CN111801854B - 激光腔、密封部件的制造方法和电子器件的制造方法 - Google Patents

Abstract

准分子激光装置的激光腔具有：容器，其包含第1部件和第2部件，在内部收纳激光气体；以及密封部件，其被配置于所述第1部件与所述第2部件的对置的2个密封面之间，所述密封部件的激光气体侧的表面由氟橡胶构成，所述密封部件的大气侧的表面由抑制大气透过的膜构成。

Description

激光腔、密封部件的制造方法和电子器件的制造方法

技术领域

本公开涉及激光腔、密封部件的制造方法和电子器件的制造方法。

背景技术

随着半导体集成电路的微细化和高集成化，在半导体曝光装置中要求分辨率的提高。下面，将半导体曝光装置简称为“曝光装置”。因此，从曝光用光源输出的光的短波长化得以发展。在曝光用光源中代替现有的汞灯而使用气体激光装置。当前，作为曝光用的气体激光装置，使用输出波长为248nm的紫外线的KrF准分子激光装置、以及输出波长为193nm的紫外线的ArF准分子激光装置。

作为当前的曝光技术，如下的液浸曝光已经实用化：利用液体充满曝光装置侧的投影透镜与晶片之间的间隙，通过改变该间隙的折射率，使曝光用光源的外观的波长变短。在使用ArF准分子激光装置作为曝光用光源进行液浸曝光的情况下，对晶片照射水中的波长为134nm的紫外光。将该技术称为ArF液浸曝光。ArF液浸曝光也被称为ArF液浸光刻。

KrF、ArF准分子激光装置的自然振荡中的谱线宽度较宽，大约为350～400pm，因此，通过曝光装置侧的投影透镜缩小地投影到晶片上的激光(紫外线光)产生色差，分辨率降低。因此，需要将从气体激光装置输出的激光的谱线宽度窄带化到能够无视色差的程度。谱线宽度也被称为谱宽度。因此，在气体激光装置的激光谐振器内设置具有窄带化元件的窄带化模块(Line Narrow Module)，通过该窄带化模块实现谱宽度的窄带化。另外，窄带化元件也可以是标准具或光栅等。将这种谱宽度被窄带化的激光装置称为窄带化激光装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-256625号公报

发明内容

本公开的1个观点的准分子激光装置的激光腔具有：容器，其包含第1部件和第2部件，在内部收纳激光气体；以及密封部件，其被配置于第1部件与第2部件的对置的2个密封面之间，密封部件的激光气体侧的表面由氟橡胶构成，密封部件的大气侧的表面由抑制大气透过的膜构成。

本公开的1个观点的密封部件的制造方法是在表面的一部分具有膜的环状的密封部件的制造方法，其中，该制造方法包含以下工序：第1工序，将构成密封部件的环状部件嵌在第1夹具的外周；第2工序，利用第2夹具和第3夹具夹着环状部件，以成为环状部件的外周面在第2夹具与第3夹具之间露出的状态，该第2夹具被配置于第1夹具的外周，该第3夹具被配置于第1夹具的外周，通过沿第1夹具的轴向移动，能够变更与第2夹具之间的间隔；以及第3工序，在密封部件的外周面在第2夹具与第3夹具之间露出的状态下，在环状部件的外周面形成膜。

本公开的1个观点的电子器件的制造方法包含以下工序：通过包含激光腔的准分子激光装置生成激光，将激光输出到曝光装置，在曝光装置内在感光基板上曝光激光，以制造电子器件，其中，激光腔具有：容器，其包含第1部件和第2部件，在内部收纳激光气体；以及密封部件，其被配置于第1部件与第2部件的对置的2个密封面之间，密封部件的激光气体侧的表面由氟橡胶构成，密封部件的大气侧的表面由抑制大气透过的膜构成。

附图说明

下面，参照附图将本公开的若干个实施方式作为简单例子进行说明。

图1A示意地示出比较例的准分子激光装置的结构。

图1B示意地示出比较例的准分子激光装置的结构。

图2是示出比较例中的使用密封部件的密封机构的结构例的剖视图。

图3是放大了图2所示的密封构造的一部分的剖视图。

图4是示出本公开的第1实施方式中的密封构造的一部分的剖视图。

图5示意地示出本公开的第2实施方式中的密封部件的截面。

图6A示意地示出本公开的第3实施方式的准分子激光装置的结构。

图6B示意地示出本公开的第3实施方式的准分子激光装置的结构。

图7A概略地示出本公开的第4实施方式的密封部件的制造方法中使用的夹具组。

图7B是示出图7A所示的夹具组的内部构造的剖视图。

图7C概略地示出本公开的第4实施方式的密封部件的制造方法。

图7D概略地示出本公开的第4实施方式的密封部件的制造方法。

图8A概略地示出本公开的第5实施方式的密封部件的制造方法。

图8B概略地示出本公开的第5实施方式的密封部件的制造方法。

图8C概略地示出本公开的第5实施方式的密封部件的制造方法。

图8D概略地示出本公开的第5实施方式的密封部件的制造方法。

图9概略地示出与准分子激光装置连接的曝光装置的结构。

具体实施方式

<内容>

1.比较例

1.1 准分子激光装置的结构

1.2 准分子激光装置的动作

1.3 密封部件

1.3.1 保持架16a和光学晶体16的密封构造

1.3.2 容器部件10b和窗口10f的密封构造

1.3.3 其他容器部件的密封构造

1.4 课题

2.具有抑制大气透过的膜的密封部件

2.1 结构

2.2 作用

2.3 其他

3.具有多层膜的密封部件

4.容器部件的例子

5.夹具组

5.1 结构

5.2 动作

6.具有多个层的膜的形成方法

7.其他

下面，参照附图对本公开的实施方式进行详细说明。以下说明的实施方式示出本公开的几个例子，不限定本公开的内容。此外，各实施方式中说明的结构和动作并不一定全都是本公开的结构和动作所必须的。另外，对相同结构要素标注相同参照标号并省略重复说明。

1.比较例

1.1准分子激光装置的结构

图1A和图1B示意地示出比较例的准分子激光装置的结构。在图1A中，示出从与一对放电电极11a和11b之间的放电方向大致垂直、且与从输出耦合镜15输出的激光的行进方向大致垂直的方向观察的准分子激光装置的内部结构。在图1B中，示出从与从输出耦合镜15输出的激光的行进方向大致平行的方向观察的准分子激光装置的内部结构。将从输出耦合镜15输出的激光的行进方向设为+Z方向。将放电电极11a和11b之间的放电方向设为+V方向或-V方向。将与这两个方向垂直的方向设为+H方向或-H方向。-V方向与重力的方向大致一致。

如图1A所示，准分子激光装置与曝光装置100一起使用。从准分子激光装置输出的激光入射到曝光装置100。曝光装置100包含曝光装置控制部110。曝光装置控制部110构成为对曝光装置100进行控制。曝光装置控制部110构成为对准分子激光装置中包含的激光控制部30发送目标脉冲能量的设定数据和发光触发信号。

准分子激光装置包含激光腔10、充电器12、脉冲功率模块13、窄带化模块14、输出耦合镜15、能量监视器17、横流风扇21、马达22、热交换器23和激光控制部30。激光控制部30对准分子激光装置整体进行总括控制。

激光腔10包含容器部件10a和10b。激光腔10被配置于由窄带化模块14和输出耦合镜15构成的激光谐振器的光路。在激光腔10设置有2个窗口10f和10g。激光腔10收纳有放电电极11a和11b。激光腔10收纳作为激光介质的激光气体。激光气体例如包含氩气、氟气和氖气。或者，激光气体例如包含氪气、氟气和氖气。

在容器部件10b的一部分形成有开口，该开口被电绝缘部20堵住。电绝缘部20支撑放电电极11a。在电绝缘部20嵌入有多个导电部20a。导电部20a分别与放电电极11a电连接。

在激光腔10的内部配置有回流板10c。容器部件10b和回流板10c通过图1B所示的布线部10d和布线部10e电连接。回流板10c支承放电电极11b。回流板10c与放电电极11b电连接。

如图1B所示，回流板10c在图1A的纸面的里侧和近前侧具有用于供激光气体通过的间隙。

横流风扇21被配置于激光腔10的内部。横流风扇21的旋转轴与被配置于激光腔10的外部的马达22连接。马达22使横流风扇21旋转。由此，如图1B中箭头A所示，激光气体在激光腔10的内部循环。热交换器23将由于放电而成为高温的激光气体的热能排出到激光腔10的外部。

充电器12保持用于向脉冲功率模块13供给的电能。脉冲功率模块13包含未图示的充电电容器和开关13a。在充电器12连接有脉冲功率模块13的充电电容器。在脉冲功率模块13的充电电容器连接有放电电极11a。

窄带化模块14包含棱镜14a和光栅14b等波长选择元件。也可以代替窄带化模块14而使用高反射镜。

输出耦合镜15由部分反射镜构成。

能量监视器17包含分束器17a、聚光透镜17b和光传感器17c。分束器17a被配置于从输出耦合镜15输出的激光的光路。分束器17a构成为以高透射率使从输出耦合镜15输出的激光的一部分透过曝光装置100，并且使另外一部分反射。聚光透镜17b和光传感器17c被配置于由分束器17a反射后的激光的光路。

1.2准分子激光装置的动作

激光控制部30从曝光装置控制部110接收目标脉冲能量的设定数据和发光触发信号。激光控制部30根据从曝光装置控制部110接收到的目标脉冲能量的设定数据，向充电器12发送充电电压的设定数据。此外，激光控制部30根据从曝光装置控制部110接收到的发光触发信号，向脉冲功率模块13发送触发信号。

脉冲功率模块13从激光控制部30接收到触发信号后，根据充电器12充入的电能生成脉冲状的高电压，对放电电极11a和11b之间施加该高电压。

对放电电极11a和11b之间施加高电压后，在放电电极11a和11b之间引起放电。通过该放电的能量，激光腔10内的激光气体被激励，跃迁到高能级。然后，被激励的激光气体跃迁到低能级时，放出与该能级差对应的波长的光。

激光腔10内产生的光经由窗口10f和10g向激光腔10的外部射出。从激光腔10的窗口10f射出的光被棱镜14a扩大射束宽度，入射到光栅14b。从棱镜14a入射到光栅14b的光由光栅14b的多个槽反射，并且向与光的波长对应的方向衍射。光栅14b被进行利特罗配置，以使从棱镜14a入射到光栅14b的光的入射角和期望波长的衍射光的衍射角一致。由此，期望波长附近的光经由棱镜14a返回到激光腔10。

输出耦合镜15使从激光腔10的窗口10g射出的光中的一部分透过而进行输出，使另外一部分反射而返回到激光腔10。

这样，从激光腔10射出的光在窄带化模块14与输出耦合镜15之间往复。该光每当通过放电电极11a和11b之间的放电空间时被放大。此外，该光每当在窄带化模块14折返时被窄带化。这样进行激光振荡而被窄带化的光作为激光从输出耦合镜15输出。

能量监视器17中包含的聚光透镜17b使由分束器17a反射后的激光会聚于光传感器17c。光传感器17c将与由聚光透镜17b会聚后的激光的脉冲能量对应的电信号，作为测定数据发送到激光控制部30。

激光控制部30从能量监视器17接收测定数据。激光控制部30根据从能量监视器17接收到的脉冲能量的测定数据和从曝光装置控制部110接收到的目标脉冲能量的设定数据，对充电器12中设定的充电电压进行反馈控制。

1.3密封部件

图2是示出比较例中的使用密封部件的密封机构的结构例的剖视图。图2示出容器部件10b和窗口10f被密封、且窗口10f的保持架16a和光学晶体16被密封的情况。

1.3.1保持架16a和光学晶体16的密封构造

窗口10f包含光学晶体16以及保持架16a和16b。光学晶体16被保持于保持架16a和16b之间。保持架16a具有开口16h。保持架16a在开口16h的周围具有槽16i。保持架16b具有开口16k。

在光学晶体16与保持架16a之间配置有密封部件16j。密封部件16j被配置于槽16i。密封部件16j是圆环状的O型圈。在光学晶体16与保持架16b之间配置有缓冲材料16e。

在光学晶体16的周围，保持架16a和保持架16b通过未图示的螺栓等彼此被固定。光学晶体16例如由氟化钙的晶体构成，形成为圆盘状。保持架16b例如由陶瓷或铝构成。缓冲材料16e例如由不锈钢或铝构成。

通过如上所述那样构成窗口10f，光学晶体16堵住保持架16a的开口16h。通过被配置于光学晶体16和保持架16a的对置的2个密封面之间的密封部件16j，开口16h被密闭，激光气体侧和大气侧被遮断。

1.3.2容器部件10b和窗口10f的密封构造

容器部件10b具有开口10h。

容器部件10b在开口10h的周围具有槽10i。在槽10i配置有密封部件10j。密封部件10j是圆环状的O型圈。在槽10i和密封部件10j的周围，容器部件10b以及窗口10f的保持架16a和16b通过未图示的螺栓等彼此被固定。在该例子中，容器部件10b相当于本公开中的第1部件，窗口10f相当于本公开中的第2部件。容器部件10b例如由镀镍的铝等金属构成。窗口10f的保持架16a和16b例如由陶瓷或铝构成。

通过如上所述那样构成，窗口10f堵住容器部件10b的开口10h。通过被配置于容器部件10b和窗口10f的对置的2个密封面之间的密封部件10j，开口10h被密闭，激光气体侧和大气侧被遮断。

脉冲激光能够经由容器部件10b的开口10h、保持架16a的开口16h、光学晶体16的中央部分和保持架16b的开口16k通过。

1.3.3其他容器部件的密封构造

再次参照图1A和图1B，通过被配置于容器部件10b的开口周围的圆环状的密封部件10k，电绝缘部20被密封。在密封部件10k的周围，容器部件10b和电绝缘部20通过未图示的螺栓等彼此被固定。该情况下，容器部件10b相当于本公开中的第1部件，电绝缘部20相当于本公开中的第2部件。容器部件10b例如由镀镍的铝等金属构成。电绝缘部20例如由陶瓷构成。

通过这样构成，电绝缘部20堵住容器部件10b的开口。通过被配置于容器部件10b和电绝缘部20的对置的2个密封面之间的密封部件10k，激光气体侧和大气侧被遮断。

此外，通过被配置于容器部件10a的开口周围的圆环状的密封部件10m，容器部件10b被密封。在密封部件10m的周围，容器部件10a和容器部件10b通过未图示的螺栓等彼此被固定。该情况下，容器部件10a相当于本公开中的第1部件，容器部件10b相当于本公开中的第2部件。容器部件10a和10b例如由镀镍的铝等金属构成。

通过这样构成，容器部件10b堵住容器部件10a的开口。通过被配置于容器部件10a和容器部件10b的对置的2个密封面之间的密封部件10m，激光气体侧和大气侧被遮断。

1.4课题

图3是放大了图2所示的密封构造的一部分的剖视图。在构成容器部件10b的金属和构成窗口10f的保持架16a的陶瓷中，热膨胀率不同。因此，作为密封部件10j，优选使用弹性体。通过使用弹性体作为密封部件10j，能够吸收容器部件10b和窗口10f的保持架16a之间的热膨胀的差异引起的偏移。作为密封部件10j，例如优选使用对氟气具有耐性的氟橡胶。作为氟橡胶，例如优选为含氟弹性体或Viton(注册商标)。关于参照图2说明的密封部件16j，也优选为同样的弹性体，以抑制光学晶体16的损伤。

但是，密封部件10j有时无法使从大气侧朝向激光腔10的内部的大气透过成为0。密封部件10j中的大气透过路径为以下2个。第1透过路径是沿着与密封部件10j相接的容器部件10b或保持架16a的密封面的透过路径，图3中利用虚线的箭头表示。第2透过路径是通过密封部件10j的内部的透过路径，图3中利用实线的箭头表示。在使用弹性体作为密封部件10j的情况下，与第1透过路径相比，有时第2透过路径使10倍以上的大气透过。例如，有时大气中的氧或水蒸气透过弹性体。当大气从大气侧向激光腔10的内部透过时，激光腔10的内部的激光气体被污染。因此，有时更换气体消耗量增大。

在以下说明的实施方式中，在密封部件的大气侧的表面形成抑制大气透过的膜。通过使用具有该膜的密封部件，抑制大气经由密封部件10j的内部透过，抑制激光气体的污染。

2.具有抑制大气透过的膜的密封部件

2.1结构

图4是示出本公开的第1实施方式中的密封构造的一部分的剖视图。图4涉及第1实施方式，示出与图3相当的部分的截面。如图4所示，在密封部件10j的大气侧的表面形成有膜10n。在密封部件10j的激光气体侧的表面未形成膜10n，氟橡胶在密封部件10j的激光气体侧的表面露出。在与容器部件10b和保持架16a的密封面相接的密封部件10j的表面也未形成膜10n，氟橡胶分别与容器部件10b和保持架16a相接。

膜10n例如包含含氟的类金刚石碳。或者，膜10n包含Al₂O₃、SiO₂和TiO中的至少一方。

优选膜10n的厚度例如为0.1μm以上且0.3μm以下。优选膜10n的厚度形成为，在远离容器部件10b和保持架16a的密封面的位置处较厚，在接近容器部件10b和保持架16a的密封面的位置处较薄。

2.2作用

在第1实施方式中，通过在密封部件10j的大气侧的表面形成抑制大气透过的膜10n，与未形成膜10n的情况相比，透过密封部件10j的内部的大气的量减少到大约50％以下。即使在膜10n的表面产生了裂纹的情况下，密封部件10j的大气侧的表面的绝大部分也被膜10n覆盖，因此，认为对抑制大气透过的性能造成的影响较小。

此外，根据第1实施方式，与上述比较例同样，沿着与密封部件10j相接的容器部件10b或保持架16a的密封面通过的大气的量依然能够较小。此外，保持架16a相对于容器部件10b的紧固力能够与上述比较例中的紧固力相同。

另外，当在与容器部件10b和保持架16a的密封面相接的密封部件10j的表面形成同样的膜时，在该膜产生了裂纹的情况下，可能丧失密封性能。因此，优选在与容器部件10b和保持架16a的密封面相接的密封部件10j的表面不形成膜。

此外，根据第1实施方式，氟橡胶在密封部件10j的激光气体侧的表面露出，因此，能够具有与上述比较例同样的针对氟气的耐性。另外，膜10n针对氟气的耐性较低，因此，优选在密封部件10j的激光气体侧的表面不形成膜10n。

2.3其他

图3中示出被配置于容器部件10b与窗口10f的保持架16a之间的密封部件10j，但是，本公开不限于此。

也可以在图2所示的被配置于光学晶体16与保持架16a之间的密封部件16j的大气侧的表面形成抑制大气透过的膜。也可以在图1A和图1B所示的被配置于容器部件10b与电绝缘部20之间的密封部件10k的大气侧的表面形成抑制大气透过的膜。此外，也可以在图1A和图1B所示的被配置于容器部件10a与容器部件10b之间的密封部件10m的大气侧的表面形成抑制大气透过的膜。

3.具有多层膜的密封部件

图5示意地示出本公开的第2实施方式中的密封部件的截面。被形成于密封部件10j的膜10n包含抑制大气透过的多个层。

多个层包含第1层L1和位于比第1层L1更靠大气侧的位置的第2层L2。多个层不限于2个层，也可以包含3个以上的层。在包含多个层的情况下，也优选膜10n的厚度为0.1μm以上且0.3μm以下。

优选第2层L2的面积比第1层L1的面积小。此外，优选第2层L2的厚度比第1层L1的厚度小。由此，即使对密封部件10j施加应力，也能够抑制膜10n剥落或破裂。

其他方面与第1实施方式相同。

4.容器部件的例子

图6A和图6B示意地示出本公开的第3实施方式的准分子激光装置的结构。图6A和图6B分别是与图1A和图1B相当的部分的剖视图。但是，在图6A中，省略被配置于激光腔10的外部的激光谐振器等的图示。

在第3实施方式中，激光腔10包含容器部件10p、10q和10r。容器部件10p是筒状的部件。在容器部件10p的+Z方向和-Z方向的端部的开口分别配置有容器部件10q和10r。

通过被配置于容器部件10p的+Z方向的端部的开口周围的圆环状的密封部件10s，容器部件10q被密封。在密封部件10s的周围，容器部件10p和容器部件10q通过未图示的螺栓等彼此被固定。该情况下，容器部件10p相当于本公开中的第1部件，容器部件10q相当于本公开中的第2部件。容器部件10p和10q例如由镀镍的铝等金属构成。

通过这样构成，容器部件10q堵住容器部件10p的开口。通过被配置于容器部件10p和容器部件10q的对置的2个密封面之间的密封部件10s，激光气体侧和大气侧被遮断。

也可以在密封部件10s的大气侧的表面形成抑制大气透过的膜。

同样，通过被配置于容器部件10p的-Z方向的端部的开口周围的圆环状的密封部件10t，容器部件10r被密封。在密封部件10t的周围，容器部件10p和容器部件10r通过未图示的螺栓等彼此被固定。该情况下，容器部件10p相当于本公开中的第1部件，容器部件10r相当于本公开中的第2部件。容器部件10p和10r例如由镀镍的铝等金属构成。

通过这样构成，容器部件10r堵住容器部件10p的开口。通过被配置于容器部件10p和容器部件10r的对置的2个密封面之间的密封部件10t，激光气体侧和大气侧被遮断。

也可以在密封部件10t的大气侧的表面形成抑制大气透过的膜。

其他方面与第1和第2实施方式相同。

5.夹具组

5.1结构

图7A概略地示出本公开的第4实施方式的密封部件的制造方法中使用的夹具组。图7B是示出图7A所示的夹具组的内部构造的剖视图。

夹具组包含第1～第3夹具61～63。第1夹具61具有大致圆柱状的形状。第1夹具61在轴向的两端具有外螺纹部61a和61b。第1夹具61在轴向的中央附近具有锥部61c。锥部61c成为如下形状：沿着第1夹具61的轴向，越接近外螺纹部61a，直径越缩小。

在外螺纹部61a与锥部61c之间配置有直径比外螺纹部61a和锥部61c的直径稍大的圆柱部61d。在外螺纹部61b与锥部61c之间配置有直径比外螺纹部61b和锥部61c的直径稍大的圆柱部61e。

第2夹具62是被配置于第1夹具61的圆柱部61d的外周的圆筒状的部件。第2夹具62构成为能够沿第1夹具61的轴向移动。

第3夹具63是被配置于第1夹具61的圆柱部61e的外周的圆筒状的部件。第3夹具63构成为能够沿第1夹具61的轴向移动。

在外螺纹部61a结合有螺母64。通过使螺母64绕第1夹具61的轴旋转，螺母64沿第1夹具61的轴向移动。由此，能够变更第2夹具62的位置。

在外螺纹部61b结合有螺母65。通过使螺母65绕第1夹具61的轴旋转，螺母65沿第1夹具61的轴向移动。由此，能够变更第3夹具63的位置。

通过变更第2夹具62的位置或第3夹具63的位置，能够变更第2夹具62与第3夹具63的间隔。

使第2夹具62和第3夹具63沿第1夹具62的轴向移动的机构也可以不使用螺母64和65。

5.2动作

使用包含第1～第3夹具61～63的夹具组进行以下的工序，以制造在表面的一部分具有膜的环状的密封部件10j。

作为第1工序，如图7A和图7B所示，将构成密封部件10j的环状部件10u嵌在第1夹具61的锥部61c的外周。

作为第2工序，如图7C所示，利用第2夹具62和第3夹具63夹着环状部件10u，成为环状部件10u的外周面在第2夹具62与第3夹具63之间露出的状态。

作为第3工序，如图7D所示，在环状部件10u的外周面在第2夹具62与第3夹具63之间露出的状态下，在环状部件10u的外周面形成膜10n。

如图4所示，设用作密封部件时的环状部件10u的截面的短轴长度为A。在上述第2工序中，也可以在利用第2夹具62和第3夹具63沿第1夹具61的轴向按压环状部件10u的状态下，调整第2夹具62与第3夹具63的间隔。由此，能够将环状部件10u的截面的短轴长度A设定成规定的值。

如图4所示，设用作密封部件时的环状部件10u的截面的长轴长度为B，设环状部件10u的与密封面的接触长度为d。在上述第1工序中，也可以使环状部件10u的内周面与锥部61c接触。而且，在第2工序中，通过分别调整第2夹具62的位置和第3夹具63的位置，调整环状部件10u的与锥部61c的接触位置。通过环状部件10u的与锥部61c的接触位置规定环状部件10u的内径尺寸。由此，环状部件10u的与密封面的接触长度d可以与环状部件10u的截面的长轴长度B分开调整。

进行这种尺寸调整而形成膜10n，由此，能够与密封部件10j实际被使用时的密封部件10j的形状匹配地形成膜10n。

当如图7A和图7B所示设未压缩密封部件10j的状态下的密封部件10j的截面的直径为L、如图4所示设槽10i的宽度为D时，优选为以下的关系。

D>L²/A时，d≒L²/2A

D≤L²/A时，d≒D/2

6.具有多个层的膜的形成方法

图8A～图8D概略地示出本公开的第5实施方式的密封部件的制造方法。第5实施方式中使用的夹具组与参照图7A～图7D说明的夹具组相同。在第5实施方式中，通过以下的方法形成包含多个层的膜，制造密封部件。

作为第1工序，将构成密封部件10j的环状部件10u嵌在第1夹具61的锥部61c的外周。这点与参照图7A和图7B说明的情况相同。

作为第2工序，利用第2夹具62和第3夹具63夹着环状部件10u，以成为环状部件10u的外周面在第2夹具62与第3夹具63之间露出的状态。此时，如图8A所示，第2夹具62的位置设为第1规定位置。第1规定位置在图8A中表示为从外螺纹部61a的下端起的距离P1。此外，使第3夹具63与第2夹具62的间隔成为第1规定距离D1。

作为第3工序，如图8B所示，在环状部件10u的外周面在第2夹具62与第3夹具63之间露出的状态下，在环状部件10u的外周面形成第1层L1。为了形成第1层L1，例如可以使用等离子体离子注入成膜法。例如，如图8B所示，在具有气体导入路51、电源52、等离子体电极53和地线54的成膜腔50的内部，收纳安装有环状部件10u的夹具组。将成膜气体从气体导入路51导入到成膜腔50，通过从电源52向等离子体电极53供给的电能使成膜气体等离子体化。使成膜气体的离子堆积在环状部件10u的外周面，由此形成第1层L1。

第3工序还包含在形成第1层L1后移动第2夹具62和第3夹具63的工序。第2夹具62沿比上述第1规定位置更远离第3夹具63的方向移动到第2规定位置。第2规定位置在图8C中表示为从外螺纹部61a的下端起的距离P2。此外，第3夹具63与第2夹具62的间隔成为比上述第1规定距离D1短的第2规定距离D2。由此，如图8C所示，环状部件10u向比图8A所示的状态更接近外螺纹部61a的位置、即锥部61c中直径较小的位置移动。此外，与图8A所示的状态相比，环状部件10u成为沿第1夹具61的轴向被压缩的状态。由此，环状部件10u的与密封面的接触长度d变长。

第3工序还包含如下工序：在移动第2夹具62和第3夹具63后，如图8D所示，在第1层L1在第2夹具62与第3夹具63之间露出的状态下，在第1层L1的表面形成第2层L2。第2层L2例如通过与参照图8B说明的情况相同的等离子体离子注入成膜法成膜。如参照图5说明的那样，优选第2层L2的厚度比第1层L1的厚度小。此外，如参照图8C说明的那样，第2层L2的形成时与第1层L1的形成时相比，接触长度d较长，因此，第2层L2的面积比第1层L1的面积小。

作为多个层，不限于2个层，也可以形成3个以上的层。也可以是越是外侧的层，则厚度越小。也可以是越是外侧的层，则面积越小。

如上所述制造密封部件10j，由此，如参照图5说明的那样，即使对密封部件10j施加应力，也能够抑制膜10n剥落或破裂。

7.其他

图9概略地示出与准分子激光装置1连接的曝光装置100的结构。如上所述，准分子激光装置1生成激光并将其输出到曝光装置100。

在图9中，曝光装置100包含照明光学系统41和投影光学系统42。照明光学系统41通过从准分子激光装置1入射的激光对掩模版台RT的掩模版图案进行照明。投影光学系统42对透过了掩模版的激光进行缩小投影，使其在被配置于工件台WT上的未图示的工件上成像。工件是被涂布了光刻胶的半导体晶片等感光基板。曝光装置100使掩模版台RT和工件台WT同步地平行移动，由此在工件上曝光反映了掩模版图案的激光。通过以上这种曝光工序在半导体晶片上转印器件图案，由此，能够制造电子器件。

上述说明不是限制，而是简单的例示。因此，本领域技术人员明白能够在不脱离权利要求书的情况下对本公开的实施方式施加变更。此外，本领域技术人员还明白组合使用本公开的实施方式。

只要没有明确记载，则本说明书和权利要求书整体所使用的用语应该解释为“非限定性”用语。例如，“包含”或“所包含”这样的用语应该解释为“不限于记载为所包含的部分”。“具有”这样的用语应该解释为“不限于记载为所具有的部分”。此外，不定冠词“一个”应该解释为意味着“至少一个”或“一个或一个以上”。此外，“A、B和C中的至少一方”这样的用语应该解释为“A”“B”“C”“A+B”“A+C”“B+C”或“A+B+C”。进而，应该解释为还包含它们和“A”“B”“C”以外的部分的组合。

Claims (4)

1.一种密封部件的制造方法，其是在表面的一部分具有膜的环状的密封部件的制造方法，其中，所述制造方法包含以下工序：

第1工序，将构成所述密封部件的环状部件嵌在第1夹具的外周；

第2工序，利用第2夹具和第3夹具夹着所述环状部件，以成为所述环状部件的外周面在所述第2夹具与所述第3夹具之间露出的状态，所述第2夹具被配置于所述第1夹具的外周，所述第3夹具被配置于所述第1夹具的外周，通过沿所述第1夹具的轴向移动，能够变更与所述第2夹具之间的间隔；以及

第3工序，在所述密封部件的外周面在所述第2夹具与所述第3夹具之间露出的状态下，在所述环状部件的外周面形成所述膜，

所述第2工序包含如下工序：在沿所述轴向按压所述环状部件的状态下调整所述第2夹具与所述第3夹具的间隔，由此调整所述环状部件的所述轴向的尺寸，

所述密封部件配置于准分子激光装置的激光腔中的、内部收纳激光气体的容器的第1部件与第2部件的对置的2个密封面之间，所述密封部件的大气侧的表面由抑制大气透过的膜构成。

2.一种密封部件的制造方法，其是在表面的一部分具有膜的环状的密封部件的制造方法，其中，所述制造方法包含以下工序：

第1工序，将构成所述密封部件的环状部件嵌在第1夹具的外周；

第2工序，利用第2夹具和第3夹具夹着所述环状部件，以成为所述环状部件的外周面在所述第2夹具与所述第3夹具之间露出的状态，所述第2夹具被配置于所述第1夹具的外周，所述第3夹具被配置于所述第1夹具的外周，通过沿所述第1夹具的轴向移动，能够变更与所述第2夹具之间的间隔；以及

第3工序，在所述密封部件的外周面在所述第2夹具与所述第3夹具之间露出的状态下，在所述环状部件的外周面形成所述膜，

所述第1夹具的外周面具有直径沿着所述轴向变化的锥部，

所述第2夹具构成为能够沿所述第1夹具的轴向移动，

所述第1工序包含使所述环状部件的内周面与所述锥部接触的工序，

所述第2工序包含如下工序：使所述第2夹具和所述第3夹具中的至少一方沿所述轴向移动，由此调整所述环状部件的内径的尺寸，

所述密封部件配置于准分子激光装置的激光腔中的、内部收纳激光气体的容器的第1部件与第2部件的对置的2个密封面之间，所述密封部件的大气侧的表面由抑制大气透过的膜构成。

3.一种密封部件的制造方法，其是在表面的一部分具有膜的环状的密封部件的制造方法，其中，所述制造方法包含以下工序：

第1工序，将构成所述密封部件的环状部件嵌在第1夹具的外周；

第2工序，利用第2夹具和第3夹具夹着所述环状部件，以成为所述环状部件的外周面在所述第2夹具与所述第3夹具之间露出的状态，所述第2夹具被配置于所述第1夹具的外周，所述第3夹具被配置于所述第1夹具的外周，通过沿所述第1夹具的轴向移动，能够变更与所述第2夹具之间的间隔；以及

第3工序，在所述密封部件的外周面在所述第2夹具与所述第3夹具之间露出的状态下，在所述环状部件的外周面形成所述膜，

所述第3工序包含如下工序：形成所述膜中包含的第1层，然后在比所述第1层更靠外侧的位置形成所述膜中包含的第2层，

在形成所述第1层之后、且形成所述第2层之前，变更所述第2夹具与所述第3夹具的间隔，由此变更所述环状部件的所述轴向的尺寸，

所述密封部件配置于准分子激光装置的激光腔中的、内部收纳激光气体的容器的第1部件与第2部件的对置的2个密封面之间，所述密封部件的大气侧的表面由抑制大气透过的膜构成。

4.一种密封部件的制造方法，其是在表面的一部分具有膜的环状的密封部件的制造方法，其中，所述制造方法包含以下工序：

第1工序，将构成所述密封部件的环状部件嵌在第1夹具的外周；

第2工序，利用第2夹具和第3夹具夹着所述环状部件，以成为所述环状部件的外周面在所述第2夹具与所述第3夹具之间露出的状态，所述第2夹具被配置于所述第1夹具的外周，所述第3夹具被配置于所述第1夹具的外周，通过沿所述第1夹具的轴向移动，能够变更与所述第2夹具之间的间隔；以及

第3工序，在所述密封部件的外周面在所述第2夹具与所述第3夹具之间露出的状态下，在所述环状部件的外周面形成所述膜，

所述第1夹具的外周面具有直径沿着所述轴向变化的锥部，

所述第2夹具构成为能够沿所述第1夹具的轴向移动，

所述第1工序包含使所述环状部件的内周面与所述锥部接触的工序，

所述第3工序包含如下工序：形成所述膜中包含的第1层，然后在比所述第1层更靠外侧的位置形成所述膜中包含的第2层，

在形成所述第1层之后、且形成所述第2层之前，使所述第2夹具和所述第3夹具中的至少一方沿所述轴向移动，由此变更所述环状部件的内径的尺寸，

所述密封部件配置于准分子激光装置的激光腔中的、内部收纳激光气体的容器的第1部件与第2部件的对置的2个密封面之间，所述密封部件的大气侧的表面由抑制大气透过的膜构成。

Images