JPH06224495A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
- Publication number
- JPH06224495A JPH06224495A JP1145793A JP1145793A JPH06224495A JP H06224495 A JPH06224495 A JP H06224495A JP 1145793 A JP1145793 A JP 1145793A JP 1145793 A JP1145793 A JP 1145793A JP H06224495 A JPH06224495 A JP H06224495A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- airtight container
- laser oscillator
- opening
- atmosphere
- hygroscopic material
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 吸湿材が気密容器の大気開放時に大気中の水
分子吸着による性能劣化を防止すると共に、気密容器内
の水分子を除去するようにしたレーザ発振器を提供する
ことにある。 【構成】 第１気密容器３内でガス放電を起させること
によってレーザ発振を起させるよう構成されたレーザ発
振器１であって、前記第１気密容器３外に第１開閉装置
２１を介して第２気密容器２３を設け、この第２気密容
器２３内に吸湿材２５を備えてなることを特徴とする。
分子吸着による性能劣化を防止すると共に、気密容器内
の水分子を除去するようにしたレーザ発振器を提供する
ことにある。 【構成】 第１気密容器３内でガス放電を起させること
によってレーザ発振を起させるよう構成されたレーザ発
振器１であって、前記第１気密容器３外に第１開閉装置
２１を介して第２気密容器２３を設け、この第２気密容
器２３内に吸湿材２５を備えてなることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はレーザ発振器に係り、
更に詳細には第１気密容器内の水分子を除去するように
したレーザ発振器に関する。
更に詳細には第１気密容器内の水分子を除去するように
したレーザ発振器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガスレーザ発振器における気密容
器中に発生又は残留している水分子を吸着するために、
例えば特公昭５８−３９３９７号公報や特開昭６３−２
２９８７８号公報などが知られている。すなわち、特公
昭５８−３９３９７号公報では、気密容器内におけるレ
ーザガスの循環路に吸着剤が設けられ、また特開昭６３
−２２９８７８号公報では気密容器内におけるレーザガ
スの循環路外に吸着剤が設けられている。
器中に発生又は残留している水分子を吸着するために、
例えば特公昭５８−３９３９７号公報や特開昭６３−２
２９８７８号公報などが知られている。すなわち、特公
昭５８−３９３９７号公報では、気密容器内におけるレ
ーザガスの循環路に吸着剤が設けられ、また特開昭６３
−２２９８７８号公報では気密容器内におけるレーザガ
スの循環路外に吸着剤が設けられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の気密容器内におけるレーザガスの循環路内又は循環
路外に設けた吸着剤は、吸湿性が高いので、メンテナン
ス等で大気を気密容器に導入する（大気開放）と、大気
中の水分子も吸着してしまい、吸湿性能が落ちてしま
う。そのため、大気開放の度に吸着剤を交換しなければ
ならないという問題があった。
来の気密容器内におけるレーザガスの循環路内又は循環
路外に設けた吸着剤は、吸湿性が高いので、メンテナン
ス等で大気を気密容器に導入する（大気開放）と、大気
中の水分子も吸着してしまい、吸湿性能が落ちてしま
う。そのため、大気開放の度に吸着剤を交換しなければ
ならないという問題があった。
【０００４】この発明の目的は、上記問題点を改善する
ために、吸湿材が気密容器の大気開放時に大気中の水分
子吸着による性能劣化を防止すると共に、気密容器内の
水分子を除去するようにしたレーザ発振器を提供するこ
とにある。
ために、吸湿材が気密容器の大気開放時に大気中の水分
子吸着による性能劣化を防止すると共に、気密容器内の
水分子を除去するようにしたレーザ発振器を提供するこ
とにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、第１気密容器内でガス放電を起させる
ことによってレーザ発振を起させるよう構成されたレー
ザ発振器であって、前記第１気密容器外に第１開閉装置
を介して第２気密容器を設け、この第２気密容器内に吸
湿材を備えてレーザ発振器を構成した。
に、この発明は、第１気密容器内でガス放電を起させる
ことによってレーザ発振を起させるよう構成されたレー
ザ発振器であって、前記第１気密容器外に第１開閉装置
を介して第２気密容器を設け、この第２気密容器内に吸
湿材を備えてレーザ発振器を構成した。
【０００６】前記レーザ発振器において、前記第２気密
容器を着脱自在に設けてなること、または、前記第２気
密容器の外側に第２開閉装置を設けてなることが望まし
いものである。
容器を着脱自在に設けてなること、または、前記第２気
密容器の外側に第２開閉装置を設けてなることが望まし
いものである。
【０００７】
【作用】この発明のレーザ発振器を採用することによ
り、レーザ発振の動作中は第１開閉装置を開かせて第１
気密容器と第２気密容器を開放連通し、第１気密容器内
に存在するレーザ発振に不要かつ悪影響を与える水分子
を第２気密容器に備えてある吸湿材に吸着して水分子が
第１気密容器内から除去される。
り、レーザ発振の動作中は第１開閉装置を開かせて第１
気密容器と第２気密容器を開放連通し、第１気密容器内
に存在するレーザ発振に不要かつ悪影響を与える水分子
を第２気密容器に備えてある吸湿材に吸着して水分子が
第１気密容器内から除去される。
【０００８】また、第１気密容器に大気を導入すると
き、あるいは真空排気されるときは、第１開閉装置を閉
じて吸湿材が大気にさらされないようにして、大気中の
水分子は吸湿材で吸着されないから吸湿材は劣化されな
い。
き、あるいは真空排気されるときは、第１開閉装置を閉
じて吸湿材が大気にさらされないようにして、大気中の
水分子は吸湿材で吸着されないから吸湿材は劣化されな
い。
【０００９】吸湿材が劣化して寿命がきた際には、第２
気密容器を第１気密容器から取外して交換が行なわれ
る。または、第２開閉装置を開放し、吸湿材の吸った水
分を放出させる。
気密容器を第１気密容器から取外して交換が行なわれ
る。または、第２開閉装置を開放し、吸湿材の吸った水
分を放出させる。
【００１０】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。
細に説明する。
【００１１】図１を参照するに、レーザ発振器１は第１
気密容器３を備えている。この第１気密容器３内の上部
には紙面に対して直交した方向へ延伸した電極５と、こ
の電極５に離隔して対向した位置に電極７とが設けられ
ている。この電極５から電極７へ放電９が行なわれる。
気密容器３を備えている。この第１気密容器３内の上部
には紙面に対して直交した方向へ延伸した電極５と、こ
の電極５に離隔して対向した位置に電極７とが設けられ
ている。この電極５から電極７へ放電９が行なわれる。
【００１２】前記第１気密容器３内の下部には送風器１
１が設けられていると共に、送風器１１の図１において
右側には熱交換器１３が設けられている。そして、この
熱交換器１３と、電極５、電極７の右端との間には側部
ガス流通路１５が設けられている。
１が設けられていると共に、送風器１１の図１において
右側には熱交換器１３が設けられている。そして、この
熱交換器１３と、電極５、電極７の右端との間には側部
ガス流通路１５が設けられている。
【００１３】前記第１気密容器３の図１において左側壁
の下部には開口部１７が設けられており、この開口部１
７の外側には突出部１９が設けられている。この突出部
１９には第１開閉装置としての例えば第１バルブ２１が
設けられていると共に、突出部１９には第２気密容器２
３が着脱自在に設けられている。着脱機構はすでに公知
の機構を利用しているので具体的な詳細な説明を省略す
る。この第２気密容器２３内には例えばゼオライトなど
の吸湿材２５が備えられている。
の下部には開口部１７が設けられており、この開口部１
７の外側には突出部１９が設けられている。この突出部
１９には第１開閉装置としての例えば第１バルブ２１が
設けられていると共に、突出部１９には第２気密容器２
３が着脱自在に設けられている。着脱機構はすでに公知
の機構を利用しているので具体的な詳細な説明を省略す
る。この第２気密容器２３内には例えばゼオライトなど
の吸湿材２５が備えられている。
【００１４】上記構成により、電極５から電極７へ向け
て放電９させると共に、レーザガスは矢印で示したごと
く流れてレーザ発振される。
て放電９させると共に、レーザガスは矢印で示したごと
く流れてレーザ発振される。
【００１５】このレーザ発振の動作中には第１バルブ２
１を開かせておくことにより、第１気密容器３内に存在
するレーザ発振に不要かつ悪影響を与える水分子は開口
部１７、突出部１９を経て第２気密容器２３内に備えて
ある吸湿材２５にて吸着される。
１を開かせておくことにより、第１気密容器３内に存在
するレーザ発振に不要かつ悪影響を与える水分子は開口
部１７、突出部１９を経て第２気密容器２３内に備えて
ある吸湿材２５にて吸着される。
【００１６】第１気密容器３に大気を導入するとき、あ
るいは第１気密容器３が真空排気されるときには、第１
バルブ２１を閉じることにより、吸湿材２５が大気にさ
らされないで済む。したがって、吸湿材２５は大気中の
水分子を吸着しないから、吸湿材２５の劣化を防ぎ、そ
の長寿命化と性能の安定化が図られる。而して、レーザ
の安定動作、立上がり動作の改善、ガス消耗品の低減化
が可能となる。吸湿材２５に寿命がきた際には、第２気
密容器２３毎第１気密容器３から取外して吸湿材２５の
交換を容易に行なうことができる。
るいは第１気密容器３が真空排気されるときには、第１
バルブ２１を閉じることにより、吸湿材２５が大気にさ
らされないで済む。したがって、吸湿材２５は大気中の
水分子を吸着しないから、吸湿材２５の劣化を防ぎ、そ
の長寿命化と性能の安定化が図られる。而して、レーザ
の安定動作、立上がり動作の改善、ガス消耗品の低減化
が可能となる。吸湿材２５に寿命がきた際には、第２気
密容器２３毎第１気密容器３から取外して吸湿材２５の
交換を容易に行なうことができる。
【００１７】図２は図１のII矢視部における別の実施例
が示されている。図２において図１における部品と同一
の部品には同じ符号を付し説明を省略し異なる点につい
て説明する。
が示されている。図２において図１における部品と同一
の部品には同じ符号を付し説明を省略し異なる点につい
て説明する。
【００１８】図２において、前記第２気密容器２３の外
側（図２において左側）は開口されており、その部分に
は第２開閉装置としての例えば第２バルブ２７が設けら
れている。しかも、第２気密容器２３内には吸湿材２５
が備えられていると共に、ヒータ２９が備えられてい
る。このヒータ２９には電源３１が接続されている。
側（図２において左側）は開口されており、その部分に
は第２開閉装置としての例えば第２バルブ２７が設けら
れている。しかも、第２気密容器２３内には吸湿材２５
が備えられていると共に、ヒータ２９が備えられてい
る。このヒータ２９には電源３１が接続されている。
【００１９】上記構成により、レーザ発振の動作中は上
述の実施例と同様の作用並びに効果を奏する。また、第
１気密容器３に大気を導入するとき、あるいは第１気密
容器３が真空排気されるときには、第１バルブ２１を閉
じることにより、吸湿材２５が大気にさらされないで済
む。したがって、吸湿材２５は大気中の水分子を吸着し
ないから、吸湿材２５の劣化を防ぎ、その長寿命化と性
能の安定化が図られる。吸湿材２５が水分を吸着しなく
なった際には、第１バルブ２１を閉じると共に電源３１
をオンにしてヒータ２９を一定の温度に加熱する。ヒー
タ２９からの熱で吸湿材２５の吸った水分子を第２バル
ブ２７を開かせることによって外部へ放出させる。した
がって、第２気密容器を取外すことなく、第２バルブ２
７を開かせるのみで、吸湿材２５の放出を行ない、吸湿
材２５の再利用を行なうことができる。
述の実施例と同様の作用並びに効果を奏する。また、第
１気密容器３に大気を導入するとき、あるいは第１気密
容器３が真空排気されるときには、第１バルブ２１を閉
じることにより、吸湿材２５が大気にさらされないで済
む。したがって、吸湿材２５は大気中の水分子を吸着し
ないから、吸湿材２５の劣化を防ぎ、その長寿命化と性
能の安定化が図られる。吸湿材２５が水分を吸着しなく
なった際には、第１バルブ２１を閉じると共に電源３１
をオンにしてヒータ２９を一定の温度に加熱する。ヒー
タ２９からの熱で吸湿材２５の吸った水分子を第２バル
ブ２７を開かせることによって外部へ放出させる。した
がって、第２気密容器を取外すことなく、第２バルブ２
７を開かせるのみで、吸湿材２５の放出を行ない、吸湿
材２５の再利用を行なうことができる。
【００２０】なお、この発明は、前述した実施例に限定
されることなく、適宜な変更を行なうことにより、その
他の態様で実施し得るものである。
されることなく、適宜な変更を行なうことにより、その
他の態様で実施し得るものである。
【００２１】
【発明の効果】以上のごとき実施例の説明より理解され
るように、この発明によれば、特許請求の範囲に記載さ
れたとおりの構成であるから、吸湿材が気密容器の大気
開放時に大気の水分子吸着による性能劣化を防止するこ
とができると共に、気密容器内の水分子を除去すること
ができる。
るように、この発明によれば、特許請求の範囲に記載さ
れたとおりの構成であるから、吸湿材が気密容器の大気
開放時に大気の水分子吸着による性能劣化を防止するこ
とができると共に、気密容器内の水分子を除去すること
ができる。
【００２２】また、第２気密容器を第１気密容器に対し
て着脱自在に設けてあるので、容易に取外しができ、吸
湿材の交換を容易に行なうことができる。第２気密容器
の外側に第２開閉装置を設けてあるから、第２開閉装置
を開かせることによって、吸湿材の吸った水分子を容易
に放出させることができる。
て着脱自在に設けてあるので、容易に取外しができ、吸
湿材の交換を容易に行なうことができる。第２気密容器
の外側に第２開閉装置を設けてあるから、第２開閉装置
を開かせることによって、吸湿材の吸った水分子を容易
に放出させることができる。
【図１】この発明の一実施例を示すレーザ発振器の構成
説明図である。
説明図である。
【図２】図１のII矢視部における別の実施例を示す説明
図である。
図である。
１ レーザ発振器 ３ 第１気密容器 ５ 電極 ７ 電極 １７ 開口部 １９ 突出部 ２１ 第１バルブ（第１開閉装置） ２３ 第２気密容器 ２５ 吸湿材 ２７ 第２バルブ（第２開閉装置） ２９ ヒータ
Claims (3)
- 【請求項１】 第１気密容器内でガス放電を起させるこ
とによってレーザ発振を起させるよう構成されたレーザ
発振器であって、前記第１気密容器外に第１開閉装置を
介して第２気密容器を設け、この第２気密容器内に吸湿
材を備えてなることを特徴とするレーザ発振器。 - 【請求項２】 前記第２気密容器を着脱自在に設けてな
ることを特徴とする請求項１記載のレーザ発振器。 - 【請求項３】 前記第２気密容器の外側に第２開閉装置
を設けてなることを特徴とする請求項１記載のレーザ発
振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1145793A JPH06224495A (ja) | 1993-01-27 | 1993-01-27 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1145793A JPH06224495A (ja) | 1993-01-27 | 1993-01-27 | レーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06224495A true JPH06224495A (ja) | 1994-08-12 |
Family
ID=11778630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1145793A Pending JPH06224495A (ja) | 1993-01-27 | 1993-01-27 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06224495A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990007777A1 (en) * | 1988-12-24 | 1990-07-12 | Alcatel N.V. | Asynchronous timing circuit for a 2-coordinate memory |
| WO1999066609A3 (de) * | 1998-06-16 | 2000-01-27 | Tuilaser Ag | Lichtquelle, mit einem ein gas einschliessenden hohlraum |
| JP2019173613A (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-10 | 株式会社荏原製作所 | 真空排気装置および真空排気方法 |
| US11896929B2 (en) | 2018-06-29 | 2024-02-13 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Laser device and dehumidification management method for laser device |
-
1993
- 1993-01-27 JP JP1145793A patent/JPH06224495A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990007777A1 (en) * | 1988-12-24 | 1990-07-12 | Alcatel N.V. | Asynchronous timing circuit for a 2-coordinate memory |
| WO1999066609A3 (de) * | 1998-06-16 | 2000-01-27 | Tuilaser Ag | Lichtquelle, mit einem ein gas einschliessenden hohlraum |
| JP2019173613A (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-10 | 株式会社荏原製作所 | 真空排気装置および真空排気方法 |
| US11896929B2 (en) | 2018-06-29 | 2024-02-13 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Laser device and dehumidification management method for laser device |
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