JP2014187129A - 光学装置及びこれを用いたレーザチャンバ、並びにガスレーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フッ化カルシウム結晶からなる板状の光学素子と、
該光学素子を挟持するための保持部材と、
該保持手段と前記光学素子の一方の面との間に密着して配置されたシール部材と、
前記保持手段と前記光学素子の他方の面との間に当接して配置され、構成材料が304ステンレス鋼、303ステンレス鋼、316ステンレス鋼、ハステロイ合金、機械構造用炭素鋼S45C及びインコネルからなる群から選択される物質からなる緩衝部材と、を備えてもよい。
【選択図】図1
Description
該光学素子を挟持するための保持部材と、
該保持手段と前記光学素子の一方の面との間に密着して配置されたシール部材と、
前記保持手段と前記光学素子の他方の面との間に当接して配置され、構成材料が304ステンレス鋼、303ステンレス鋼、316ステンレス鋼、ハステロイ合金、機械構造用炭素鋼S45C及びインコネルからなる群から選択される物質からなる緩衝部材と、を有してもよい。
該光学素子を挟持するための保持部材と、
該保持手段と前記光学素子の一方の面との間に密着して配置されたシール部材と、
前記保持手段と前記光学素子の他方の面との間に当接して配置され、フッ化カルシウム以上の硬さを有する緩衝部材と、を備える。
1.概要
2.ガスレーザ装置
2.1 構成
2.2 動作
3.光学装置
3.1 構成
3.2 応力複屈折による偏光の変化
4.緩衝部材
4.1 構造
4.2 物質の硬度比較
4.3 試験結果
光学装置及びこれを用いたレーザチャンバ、並びにガスレーザ装置に関し、例えば、光学装置は、ウィンドウを含むウィンドウホルダに関する。
2.1 構成
図1は、本開示の実施形態に係る露光用ガスレーザ装置の一例を示した図である。本実施形態に係る露光用ガスレーザ装置120は、レーザチャンバ20と、狭帯域化モジュール(LNM:Line Narrowing Module)100と、出力結合ミラー(OC:Output Coupler)110とを含んでいてもよい。なお、図1において、X軸、Y軸、Z軸からなる座標が示されており、レーザ光の偏光方向については、この座標を用いて説明する。
次に、本実施形態に係るガスレーザ装置120の動作について説明する。
3.1 構成
図2は、本実施形態に係る光学装置81の一例を示した図である。なお、図2においては、筐体21の開口25をシールするように配置された光学装置81について説明するが、筐体21の開口24をシールするように配置された光学装置80も同様の構成を有してよい。また、光学装置80が光学装置81と同様の構成を有してよい点は、以下の説明においても同様である。
次に、ウィンドウを含む光学装置における課題について説明する。
4.1 構造
次に、本実施形態に係る光学装置80、81の緩衝部材60の構成について、より詳細に説明する。
エッジ突部の高さ<0.2μm (3)
表面の粗さ<0.2μm (4)
平面度≦0.01mm (5)
次に、緩衝部材60に用いられ得る金属材料について説明する。表1は、種々の金属材料を、硬度(ビッカーズ硬さ:HV換算)の高い順に上から配列して示した表である。
次に、本実施形態に係る光学装置を用いたガスレーザ装置の実施例について説明する。表2は、実施例に係る光学装置を用いたガスレーザ装置と、比較例に係る光学装置を用いたガスレーザ装置の種々の項目における測定結果を示した図である。
20 レーザチャンバ
21 筐体
24、25 開口
40 ウィンドウ
50、51、52 ウィンドウホルダ
60 緩衝部材
70 シール部材
80、81 光学装置
100 狭帯域化モジュール
110 出力結合ミラー
120 ガスレーザ装置
130 露光装置
Claims (16)
- フッ化カルシウム結晶からなる板状の光学素子と、
該光学素子を挟持するための保持部材と、
該保持手段と前記光学素子の一方の面との間に密着して配置されたシール部材と、
前記保持手段と前記光学素子の他方の面との間に当接して配置され、構成材料が304ステンレス鋼、303ステンレス鋼、316ステンレス鋼、ハステロイ合金、機械構造用炭素鋼S45C及びインコネルからなる群から選択される物質からなる緩衝部材と、を備える光学装置。 - 前記緩衝部材の前記光学素子と当接する側の表面は、以下の条件を満足する請求項1に記載の光学装置。
平行度≦0.01mm
エッジ突部の高さ<0.2μm
表面の粗さ<0.2μm
平面度≦0.01mm - 前記緩衝部材の前記光学素子と当接する側の前記表面は、研磨加工により形成された研磨面を有する請求項1又は2に記載の光学装置。
- 前記研磨面は、バフ研磨及びラップ研磨の少なくとも1つにより研磨された鏡面研磨面である請求項3に記載の光学装置。
- 前記光学素子は、レーザ光を透過させるウィンドウであり、
前記保持部材は、ウィンドウホルダである請求項1乃至4のいずれか一項に記載の光学装置。 - 一対の電極と、
該一対の電極を収容する筐体と、
該筐体の対向する一対の側面に設置された請求項5に記載の光学装置と、を備えるレーザチャンバ。 - 請求項6に記載のレーザチャンバと、
前記光学装置の両外側に配置された光共振器と、を備えるガスレーザ装置。 - フッ化カルシウム結晶からなる板状の光学素子と、
該光学素子を挟持するための保持部材と、
該保持手段と前記光学素子の一方の面との間に密着して配置されたシール部材と、
前記保持手段と前記光学素子の他方の面との間に当接して配置され、フッ化カルシウム以上の硬さを有する緩衝部材と、を備える光学装置。 - 前記緩衝部材の前記光学素子と当接する側の表面は、以下の条件を満足する請求項8に記載の光学装置。
平行度≦0.01mm
エッジ突部の高さ<0.2μm
表面の粗さ<0.2μm
平面度≦0.01mm - 前記緩衝部材は、金属材料から構成される請求項8又は9に記載の光学装置。
- 前記金属材料は、304ステンレス鋼、303ステンレス鋼、316ステンレス鋼、ハステロイ合金、機械構造用炭素鋼S45C及びインコネルからなる群から選択される物質からなる請求項10に記載の光学装置。
- 前記緩衝部材の前記光学素子と当接する側の前記表面は、研磨加工により形成された研磨面を有する請求項8乃至11のいずれか一項に記載の光学装置。
- 前記研磨面は、バフ研磨及びラップ研磨の少なくとも1つにより研磨された鏡面研磨面である請求項12に記載の光学装置。
- 前記光学素子は、レーザ光を透過させるウィンドウであり、
前記保持部材は、ウィンドウホルダである請求項8乃至13のいずれか一項に記載の光学装置。 - 一対の電極と、
該一対の電極を収容する筐体と、
該筐体の対向する一対の側面に設置された請求項14に記載の光学装置と、を備えるレーザチャンバ。 - 請求項15に記載のレーザチャンバと、
前記光学装置の両外側に配置された光共振器と、を備えるガスレーザ装置。
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