JP7412562B2 - ガス放電レーザチャンバのためのアンダーカット電極 - Google Patents
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Description
[0001] 本出願は、UNDERCUT ELECTRODES FOR A LIGHT SOURCEと題する、2019年12月31日に出願された、米国特許出願第62/955,542号、及びUNDERCUT ELECTRODES FOR A GAS DISCHARGE LASER CHAMBERと題する、2020年5月22日に出願された、米国特許出願第63/029,099号に対する優先権を主張する。両出願は全体が本明細書において参照により組み込まれる。
[0058] 図1A及び図1Bは、それぞれ、本発明の実施形態を実施することができる、リソグラフィ装置100及びリソグラフィ装置100’の概略図である。リソグラフィ装置100及びリソグラフィ装置100’は、それぞれ、以下のものを含む、即ち、放射ビームB(例えば、深紫外線(DUV)放射)を調節するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、パターニングデバイス(例えば、マスク、レチクル、又はダイナミックパターニングデバイス)MAを支持するように構成され、かつパターニングデバイスMAを正確に位置決めするように構成された第1のポジショナPMに接続された、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTと、基板(例えば、フォトレジスト塗布ウェーハ)Wを保持するように構成され、かつ基板Wを正確に位置決めするように構成された第2のポジショナPWに接続された、基板テーブル(例えば、ウェーハテーブル)WTとを含む。リソグラフィ装置100及び100’は、パターニングデバイスMAによって放射ビームBに付与されたパターンを、基板Wの(例えば、1つ又は複数のダイを含む)ターゲット部分Cに投影するように構成された、投影システムPSも有する。リソグラフィ装置100では、パターニングデバイスMA及び投影システムPSは反射型である。リソグラフィ装置100’では、パターニングデバイスMA及び投影システムPSは透過型である。
[0082] ガス放電レーザにおける放電プラズマのための電極の不均等な侵食は放電チャンバの寿命を制限する。不均等な侵食は、電極の幾何学構成の最適化された設計を用いて電極全体にわたる放電強度を再分布させることによって、著しく改善することができる。ここで開示されるアンダーカット及び/又は空洞化電極は、電極のアンダーカット又は空洞化区分の場所における局所的放電強度を低減し、したがって、侵食プロファイルを均一にし、放電チャンバの寿命を増大させる。実施形態によっては、ここで開示されるアンダーカット電極は電極の両端部において局所的プラズマ放電強度を低減し、侵食プロファイルを均一にし、放電チャンバの寿命を増大させる。
1.ガス放電媒体を保持するように構成されたチャンバと、
ガス放電媒体を励起し、出力光ビームを生成するプラズマを生成するように構成された対向電極の対と、
を備え、
対向電極の対のうちの少なくとも一方の電極が、少なくとも一方の電極の各端部に形成された凹状部分を含む、光源装置。
2.電極の対の各電極が、
ガス放電媒体に内向きに面した第1の表面、及び
第1の表面と反対の第2の表面を含み、少なくとも一方の電極の凹状部分が第2の表面の各端部において第2の表面内に形成されている、条項1に記載の光源装置。
3.少なくとも一方の電極が、バルク厚さ、及びガス放電媒体に内向きに面した平面状の第1の表面を含み、凹状部分が、少なくとも一方の電極の端部がバルク厚さ未満の厚さを有するアンダーカット部分を各々含む、条項1に記載の光源装置。
4.電極の対のうちの少なくとも一方の電極がアノードを含む、条項1に記載の光源装置。
5.電極の対のうちの少なくとも一方の電極がカソードを含む、条項1に記載の光源装置。
6.電極の対の各電極が、各端部に形成された凹状部分を含む、条項1に記載の光源装置。
7.電極の対の各電極が、
ガス放電媒体に内向きに面した第1の表面、及び
第1の表面と反対の第2の表面を含み、少なくとも一方の電極の凹状部分が、第1及び第2の表面の間に形成された空洞化部分である、条項1に記載の光源装置。
8.ガス放電媒体が、エキシマ及び/又はエキシプレックスを形成するためのハロゲンガス及び希ガスを含む、条項1に記載の光源装置。
9.ガス放電媒体が、F2、ArF、KrF、及び/又はXeFを含む、条項1に記載の光源装置。
10.チャンバの周りの光共振器を形成するように構成された光学要素のセットを更に備える、条項1に記載の光源装置。
11.アンダーカット電極であって、
ガス放電媒体に内向きに面した第1の表面、
第1の表面と反対の第2の表面、及び
アンダーカット電極の各端部に形成された凹状部分、
を含む、アンダーカット電極。
12.アンダーカット電極がバルク厚さを含み、凹状部分が、アンダーカット電極の端部がバルク厚さ未満の厚さを有する第2の表面内のアンダーカット部分を各々含む、条項11に記載のアンダーカット電極。
13.凹状部分が、第1及び第2の表面の間に形成された空洞化部分である、条項11に記載のアンダーカット電極。
14.空洞化部分に非導電材料が充填されている、条項13に記載のアンダーカット電極。
15.凹状部分が長方形状凹部を含む、条項11に記載のアンダーカット電極。
16.凹状部分が湾曲した凹部を含む、条項11に記載のアンダーカット電極。
17.アンダーカット電極がアノードを含む、条項11に記載のアンダーカット電極。
18.アンダーカット電極がカソードを含む、条項11に記載のアンダーカット電極。
19.ガス媒体を励起し、プラズマを形成するように構成された対向電極の対であって、電極の対の各電極が、
ガス媒体に内向きに面した第1の表面、及び
第1の表面と反対の第2の表面、
を含み、
対向電極の対のうちの少なくとも一方の電極が、少なくとも一方の電極の各端部に形成された凹状部分を含む、対向電極の対。
20.少なくとも一方の電極がバルク厚さを含み、第1の表面が、ガス放電媒体に内向きに面した平面状の表面を含み、凹状部分が、少なくとも一方の電極の端部がバルク厚さ未満の厚さを有するアンダーカット部分を各々含む、条項19に記載の対向電極の対。
21.凹状部分が長方形状凹部を含む、条項19に記載の対向電極の対。
22.凹状部分が湾曲した凹部を含む、条項19に記載の対向電極の対。
23.電極の対の各電極が、各端部に形成された凹状部分を含む、条項19に記載の対向電極の対。
24.ガス放電媒体を保持するように構成されたチャンバと、
ガス放電媒体を励起し、出力光ビームを生成するプラズマを生成するように構成された対向電極の対と、
を備え、
対向電極の対のうちの少なくとも一方の電極が凹状部分又は空洞化部分のうちの少なくとも一方を含む、光源装置。
25.電極の対の各電極が、
ガス放電媒体に内向きに面した第1の表面、及び
第1の表面と反対の第2の表面を含み、少なくとも一方の電極が凹状部分を含み、凹状部分が第2の表面内に形成されている、条項24に記載の光源装置。
26.凹状部分が複数の凹状部分を含む、条項24に記載の光源装置。
27.複数の凹状部分が少なくとも一方の電極の各端部に配置されている、条項26に記載の光源装置。
28.電極の対の各電極が、
ガス放電媒体に内向きに面した第1の表面、及び
第1の表面と反対の第2の表面を含み、少なくとも一方の電極が空洞化部分を含み、空洞化部分が第1及び第2の表面の間に形成されている、条項24に記載の光源装置。
29.空洞化部分が複数の空洞化部分を含む、条項28に記載の光源装置。
30.複数の空洞化部分の各々に非導電材料が充填されている、条項29に記載の光源。
31.凹状部分又は空洞化部分が少なくとも一方の電極の中心線に沿って配置されている、条項24に記載の光源装置。
32.凹状部分又は空洞化部分が少なくとも一方の電極の端部に配置されている、条項24に記載の光源装置。
33.凹状部分又は空洞化部分が少なくとも一方の電極の中心線からオフセットしている、条項24に記載の光源装置。
34.最少の一方の電極が凹状部分及び空洞化部分を含む、条項24に記載の光源装置。
35.凹状部分又は空洞化のうちの少なくとも一方に非導電材料が充填されている、条項24に記載の光源装置。
Claims (18)
- ガス放電媒体を保持するように構成されたチャンバと、
前記ガス放電媒体を励起し、出力光ビームを生成するプラズマを生成するように構成された対向電極の対と、
を備え、
対向電極の前記対のうちの少なくとも一方の電極が、前記少なくとも一方の電極の各端部に形成された凹状部分を含み、
電極の前記対の各電極が、
前記ガス放電媒体に内向きに面した第1の表面、及び
前記第1の表面と反対の第2の表面を含み、前記少なくとも一方の電極の前記凹状部分が前記第2の表面の各端部において前記第2の表面内に形成されている、
光源装置。 - 前記少なくとも一方の電極が、バルク厚さ、及び前記ガス放電媒体に内向きに面した平面状の第1の表面を含み、前記凹状部分が、前記少なくとも一方の電極の前記端部が前記バルク厚さ未満の厚さを有するアンダーカット部分を各々含む、請求項1に記載の光源装置。
- 電極の前記対の各電極が、各端部に形成された前記凹状部分を含む、請求項1に記載の光源装置。
- ガス放電媒体を保持するように構成されたチャンバと、
前記ガス放電媒体を励起し、出力光ビームを生成するプラズマを生成するように構成された対向電極の対と、
を備え、
対向電極の前記対のうちの少なくとも一方の電極が、前記少なくとも一方の電極の各端部に形成された凹状部分を含み、
電極の前記対の各電極が、
前記ガス放電媒体に内向きに面した第1の表面、及び
前記第1の表面と反対の第2の表面を含み、前記少なくとも一方の電極の前記凹状部分が、前記第1及び第2の表面の間に形成された空洞化部分である、光源装置。 - 前記ガス放電媒体が、エキシマ及び/又はエキシプレックスを形成するためのハロゲンガス及び希ガスを含む、請求項1に記載の光源装置。
- アンダーカット電極であって、
ガス放電媒体に内向きに面した第1の表面、
前記第1の表面と反対の第2の表面、及び
前記アンダーカット電極の各端部において前記第2表面内に形成された凹状部分、
を含む、アンダーカット電極。 - 前記アンダーカット電極がバルク厚さを含み、前記凹状部分が、前記アンダーカット電極の前記端部が前記バルク厚さ未満の厚さを有する前記第2の表面内のアンダーカット部分を各々含む、請求項6に記載のアンダーカット電極。
- アンダーカット電極であって、
ガス放電媒体に内向きに面した第1の表面、
前記第1の表面と反対の第2の表面、及び
前記アンダーカット電極の各端部に形成された凹状部分を含み、
前記凹状部分が、前記第1及び第2の表面の間に形成された空洞化部分である、アンダーカット電極。 - 前記空洞化部分に非導電材料が充填されている、請求項8に記載のアンダーカット電極。
- ガス媒体を励起し、プラズマを形成するように構成された対向電極の対であって、電極の前記対の各電極が、
前記ガス媒体に内向きに面した第1の表面、及び
前記第1の表面と反対の第2の表面、
を含み、
対向電極の前記対のうちの少なくとも一方の電極が、前記少なくとも一方の電極の各端部において前記第2表面内に形成された凹状部分を含む、対向電極の対。 - 前記少なくとも一方の電極がバルク厚さを含み、前記第1の表面が、前記ガス媒体に内向きに面した平面状の表面を含み、前記凹状部分が、前記少なくとも一方の電極の前記端部が前記バルク厚さ未満の厚さを有するアンダーカット部分を各々含む、請求項10に記載の対向電極の対。
- ガス放電媒体を保持するように構成されたチャンバと、
前記ガス放電媒体を励起し、出力光ビームを生成するプラズマを生成するように構成された対向電極の対と、
を備え、
対向電極の前記対のうちの少なくとも一方の電極が凹状部分又は空洞化部分のうちの少なくとも一方を含み、
電極の前記対の各電極が、
前記ガス放電媒体に内向きに面した第1の表面、及び
前記第1の表面と反対の第2の表面を含み、前記少なくとも一方の電極が前記凹状部分を含み、前記凹状部分が前記第2の表面内に形成されている、
光源装置。 - ガス放電媒体を保持するように構成されたチャンバと、
前記ガス放電媒体を励起し、出力光ビームを生成するプラズマを生成するように構成された対向電極の対と、
を備え、
対向電極の前記対のうちの少なくとも一方の電極が凹状部分又は空洞化部分のうちの少なくとも一方を含み、
電極の前記対の各電極が、
前記ガス放電媒体に内向きに面した第1の表面、及び
前記第1の表面と反対の第2の表面を含み、前記少なくとも一方の電極が前記空洞化部分を含み、前記空洞化部分が前記第1及び第2の表面の間に形成されている、光源装置。 - 前記空洞化部分が複数の空洞化部分を含む、請求項13に記載の光源装置。
- 前記複数の空洞化部分の各々に非導電材料が充填されている、請求項14に記載の光源。
- 前記凹状部分又は空洞化部分が前記少なくとも一方の電極の中心線からオフセットしている、請求項12に記載の光源装置。
- 前記少なくとも一方の電極が前記凹状部分及び前記空洞化部分を含む、請求項12に記載の光源装置。
- 前記凹状部分又は前記空洞化部分のうちの前記少なくとも一方に非導電材料が充填されている、請求項12に記載の光源装置。
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