JP2000124121A - 光学装置、露光装置、鏡筒、連結装置、筐体および鏡筒端部遮蔽物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 短波長の光による光学要素の曇りを、経済的
に防止する。 【解決手段】 光路上の鏡筒１３、１４、筐体１２もし
くは他の構成品、これらの内部の光学要素１５相互間の
各空間、または前記鏡筒、筐体もしくは他の構成品間の
各空間を単独で任意の分圧または濃度の不活性ガスまた
は気体で充填密閉または略充填密閉可能な構造とする。
そのために、各空間を密閉するとともに、密閉された各
空間に任意の分圧または濃度の不活性ガスまたは気体を
導入するための開閉機構が付随したガス導入口７と気体
および不活性ガスを排出するための開閉機構が付随した
ガス排出口８を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ＩＣやＬＳ
Ｉを製造するための製造装置などに用いられる鏡筒、こ
れを有する光学装置、露光装置および筐体、鏡筒や筐体
を連結する連結装置、ならびに鏡筒端部遮蔽物に関し、
特にエキシマレーザ等の短波長の光を光源とし、光学系
の曇りを防止するために鏡筒内部を不活性ガスで置換す
る鏡筒、光学経路、または露光装置に最適なものに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一般に、３８０ｎｍ以下の波長の光は目
に見えず、紫外光と呼称されている。紫外光は、その光
子エネルギーが約６ｅＶ以上と大きく、物質に対する活
性が高い。すなわち、このエネルギー領域は物質を構成
する原子同士の結合あるいは分子結合エネルギー領域に
相当するため、紫外光を物質に照射することによって光
吸収が生じたり、光分解によって物質の性質が変わった
り、光化学反応が起こったりする。さらに２２０ｎｍ以
下になると、空気中において、主に酸素による光の吸収
のために光を通さなくなる。そのため、この波長域の紫
外光を利用した光学装置では、装置内部の物質が紫外光
により光化学反応を起こし、装置内部の光学系に影響を
及ぼしている。したがって、紫外光を利用した光学装置
において、紫外光を効率良く利用するためには、紫外光
の透過経路から酸素等の光を吸収する要因を排除するこ
とが必要であり、そのため、光の透過経路を真空に保
ち、あるいは不活性ガスで充填密閉する必要がある。

【０００３】そこで従来の装置では、気密性のあるチャ
ンバを設け、その内部に光源、ミラー、レンズ等の光学
系を配置して、紫外光の透過経路を真空にし、あるいは
不活性ガスを連続供給してチャンバ内部の空気等の気体
を押し出しながらチャンバ内部を不活性ガスで置換し、
または前記置換後に真空にする方法がとられている（以
降、パージと記す）。

【０００４】別のパージの手段として特開平８−２２１
２９号公報に示されたような、チャンバ外部に不活性ガ
ス導入経路および排出経路を設け、チャンバ内部を化学
反応等を用いて精製した不純物を含まない不活性ガスで
置換する方法もある。しかしながら、これによれば、装
置内部をパージしても鏡筒内部はパージが実施困難なた
め、紫外光の透過経路を真空に保ちあるいは不活性ガス
で充填密閉することが不十分である。そのため、鏡筒内
部において、特開平４−１２８７０２号公報や特開平６
−２０２２４３号公報に示されたように、光学部品に曇
りが発生した状態となり、光学部品の反射率、透過率が
低下して、照明効率が低下してしまうという問題が発生
する。この問題は二酸化硫黄等の物質が酸化してしまう
ことにより発生することがわかっている。

【０００５】この問題を解決する手段として、前記特開
平４−１２８７０２号公報に記載のものが提案されてい
る。この提案では、二酸化硫黄等の物質が酸化してしま
うことにより発生する硫酸アンモニウムの分解が、１２
０℃程度より始まることを利用し、光学部品を１２０℃
以上に保つことにより付着を防止しようとしている。し
かしながらこの提案を実施するには、光学部品を高温に
維持しなければならない。光源部、集光部に近い場所に
配置される光学部品は、比較的容易に高温を維持できる
ことが予想できるが、その他の光学部品を高温に維持す
るには、加熱する必要がある。さらに光学部品を１２０
℃以上に加熱するには、かなり大きな熱源が必要とな
り、温度管理を必要とする半導体露光装置では問題とな
る。

【０００６】他の解決手段として、前記特開平６−２０
２２４３号公報に記載のものが提案されている。この提
案では、二酸化硫黄が第１励起状態〜第４励起状態に応
じて４つの吸収帯をもつことに着目し、吸収帯の光に対
する反射集光部材の反射率を小さくしたものである。反
射集光部の反射率を小さくすることにより、二酸化硫黄
を活性化する光の照射量を減少させ、硫酸アンモニウム
の生成量を減少させるものである。しかしながら、吸収
帯の光に対する反射集光部材の反射率を小さくしても、
硫酸アンモニウムの生成量は減少するものの、生成を無
くすわけではないため、照明効率を低下させるという問
題が発生する。

【０００７】そこで、曇りの原因となる物質および曇り
の原因となる物質を含んだ空気が紫外光の透過経路へ流
入しまたは残留することを防止するために、鏡筒内部を
不活性ガスで充填する手段として、特開平９−１６２１
１７号公報に記載のものが提案されている。図８は、そ
の概略を示す。この提案では、照明系光学系の一部を構
成する鏡筒２８を筐体２７の内部に構成し、各鏡筒２８
内部を鏡筒内部に設けたガス流通経路２９（図８に点線
矢印で図示）で接続してある。この構成により、鏡筒を
流通経路に沿って順次不活性ガスで置換し、流通経路の
最後の鏡筒に不活性ガスが充填されると、最後の鏡筒の
排気用配管から筐体へ不活性ガスが吹き出し、筐体内の
不活性ガスの置換が開始される。これにより該流通経路
を介して不活性ガスをレンズ群から他のレンズ群へ、筐
体から他の筐体へ強制的に循環させることができ、レン
ズ等の光学要素間の細部まで不活性ガスが行き渡り、内
部の不純物を含む空気が不活性ガスに置換された化学的
に清浄な環境下に照明光学系を構成する各光学要素を置
くことができるとしている。したがって筐体２７内およ
び鏡筒２６内の空間の酸素濃度が低く維持され、光化学
反応の過程における酸化反応を防止でき、後に続く生成
物の発生がなく曇りを防止できるとともに露光光が酸素
を反応させることによるオゾンの発生も効果的に防止で
きるとしている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来技術によれば、鏡筒を流通経路に沿って順次不活性ガ
スで置換し、流通経路最後の鏡筒に不活性ガスを充填し
た後に筐体へ不活性ガスが吹き出して筐体内の不活性ガ
スの置換が開始されるというように、鏡筒内を直列的に
ガス置換を行うので、置換を完了するまでに時間がかか
るという問題がある。また、鏡筒内部および筐体内部空
間を連続的に不活性ガスで置換することは可能である
が、不活性ガスで充填密閉した筐体相互間の空間を不活
性ガスで充填密閉することができないため、露光光の光
路全体を不活性ガスで置換することはできない。したが
って、筐体の前方および後方に設けられた窓ガラスに曇
りの原因となる物質および曇りの原因となる物質を含ん
だ気体が接触するという問題がある。また、鏡筒端部の
空間を鏡筒単体で密閉することができないので、鏡筒単
体を輸送中、あるいは鏡筒単体を曇りの原因となる物質
および曇りの原因となる物質を含んだ気体中に放置する
際、鏡筒端部の光学要素が曇りの原因となる物質および
曇りの原因となる物質を含んだ気体に接触してしまうと
いう問題がある。また、光学要素間をパージする場合に
直列的に単一のガス種でパージを行なっており、各光学
要素相互間の空間ごとに異なるガス分圧もしくは濃度あ
るいはガス種でのパージができないため、ガス分圧、濃
度、ガス種等の様々な構成で各光学要素相互間の空間ご
とに満たすことにより光学性能を向上させることができ
ないという問題がある。さらに、光学要素間を直列的に
パージしているため、少なくとも１つ以上の光学要素相
互間に高価な不活性ガスで充填しなければならない場合
には、一律に高価な不活性ガスで充填しなくてはなら
ず、コストがかかるという問題もある。

【０００９】

【課題を解決するための手段および発明の実施の形態】
本発明は、照明効率の低下の原因になる曇りを防止する
ためには、鏡筒内部も含んだ紫外光の透過経路から、曇
りの原因となる物質および曇りの原因となる物質を含ん
だ空気が紫外光の透過経路へ流入しまたは残留すること
を防止することが有効であり、特に鏡筒内部のパージに
ついて着目したものである。

【００１０】すなわち本発明の鏡筒は、エキシマレーザ
等の短波長の光を光源とした光学装置に用いられる１ま
たは複数の鏡筒であって、鏡筒内部の光学要素相互間の
個々の空間を単独で任意の分圧または濃度の不活性ガス
あるいは気体で充填密閉または略充填密閉可能な構造を
具備することを特徴とする。好ましい実施形態において
は、前記構造は、前記鏡筒内部の光学要素相互間の個々
の空間に任意の分圧または濃度の不活性ガスあるいは気
体を導入するための開閉機構が付随したガス導入口と、
鏡筒内部の光学要素相互間の個々の空間の不活性ガスお
よび気体を排出するための開閉機構が付随したガス排出
口を備え、これにより、前記鏡筒内部の光学要素相互間
の個々の空間を任意の分圧または濃度の不活性ガスある
いは気体で置換し、充填密閉または略充填密閉すること
ができるようにしている。

【００１１】また、本発明の連結装置は、複数の鏡筒を
間に密閉空間を形成して連結させる構造を有する連結装
置であって、前記密閉空間に任意の分圧または濃度の不
活性ガスあるいは気体を導入するための開閉機構が付随
したガス導入口と、前記密閉空間内部の気体および不活
性ガスを排出する開閉機構が付随したガス排出口を具備
する。これにより、前記密閉空間を単独で任意の分圧ま
たは濃度の不活性ガスあるいは気体で置換することがで
きる。

【００１２】また、本発明の別の連結装置は、鏡筒、筐
体、または光学系光路の各構成品を、間に密閉空間を形
成して複数個連結させる構造を有する連結装置であっ
て、任意の分圧または濃度の不活性ガスあるいは気体を
導入する開閉機構が付随したガス導入口と、前記密閉空
間内の気体および不活性ガスを排出する開閉機構が付随
したガス排出口を具備する。これにより、前記密閉空間
を単独で任意の分圧または濃度の不活性ガスあるいは気
体で置換することができる。

【００１３】また、本発明の露光装置は、エキシマレー
ザ等の短波長の光を光源とした露光装置であって、露光
光源から所定の光学要素に至る露光光の光路は１つ以上
のブロックに分割し、前記１つ以上のブロックすべて
を、個々に単独で任意の分圧または濃度の不活性ガスあ
るいは気体で充填密閉または略充填密閉可能な構造を有
する１つ以上の筐体、鏡筒、または光路上の各構成品の
内部に収納するとともに、前記１つ以上の筐体、鏡筒、
または構成品を上述の連結装置により連結し、さらに前
記露光光源から前記所定の光学要素に至る露光光の全光
路を構成する１つ以上の筐体、鏡筒、または構成品の内
部の光学要素間を任意の分圧または濃度の不活性ガスあ
るいは気体で充填密閉または略充填密閉可能に構成した
ことを特徴とする。前記所定の光学要素は、たとえばマ
スキングブレード、レチクル、投影光学系、または被投
影物体である。また、好ましい実施形態においては、前
記鏡筒、筐体、および連結装置内部は個々に単独で任意
の分圧または濃度の不活性ガスあるいは気体で充填密閉
または略充填密閉可能なものである。また、前記充填密
閉のための開閉機構を有するガス流通経路を備え、前記
鏡筒、筐体もしくは構成品の内部、これらの内部の個々
の光学要素間の空間、または前記ガス流通経路のガス排
出口もしくは排出経路の１つ以上におけるガス分圧もし
くはガス濃度またはガス種の１つ以上を測定するための
前記ガス流通経路上に設けた測定機構およびそのモニタ
を有する。そして、この測定機構およびモニタにより前
記鏡筒、筐体もしくは構成品の内部、これらの内部の光
学要素相互間の個々の空間の１つ以上の気体のガス分圧
あるいは濃度が最適な状態になるように調節を行う制御
機構を有する。

【００１４】また、本発明の筐体は、上述の鏡筒を収納
する筐体であって、個々の鏡筒あるいは該鏡筒内部の個
々の光学要素相互間の空間に、単独で筐体外から任意の
分圧または濃度の不活性ガスあるいは気体を導入しある
いは鏡筒内部の気体および不活性ガスを排出するための
流通経路を有し、前記流通経路には筐体あるいは筐体外
において開閉機構が付随していることを特徴とする。

【００１５】また、本発明の光学装置は、上述の鏡筒、
鏡筒端部遮蔽物、連結装置、筐体、または測定機構のい
ずれか１つ以上で構成したことを特徴とする。

【００１６】また、本発明の別の露光装置は、上述の鏡
筒を備え、あるいはこれに加えて上述の筐体、鏡筒、構
成品または連結装置を備え、鏡筒の内部の光学要素相互
間の個々の空間、それらの光学要素が接する個々の１つ
以上の空間、または前記筐体、鏡筒、構成品または連結
装置内部の個々の空間のいずれか１つ以上の空間につい
て開閉機構が付随したガス排出口より内部の気体を個々
に単独で排出し、鏡筒内部の光学要素が接する個々の１
つ以上の空間を個々に単独で真空に維持できるように構
成したことを特徴とする。

【００１７】本発明によれば、各光学要素相互間の個々
の空間を単独で任意の分圧、濃度の不活性ガスあるいは
任意のガス種でパージすることで光学性能を向上させる
ことができる。

【００１８】本発明の露光装置に構成される鏡筒には、
鏡筒内部の各光学要素相互間の個々の空間の気体を任意
の分圧、濃度の不活性ガス、あるいは任意のガス種（以
下の記述において、不活性ガスと表現される場合、任意
の分圧、濃度の不活性ガス、あるいは任意のガス種の表
現も含まれることにする。）で置換するための開閉機構
が付随したガス導入口とガス排出口がそれぞれ１組以上
ある。前記ガス導入口とガス排出口を使用し鏡筒内部の
各光学要素相互間の個々の空間を単独で任意の不活性ガ
スで充填密閉あるいは略充填密閉（以下の記述におい
て、充填密閉と表現される場合、略充填密閉の表現も含
まれることにする。）することが可能である。

【００１９】本発明の鏡筒は、鏡筒端部に鏡筒端部の空
間を密閉あるいは略密閉する着脱可能な構成物を有し、
前記構成物と鏡筒端部光学要素相互間に不活性ガスを導
入する開閉機構が付随したガス導入口と気体および不活
性ガスを排出する開閉機構が付随したガス排出口を設
け、前記ガス導入口およびガス排出口を使用すること
で、前記構成物と鏡筒端部光学要素相互間の個々の空間
を任意の不活性ガスで置換し、充填密閉することができ
る。

【００２０】あるいは前記の方法によらず、鏡筒端部に
鏡筒の端部の光学要素を鏡筒外雰囲気より遮蔽する遮蔽
物を設置する。前記遮蔽物は、鏡筒端部の空間を密閉あ
るいは略密閉する着脱可能な遮蔽物であり、前記遮蔽物
と鏡筒端部光学要素相互間に不活性ガスを導入する開閉
機構が付随したガス導入口と不活性ガスを排出する開閉
機構が付随したガス排出口を設け、前記ガス導入口およ
びガス排出口を使用することで、前記遮蔽物と鏡筒端部
光学要素相互間の空間を任意の分圧、濃度の不活性ガス
あるいは気体で置換し、充填密閉または略充填密閉する
ことができる。本発明によれば、鏡筒単体でパージ可能
であり、内部の空間の密閉度が高いため、鏡筒を構成す
る光学要素は、曇りの原因となる物質および曇りの原因
となる物質を含んだ空気と接触することがなく、鏡筒内
部の各光学要素相互間の個々の空間を任意の不活性ガス
で充填密閉あるいは略充填密閉の状態を保持したまま、
鏡筒単体を輸送中あるいはあらゆる気体中に放置した場
合でも、鏡筒内部の光学要素の光学性能を低下させるこ
とを低減することができる。各光学要素相互間の個々の
空間に接続されたガス導入口とガス排出口に開閉機構を
付随させたことにより、大気中でも鏡筒内部の各光学要
素相互間の個々の空間を単独で不活性ガスで充填密閉す
ることができる。

【００２１】また、鏡筒端部に鏡筒端部の光学要素が接
する空間を不活性ガスで充填密閉するための構成品ある
いは遮蔽物を設置することにより、鏡筒単体で輸送中あ
るいは曇りの原因となる物質および曇りの原因となる物
質を含んだ気体中に放置する際においても鏡筒端部の光
学要素に曇りの原因となる物質および曇りの原因となる
物質を含んだ気体が接触することがない。

【００２２】本発明の１あるいは複数個の鏡筒は、単独
で不活性ガスで充填密閉可能な１あるいは複数個の筐体
に収納される。前記複数個の筐体は、筐体相互間を充填
密閉可能な筐体あるいは本発明の連結装置で接続する。
したがって露光装置の光学経路の細部まで不活性ガスで
充填密閉することが可能である。複数の鏡筒あるいは筐
体でも、本発明の連結装置で接続することによって複数
の鏡筒、筐体を連結したまま、鏡筒内部、筐体内部、あ
るいは鏡筒や筐体等の各光学要素相互間の個々の空間を
不活性ガスで充填密閉した状態を保持したまま大気中に
放置することができる。

【００２３】連結装置は、以下に記述する構造をもって
いる。すなわち、連結装置の構造の１つは、連結を行う
鏡筒と連結装置との接触面にゴム管あるいは封止材を用
いた管状の物体を取り付け、前記ゴム管あるいは封止材
を用いた管状の物体は、鏡筒あるいは連結装置により圧
迫され、連結する鏡筒相互間の空間を密閉あるいは略密
閉状態にする構造である。前記連結装置の構造のもう１
つは、連結を行う鏡筒と連結装置との接触面に封止材を
構成し、鏡筒あるいは連結装置に斜度をもった壁面を構
成し、前記斜度をもった壁面を利用することで鏡筒の径
に対し自由度のある前記封止材の圧迫が可能となり、連
結する鏡筒相互間の空間が密閉あるいは略密閉な状態で
連結が可能となる構造である。以上のような鏡筒と連結
装置を接続することにより、複数の鏡筒等の光学要素同
士を前記光学要素内部の細部まで不活性ガスで充填密閉
された状態のまま空気中に放置することが可能である。

【００２４】本発明の鏡筒、筐体、連結装置を光路上に
構成することにより、露光光源から被投影物体までの光
路すべてが曇りの原因となる物質および曇りの原因とな
る物質を含んだ気体から遮蔽されるため、光路を構成す
る光学要素は、曇りの原因となる物質および曇りの原因
となる物質を含んだ気体と接触することが無い。

【００２５】本発明の鏡筒は鏡筒内部の光学要素相互間
の個々の空間を単独で不活性ガスで充填密閉することが
可能であるため、鏡筒を収納する筐体に鏡筒内部の光学
要素相互間の個々の空間を不活性ガスで置換するための
流通経路を構成することで、筐体内、鏡筒内部および鏡
筒内の光学要素相互間の個々の空間の不活性ガスの充填
密閉状態を崩さず、不活性ガスで置換したい光学要素相
互間等の任意の空間を単独で不活性ガスで置換し充填密
閉することが可能である。

【００２６】本発明の連結装置を使用して複数の光学要
素を連結した場合は前記光学要素間の空間においても前
記光学要素間の不活性ガスの充填密閉状態を崩さず、不
活性ガスで置換したい光学要素相互間等の任意の空間を
単独で不活性ガスで置換し充填密閉することが可能であ
る。

【００２７】本発明の鏡筒あるいは筐体は鏡筒内部の光
学要素相互間の個々の空間を単独で充填密閉できるた
め、前記個々の空間ごとに、任意の不活性ガスを選択し
充填密閉することが可能である。

【００２８】

【実施例】図１は本発明の一実施例に係る露光装置１の
概要を示す。露光装置１では、所定の波長をもった露光
光２が光源３から導入される。光源３が射出する露光光
２は本発明に従った鏡筒、ミラー等の複数の光学要素を
もった照明光学系に導入される。照明光学系を透過した
露光光２はレチクル４を照明する。レチクル４を透過し
た露光光は、本発明に従った構造をもった投影光学系に
入射し、被投影物体５を照明する。前記照明光学系およ
び投影光学系を含んだ光源３からの露光光光路は、複数
のユニットに分割構成され、各ユニットは可能な限り筐
体６ａ、６ｂ、６ｃ等の１あるいは複数の筐体に収納さ
れる。

【００２９】図２は筐体６ａ、６ｂ、６ｃ等の筐体の単
体１２の概略図であり、本発明の筐体の一実施例を示し
ている。筐体１２には、不活性ガスを導入する開閉機構
が付随したガス導入口７と、筐体１２内部の気体および
不活性ガスを排出する開閉機構の付随したガス排出口８
が設けられている。窒素、ヘリウム、ネオン、アルゴ
ン、クリプトン、キセノン、ラドン等のうちの１つ以上
の不活性ガスを供給する不活性ガス供給源９から供給さ
れる不活性ガスが、不活性ガス流通経路１０を介して筐
体１２のガス導入口７へ流入し、筐体１２内部へ導入さ
れる。導入された不活性ガスは筐体１２内部の気体およ
び不活性ガスをガス排出口８から排出し、気体および不
活性ガス回収部１１へ流出させ、筐体１２内部を不活性
ガスで置換する。不活性ガスで筐体１２内部を充填した
後、ガス排出口８の開閉機構を閉じて、ガス導入口７の
開閉機構を閉じることにより筐体１２内部を不活性ガス
で充填密閉することができる。なお、筐体１２内部に充
填密閉される前記不活性ガスとしては、窒素ガスが、安
価で入手しやすいので、利用しやすいという利点があ
る。

【００３０】筐体１２内に収納される鏡筒１３および１
４内部の光学要素１５相互間の個々の空間には、不活性
ガスを導入する開閉機構が付随したガス導入口７と、筐
体内部の気体および不活性ガスを排出する開閉機構の付
随したガス排出口８が設けられ、単独で光学要素１５相
互間の個々の空間を不活性ガスで密閉できる構造になっ
ている。なお、光学要素１５相互間の個々の空間を単独
で密閉構造とするために、鏡筒内の光学要素１５と隣り
合う光学要素１５との空間または鏡筒外雰囲気と接する
箇所は、ゴムあるいは封止剤１６により遮蔽されてい
る。

【００３１】次に、鏡筒１３内部の光学要素１５相互間
の個々の空間を単独で任意の不活性ガスで充填密閉ある
いは略充填密閉する方法について述べる。不活性ガスで
置換する際、初めに不活性ガスで置換する光学要素１５
相互間の個々の空間に接続されているガス導入口７とガ
ス排出口８を開放しておく。次に不活性ガスをガス導入
口７より導入する。なお、導入する不活性ガスが光学要
素１５相互間の空間の気体よりも比重が重い場合は、ガ
ス導入口７を鏡筒下側に置き、ガス排出口８を鏡筒上側
に置くことが望ましい。また導入する不活性ガスが光学
要素１５相互間の空間の気体よりも比重が軽い場合は、
ガス導入口７を鏡筒上側に置き、ガス排出口８を鏡筒下
側に置くことが望ましい。導入された不活性ガスは光学
要素１５相互間の空間の気体をガス排出口８から気体お
よび不活性ガス回収部１１等の鏡筒外部へ押し出し、光
学要素１５相互間の空間を不活性ガスで置換する。光学
要素１５相互間の空間が不活性ガスで置換されたら、ガ
ス排出口８を閉じ、次にガス導入口７を閉じて光学要素
１５相互間の空間を密閉し、パージを完了する。

【００３２】なお、前記パージに要する時間を計測する
ために、鏡筒内の光学要素１５相互間の個々の空間をパ
ージしている際の鏡筒内に残留している酸素等の不純物
ガスの分圧を測定しておくことが望ましい。この計測結
果より光学要素１５相互間の個々の空間が不活性ガスで
十分に充填密閉可能な時間を知ることができる。

【００３３】このための測定装置は、ガス排出口８の開
閉機構よりも排出方向側の位置のガス排出口８または不
活性ガスの流通経路上に取り付けられる。測定は、酸素
や一酸化炭素について計測するためには安定化ジルコニ
アを用い、二酸化炭素を計測するためにはβ−アルミナ
やアルカリイオン伝導性固体電解質を用い、水蒸気を計
測するためには排出された導入不活性ガスの露点を水晶
振動子を用いてモニタすることにより行うことができ
る。なお、これらの測定方法に限定されず、不純物ガス
の分圧が計測できる方法であれば、それを用いることが
できる。

【００３４】測定方法を具体的に説明する。酸素や一酸
化炭素を計測するために安定化ジルコニアを用いる場
合、安定化ジルコニアは、高温で酸素イオン導電体とな
る性質をもっているため、安定化ジルコニアを介して酸
素濃度に差をつけると電位差を生じるので、酸素センサ
として機能する。この機能を利用して酸素の分圧を計測
する。二酸化炭素を計測するためにβ−アルミナやアル
カリイオン伝導性固体電解質を用いる場合は、β−アル
ミナやアルカリイオン伝導性固体電解質は二酸化炭素を
効率良く吸収するので、吸収量をモニタすることによ
り、計測することができる。

【００３５】本発明における置換とは、筐体内、鏡筒内
および鏡筒内の光学要素相互間の空間の気密を保ちつつ
導入不活性ガスで満たす、あるいは不活性ガスのパージ
を意味している。なお不活性ガスは窒素あるいはアルゴ
ンが望ましいが、光学系の曇りを発生させない物質で紫
外光を効率良く利用できる物質であるならば、ガス種に
よらず同等に扱うことができる。前記パージにおいて、
鏡筒内部の光学要素相互間の個々の空間の不純物ガスを
除去する手段に特開平８−２２１２９号公報記載のチャ
ンバ内部の不純物ガス除去の手段を適用することは可能
である。

【００３６】上記の方法によらず、本発明の鏡筒は、鏡
筒内の光学要素相互間の空間に限定した充填密閉が可能
な構造なため、不活性ガスで充填密閉した筐体の中に鏡
筒および光学系を入れ、筐体内部で組み立てることによ
り鏡筒内部を不活性ガスで充填密閉することが可能であ
る。また、上記の方法によらず、図４に示すように本発
明の鏡筒は、不活性ガス供給源９と鏡筒内の光学要素１
５相互間の空間が不活性ガス流通経路１０で接続され、
不活性ガス供給源９と鏡筒内の光学要素１５相互間の空
間が連結した密閉状態あるいは略密閉状態の空間を構成
できるので、大気中においても鏡筒単独で任意の鏡筒内
の光学要素１５相互間の空間を不活性ガスで充填密閉す
ることが可能である。この方法は大気中で行うことがで
き、必要な不活性ガスも少量で済むことから、安易な設
備で効果的に鏡筒内の光学要素１５相互間の空間を不活
性ガスで充填密閉することができる。

【００３７】本発明に従った図４の鏡筒には、図示する
ように、鏡筒端部に鏡筒端部を充填密閉するための構成
品２６を有している。これは、鏡筒等を輸送あるいは大
気中に放置する場合、従来は外気と接触していた鏡筒端
部のレンズ面が曇りの原因となる物質および曇りの原因
となる物質を含んだ気体と接触することを防止するもの
である。構成品２６と鏡筒端部の光学要素との間の空間
を不活性ガスで充填密閉するために、該空間に不活性ガ
スを導入する開閉機構が付随したガス導入口７と筐体内
部の気体および不活性ガスを排出する開閉機構の付随し
たガス排出口８が設けられ、単独で前記空間を不活性ガ
スで密閉できる構造になっている。なお前記空間を単独
で密閉構造とするために、構成品２６あるいは鏡筒と鏡
筒外雰囲気とが接する箇所は、ゴムあるいは封止剤１６
により遮蔽されている。

【００３８】図４に示した鏡筒のように鏡筒端部にガス
導入口７あるいはガス排出口８を構成せず、代わりに、
図７に示すように、遮蔽物３０を鏡筒端に取り付けるよ
うにしてもよい。遮蔽物３０には、鏡筒１３と遮蔽物３
０間の空間を不活性ガスで充填密閉するためのガス導入
口７およびガス排出口８が設置されている。さらに遮蔽
物３０と鏡筒１３の間にゴム管あるいは封止材を用いた
管状の物体１８を取り付け、これを鏡筒１３あるいは遮
蔽物３０により圧迫し、遮蔽物３０と鏡筒１３相互間の
空間を個々に単独で密閉あるいは略密閉状態にできるよ
うにしている。このための具体的な構造を次に示す。遮
蔽物３０と封止材等を用いた管状の物体１８との接触面
はテーパ加工が施してある。なお封止材を用いた管状の
物体１８は本実施例のものに限らず、接続する鏡筒１３
と遮蔽物３０相互間の空間を個々に単独で密閉あるいは
略密閉状態にする構造を可能にするものであれば、その
物体は形状、材質等において種々の構成を取り得ること
は勿論である。密閉するためには、遮蔽物３０内部に封
止材等の物体１８を挿入し、物体１８に鏡筒１３を挿入
する。遮蔽物３０にはテーパ加工が施してあるため、鏡
筒の外径に対し自由度をもった挿入が可能である。遮蔽
物３０と鏡筒１３が封止材等の物体１８により密閉状態
を保てるようになった後、押え環３１により、封止材等
の物体１８および鏡筒１３を固定する。

【００３９】上述の方法により鏡筒内の各光学要素１５
相互間の個々の空間を任意の不活性ガスで充填密閉した
後、鏡筒１つ以上を前述した筐体１２内に収納し、筐体
１２内を前述した方法により鏡筒内部の空間とは別個に
不活性ガスで充填密閉する。なお鏡筒を筐体１２内に収
納する際、鏡筒端に取り付けた構成品２６あるいは遮蔽
物３０を取り外すことは勿論である。しかし、構成品２
６の光学的影響が微少である場合、構成品２６あるいは
遮蔽物３０を取り付けた状態で筐体１２内に収納するこ
とも可能である。

【００４０】筐体１２の構造は図２に示したものの他に
図３に示す構造も可能である。図３の筐体は、鏡筒内部
の光学要素１５相互間の個々の空間ごとに筐体１２外部
からガス流通経路を接続し、筐体１２外部から鏡筒内部
の光学要素１５相互間の個々の空間を単独で不活性ガス
で充填密閉できる構造を構成している。さらに前記空間
ごとに設置したガス流通経路には、筐体１２の外壁部に
前記空間を不活性ガスで充填密閉するためのガス導入口
７およびガス排出口８が設置されている。したがって図
３に示した本発明に従った筐体は、筐体外部から鏡筒内
部の光学要素１５相互間の個々の空間を単独で不活性ガ
スで充填密閉することが可能であり、筐体内、他の鏡筒
内部および鏡筒内の他の光学要素１５相互間の個々の空
間の不活性ガスの充填密閉状態を崩さず、不活性ガスで
置換したい光学要素１５相互間等の任意の空間を単独で
不活性ガスで置換し充填密閉することが可能である。

【００４１】筐体１２を図１に図示した筐体６ｂ、６
ｄ、６ｆ、６ｈ、６ｊ、６１、６ｍとして光学装置の所
定の位置に連結用筐体６ａ、６ｃ、６ｅ、６ｇ、６ｉ、
６ｋを使用して連結し、設置することができる。設置
後、これらの連結用筐体の内部を、筐体１２で行ったよ
うな方法により不活性ガスで充填密閉することにより、
露光光路のすべてあるいは大部分を不活性ガスで充填密
閉あるいは略充填密閉することができる。なお、筐体６
ｋはレチクル４を所定の位置に搬送あるいは搬出する
際、不活性ガスで充填密閉あるいは略充填密閉されるの
が望ましい。同様に筐体６ｍは被投影物体５を所定の位
置に搬送あるいは搬出する際、不活性ガスで充填密閉あ
るいは略充填密閉されるのが望ましい。

【００４２】また、筐体の連結後、光学系光路を組み立
てる際、あるいは光学系光路の組立後、不活性ガスで充
填密閉する空間としては、光学系光路を構成する筐体、
鏡筒、構成品内部のいかなる空間を選択しても問題な
い。なお、鏡筒内部の光学要素相互間の個々の空間を不
活性ガスで充填密閉する方法としては、上記の方法に限
定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の方法
を取り得ることは勿論である。

【００４３】次に、複数の鏡筒および筐体等の光学要素
を連結し、その鏡筒間の空間を個々に独立して不活性ガ
スで充填密閉する実施例について説明する。本発明に従
った連結品は、上述の方法により鏡筒内部の各光学要素
相互間の空間が不活性ガスで充填密閉された鏡筒または
筐体等の光学系光路を構成する構成品（以下、「構成
品」という場合には光学系光路を構成する構成品を含む
ものとする。）を連結するものである。図５はこれによ
って２つ以上の鏡筒等の構成品を連結した実施例を示
す。本発明に従えば、鏡筒と鏡筒、鏡筒と筐体、あるい
は筐体と筐体の相互間の空間を連結し、不活性ガスで密
閉するためにこれらの相互間に連結品を設置し、これら
相互間を連結することができる。

【００４４】図５に示すように、この連結品は、連結す
る鏡筒１３および１４との間に取り付けられたゴム管あ
るいは封止材を用いた管状の物体１８を有し、管状の物
体１８は、鏡筒１３および１４と連結品の第１部１７と
第２部１９により圧迫され、連結する鏡筒１３、１４相
互間あるいは連結した空間を個々に独立して密閉あるい
は略密閉状態にする構造を有する。

【００４５】具体的な構造を次に記す。連結品の第１部
１７と第２部１９の封止材を用いた管状の物体１８との
接触面はテーパ加工が施してある。なお、封止材を用い
た管状の物体１８は本実施例に限らず、連結する鏡筒等
の構成品相互間の空間を個々に単独で密閉あるいは略密
閉状態にする構造を可能にするものであれば、形状、材
質等において種々の構成を取り得ることは勿論である。
これによれば、鏡筒同士でなくても鏡筒と光源等が収納
されている筐体との間の空間、あるいは筐体同士の間の
空間等、種々の構成品間を単独で個々に不活性ガスで置
換し、充填密閉することが可能である。

【００４６】鏡筒１３および１４を連結する際には、ま
ず、第１部１７および第２部１９に物体１８を挿入し、
各物体１８内に鏡筒１３および１４を挿入する。第１部
１７と第２部１９にはテーパ加工が施してあるため、鏡
筒の外径に対し自由度をもった挿入が可能である。鏡筒
相互間が物体１８により密閉伏態を保てるようになった
後、押え環２０により、物体１８および鏡筒１３、１４
を固定する。また連結品には不活性ガスを導入する開閉
機構が付随したガス導入口７と構成品相互間の気体およ
び不活性ガスを排出する開閉機構の付随したガス排出口
８が設けられており、鏡筒および筐体等の構成品を連結
品で連結した際、それら相互間を不活性ガスで個々に独
立して充填密閉できる構造になっている。

【００４７】物体１８および鏡筒１３、１４を固定する
際、ガス導入口７、ガス排出口８を開放しておく。物体
１８および鏡筒１３、１４を固定した後、不活性ガスを
ガス導入口７より導入する。なお、導入する不活性ガス
が構成品相互間の空間の気体よりも比重が重い場合は、
ガス導入口７を連結品下側に置き、ガス排出口８を連結
品上側に置くことが望ましい。また導入する不活性ガス
が構成品相互間の空間の気体よりも比重が軽い場合は、
ガス導入口７を連結品上側に置き、ガス排出口８を連結
品下側に置くことが望ましい。導入された不活性ガスは
構成品相互間の空間の気体をガス排出口８から連結品外
部へ押し出し構成品相互間の空間を不活性ガスで置換す
る。構成品相互間の空間が不活性ガスで置換されたら、
ガス排出口８を閉じ、次にガス導入口７を閉じて構成品
相互間の空間を密閉し、パージを完了する。なお、連結
品で連結された構成品相互間の個々の空間の気体の測定
を、前述した鏡筒内部の光学要素相互間の気体の測定法
を用いて行うことは可能である。

【００４８】図６は他の連結品による連結の実施例を示
す。上述の図５の連結品によらなくても、図６の連結品
で２つ以上の鏡筒等の構成品を連結することが可能であ
る。この連結品の機能は図５のものと同様である。以下
に図６の連結品の具体的な構造を示す。

【００４９】この連結品は、図６に示すように、第１部
２２、第２部２３および第３部２４を備え、第１部２２
の鏡筒１３および１４に接する面には、封止材等の鏡筒
１３、１４等の構成品相互間の空間を密閉あるいは略密
閉する物体２１を有する。また、第１部２２の第２部２
３と接する面にはテーパ加工を施し、第１部２２および
第２部２３には互いが締結できるようにネジが切ってあ
る。第２部２３と第３部２４部が接する部分には、第１
部２２と第２部２３が接するテーパ部とは締結方向が逆
方向のネジが切ってある。この構造により、鏡筒１３、
１４等の構成品を第１部２２の物体２１中に挿入し、第
２部２３を締めることにより、鏡筒等の構成品間の空間
を密閉あるいは略密閉することが可能である。なお、第
３部２４には、不活性ガスを導入する開閉機構が付随し
たガス導入口７と構成品相互間の気体および不活性ガス
を排出する開閉機構の付随したガス排出口８が設けら
れ、構成品を連結品で連結した際、これら相互間の個々
の空間を不活性ガスで充填密閉できる構造になってい
る。不活性ガスで前記相互間を充填密閉する方法は、上
述の場合と同様である。

【００５０】以上の実施例において、鏡筒内部の光学要
素相互間、連結品内部、光学系光路を構成する構成品間
の空間の気体を開閉機構の付随したガス排出口より個々
に単独に排出し、気体の排出後、前記空間を個々に単独
で真空に維持することで、曇りの原因となる物質および
曇りの原因となる物質を含んだ空気が紫外光の透過経路
へ流入しまたは残留することを防止することも可能であ
る。

【００５１】また、構成品内部の個々の光学要素相互間
の空間に充填密閉した不活性ガスの内圧を、光学系光路
を構成している構成品の外部の空間に対して高く設定し
ておけば、光学要素相互間の空間が略密閉構造であって
も光学要素相互間の空間を不活性ガスで充填維持するこ
とが可能である。

【００５２】さらに、鏡筒および筐体内の光学要素相互
間は、個々に単独で不活性ガスを充填密閉可能であるた
め、光学要素相互間ごとに、任意のガス分圧、濃度、ガ
ス種を選択し、構成することができる。たとえば具体例
として、光学要素ＡおよびＢ間はヘリウムで充填密閉
し、光学要素ＢおよびＣ間は窒素で充填密閉する等であ
る。

【００５３】

【発明の効果】本発明によれば、鏡筒や筐体の内部の光
学要素間の細部まで不活性ガスでパージすることがで
き、これによって、光学系の曇りを防止し、紫外光を効
率良く利用することができる。また、筐体内および鏡筒
内の空間の酸素濃度を低く維持して、光化学反応の過程
における酸化反応を防止することができる。したがっ
て、後に続く生成物の発生をなくして曇りを防止するこ
とができるとともに、露光光が酸素を反応させることに
よるオゾンの発生も効果的に防止することができる。さ
らに、気密性の保たれた光学装置内だけでなく、輸送中
あるいは大気中に放置した状態においても、鏡筒あるい
は筐体内部の各光学要素を不活性ガスに置換された化学
的に清浄な環境下に置くことができる。

【００５４】また、光学要素間を個々に独立して不活性
ガスで充填密閉することができ、したがって必要な部分
に必要な不活性ガスの充填密閉を行うことが可能であ
る。したがって、従来は光学要素相互間の１空間でも高
価な不活性ガスが必要であった場合には全体を高価な不
活性ガスで充填密閉しなくてはならなかったが、本発明
によれば、１または複数の光学要素間に高価な不活性ガ
スを使用し、その他の光学要素間は安価な不活性ガスで
充填密閉する構成をとることが可能である。またコスト
の面だけでなく、光学性能の面においても、光学要素相
互間を個別に適当な気体で充填密閉できることから、光
学要素相互間ごとに光学性能的に最適な気体を選択し、
充填密閉して光学性能を向上させることができる。

【００５５】本発明の鏡筒や筐体を使用すれば、光学光
路を構成する構成品内部、あるいは光学要素間のパージ
を小スペースで容易に行うことができる。

【００５６】本発明によれば、光学要素間を個々に独立
して不活性ガスで充填密閉することができるため、鏡筒
および筐体単体を個々に不活性ガスで充填密閉すること
ができ、鏡筒および筐体等の構成品内部のパージを行っ
てから光学装置に取り付けることが可能であり、光学装
置の組立および光学系の交換が容易である。

【００５７】また、再度鏡筒等の光学要素内を不活性ガ
スでパージする際、本発明の鏡筒を用いることにより容
易に任意の空間を再パージすることができる。

【００５８】さらに、本発明によれば、各光学要素相互
間、および構成品間を並列的にパージすることができる
ので、パージを完了する時間も短縮される。

【００５９】本発明によれば、露光光源から被投影物体
までの露光光路を略完全に不活性ガスで充填密閉するこ
とができる。したがって、露光光路上に構成される構成
品を曇りの原因となる物質および曇りの原因となる物質
を含んだ気体から遮蔽し、光学系の曇りを防止し、紫外
光を効率良く利用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例に係る鏡筒等の構成品を有
する露光装置を示す概略図である。

【図２】 図１の装置鏡筒等の構成品を有する筐体およ
び筐体周辺を示す概略図である。

【図３】 図１の装置鏡筒等の構成品を有する他の筐体
および筐体周辺を示す概略図である。

【図４】 図１の装置鏡筒および鏡筒周辺を示す概略図
である。

【図５】 鏡筒等の構成品を連結した実施例を示す概略
図である。

【図６】 鏡筒等の構成品を連結した他の実施例を示す
概略図である。

【図７】 図１の装置で使用し得る他の鏡筒および鏡筒
周辺を示す概略図である。

【図８】 従来例に係る鏡筒等の構成品を有する筐体お
よび筐体周辺を示す概略図である。

【符号の説明】

１：露光装置、２：露光光、３：光源、４：レチクル、
５：被投影物体、６（６ａ〜６ｍ）：筐体、７：ガス導
入口、８：ガス排出口、９：不活性ガス供給源、１０：
不活性ガス流通経路、１１：気体および不活性ガス回収
部、１２：筐体、１３：鏡筒、１４：鏡筒、１５：光学
要素、１６：封止材、１７：連結品の第１部、１８：物
体（封止材）、１９：連結品の第２部、２０：連結品押
え環、２１：物体（封止材）、２２：連結品の第１部、
２３：連結品の第２部、２４：連結品の第３部、２５：
筐体、２６：鏡筒端構成物、２７：筐体、２８：鏡筒、
２９：ガス流通経路、３０：遮蔽物、３１：押え環。

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 エキシマレーザ等の短波長の光を光源と
   した光学装置に用いられる１または複数の鏡筒におい
   て、鏡筒内部の光学要素相互間の個々の空間を単独で任
   意の分圧または濃度の不活性ガスまたは気体で充填密閉
   または略充填密閉可能な構造を具備することを特徴とす
   る鏡筒。
2. 【請求項２】 エキシマレーザ等の短波長の光を光源と
   した光学装置に用いられる１または複数の鏡筒におい
   て、鏡筒端部の空間を密閉あるいは略密閉する着脱可能
   な構成物、ならびに、前記構成物と鏡筒端部の光学要素
   間に任意の分圧または濃度の不活性ガスまたは気体を導
   入するための開閉機構が付随したガス導入口と気体およ
   び不活性ガスを排出するための開閉機構が付随したガス
   排出口を具備し、これにより、前記構成物と鏡筒端部の
   光学要素間の空間を任意の分圧または濃度の不活性ガス
   または気体で置換し、充填密閉または略充填密閉するこ
   とができるように構成したことを特徴とする鏡筒。
3. 【請求項３】 エキシマレーザ等の短波長の光を光源と
   した光学装置に用いられる鏡筒の端部の光学要素を鏡筒
   外雰囲気より遮蔽するために鏡筒端部の空間を密閉ある
   いは略密閉する着脱可能な遮蔽物であって、密閉あるい
   は略密閉される前記空間に任意の分圧または濃度の不活
   性ガスまたは気体を導入するための開閉機構が付随した
   ガス導入口と気体および不活性ガスを排出するための開
   閉機構が付随したガス排出口を具備し、これにより、密
   閉あるいは略密閉される前記空間を任意の分圧または濃
   度の不活性ガスあるいは気体で置換し、充填密閉または
   略充填密閉することができるように構成したことを特徴
   とする鏡筒端部遮蔽物。
4. 【請求項４】 前記構造は、前記鏡筒内部の光学要素相
   互間の個々の空間に任意の分圧または濃度の不活性ガス
   または気体を導入するための開閉機構が付随したガス導
   入口と、前記鏡筒内部の光学要素相互間の個々の空間の
   不活性ガスおよび気体を排出するための開閉機構が付随
   したガス排出口を備え、これにより、前記鏡筒内部の光
   学要素相互間の個々の空間を任意の分圧または濃度の不
   活性ガスあるいは気体で置換し、充填密閉または略充填
   密閉することができるように構成したことを特徴とする
   請求項１に記載の鏡筒。
5. 【請求項５】 複数の鏡筒を間に密閉空間を形成して連
   結させる構造を有する連結装置であって、前記密閉空間
   に任意の分圧または濃度の不活性ガスまたは気体を導入
   するための開閉機構が付随したガス導入口と、前記密閉
   空間内部の気体および不活性ガスを排出する開閉機構が
   付随したガス排出口を具備し、これにより、前記密閉空
   間を単独で任意の分圧または濃度の不活性ガスあるいは
   気体で置換することができるように構成したことを特徴
   とする連結装置。
6. 【請求項６】 鏡筒、筐体、または光学系光路の各構成
   品を、間に密閉空間を形成して複数個連結させる構造を
   有する連結装置であって、任意の分圧または濃度の不活
   性ガスあるいは気体を導入する開閉機構が付随したガス
   導入口と、前記密閉空間内の気体および不活性ガスを排
   出する開閉機構が付随したガス排出口を具備し、これに
   より、前記密閉空間を単独で任意の分圧または濃度の不
   活性ガスあるいは気体で置換することができるように構
   成したことを特徴とする連結装置。
7. 【請求項７】 エキシマレーザ等の短波長の光を光源と
   した露光装置において、露光光源から所定の光学要素に
   至る露光光の光路を１つ以上のブロックに分割し、前記
   １つ以上のブロックすべてを、個々に単独で任意の分圧
   または濃度の不活性ガスあるいは気体で充填密閉または
   略充填密閉可能な構造を有する１つ以上の筐体、鏡筒、
   または光路上の各構成品の内部に収納するとともに、前
   記１つ以上の筐体、鏡筒、または構成品を請求項６の連
   結装置により連結し、さらに前記露光光源から前記所定
   の光学要素に至る露光光の全光路を構成する１つ以上の
   筐体、鏡筒、または構成品の内部の光学要素間を任意の
   分圧または濃度の不活性ガスあるいは気体で充填密閉ま
   たは略充填密閉可能に構成したことを特徴とする露光装
   置。
8. 【請求項８】 前記所定の光学要素は、マスキングブレ
   ード、レチクル、投影光学系、または被投影物体である
   ことを特徴とする請求項７に記載の露光装置。
9. 【請求項９】 前記鏡筒、筐体、および連結装置は、内
   部が個々に単独で任意の分圧または濃度の不活性ガスま
   たは気体で充填密閉または略充填密閉可能なものである
   ことを特徴とする請求項７または８に記載の露光装置。
10. 【請求項１０】 請求項１の鏡筒を収納する筐体であっ
    て、個々の鏡筒あるいは該鏡筒内部の個々の光学要素相
    互間の空間に、単独で筐体外から任意の分圧または濃度
    の不活性ガスまたは気体を導入しあるいは鏡筒内部の気
    体および不活性ガスを排出するための流通経路を有し、
    前記流通経路には筐体あるいは筐体外において開閉機構
    が付随していることを特徴とする筐体。
11. 【請求項１１】 前記充填密閉のための開閉機構を有す
    るガス流通経路を備え、前記鏡筒、筐体もしくは構成品
    の内部、これらの内部の個々の光学要素間の空間、また
    は前記ガス流通経路のガス排出口もしくは排出経路の１
    つ以上におけるガス分圧もしくはガス濃度またはガス種
    の１つ以上を測定するための前記ガス流通経路上に設け
    た測定機構およびそのモニタを有することを特徴とする
    請求項７〜９のいずれか１項に記載の露光装置。
12. 【請求項１２】 前記測定機構およびモニタにより前記
    鏡筒、筐体もしくは構成品の内部、これらの内部の光学
    要素相互間の個々の空間の１つ以上の気体のガス分圧あ
    るいは濃度が最適な状態になるように調節を行う制御機
    構を有することを持徴とする請求項１１に記載の露光装
    置。
13. 【請求項１３】 請求項１、２もしくは４の鏡筒、請求
    項３の鏡筒端部遮蔽物、請求項５または６の連結装置、
    請求項１０の筐体、または請求項１１中の測定機構のい
    ずれか１つ以上を用いて構成したことを特徴とする光学
    装置。
14. 【請求項１４】 請求項１〜６のいずれかに記載された
    鏡筒を備え、あるいはこれに加えて請求項７〜８のいず
    れかに記載の筐体、鏡筒、構成品または連結装置を備
    え、前記請求項１〜６のいずれかに記載された鏡筒の内
    部の光学要素相互間の個々の空間、それらの光学要素が
    接する個々の１つ以上の空間、または前記請求項７〜８
    のいずれかに記載の筐体、鏡筒、構成品または連結装置
    内部の個々の空間のいずれか１つ以上の空間について開
    閉機構が付随したガス排出口より内部の気体を個々に単
    独で排出し、前記鏡筒内部の光学要素が接する個々の１
    つ以上の空間を個々に単独で真空に維持できるように構
    成したことを特徴とする露光装置。