JPH0467351B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0467351B2 JPH0467351B2 JP60261520A JP26152085A JPH0467351B2 JP H0467351 B2 JPH0467351 B2 JP H0467351B2 JP 60261520 A JP60261520 A JP 60261520A JP 26152085 A JP26152085 A JP 26152085A JP H0467351 B2 JPH0467351 B2 JP H0467351B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- window
- laser
- gas
- intake
- protrusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 15
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000003670 easy-to-clean Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
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- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、ワンタツチで脱着が可能なカセツ
ト式で、不使用時はウインド部分のみが不活性ガ
スでパージされるレーザ用ウインド機構に関する
ものである。
ト式で、不使用時はウインド部分のみが不活性ガ
スでパージされるレーザ用ウインド機構に関する
ものである。
第２図は従来のレーザ用ウインド部分を示す概
念図であり、１はレーザ発振器筐体、２は陽極電
極、３は陰極電極、４はレーザガス、５は吸排気
口、６はウインド、７はウインド押え板、８はボ
ルト、９はＯリング、１０はレーザビーム、１１
はリアクタ筐体、１２は被加工物、１３は加工ガ
ス、１４は吸排気口、１５はウインド、１６はウ
インド押え板、１７はボルト、１８はＯリングで
ある。
念図であり、１はレーザ発振器筐体、２は陽極電
極、３は陰極電極、４はレーザガス、５は吸排気
口、６はウインド、７はウインド押え板、８はボ
ルト、９はＯリング、１０はレーザビーム、１１
はリアクタ筐体、１２は被加工物、１３は加工ガ
ス、１４は吸排気口、１５はウインド、１６はウ
インド押え板、１７はボルト、１８はＯリングで
ある。
次に動作について説明する。レーザガス４を充
填したレーザ発振器筺体１内で、陽極電極２と陰
極電極３との間でグロー放電を行うことにより、
ウインド６を透過してレーザビーム１０が発振す
る。なお、第２図においてはウインド６は、部分
反射鏡を兼ねている。この場合、ウインド６は、
ウインド押え板７、ボルト８及びＯリング９によ
つて装着されている。次いで、上記レーザビーム
１０はリアクタ筺体１１にウインド押え板１６、
ボルト１７及びＯリング１８によつて挿着された
ウインド１５を透過して被加工物１２に照射し、
被加工物表面を加工する。
填したレーザ発振器筺体１内で、陽極電極２と陰
極電極３との間でグロー放電を行うことにより、
ウインド６を透過してレーザビーム１０が発振す
る。なお、第２図においてはウインド６は、部分
反射鏡を兼ねている。この場合、ウインド６は、
ウインド押え板７、ボルト８及びＯリング９によ
つて装着されている。次いで、上記レーザビーム
１０はリアクタ筺体１１にウインド押え板１６、
ボルト１７及びＯリング１８によつて挿着された
ウインド１５を透過して被加工物１２に照射し、
被加工物表面を加工する。
しかし、従来のレーザ用ウインド機構では下記
の不都合があつた。
の不都合があつた。
(イ) ウインド６又は１５の脱着時、ウインド押え
板７又は１６、ボルト８又は１７及びＯリング
９又は１８を使用するので、操作時間がかかる
と共に、特に装着時はレーザビーム１０のアラ
インメントを考慮する等取りつけ精度の面でも
問題がある。
板７又は１６、ボルト８又は１７及びＯリング
９又は１８を使用するので、操作時間がかかる
と共に、特に装着時はレーザビーム１０のアラ
インメントを考慮する等取りつけ精度の面でも
問題がある。
(ロ) ウインド６又は１５を取り外す時、筺体１又
は１１内のガス４又は１３を吸排気口５又は１
４を介して排気すると共に不活性ガスで置換す
る必要があり、操作時間がかかると共に、それ
ぞれのガスが無駄になる。
は１１内のガス４又は１３を吸排気口５又は１
４を介して排気すると共に不活性ガスで置換す
る必要があり、操作時間がかかると共に、それ
ぞれのガスが無駄になる。
(ハ) ウインド６又は１５装着後、筺体１又は１１
内を十分に真空引きし、ガス４又は１３を封入
する等操作時間がかかると共に、新たにそれぞ
れのガスが必要である。
内を十分に真空引きし、ガス４又は１３を封入
する等操作時間がかかると共に、新たにそれぞ
れのガスが必要である。
(ニ) レーザビーム１０を停止している時も、ウイ
ンド６又は１５の内面はガス４又は１３と接し
ており、ガスの種類によつては、ウインド内面
を徐々にではあるが劣化させる場合がある。
ンド６又は１５の内面はガス４又は１３と接し
ており、ガスの種類によつては、ウインド内面
を徐々にではあるが劣化させる場合がある。
この発明は、上記のような問題点を解消するた
めになされたもので、ワンタツチで脱着が可能な
カセツト式で、不使用時はウインド部分のみが、
不活性ガスでパージされる事も可能にしたレーザ
用ウインド機構を得ることを目的とする。
めになされたもので、ワンタツチで脱着が可能な
カセツト式で、不使用時はウインド部分のみが、
不活性ガスでパージされる事も可能にしたレーザ
用ウインド機構を得ることを目的とする。
この発明に係るレーザ用ウインド機構は、レー
ザ装置の筐体にレーザの経路の沿つて設けられた
突起部と、ウインドを収納し、該突起部に着脱自
在に取付けられたカセツトとを備えている。
ザ装置の筐体にレーザの経路の沿つて設けられた
突起部と、ウインドを収納し、該突起部に着脱自
在に取付けられたカセツトとを備えている。
この発明においては、カセツトをワンタツチで
レーザ発振器等の突起部に着脱できる。また、突
起部にバルブを設けることにより、不使用時には
ウインド部分のみが不活性ガスでパージされるよ
うにすることもできる。
レーザ発振器等の突起部に着脱できる。また、突
起部にバルブを設けることにより、不使用時には
ウインド部分のみが不活性ガスでパージされるよ
うにすることもできる。
以下、この発明の一実施例を概念図について説
明する。第１図において、１９はワンタツチで脱
着が可能なレーザ発振器用カセツト式ウインド、
２０はレーザ発振器筐体１に設けられた突起部、
２０ａは手動又は自動的に開閉するゲートバルブ
で、突起部２０に設けられている。２１は手動又
は自動的にウインド６〜ゲートバルブ２０ａ間を
吸排気する吸排気口、２２はワンタツチで脱着が
可能なリアクタ用カセツト式ウインド、２３はリ
アクタ筐体１１に設けられた突起部、２３ａは手
動又は自動的に開閉するゲートバルブで、突起部
２３に設けられている。２４は手動又は自動的に
ウインド１５〜ゲートバルブ２３ａ間を吸排気す
る吸排気口である。
明する。第１図において、１９はワンタツチで脱
着が可能なレーザ発振器用カセツト式ウインド、
２０はレーザ発振器筐体１に設けられた突起部、
２０ａは手動又は自動的に開閉するゲートバルブ
で、突起部２０に設けられている。２１は手動又
は自動的にウインド６〜ゲートバルブ２０ａ間を
吸排気する吸排気口、２２はワンタツチで脱着が
可能なリアクタ用カセツト式ウインド、２３はリ
アクタ筐体１１に設けられた突起部、２３ａは手
動又は自動的に開閉するゲートバルブで、突起部
２３に設けられている。２４は手動又は自動的に
ウインド１５〜ゲートバルブ２３ａ間を吸排気す
る吸排気口である。
レーザ発振中、ウインド６又は１５内面に不純
物が付着したり、化学的に劣化すると、レーザ出
力が低下し、被加工物１２の加工に不都合を生じ
る。この場合、レーザビーム１０を一端停止さ
せ、手動又は自動でゲートバルブ２０ａ又は２３
ａを閉状態にし、手動又は自動で吸排気口２１又
は２４を介して、ウインド〜ゲートバルブ間を不
活性ガスでパージし、カセツト式ウインド１９又
は２２をワンタツチで取り外す。ウインド清浄
後、上記カセツト式ウインド１９又は２２をワン
タツチで装着し、手動又は自動でウインド〜ゲー
トバルブ間を真空引、ガス入を行い、手動又は自
動でゲートバルブ２０ａ又は２３ａを開状態に
し、最初の状態に復帰する。尚、長時間不使用時
はウインド〜ゲートバルブ間を不活性ガスでパー
ジした状態でとめておく。
物が付着したり、化学的に劣化すると、レーザ出
力が低下し、被加工物１２の加工に不都合を生じ
る。この場合、レーザビーム１０を一端停止さ
せ、手動又は自動でゲートバルブ２０ａ又は２３
ａを閉状態にし、手動又は自動で吸排気口２１又
は２４を介して、ウインド〜ゲートバルブ間を不
活性ガスでパージし、カセツト式ウインド１９又
は２２をワンタツチで取り外す。ウインド清浄
後、上記カセツト式ウインド１９又は２２をワン
タツチで装着し、手動又は自動でウインド〜ゲー
トバルブ間を真空引、ガス入を行い、手動又は自
動でゲートバルブ２０ａ又は２３ａを開状態に
し、最初の状態に復帰する。尚、長時間不使用時
はウインド〜ゲートバルブ間を不活性ガスでパー
ジした状態でとめておく。
上記以外の場合でも、例えばエキシマレーザ等
レーザ波長に最適なウインドに交換する場合で
も、同様に扱うことができる。
レーザ波長に最適なウインドに交換する場合で
も、同様に扱うことができる。
なお、この発明はレーザ発振器及びリアクタを
始め、あらゆるレーザ装置のウインドに適用でき
ることはいうまでもない。
始め、あらゆるレーザ装置のウインドに適用でき
ることはいうまでもない。
以上のように、この発明によればワンタツチで
カセツトを脱着できるため、ウインドの洗浄や交
換がきわめて容易であり、また、バルブを閉じて
おくことにより、カセツト取り外しの際において
レーザ装置内に封入されたレーザガスの無駄な排
出を防止することができる。さらに、不使用時に
は吸排気機構を通じて不活性ガスをパージするこ
とにより、レーザガスの接触によるウインドの劣
化を軽減することができる。
カセツトを脱着できるため、ウインドの洗浄や交
換がきわめて容易であり、また、バルブを閉じて
おくことにより、カセツト取り外しの際において
レーザ装置内に封入されたレーザガスの無駄な排
出を防止することができる。さらに、不使用時に
は吸排気機構を通じて不活性ガスをパージするこ
とにより、レーザガスの接触によるウインドの劣
化を軽減することができる。
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ用ウ
インド機構を示す断面図、第２図は従来の機構を
示す断面図である。 １はレーザ発振器筐体、２は陽極電極、３は陰
極電極、４はレーザガス、５は吸排気口、６はウ
インド、７はウインド押え板、８はボルト、９は
Ｏリング、１０はレーザビーム、１１はリアクタ
筐体、１２は被加工物、１３は加工ガス、１４は
吸排気口、１５はウインド、１６はウインド押え
板、１７はボルト、１８はＯリング、１９はカセ
ツト式ウインド、２０はゲートバルブ、２１は吸
排気口、２２はカセツト式ウインド、２３ａはゲ
ートバルブ、２４は吸排気口である。なお、各図
中同一符号は同一または相当部分を示す。
インド機構を示す断面図、第２図は従来の機構を
示す断面図である。 １はレーザ発振器筐体、２は陽極電極、３は陰
極電極、４はレーザガス、５は吸排気口、６はウ
インド、７はウインド押え板、８はボルト、９は
Ｏリング、１０はレーザビーム、１１はリアクタ
筐体、１２は被加工物、１３は加工ガス、１４は
吸排気口、１５はウインド、１６はウインド押え
板、１７はボルト、１８はＯリング、１９はカセ
ツト式ウインド、２０はゲートバルブ、２１は吸
排気口、２２はカセツト式ウインド、２３ａはゲ
ートバルブ、２４は吸排気口である。なお、各図
中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- １ レーザ装置の筐体にレーザビームの経路に沿
つて設けられた突起部と、ウインドを収納し、該
突起部に脱着自在に取り付けられたカセツトと、
前記突起部に装着されたバルブと、前記バルブと
前記カセツトとの間において前記突起部に設けら
れた吸排気機構とを備えたことを特徴とするレー
ザ用ウインド機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26152085A JPS62122289A (ja) | 1985-11-22 | 1985-11-22 | レ−ザ用ウインド機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26152085A JPS62122289A (ja) | 1985-11-22 | 1985-11-22 | レ−ザ用ウインド機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62122289A JPS62122289A (ja) | 1987-06-03 |
| JPH0467351B2 true JPH0467351B2 (ja) | 1992-10-28 |
Family
ID=17363042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26152085A Granted JPS62122289A (ja) | 1985-11-22 | 1985-11-22 | レ−ザ用ウインド機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62122289A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0195579A (ja) * | 1987-10-08 | 1989-04-13 | Toshiba Corp | 気体レーザ装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5921623A (ja) * | 1982-07-29 | 1984-02-03 | Takashi Yamamoto | 痔の薬 |
-
1985
- 1985-11-22 JP JP26152085A patent/JPS62122289A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5921623A (ja) * | 1982-07-29 | 1984-02-03 | Takashi Yamamoto | 痔の薬 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62122289A (ja) | 1987-06-03 |
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