JPH04155975A - レーザ発振器 - Google Patents

レーザ発振器

Info

Publication number
JPH04155975A
JPH04155975A JP28246890A JP28246890A JPH04155975A JP H04155975 A JPH04155975 A JP H04155975A JP 28246890 A JP28246890 A JP 28246890A JP 28246890 A JP28246890 A JP 28246890A JP H04155975 A JPH04155975 A JP H04155975A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cover
lid
oscillation unit
casing
lamp
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP28246890A
Other languages
English (en)
Inventor
Takahiro Nagashima
崇弘 長嶋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Electric Co Ltd filed Critical Fuji Electric Co Ltd
Priority to JP28246890A priority Critical patent/JPH04155975A/ja
Publication of JPH04155975A publication Critical patent/JPH04155975A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】
この発明は、カバーをした状態での励起ランプ交換を可
能にして、この交換時に他の光学系が外部の空気、ガス
との接触によって汚染されることを防止するようにした
、とくにYAGレーザに係るレーザ発振器に関する。
【従来の技術】
従来例について、以下に図面を参照しながら説明する。 なお、この従来例はレーザマーキングに適用される発振
器である。第3図は従来例の側面図、第4図は従来例に
おける発振ユニットの平面図である。 第3図において、1はベース、22は発振ユニットで、
YAGロッドや励起ランプ、集光器などを内蔵し、27
はカバーである。さらに、ベースlには、光学系として
、全反射ミラー3.出力ミラー4.Qスイッチ5A、モ
ード選択器5B、  シャッタ5C,出射ヘッド6など
が設置されるとともに、後部にエアパージ用接続金具9
が取り付けられる。カバー27は、U字状の板状部材で
、べ−ス1に被せるように取り付け、エアパージのもと
に内部を清浄にすることができる。 発振ユニット22は、第3図、第4図に示すように、ケ
ーシング31と、0リング15を介して密閉的に開閉(
着脱)可能な蓋16とを備える。 第4図は、正確には蓋16を取ったときの内部を示す平
面図で、同図において、ケーシング31に凹部が形成さ
れ、この凹部には、レーザ媒質としてのYAGロッド1
3と、励起ランプとしてのクリプトン・アークランプ(
以下、ランプという)14と、さらに集光器12とが設
置され、全体的に水冷却される構成にしである。集光器
12は、ランプ14の光エネルギーが有効にYAGロッ
ド13に集中され・るように、楕円筒形の内面をもち、
その楕円の各焦点位置に、YAC,ロッド13.ランプ
14をそれぞれ設置する。 なお、Qスイッチ5Aは、YAGロッド内部に反転分布
状態で蓄積された励起エネルギーを、繰返しパルスのレ
ーザとして出力させるスイッチの一種で、とくに超音波
を利用した方式のものが多い。モード選択器5Bは、レ
ーザの横方向モードを選択するもので、微小穴をあけた
遮蔽板によって周辺の不要なモード発振を抑制する方式
がとられる。シャッタ5Cは、レーザ発振の緊急遮断を
おこなう安全装置で、通常のオン・オフはしない。 出射ヘッド6は、主に偏向ミラーと特殊レンズとを内蔵
し、出力ミラー4からのレーザ光ムこ光学的処理を施し
たのち出射させる。 さて、ランプ14は寿命が500時間程度の消耗品であ
るから、前記の時間ごとに交換する必要がある。このラ
ンプ交換のときには、まずカバー27を取り外し、次に
蓋16を開いたのち、ランプ14を取り出すことになる
。ランプ交換の後には、前記と逆な順序をとって原状に
戻す。
【発明が解決しようとする課題】
以上説明したような従来の技術では、ランプ交換によっ
て、光学系が外部の空気、ガスと触れて汚染されるおそ
れがある。すなわち、カバー27を取り外したとき、そ
れまで接続金具9を介して送り込まれていた乾燥、清浄
空気で、いわゆるエアパージされて清浄状態にあった光
学系が、外部の空気、ガスと接触するからである。光学
系の各部品が汚染されると、その寿命が短くなるととも
に、レーザ出力を低下させる等、機能に支障をきたすこ
とになる。 この発明の課題は、従来の技術がもつ以上の問題点を解
消し、カバーをした状態での励起ランプ交換を可能にし
て、この交換時に他の光学系が外部の空気、ガスとの接
触によって汚染されることを防止するようにしたレーザ
発振器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために、請求項1に係るレーザ発振
器は、 構成部品が内部に設置され、開閉可能なカバーで覆われ
、かつその閉鎖時には外部の空気、ガスの侵入が防止さ
れる構成にした、たとえば外部から大気圧より若干高い
圧力の乾燥し、清浄なエアを供給する、p<わゆるエア
パージされたレーザ発振器において、    。 前記構成部品のうちの、レーザ発振器と、励起ランプと
、集光器とを内蔵し、密閉的に開閉可能な蓋体を付設す
る発振ユニットを備え、 前記蓋体は、前記カバーの閉鎖状態において、このカバ
ーにあけられた中空部から外方に突出的に露出し、かつ
蓋体開放時には前記励起ランプの交換が可能な構成であ
る。 請求項2に係るレーザ発振器は、 請求項1に記載のレーザ発振器において、発振ユニット
には、閉鎖されたカバーとの間に、蓋体を囲む形で、環
状封止部材が挿設される。
【作用】 請求項1または2に係るレーザ発振器では共通的に、蓋
体は、カバーが閉鎖された状態で、外方に突出的に露出
しているから、必要に応じて取り外され、発振ユニット
内部の励起ランプの交換が可能である。 請求項2に係るレーザ発振器では特に、発振ユニットに
は、閉鎖されたカバーとの間に、蓋体を囲む形で、環状
封止部材が挿設されるから、この封止部材によって、発
振ユニットカバー間の気密が保持される。
【実施例】
本発明に係るレーザ発振器の実施例について、第1図、
第2図を参照しながら説明する。第1図は実施例の側面
図、第2図は実施例における発振ユニット(蓋を取った
とき)の平面図である。 この実施例が従来例と異なるのは、発振ユニットと、カ
バーとの構成である。したがって、従来例と同じ部品に
は同じ符号を付けてあり、その説明は省略する。 第1図において、発振ユニット2は、ケーシング11、
およびOリング15を介して密閉的に開閉(着脱)可能
な蓋16を備える。このケーシング11は、この上面に
形成された凹部にYAGロッド13.ランプ14および
集光器12が設置される点は、従来例におけるのと同様
であるが、構造的な付加部分がある。すなわち、蓋16
を囲む形で突出部が設けられ(第2図参照)、この突出
部の外方にフランジが張り出す形をとる。このフランジ
の上面に、ループ状の溝が切られ、この溝に0リング1
7が挿入、固着される。 一方、第1図においてカバー7は、基本的にはU字状の
板状部材であるが、はぼ中央部に凹部が形成(絞り加工
)され、この凹部の底に中空部があけられる。この中空
部に、ケーシング11の突出部が、その外周面で嵌る。 しかも凹部の下側表面が、0リング17を介してケーシ
ング11のフランジ上面と押圧接触する形をとる。また
、カバー7の凹部を覆うように、把手付き補助カバー8
が、着脱可能に取り付けられる。なお、この補助カバー
8は、カバー7に対し特に密閉的である必要はない。 したがって、補助カバー8を取ると、発振ユニット2の
蓋16は、カバー7の凹部の底から外方に突出する形で
露出した状態にあり、ケーシング11に対して着脱可能
である。つまり、必要に応じて蓋16を取り外してラン
プ14の交換ができ、しかもレーザ発振器内部は、カバ
ー7によって、エアパージのもとに外部の空気、ガスの
侵入が防止されているから、このランプ交換によって光
学系が汚染される危険はない。
【発明の効果】
請求項1または2に係るレーザ発振器では共通的に、蓋
体は、カバーが閉鎖された状態で、外方に突出的に露出
しているから、必要に応じて取り外され、発振ユニット
内部の励起ランプの交換が可能である。したがって、保
守性の向上とともに、レーザ発振、ひいては加工の品質
、信顧性の向上が図れる。 請求項2に係るレーザ発振器では特に、発振ユニットに
は、閉鎖されたカバーとの間に、蓋体を囲む形で、環状
封止部材が挿設されるから、この封止部材によって、発
振ユニット、カバー間の気密が保持される。したがって
、保守性の向上とともに、レーザ発振、ひいては加工の
品質、信幀性の向上が支援される。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る実施例の側面図、第2図は実施例
における(蓋を取ったときの)発振ユニットの平面図、 第3図は従来例の側面図、 第4図は従来例における(IIを取ったときの)の発振
ユニットの平面図である。 符号説明 にベース、2:発振ユニット、 3:全反射ミラー、4:出力ミラー、 5A:Qスイッチ、5B:モード選択器、5C:シャッ
タ、6:出射ヘッド、7:カバー、8:補助カバー、9
:接続金具、 11:ケーシング、12:集光器、 13 : YAGロッド、14:ランプ、15.17:
Oリング、16:li。 9゛ 亮10 亮2目 ]3 第4図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)構成部品が内部に設置され、開閉可能なカバーで覆
    われ、かつその閉鎖時には外部の空気、ガスの侵入が防
    止される構成にしたレーザ発振器において、 前記構成部品のうちの、レーザロッドと、励起ランプと
    、集光器とを内蔵し、密閉的に開閉可能な蓋体を付設す
    る発振ユニットを備え、 前記蓋体は、前記カバーの閉鎖状態において、このカバ
    ーにあけられた中空部から外方に突出的に露出し、かつ
    蓋体開放時には前記励起ランプの交換が可能な構成にし
    たことを特徴とするレーザ発振器。 2)請求項1に記載のレーザ発振器において、発振ユニ
    ットには、閉鎖されたカバーとの間に、蓋体を囲む形で
    、環状封止部材が挿設される構成にしたことを特徴とす
    るレーザ発振器。
JP28246890A 1990-10-19 1990-10-19 レーザ発振器 Pending JPH04155975A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28246890A JPH04155975A (ja) 1990-10-19 1990-10-19 レーザ発振器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28246890A JPH04155975A (ja) 1990-10-19 1990-10-19 レーザ発振器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04155975A true JPH04155975A (ja) 1992-05-28

Family

ID=17652824

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28246890A Pending JPH04155975A (ja) 1990-10-19 1990-10-19 レーザ発振器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04155975A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002111099A (ja) * 2000-09-29 2002-04-12 Miyachi Technos Corp レーザ発振装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002111099A (ja) * 2000-09-29 2002-04-12 Miyachi Technos Corp レーザ発振装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2006043775A (ja) レーザ加工ヘッド
JP2002520839A (ja) マイクロリソグラフィ投影照明機器の除染法
JP2011066394A (ja) 光源装置、及び光源装置の製造方法
US11972931B2 (en) Light emitting sealed body, light emitting unit, and light source device
JPH04155975A (ja) レーザ発振器
JP2020044574A (ja) レーザ加工装置
JP2003245791A5 (ja)
JPH06260701A (ja) レーザ発振装置
JP4308055B2 (ja) レーザ加工装置
JP3486206B2 (ja) エキシマレーザ用ウィンドウ
JPH01218081A (ja) レーザ発振装置
JP3644506B2 (ja) 紫外線レーザ装置
JPH0369639B2 (ja)
JPH0223685A (ja) ガス放電レーザ上にウインドを取付ける装置
JPH11204861A (ja) 固体レーザ発振器
JPH05121795A (ja) 外部ミラー形ガスレーザ発振器
US5550851A (en) Laser system decontamination method and apparatus
JPH0467351B2 (ja)
JP4480217B2 (ja) 固体レーザ発振器
JPS61286085A (ja) レ−ザ加工機の加工ヘツド
JP4613020B2 (ja) 試料洗浄装置および試料洗浄方法
JP3307665B2 (ja) 光学素子筺体及び光学素子ホルダ
JPH06224495A (ja) レーザ発振器
JP3245814B2 (ja) レーザ発振装置
JPH08306993A (ja) レーザ発振装置