JPH10256625A

JPH10256625A - ガスレーザ装置

Info

Publication number: JPH10256625A
Application number: JP5151197A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Sumino; 努角野
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1997-03-06
Filing date: 1997-03-06
Publication date: 1998-09-25

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は圧力容器からのガスの漏洩をレーザ特
性が劣化する前の漏洩の初期段階で検知することがで
き、しかも装置全体が格別に大きくなるおそれがないガ
スレーザ装置を提供することを目的とする。【解決手段】圧力容器２２と、絶縁フランジ３５との
間、およびこの絶縁フランジ３５と放電部２３の電極ホ
ルダ４３との間の二重構造のＯリング装着溝３７，３
８、４１，４２にＯリング４５を装着し、かつ二重構造
のＯリング装着溝３７，３８、４１，４２間に漏洩ガス
検知溝４６，４７を形成し、この検知溝４６，４７に漏
洩ガス検知手段４８を設けたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧力容器内に大気
圧以外の圧力のガスが封入されたガスレーザ装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ガスレーザ装置として例えばＣ
Ｏ₂ レーザ、エキシマレーザなどの横励起式のパルスガ
スレーザ装置が知られている。図３（Ａ）は大気圧以上
のガスを用いるＣＯ₂ レーザ、エキシマレーザなどのパ
ルスガスレーザ装置１の概略構成を示すものである。こ
のガスレーザ装置１には放電励起用のレーザ媒質ガスを
封入する圧力容器２が設けられている。

【０００３】この圧力容器２内には放電部３と、圧力容
器２内のガスを循環するための貫流ファン４とが配設さ
れている。ここで、放電部３には陰極と陽極とからな
り、レーザ媒質ガスを励起するための放電を発生させる
一対の主放電電極５ａ，５ｂと、そのエネルギーを蓄え
るコンデンサ６と、主放電電極５ａ，５ｂに励起放電を
生じさせる前に主放電電極５ａ，５ｂ間に荷電粒子を供
給する予備電離電極７とがそれぞれ設けられている。な
お、主放電電極５ａ，５ｂは所定の間隔で離間対向配置
されている。

【０００４】また、圧力容器２の外部には、放電回路８
が配設されている。この放電回路８には高電圧電源９、
充電用抵抗１０、インダクタンス１１、主コンデンサ１
２、高電圧スイッチ素子１３がそれぞれ設けられてい
る。そして、放電回路８の主コンデンサ１２から一対の
主放電電極５ａ，５ｂに電力を供給することにより、こ
れら主放電電極５ａ，５ｂ間に励起放電を点弧させて主
放電を発生させ、その主放電によってガスレーザ媒質が
励起されてレーザ光が放出されるようになっている。

【０００５】また、圧力容器２には上面が開口された容
器本体１４が設けられている。この容器本体１４の上面
開口部には略枠状の絶縁フランジ１５を介して放電部３
が組込まれている。さらに、容器本体１４の上面開口部
の周縁部位と絶縁フランジ１５との接触面、および絶縁
フランジ１５と放電部３との接触面にはそれぞれＯリン
グ装着溝１６が設けられている。これらのＯリング装着
溝１６には樹脂または金属のＯリング１７が装着され、
圧力容器２内が気密にシールされている。なお、圧力容
器２には図示しない圧力計が接続され、この圧力計によ
って圧力容器２内の圧力が測定されている。

【０００６】また、特開平４−３４０７８０号公報には
図３（Ｂ）に示すように、圧力容器２の外側にさらに別
の圧力容器（圧力隔壁）１８を配設して二重構造にする
ことにより、圧力容器２内の気密を確保する目的以外
に、内側の圧力容器２からガス漏洩が生じても外側の圧
力容器１８で漏洩をとめる構造にしたガスレーザ装置が
示されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】図３（Ａ）に示す上記
従来構成のガスレーザ装置にあってはＯリング１７の損
傷や、圧力容器２の容器本体１４、絶縁フランジ１５の
Ｏリング装着溝１６の損傷により、圧力容器２内の気密
性が保持できなくなり、圧力容器２内のガスが大気側に
漏洩するおそれがある。このように圧力容器２内のガス
が漏洩した場合には圧力容器２内のガス圧力が低下し、
圧力容器２内に不純物が入込むおそれがあるため、レー
ザ出力の低下などレーザ発振特性が悪くなる問題があ
る。さらに、レーザガスが有害な場合は圧力容器２内の
ガスの漏洩によってガスレーザ装置１の構成要素を劣化
させるおそれがある。

【０００８】また、圧力容器２内のガス漏洩は圧力容器
２に接続した圧力計の測定値の低下によって検知してい
る。しかしながら、圧力容器２内のガス圧力はガス温度
によって変化するため、正確な圧力値を把握することは
難しい問題がある。

【０００９】さらに、容積が大きい圧力容器２内のガス
圧力を圧力計で測定し、圧力計の測定値の低下によって
圧力容器２内のガス漏洩を検知する構成になっているの
で、迅速に圧力容器２内のガス漏洩を検知することがで
きない問題がある。特に、漏洩の初期段階では圧力計の
測定値によって圧力容器２内のガス漏洩を判定すること
は困難である。

【００１０】また、図３（Ｂ）に示すような二重圧力容
器方式の場合には内側の圧力容器２でガス漏洩があった
際に外側の圧力容器１８で外部側へのガスの漏洩を止め
ることはできる。しかしながら、この場合には圧力計に
よるガス漏洩の判定ができるまで内側の圧力容器２から
のガスの漏洩が継続される問題があるので、この場合に
も内側の圧力容器２内のガス圧力が低下し、レーザ出力
の低下などレーザ発振特性が悪くなるとともに、圧力容
器２内のガスの漏洩によってガスレーザ装置１の構成要
素を劣化させるおそれもある。

【００１１】さらに、ガスレーザ装置１に図３（Ｂ）に
示すような二重圧力容器（圧力容器２および圧力容器１
８）を使用した場合にはガスレーザ装置１全体の構造が
大きくなる問題もある。

【００１２】なお、ガスレーザ装置１では予め定められ
た一定の使用期間毎に定期的に点検・保守を行うことが
一般的であるが、一定の使用期間内に圧力容器２内のガ
スのリークが発生した場合には、従来のガスレーザ装置
１では性能の低下を避けることができず、ガスレーザ装
置１の修理を行わざるをえない問題がある。

【００１３】本発明は上記事情に着目してなされたもの
で、その目的は、圧力容器からのガスの漏洩をレーザ特
性が劣化する前の漏洩の初期段階で検知することがで
き、しかも装置全体が格別に大きくなるおそれがないガ
スレーザ装置を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は大気圧
以上の圧力のガスを封入する圧力容器内に主放電電極が
対向配置され、これら主放電電極間に主コンデンサから
電力を供給して主放電を発生させる放電回路を備えたガ
スレーザ装置において、前記圧力容器を開閉可能に閉塞
する閉塞体と前記圧力容器との間の接合面に全周に亙り
形成された少なくとも二重構造のシール手段装着溝と、
前記各シール手段装着溝に装着された前記圧力容器内を
気密にシールするシール手段と、前記閉塞体と前記圧力
容器との間の接合面における前記２つのシール手段装着
溝間に形成された漏洩ガス検知溝と、この漏洩ガス検知
溝に設けられた前記圧力容器側から漏洩するガスを検知
する漏洩ガス検知手段とを具備したことを特徴とするガ
スレーザ装置である。そして、本請求項１の発明では圧
力容器内からガスが漏洩した場合にはその漏洩ガスが容
積が圧力容器よりも大幅に小さい漏洩ガス検知溝内に流
入した際に、漏洩ガス検知手段によって圧力容器側から
漏洩するガスが検知される。これにより、圧力容器から
のガス漏洩をレーザ特性の劣化が生じる前に検知できる
ようにしたものである。

【００１５】請求項２の発明は前記漏洩ガス検知手段は
前記漏洩ガス検知溝に接続され、前記漏洩ガス検知溝内
のガス濃度を測定するガス検知器によって形成されるこ
とを特徴とする請求項１に記載のガスレーザ装置であ
る。そして、本請求項２の発明では圧力容器内からガス
が漏洩した場合にはその漏洩ガスが漏洩ガス検知溝内に
流入した際に、ガス検知器によって漏洩ガス検知溝内の
ガス濃度を測定するようにしたものである。

【００１６】請求項３の発明は前記漏洩ガス検知手段は
前記漏洩ガス検知溝に接続され、前記漏洩ガス検知溝内
を前記圧力容器内のガス圧力より低圧力にできる排気装
置を備えていることを特徴とする請求項１に記載のガス
レーザ装置である。そして、本請求項３の発明では排気
装置によって漏洩ガス検知溝内を圧力容器内のガス圧力
より低圧力にすることにより、圧力容器内から漏洩した
漏洩ガスを迅速に漏洩ガス検知溝内に流入させるように
したものである。

【００１７】請求項４の発明は前記漏洩ガス検知手段は
前記漏洩ガス検知溝に接続され、前記漏洩ガス検知溝内
を前記圧力容器内のガス圧力より高圧力にできるガス供
給手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載の
ガスレーザ装置である。そして、本請求項４の発明では
圧力容器内からガスが漏洩した場合にはその漏洩ガスが
漏洩ガス検知溝内に流入した際に、ガス供給手段によっ
て漏洩ガス検知溝内にガスを供給して漏洩ガス検知溝内
を圧力容器内のガス圧力より高圧力にするようにしたも
のである。

【００１８】請求項５の発明は大気圧以上の圧力のガス
を封入する圧力容器内に主放電電極が対向配置され、こ
れら主放電電極間に主コンデンサから電力を供給して主
放電を発生させる放電回路を備え、ガスレーザ媒質を前
記主放電によって励起してレーザ光を出力するガスレー
ザ装置において、前記圧力容器を開閉可能に閉塞する閉
塞体と前記圧力容器との間の接合面に全周に亙り形成さ
れた少なくとも二重構造のシール手段装着溝と、前記各
シール手段装着溝に装着され、前記圧力容器内を気密に
シールするシール手段と、前記閉塞体と前記圧力容器と
の間の接合面における前記２つのシール手段装着溝間に
形成された漏洩ガス検知溝と、この漏洩ガス検知溝に設
けられ、前記圧力容器側から漏洩するガスを検知する漏
洩ガス検知手段と、前記漏洩ガス検知手段によって検知
された測定データに基いて前記圧力容器内のガスの排気
や、前記圧力容器内への前記ガスレーザ媒質以外のガス
の供給を制御するガス制御手段とを具備したことを特徴
とするガスレーザ装置である。そして、本請求項５の発
明では圧力容器内からガスが漏洩した場合にはその漏洩
ガスが容積が圧力容器よりも大幅に小さい漏洩ガス検知
溝内に流入した際に、漏洩ガス検知手段によって圧力容
器側から漏洩するガスが検知される。これにより、圧力
容器からのガス漏洩をレーザ特性の劣化が生じる前に検
知できる。さらに、漏洩ガス検知手段によって検知され
た測定データに基いてガス制御手段によって圧力容器内
のガスの排気や、前記圧力容器内へのガスレーザ媒質以
外のガスの供給を制御するようにしたものである。

【００１９】請求項６の発明は前記シール手段はＯリン
グであることを特徴とする請求項１または５に記載のガ
スレーザ装置である。そして、本請求項６の発明では閉
塞体と、圧力容器との間の接合面のシール手段装着溝に
装着されたＯリングによって圧力容器内を気密にシール
するようにしたものである。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
１および図２を参照して説明する。図１は本実施の形態
の例えばＣＯ₂ レーザ、エキシマレーザなどの横励起式
のガスレーザ装置２１の概略構成を示すものである。こ
のガスレーザ装置２１には放電励起用のガスレーザ媒質
を封入する圧力容器２２が設けられている。

【００２１】この圧力容器２２内には放電部２３と、圧
力容器２２内のガスを循環するための貫流ファン２４と
が配設されている。ここで、放電部２３には陰極と陽極
とからなる一対の主放電電極２５ａ，２５ｂと、そのエ
ネルギーを蓄えるピーキングコンデンサ２６と、主放電
電極２５ａ，２５ｂに励起放電を生じさせる前に主放電
電極２５ａ，２５ｂ間に荷電粒子を供給する予備電離電
極２７とがそれぞれ設けられている。なお、一対の主放
電電極２５ａ，２５ｂは所定の間隔で上下に離間対向配
置されている。

【００２２】また、圧力容器２２の外部には、放電回路
２８が配設されている。この放電回路２８には高電圧電
源２９、充電用抵抗３０、インダクタンス３１、主コン
デンサ３２、高電圧スイッチ素子３３がそれぞれ設けら
れている。そして、放電回路２８の主コンデンサ３２か
ら一対の主放電電極２５ａ，２５ｂに電力を供給するこ
とにより、これら主放電電極２５ａ，２５ｂ間に励起放
電を点弧させて主放電を発生させ、その主放電によって
ガスレーザ媒質が励起されてレーザ光が放出されるよう
になっている。

【００２３】また、圧力容器２２には上面が開口された
容器本体３４が設けられている。この容器本体３４の上
面開口部には略枠状の絶縁フランジ３５を介して放電部
２３が組込まれている。そして、容器本体３４の上面開
口部は絶縁フランジ３５および放電部２３によって開閉
可能に閉塞され、絶縁フランジ３５および放電部２３に
よって圧力容器２２を開閉可能に閉塞する閉塞体が形成
されている。

【００２４】さらに、本実施の形態の容器本体３４の上
面には開口部の周縁部位に絶縁フランジ３５と接合され
る略矩形枠状の幅広の接合フランジ部３６が形成されて
いる。この接合フランジ部３６には図２に示すように全
周に亙り二重構造のＯリング装着溝（シール手段装着
溝）３７，３８が形成されている。

【００２５】また、絶縁フランジ３５には外周部位に容
器本体３４の接合フランジ部３６と接合される略矩形枠
状の容器接合部３９、この容器接合部３９の内側には図
１に示すように断面形状が略クランク状に屈曲された内
側屈曲部４０がそれぞれ形成されている。この内側屈曲
部４０は図１に示すように容器本体３４の上面開口部か
ら容器本体３４の内部側に挿入されている。

【００２６】また、絶縁フランジ３５の内側屈曲部４０
の略中央部位には放電部２３の装着用の開口部４０ａが
形成されている。さらに、絶縁フランジ３５の内側屈曲
部４０の上面側（放電部２３との接合面側）には図２に
示すように開口部４０ａの周囲に沿って全周に亙り二重
構造のＯリング装着溝（シール手段装着溝）４１，４２
が形成されている。

【００２７】また、放電部２３には一方の主放電電極２
５ａを支持する電極ホルダ４３が設けられている。この
電極ホルダ４３の外周部位には絶縁フランジ３５の内側
屈曲部４０の上面側に接合される平板状のフランジ接合
部４４が形成されている。

【００２８】また、容器本体３４における接合フランジ
部３６のＯリング装着溝３７，３８および絶縁フランジ
３５における内側屈曲部４０のＯリング装着溝４１，４
２には樹脂または金属のＯリング（シール手段）４５が
それぞれ装着されている。そして、容器本体３４の接合
フランジ部３６と絶縁フランジ３５の容器接合部３９と
の間、および絶縁フランジ３５の内側屈曲部４０と放電
部２３のフランジ接合部４４との間はこれらのＯリング
４５によってそれぞれシールされ、その結果、圧力容器
２２内が気密にシールされている。

【００２９】また、容器本体３４の接合フランジ部３６
には内外の２つのＯリング装着溝３７，３８間に漏洩ガ
ス検知溝４６が形成されている。同様に、絶縁フランジ
３５の内側屈曲部４０にはＯリング装着溝４１，４２間
に漏洩ガス検知溝４７が形成されている。これらの漏洩
ガス検知溝４６，４７には圧力容器２２側から漏洩する
ガスを検知する漏洩ガス検知手段４８が設けられてい
る。

【００３０】この漏洩ガス検知手段４８には圧力容器２
２の外部に配設されたガス管路４９が設けられている。
このガス管路４９の中途部には２つの開閉バルブ５０，
５１が介設されている。さらに、２つの開閉バルブ５
０，５１間の管路には一端部が漏洩ガス検知溝４６に連
結された第１の連結管路５２の他端部、および一端部が
漏洩ガス検知溝４７に連結された第２の連結管路５３の
他端部がそれぞれ連結されている。

【００３１】また、ガス管路４９における一方の開閉バ
ルブ５０の側の端部にはガス検知器５４を通して真空ポ
ンプ（排気装置）５５が連結されている。ここで、ガス
検知器５４は漏洩ガス検知溝４６，４７内のガス濃度を
測定するものである。さらに、真空ポンプ５５は漏洩ガ
ス検知溝４６，４７内を真空排気して圧力容器２２内の
ガス圧力より低圧力にするものである。

【００３２】さらに、ガス管路４９における他方の開閉
バルブ５１の側の端部にはガス供給装置（ガス供給手
段）５６が連結されている。このガス供給装置５６はガ
ス管路４９にガスを供給して漏洩ガス検知溝４６，４７
内を圧力容器２２内のガス圧力より高圧力にするもので
ある。

【００３３】また、圧力容器２２にはガス供給管路５７
および排気管路５８の各一端部が連結されている。ここ
で、ガス供給管路５７には圧力容器２２内のガス媒体を
供給するガス供給装置５９および開閉バルブ６０がそれ
ぞれ連結されている。さらに、排気管路５８には真空ポ
ンプ６１および開閉バルブ６２がそれぞれ連結されてい
る。

【００３４】また、ガス検知器５４および４つの開閉バ
ルブ５０，５１，６０，６２は圧力容器２２内のガス制
御装置（制御手段）６３にそれぞれ接続されている。さ
らに、この制御装置６３には例えばガスレーザ装置２１
の運転状態を表示する表示装置６４が接続されている。
そして、ガス検知器５４によって検知された測定データ
に基いて制御装置５７によって４つの開閉バルブ５０，
５１，６０，６２の開閉動作が制御され、圧力容器２２
内のガスの排気や、圧力容器２２内へのガスレーザ媒質
以外のガスの供給を制御するとともに、表示装置６４の
表示状態が制御されるようになっている。

【００３５】次に、上記構成の作用について説明する。
本実施の形態のガスレーザ装置２１の使用時には通常は
開閉バルブ５１，６０，６２は閉状態で保持され、開閉
バルブ５０は開状態で保持される。この状態では、真空
ポンプ５５によってガス管路４９および第１の連結管路
５２、第２の連結管路５３を通して漏洩ガス検知溝４
６，４７内が真空排気された真空状態で保持される。

【００３６】また、ガスレーザ装置２１の使用中、圧力
容器２２の容器本体３４の接合フランジ部３６における
内側のＯリング装着溝３７内のＯリング４５か、または
Ｏリング装着溝３７が損傷してガスリークが生じた場
合、或いは絶縁フランジ３５の内側屈曲部４０における
内側のＯリング装着溝４１内のＯリング４５か、または
Ｏリング装着溝４１が損傷してガスリークが生じた場合
には漏洩ガスは漏洩ガス検知溝４６，４７内に流入され
る。このとき、ガス検知器５４で測定される漏洩ガス検
知溝４６，４７内のガス濃度の変化によって漏洩ガスが
漏洩ガス検知溝４６，４７内に流入された状態が検知さ
れる。

【００３７】このガス検知器５４の測定データ（検知情
報）は制御装置６３に送られる。そして、圧力容器２２
内のガスが漏洩ガス検知溝４６，４７内に漏洩されたガ
ス漏洩状態が検知された時点で、制御装置６３によって
開閉バルブ５０が閉操作され、真空排気が停止される。
続いて、開閉バルブ５１が開操作される。これにより、
ガス供給装置５６から安全な希ガスが漏洩ガス検知溝４
６，４７内に供給され、圧力容器２２内のガス圧力と同
じ圧力、ないしはそれ以上の高圧力で封入される。

【００３８】また、圧力容器２２内のガスの漏洩状態の
検知時には制御装置６３からの制御信号に基いて表示装
置６４に圧力容器２２内のガスの漏洩状態を示す表示が
行われる。このとき、表示装置６４の表示と同時にブザ
ー等の警報装置を動作させる構成にしてもよい。

【００３９】そこで、上記構成のものにあっては次の効
果を奏する。すなわち、容器本体３４の接合フランジ部
３６および絶縁フランジ３５の内側屈曲部４０にそれぞ
れ二重構造のＯリング装着溝３７，３８、４１，４２を
形成し、各Ｏリング装着溝３７，３８、４１，４２にＯ
リング４５をそれぞれ装着することにより、圧力容器２
２内を気密にシールするとともに、容器本体３４の２つ
のＯリング装着溝３７，３８間に漏洩ガス検知溝４６、
絶縁フランジ３５の２つのＯリング装着溝４１，４２間
に漏洩ガス検知溝４７をそれぞれ形成し、これらの漏洩
ガス検知溝４６，４７に圧力容器２２側から漏洩するガ
スを検知する漏洩ガス検知手段４８を設けたので、容積
が小さい漏洩ガス検知溝４６，４７内に流入する微小量
の漏洩ガスによって圧力容器２２内のガス漏洩を検知す
ることができる。そのため、圧力容器２２からのガスの
漏洩の初期段階で圧力容器２２内のガス漏洩を検知する
ことができるので、レーザ出力の低下などレーザ発振特
性が悪くなる前に確実に圧力容器２２内のガス漏洩対策
を施すことができ、圧力容器２２内のガスの漏洩によっ
てガスレーザ装置２１の構成要素を劣化させることを防
止することができる。

【００４０】また、本実施の形態では図３（Ｂ）に示す
従来例のように圧力容器２の外側にさらに別の圧力容器
（圧力隔壁）１８を配設して二重構造にする必要がない
ので、ガスレーザ装置２１全体が格別に大きくなるおそ
れがない。

【００４１】さらに、本実施の形態では漏洩ガス検知溝
４６，４７の外側にＯリング装着溝３８，４２がそれぞ
れ配設されているので、圧力容器２２内のガスが漏洩ガ
ス検知溝４６，４７の内側のＯリング装着溝３７，４１
のＯリング４５装着部を介して漏洩ガス検知溝４６，４
７側に漏洩した際に、漏洩ガス検知溝４６，４７の外側
のＯリング装着溝３８，４２のＯリング４５装着部によ
ってその漏洩ガスが圧力容器２２の外部の大気中に放出
されることを確実に防止することができ、安全性を大幅
に向上させることができる。

【００４２】また、圧力容器２２内のガスが漏洩ガス検
知溝４６，４７内に漏洩されたガス漏洩状態が検知され
た際に、制御装置６３によって開閉バルブ５０が閉操作
され、真空排気が停止されるとともに、開閉バルブ５１
が開操作されてガス供給装置５６から安全な希ガス（例
えば、ヘリウムガス等）が漏洩ガス検知溝４６，４７内
に供給され、圧力容器２２内のガス圧力と同じ圧力、な
いしはそれ以上の高圧力で封入されるガスレーザ装置２
１の自己修復機能を設けたので、圧力容器２２内のガス
が外部の大気中に放出されることを一層確実に防止する
ことができる。そして、この場合には人的な修理なしに
ガスレーザ装置２１自体で圧力容器２２内のガス漏洩に
対する対応ができるので、ガスレーザ装置２１の保守点
検作業を大幅に効率化することができる。

【００４３】さらに、圧力容器２２内のガス媒体として
例えばエキシマレーザのように腐食性の強いハロゲンガ
スを使用する場合、圧力容器２２内からの漏洩ガスによ
り漏洩ガス検知溝４６，４７の外側のＯリング装着溝３
８，４２のＯリング４５への腐食の影響を小さくし、外
側のＯリング４５の損傷を軽減することができる。

【００４４】また、圧力容器２２内のガスが漏洩ガス検
知溝４６，４７内に漏洩されたガス漏洩状態が検知され
た際に、制御装置６３によって開閉バルブ６２を開操作
し、圧力容器２２内のガスを排気管路５８を通して圧力
容器２２の外部の図示しない回収装置等に全て回収する
構成にしてもよい。

【００４５】なお、本発明は上記実施の形態に限定され
るものではない。例えば、容器本体３４の接合フランジ
部３６に放電部２３の電極ホルダ４３のフランジ接合部
４４を直接的に接合させ、上記実施の形態の絶縁フラン
ジ３５を省略する構成にしてもよい。さらに、その他、
本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施できるこ
とは勿論である。

【００４６】

【発明の効果】請求項１の発明によれば圧力容器内から
ガスが漏洩した場合にその漏洩ガスが容積が圧力容器よ
りも大幅に小さい漏洩ガス検知溝内に流入した際に、漏
洩ガス検知手段によって圧力容器側から漏洩するガスが
検知されるようにしたので、圧力容器からのガスの漏洩
をレーザ特性が劣化する前の漏洩の初期段階で迅速に検
知することができ、しかも装置全体が格別に大きくなる
おそれがない。

【００４７】請求項２の発明によれば圧力容器内からガ
スが漏洩した場合にはその漏洩ガスが漏洩ガス検知溝内
に流入した際に、ガス検知器によって漏洩ガス検知溝内
のガス濃度を測定するようにしたので、請求項１と同様
の効果がある。

【００４８】請求項３の発明によれば排気装置によって
漏洩ガス検知溝内を圧力容器内のガス圧力より低圧力に
するようにしたので、圧力容器内から漏洩した漏洩ガス
を迅速に漏洩ガス検知溝内に流入させることができ、圧
力容器内からの漏洩ガスの検知を迅速に行うことができ
る。

【００４９】請求項４の発明によれば圧力容器内からガ
スが漏洩した場合にはその漏洩ガスが漏洩ガス検知溝内
に流入した際に、ガス供給手段によって漏洩ガス検知溝
内にガスを供給して漏洩ガス検知溝内を圧力容器内のガ
ス圧力より高圧力にするようにしたので、請求項１と同
様の効果がある。

【００５０】請求項５の発明によれば圧力容器内からガ
スが漏洩した場合にはその漏洩ガスが容積が圧力容器よ
りも大幅に小さい漏洩ガス検知溝内に流入した際に、漏
洩ガス検知手段によって圧力容器側から漏洩するガスが
検知されるようにしたので、請求項１と同様に圧力容器
からのガス漏洩をレーザ特性の劣化が生じる前に検知で
きる。さらに、本請求項では漏洩ガス検知手段によって
検知された測定データに基いて圧力容器内のガス制御手
段によって圧力容器内のガスの排気や、前記圧力容器内
へのガスレーザ媒質以外のガスの供給を制御するように
したので、安全性をさらに高めることができる。

【００５１】請求項６の発明によれば閉塞体と、圧力容
器との間の接合面のシール手段装着溝に装着されたＯリ
ングによって圧力容器内を気密にシールするようにした
ので、請求項１または５と同様の効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態のガスレーザ装置の概略
構成図。

【図２】一実施の形態のガスレーザ装置の絶縁フランジ
の内外のＯリング装着溝および漏洩ガス検知溝を示す平
面図。

【図３】（Ａ）は従来のガスレーザ装置の概略構成図、
（Ｂ）は（Ａ）とは別の従来のガスレーザ装置の概略構
成図。

【符号の説明】

２２圧力容器２３放電部（閉塞体）２５ａ，２５ｂ主放電電極３２主コンデンサ３５絶縁フランジ（閉塞体）３７，３８、４１，４２Ｏリング装着溝（シール手
段装着溝）４５Ｏリング（シール手段）４６，４７漏洩ガス検知溝４８漏洩ガス検知手段５４ガス検知器５５真空ポンプ（排気装置）５６ガス供給装置（ガス供給手段）６３制御装置（制御手段）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】大気圧以上の圧力のガスを封入する圧力
容器内に主放電電極が対向配置され、これら主放電電極
間に主コンデンサから電力を供給して主放電を発生させ
る放電回路を備えたガスレーザ装置において、前記圧力容器を開閉可能に閉塞する閉塞体と前記圧力容
器との間の接合面に全周に亙り形成された少なくとも二
重構造のシール手段装着溝と、前記各シール手段装着溝に装着された前記圧力容器内を
気密にシールするシール手段と、前記閉塞体と前記圧力容器との間の接合面における前記
２つのシール手段装着溝間に形成された漏洩ガス検知溝
と、この漏洩ガス検知溝に設けられた前記圧力容器側から漏
洩するガスを検知する漏洩ガス検知手段とを具備したこ
とを特徴とするガスレーザ装置。
【請求項２】前記漏洩ガス検知手段は前記漏洩ガス検
知溝に接続され、前記漏洩ガス検知溝内のガス濃度を測
定するガス検知器によって形成されることを特徴とする
請求項１に記載のガスレーザ装置。
【請求項３】前記漏洩ガス検知手段は前記漏洩ガス検
知溝に接続され、前記漏洩ガス検知溝内を前記圧力容器
内のガス圧力より低圧力にできる排気装置を備えている
ことを特徴とする請求項１に記載のガスレーザ装置。
【請求項４】前記漏洩ガス検知手段は前記漏洩ガス検
知溝に接続され、前記漏洩ガス検知溝内を前記圧力容器
内のガス圧力より高圧力にできるガス供給手段を備えて
いることを特徴とする請求項１に記載のガスレーザ装
置。
【請求項５】大気圧以上の圧力のガスを封入する圧力
容器内に主放電電極が対向配置され、これら主放電電極
間に主コンデンサから電力を供給して主放電を発生させ
る放電回路を備え、ガスレーザ媒質を前記主放電によっ
て励起してレーザ光を出力するガスレーザ装置におい
て、前記圧力容器を開閉可能に閉塞する閉塞体と前記圧力容
器との間の接合面に全周に亙り形成された少なくとも二
重構造のシール手段装着溝と、前記各シール手段装着溝に装着され、前記圧力容器内を
気密にシールするシール手段と、前記閉塞体と前記圧力容器との間の接合面における前記
２つのシール手段装着溝間に形成された漏洩ガス検知溝
と、この漏洩ガス検知溝に設けられ、前記圧力容器側から漏
洩するガスを検知する漏洩ガス検知手段と、前記漏洩ガス検知手段によって検知された測定データに
基いて前記圧力容器内のガスの排気や、前記圧力容器内
への前記ガスレーザ媒質以外のガスの供給を制御するガ
ス制御手段とを具備したことを特徴とするガスレーザ装
置。
【請求項６】前記シール手段はＯリングであることを
特徴とする請求項１または５に記載のガスレーザ装置。