JP2006073921A - 紫外線ガスレーザ用光学素子及び紫外線ガスレーザ装置 - Google Patents
紫外線ガスレーザ用光学素子及び紫外線ガスレーザ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006073921A JP2006073921A JP2004258085A JP2004258085A JP2006073921A JP 2006073921 A JP2006073921 A JP 2006073921A JP 2004258085 A JP2004258085 A JP 2004258085A JP 2004258085 A JP2004258085 A JP 2004258085A JP 2006073921 A JP2006073921 A JP 2006073921A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- crystal
- optical element
- plane
- gas laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
【解決手段】 2つの平面2、2’を備えて紫外線がその1つの平面2から入射し、他の平面2’から射出するフッ化カルシウム結晶からなるウィンドウ等の紫外線ガスレーザ用光学素子1において、少なくとも一方の平面2がフッ化カルシウム結晶の(110)結晶面に平行である紫外線ガスレーザ用光学素子。
【選択図】 図1
Description
半導体集積回路の微細化、高集積化につれて、半導体露光装置においては解像力の向上が要請されている。このため、露光用光源から放出される光の短波長化が進められており、露光用光源には、従来の水銀ランプに代わってガスレーザ装置が用いられている。現在の露光用ガスレーザ装置としては、波長248nmの紫外線を放出するKrFエキシマレーザ装置、並びに、波長193nmの紫外線を放出するArFエキシマレーザ装置が用いられている。次世代の露光技術として、露光用レンズとウエハー間を液体で満たして屈折率を変えることによって、露光光源の見かけの波長を短波長化する液浸技術をArFエキシマレーザ露光に適用しようとしている。ArFエキシマレーザ液浸では、134nmの波長になる。また、次々世代の露光用光源として、波長157nmの紫外線を放出するF2 (フッ素分子)レーザ装置が有力であり、F2 レーザ液浸露光が採用される可能性もある。F2 レーザ液浸では、115nmの波長になると言われている。
多くの半導体露光装置の光学系には、投影光学系が採用されている。投影光学系では、異なる屈折率を有するレンズ等の光学素子が組み合わされて色収差補正が行われる。現在、露光用光源であるレーザ波長の248nm〜115nmの波長域では、投影光学系のレンズ材料として使用に適する光学材料は、合成石英とCaF2 以外にはない。このため、KrFエキシマレーザ用の投影レンズとしては、合成石英のみで構成された全屈折タイプの単色レンズが採用され、ArFエキシマレーザ用の投影レンズとしては、合成石英とCaF2 で構成された全屈折タイプの部分色消しレンズが採用されている。ところが、KrFエキシマレーザ、ArFエキシマレーザの自然発振スペクトル線幅は約350〜400pmと広いために、これらの投影レンズを使用すると、色収差が発生して解像力が低下する。そこで、色収差が無視できるまでに、これらのガスレーザ装置から放出されるレーザ光のスペクトル線幅を狭帯域化する必要がある。このため、これらのガスレーザ装置には狭帯域化素子(エタロンやグレーティング等)を有する狭帯域化モジュールがレーザ共振器内に設けられ、スペクトル線幅の狭帯域化が実現されている。
上記したように、ArFエキシマレーザ液浸リソグラフィーの場合、媒体としてH2 Oを使用したとき、屈折率が1.44になるため、屈折率に比例するレンズ開口数NAは1.44倍に増やすことができる。NAが高くなるにつれ、光源であるレーザ光の偏光純度の影響が大きくなる。偏光の向きがマスクパターンの方向に平行であるTE偏光の場合は影響がないが、それが直交するTM偏光の場合は、像のコントラストが低くなってしまう。これは、後者の場合、ウエハー上の焦点における電界のベクトルが異なる方向であるため、ウエハーへの入射角が大きくなるに従い、電界のベクトルが同一である前者に比べ、強度が弱くなってしまうためである。この影響はNAが1.0に近づくか超える場合に強くなり、ArFエキシマレーザ液浸はこの場合に該当する。そのため、レーザ光は、TEとTMの2つの偏光が混ざり合っているとコントラストが低くなってしまうため、直線偏光であることが要求される。つまり、2つの偏光強度の比で表される偏光純度が高いことが要求される。
レーザ光の偏光純度を高めるための技術として、これまでに特許文献1と特許文献2に記載の技術がある。
偏光純度95%以上:許容入射角幅52°〜60°(53°〜60°)
偏光純度90%以上:許容入射角幅49°〜62°(50°〜62°)
偏光純度80%以上:許容入射角幅44°〜64°(46°〜64°)
偏光純度70%以上:許容入射角幅38°〜65°(41°〜65°)
例えば、偏光純度70%以上あればよい場合は、ArFエキシマレーザの場合は、ウィンドウ1の入射角θの許容幅は38°〜65°であり、F2 レーザの場合は、41°〜65°である。これが、80%以上の場合は、それぞれ44°〜64°、46°〜64と若干狭くなるが、レーザチャンバ11、21のウィンドウ12、13、22、23としては、十分な許容角度誤差で取り付けることができる。
2、2’…表面(カット面)
3…レーザ光
4…射出光
10…発振用レーザ
11…レーザチャンバ
12、13…ウィンドウ
14…狭帯域化モジュール
15…出力鏡(部分反射ミラー)
16…ビーム拡大プリズム
17…グレーティング
18、19…ミラー1
20…増幅用レーザ
21…レーザチャンバ
22、23…ウィンドウ
24、25…部分反射ミラー
31…プリズム斜面
32…直角射出面
Claims (6)
- 2つの平面を備えて紫外線がその1つの平面から入射し、他の平面から射出するフッ化カルシウム結晶からなる紫外線ガスレーザ用光学素子において、少なくとも一方の平面がフッ化カルシウム結晶の(110)結晶面に平行であることを特徴とする紫外線ガスレーザ用光学素子。
- 前記の2つの平面は互いに平行な平面であり、該2つの平面は結晶の(110)結晶面に平行であり、紫外線ガスレーザ用チャンバウィンドウとして用いられることを特徴とする請求項1記載の紫外線ガスレーザ用光学素子。
- 断面三角形をなすプリズムとして構成され、頂角を挟む一方の面が(110)結晶面に平行で、他方の面が(111)結晶面に平行であり、頂角が略35.26°になっていて、紫外線ガスレーザ用ビーム拡大プリズムとして用いられることを特徴とする請求項1記載の紫外線ガスレーザ用光学素子。
- レーザチャンバと、レーザチャンバの一方の側とその反対側に設置されて光共振器を構成する第1の光学素子及び第2の光学素子と、レーザチャンバ内部に封入されたレーザガスと、そのレーザガスを励起する手段と、励起されたレーザガスから発生する光がレーザチャンバ外部へ出射するためにレーザチャンバに設けられた2つのウィンドウとを有し、前記ウィンドウが前記光共振器の光軸上に沿って配置されている紫外線ガスレーザ装置において、前記各ウィンドウはフッ化カルシウム結晶を成形した互いに平行な2つの平面を有し、前記2つの平面が結晶の(110)結晶面に平行であり、かつ、前記2つの平面は前記光軸に対して38°〜65°の範囲の角度をなして前記レーザチャンバに設けられていることを特徴とする紫外線ガスレーザ装置。
- ArFエキシマレーザ装置として構成されていることを特徴とする請求項4記載の紫外線ガスレーザ装置。
- F2 レーザ装置として構成されていることを特徴とする請求項4記載の紫外線ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004258085A JP2006073921A (ja) | 2004-09-06 | 2004-09-06 | 紫外線ガスレーザ用光学素子及び紫外線ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004258085A JP2006073921A (ja) | 2004-09-06 | 2004-09-06 | 紫外線ガスレーザ用光学素子及び紫外線ガスレーザ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006073921A true JP2006073921A (ja) | 2006-03-16 |
Family
ID=36154181
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004258085A Pending JP2006073921A (ja) | 2004-09-06 | 2004-09-06 | 紫外線ガスレーザ用光学素子及び紫外線ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006073921A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1916562A2 (de) * | 2006-10-23 | 2008-04-30 | Schott AG | Anordnung sowie ein Verfahren zur Vermeidung der Depolarisation von linear-polarisiertem Licht beim Durchstrahlen von Kristallen |
JP2009081363A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-16 | Gigaphoton Inc | ガスレーザ用光学素子及びそれを用いたガスレーザ装置 |
JP2009152538A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-07-09 | Gigaphoton Inc | ガスレーザ用光学素子及びそれを用いたガスレーザ装置 |
WO2009125745A1 (ja) * | 2008-04-07 | 2009-10-15 | ギガフォトン株式会社 | ガス放電チャンバ |
JP2010050299A (ja) * | 2008-08-22 | 2010-03-04 | Gigaphoton Inc | 偏光純度制御装置及びそれを備えたガスレーザ装置 |
US7965756B2 (en) | 2008-08-22 | 2011-06-21 | Gigaphoton Inc. | Optical element for gas laser and gas laser apparatus using the same |
JP2015130532A (ja) * | 2008-10-21 | 2015-07-16 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | 超高パワーレーザチャンバの光学的改善 |
JP2015169911A (ja) * | 2014-03-10 | 2015-09-28 | 株式会社ニコン | フッ化カルシウム光学部材及びその製造方法 |
WO2018179642A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 株式会社村田製作所 | ガスレーザ装置 |
WO2018229854A1 (ja) * | 2017-06-13 | 2018-12-20 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置及び光学素子の製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10233542A (ja) * | 1997-02-21 | 1998-09-02 | Komatsu Ltd | ガスレーザ装置用ウィンドウ |
JPH11177173A (ja) * | 1997-12-12 | 1999-07-02 | Komatsu Ltd | エキシマレーザ及びその光学部品 |
JP2001094185A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-06 | Komatsu Ltd | 超狭帯域化フッ素レーザ装置 |
WO2003009017A1 (fr) * | 2001-07-17 | 2003-01-30 | Nikon Corporation | Procede de fabrication d'un element optique |
JP2003347627A (ja) * | 2002-05-29 | 2003-12-05 | Gigaphoton Inc | 紫外線レーザ装置 |
-
2004
- 2004-09-06 JP JP2004258085A patent/JP2006073921A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10233542A (ja) * | 1997-02-21 | 1998-09-02 | Komatsu Ltd | ガスレーザ装置用ウィンドウ |
JPH11177173A (ja) * | 1997-12-12 | 1999-07-02 | Komatsu Ltd | エキシマレーザ及びその光学部品 |
JP2001094185A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-06 | Komatsu Ltd | 超狭帯域化フッ素レーザ装置 |
WO2003009017A1 (fr) * | 2001-07-17 | 2003-01-30 | Nikon Corporation | Procede de fabrication d'un element optique |
JP2003347627A (ja) * | 2002-05-29 | 2003-12-05 | Gigaphoton Inc | 紫外線レーザ装置 |
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1916562A3 (de) * | 2006-10-23 | 2008-05-28 | Schott AG | Anordnung sowie ein Verfahren zur Vermeidung der Depolarisation von linear-polarisiertem Licht beim Durchstrahlen von Kristallen |
EP1916562A2 (de) * | 2006-10-23 | 2008-04-30 | Schott AG | Anordnung sowie ein Verfahren zur Vermeidung der Depolarisation von linear-polarisiertem Licht beim Durchstrahlen von Kristallen |
US7873084B2 (en) | 2006-10-23 | 2011-01-18 | Hellma Materials Gmbh & Co. Kg | Arrangement and method for preventing the depolarization of linear-polarized light during the transmission of light through crystals |
JP2009081363A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-16 | Gigaphoton Inc | ガスレーザ用光学素子及びそれを用いたガスレーザ装置 |
JP2009152538A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-07-09 | Gigaphoton Inc | ガスレーザ用光学素子及びそれを用いたガスレーザ装置 |
JP5393658B2 (ja) * | 2008-04-07 | 2014-01-22 | ギガフォトン株式会社 | ガス放電チャンバ |
WO2009125745A1 (ja) * | 2008-04-07 | 2009-10-15 | ギガフォトン株式会社 | ガス放電チャンバ |
JP2014225700A (ja) * | 2008-04-07 | 2014-12-04 | ギガフォトン株式会社 | ガス放電チャンバ |
US8855167B2 (en) | 2008-04-07 | 2014-10-07 | Gigaphoton Inc. | Gas discharge chamber |
US8503499B2 (en) | 2008-04-07 | 2013-08-06 | Gigaphoton Inc. | Gas discharge chamber |
JP2010050299A (ja) * | 2008-08-22 | 2010-03-04 | Gigaphoton Inc | 偏光純度制御装置及びそれを備えたガスレーザ装置 |
US8165181B2 (en) | 2008-08-22 | 2012-04-24 | Gigaphoton Inc. | Polarization purity control device and gas laser apparatus provided with the same |
US8891574B2 (en) | 2008-08-22 | 2014-11-18 | Gigaphoton Inc. | Polarization purity control device and gas laser apparatus provided with the same |
US8902948B2 (en) | 2008-08-22 | 2014-12-02 | Gigaphoton Inc. | Polarization purity control device and gas laser apparatus provided with the same |
US7965756B2 (en) | 2008-08-22 | 2011-06-21 | Gigaphoton Inc. | Optical element for gas laser and gas laser apparatus using the same |
JP2015130532A (ja) * | 2008-10-21 | 2015-07-16 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | 超高パワーレーザチャンバの光学的改善 |
JP2015169911A (ja) * | 2014-03-10 | 2015-09-28 | 株式会社ニコン | フッ化カルシウム光学部材及びその製造方法 |
WO2018179642A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 株式会社村田製作所 | ガスレーザ装置 |
EP3576233A4 (en) * | 2017-03-30 | 2020-12-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | GAS LASER DEVICE |
WO2018229854A1 (ja) * | 2017-06-13 | 2018-12-20 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置及び光学素子の製造方法 |
US11264773B2 (en) | 2017-06-13 | 2022-03-01 | Gigaphoton Inc. | Laser apparatus and method for manufacturing optical element |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5579894B2 (ja) | ガス放電チャンバ | |
JP5185727B2 (ja) | 偏光純度制御装置及びそれを備えたガスレーザ装置 | |
US7965756B2 (en) | Optical element for gas laser and gas laser apparatus using the same | |
JP2006073921A (ja) | 紫外線ガスレーザ用光学素子及び紫外線ガスレーザ装置 | |
JP2002198588A (ja) | フッ素分子レーザ | |
JP4907865B2 (ja) | 多段増幅型レーザシステム | |
US11264773B2 (en) | Laser apparatus and method for manufacturing optical element | |
JP4822285B2 (ja) | ガスレーザ用光学素子及びそれを用いたガスレーザ装置 | |
JP4883641B2 (ja) | ガスレーザ用光学素子の緩衝手段及びそれを用いたガスレーザ装置 | |
JP5358142B2 (ja) | ガスレーザ用光学素子及びそれを用いたガスレーザ装置 | |
JP5393725B2 (ja) | 多段増幅型レーザシステム | |
JPH0437181A (ja) | 狭帯域化エキシマレーザ装置 | |
JP2013065903A (ja) | ガスレーザ装置 | |
US20170149199A1 (en) | Laser device | |
JP2006179600A (ja) | 多段増幅型レーザシステム | |
JP2011238976A (ja) | ガスレーザ用光学素子及びそれを用いたガスレーザ装置 | |
WO2018061098A1 (ja) | レーザ装置 | |
US20230378713A1 (en) | Ultraviolet laser apparatus and electronic device manufacturing method | |
US20230375847A1 (en) | Optical isolator, ultraviolet laser device, and electronic device manufacturing method | |
WO2022195895A1 (ja) | 光アイソレータ、紫外線レーザ装置及び電子デバイスの製造方法 | |
JP2688991B2 (ja) | 狭帯域発振エキシマレーザ | |
US20240235149A1 (en) | Laser apparatus and electronic device manufacturing method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070427 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090609 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090617 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090730 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090902 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091026 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100609 |