空間とがガス帰還路に
より連結され、更に陽極側端部に出力ミラ−が陰極側端
部に高反射ミラ−がそれぞれ取付けられてなり、且つガ
ス帰還路の陽極側の先端が光路近くまで延長されてノズ
ル状となっているガス・レ−ザ管である。
細管，および真空外囲器内に設けられた陰極が縦列配設
され、陽極側空間と真空外囲器内空間とがガス帰還路に
より連結され、更に陽極側端部に出力ミラ−が陰極側端
部に高反射ミラ−がそれぞれ取付けられてなり、且つガ
ス帰還路の陽極側の先端が光路近くまで延長されてノズ
ル状となっているガス・レ−ザ管である。
【０００６】
【作用】この発明によれば、管内の浮遊異物が出力ミラ
−に付着するのを抑制することが出来る。その結果、レ
−ザ出力低下を防止し、寿命を改善することが出来る。
−に付着するのを抑制することが出来る。その結果、レ
−ザ出力低下を防止し、寿命を改善することが出来る。
【０００７】
【実施例】以下、図面を参照して、この発明の一実施例
を詳細に説明する。即ち、この発明によるガス・レ−ザ
管は図１に示すように構成され、従来例（図２）と同一
箇所は同一符号を付すことにする。即ち、筒状の陽極
３，放電細管２，および螺旋状の直熱含浸型陰極１が一
直線上に所定間隔で縦列配設されている。そして、陰極
１は真空外囲器４に取り囲まれ、この真空外囲器４の一
端は支持部材１２，１３を介して放電細管２の一端に接
合固定され、他端にはミラ−支持筒９を介して高反射ミ
ラ−７が取付けられている。陰極１は真空外囲器４内で
光軸の回りに略同軸状に配置され、その両端がそれぞれ
陰極支持リ−ド６ａ、６ｂに支持されている。この陰極
支持リ−ド６ａ、６ｂは、真空外囲器４を貫通して外部
に露出している。放電細管２の外周には、放熱フィン５
が取付けられている。放電細管２には支持部材１４を介
して陽極３が固着され、この陽極３には出力ミラ−８が
取付けられている。
を詳細に説明する。即ち、この発明によるガス・レ−ザ
管は図１に示すように構成され、従来例（図２）と同一
箇所は同一符号を付すことにする。即ち、筒状の陽極
３，放電細管２，および螺旋状の直熱含浸型陰極１が一
直線上に所定間隔で縦列配設されている。そして、陰極
１は真空外囲器４に取り囲まれ、この真空外囲器４の一
端は支持部材１２，１３を介して放電細管２の一端に接
合固定され、他端にはミラ−支持筒９を介して高反射ミ
ラ−７が取付けられている。陰極１は真空外囲器４内で
光軸の回りに略同軸状に配置され、その両端がそれぞれ
陰極支持リ−ド６ａ、６ｂに支持されている。この陰極
支持リ−ド６ａ、６ｂは、真空外囲器４を貫通して外部
に露出している。放電細管２の外周には、放熱フィン５
が取付けられている。放電細管２には支持部材１４を介
して陽極３が固着され、この陽極３には出力ミラ−８が
取付けられている。
【０００８】更に、陽極３側空間と真空外囲器４内空間
とがパイプ状のガス帰還路１５により連結されており、
このガス帰還路１５の陽極３側の先端１６が光路近くま
で延長されてノズル状となっている。このノズル状の先
端１６は、光路に直交又は斜めに突出すると共に光路ガ
イド１７の近傍に位置している。従って、動作時には陽
極３と陰極１におけるガス圧力に差を生じることによ
り、ガス帰還路１５にガスが流れ、陽極３側のノズル状
の先端１６からガスが噴出され、レ−ザ光路を横切るガ
スの流れ１８が生じる。その結果、出力ミラ−８側への
管内浮遊異物の移動が、ガス噴出により抑制される。
とがパイプ状のガス帰還路１５により連結されており、
このガス帰還路１５の陽極３側の先端１６が光路近くま
で延長されてノズル状となっている。このノズル状の先
端１６は、光路に直交又は斜めに突出すると共に光路ガ
イド１７の近傍に位置している。従って、動作時には陽
極３と陰極１におけるガス圧力に差を生じることによ
り、ガス帰還路１５にガスが流れ、陽極３側のノズル状
の先端１６からガスが噴出され、レ−ザ光路を横切るガ
スの流れ１８が生じる。その結果、出力ミラ−８側への
管内浮遊異物の移動が、ガス噴出により抑制される。
【０００９】尚、必要に応じ、ガス帰還路１５の途中に
浮遊異物捕捉用のトラップやフィルタ等を設けても良
い。又、この発明のガス・レ−ザ管は、出力ミラ−８を
下方にして光軸を垂直に取付けて使用する場合に特に好
適である。
浮遊異物捕捉用のトラップやフィルタ等を設けても良
い。又、この発明のガス・レ−ザ管は、出力ミラ−８を
下方にして光軸を垂直に取付けて使用する場合に特に好
適である。
【００１０】
【発明の効果】この発明によれば、陽極側空間と真空外
囲器内空間とを連結するガス帰還路の陽極側の先端が、
光路近くまで延長されてノズル状となっているので、ノ
ズル先端から噴出するガス流が光路を横切り、管内の浮
遊異物が出力ミラ−に付着するのを抑制することが出来
る。その結果、レ−ザ出力低下を防止し、寿命を改善す
ることが出来る。
囲器内空間とを連結するガス帰還路の陽極側の先端が、
光路近くまで延長されてノズル状となっているので、ノ
ズル先端から噴出するガス流が光路を横切り、管内の浮
遊異物が出力ミラ−に付着するのを抑制することが出来
る。その結果、レ−ザ出力低下を防止し、寿命を改善す
ることが出来る。
【図１】この発明の一実施例に係るガス・レ−ザ管を示
す縦断面図。
す縦断面図。
【図２】従来のガス・レ−ザ管装置を示す縦断面図。
１…陰極、２…放電細管、３…陽極、４…真空外囲器、
７…高反射ミラ−、８…出力ミラ−、１５…ガス帰還
路、１６…ガス帰還路の先端。
７…高反射ミラ−、８…出力ミラ−、１５…ガス帰還
路、１６…ガス帰還路の先端。
Claims (1)
- 【請求項１】 陽極，放電細管，および真空外囲器内に
設けられた陰極が縦列配設され、上記陽極側空間と上記
真空外囲器内空間とがガス帰還路により連結され、更に
上記陽極側端部に出力ミラ−が上記陰極側端部に高反射
ミラ−がそれぞれ取付けられてなるガス・レ−ザ管にお
いて、 上記ガス帰還路の上記陽極側の先端が光路近くまで延長
されてノズル状となっていることを特徴とするガス・レ
−ザ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29962793A JPH07154008A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | ガス・レ−ザ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29962793A JPH07154008A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | ガス・レ−ザ管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07154008A true JPH07154008A (ja) | 1995-06-16 |
Family
ID=17875054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29962793A Pending JPH07154008A (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | ガス・レ−ザ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07154008A (ja) |
-
1993
- 1993-11-30 JP JP29962793A patent/JPH07154008A/ja active Pending
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