JP3307665B2 - 光学素子筺体及び光学素子ホルダ - Google Patents
光学素子筺体及び光学素子ホルダInfo
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- JP3307665B2 JP3307665B2 JP35280691A JP35280691A JP3307665B2 JP 3307665 B2 JP3307665 B2 JP 3307665B2 JP 35280691 A JP35280691 A JP 35280691A JP 35280691 A JP35280691 A JP 35280691A JP 3307665 B2 JP3307665 B2 JP 3307665B2
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- housing
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エキシマレーザ装置に
係わり、特には、縮小投影露光装置用の光源として用い
られるエキシマレーザ装置の光学素子筺体及び光学素子
ホルダに関する。
係わり、特には、縮小投影露光装置用の光源として用い
られるエキシマレーザ装置の光学素子筺体及び光学素子
ホルダに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、エキシマレーザはレーザチャンバ
６１を介してフロントミラー６２とリアミラー６３で共
振器を組んでレーザ発振させている。図３（ａ）は外部
ミラーによるものであり、レーザチャンバ６１のウイン
ド６５、６６、フロントミラー６２、リアミラー６３お
よび出力モニタ用のビームスプリッタ６７よりなる。ま
た、図３（ｂ）は内部ミラーによるものであり、フロン
トミラー７１、リアミラー７２およびビームスプリッタ
６７よりなる。上記の外部ミラーおよび内部ミラーとも
にいずれもミラーはクリーンな環境下で配置されていな
い。
６１を介してフロントミラー６２とリアミラー６３で共
振器を組んでレーザ発振させている。図３（ａ）は外部
ミラーによるものであり、レーザチャンバ６１のウイン
ド６５、６６、フロントミラー６２、リアミラー６３お
よび出力モニタ用のビームスプリッタ６７よりなる。ま
た、図３（ｂ）は内部ミラーによるものであり、フロン
トミラー７１、リアミラー７２およびビームスプリッタ
６７よりなる。上記の外部ミラーおよび内部ミラーとも
にいずれもミラーはクリーンな環境下で配置されていな
い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、エキシ
マレーザ光は紫外線のレーザ光であるため光学素子は非
常に微量なダストまたは有機物質または酸素等の化学物
質によって損傷を受け、光学素子の寿命が短くなるとい
う問題がある。さらに、光学素子がクリーンな環境下に
おかれたとしても光学素子のホルダやレーザ筺体の表面
にレーザの散乱光が照射されることによりアブレージョ
ンまたは蒸発が起こり、ダストや化学物質が発生し光学
素子を損傷している。
マレーザ光は紫外線のレーザ光であるため光学素子は非
常に微量なダストまたは有機物質または酸素等の化学物
質によって損傷を受け、光学素子の寿命が短くなるとい
う問題がある。さらに、光学素子がクリーンな環境下に
おかれたとしても光学素子のホルダやレーザ筺体の表面
にレーザの散乱光が照射されることによりアブレージョ
ンまたは蒸発が起こり、ダストや化学物質が発生し光学
素子を損傷している。
【０００４】本発明は上記従来の問題点に着目し、エキ
シマレーザ装置に係わり、特には、縮小投影露光装置用
の光源として用いられるエキシマレーザ装置の光学素子
筺体及び光学素子ホルダの提供を目的としている。
シマレーザ装置に係わり、特には、縮小投影露光装置用
の光源として用いられるエキシマレーザ装置の光学素子
筺体及び光学素子ホルダの提供を目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る光学素子筺体は次の通り。レーザの共
振器として使用されている光学素子を囲う光学素子筺体
は、その内面がエキシマレーザ光に対して安定な処理を
施されていることとした。また出力レーザ光の検出器に
使用されている光学素子を囲う光学素子筺体も、その内
面がエキシマレ ーザ光に対して安定な処理を施されてい
ることとした。尚、上記光学素子筺体の材質としてステ
ンレスを用いることが望ましい。また前記「エキシマレ
ーザ光に対して安定な処理」はニッケル、クロム、コバ
ルト、金及び白金属のいずれかの金属によるメッキであ
ることが望ましい。 一方、本発明に係る光学素子ホルダ
は次の通り。レーザの共振器として使用されている光学
素子の光学素子ホルダは、エキシマレーザ光に対して安
定な処理を施されていることとした。また出力レーザ光
の検出器に使用されている光学素子ホルダも、エキシマ
レーザ光に対して安定な処理を施されていることとし
た。尚、上記光学素子ホルダの材質としてステンレスを
用いることが望ましい。また上記光学素子ホルダにおけ
る前記「エキシマレーザ光に対して安定な処理」もニッ
ケル、クロム、コバルト、金及び白金属のいずれかの金
属によるメッキであることが望ましい。
に、本発明に係る光学素子筺体は次の通り。レーザの共
振器として使用されている光学素子を囲う光学素子筺体
は、その内面がエキシマレーザ光に対して安定な処理を
施されていることとした。また出力レーザ光の検出器に
使用されている光学素子を囲う光学素子筺体も、その内
面がエキシマレ ーザ光に対して安定な処理を施されてい
ることとした。尚、上記光学素子筺体の材質としてステ
ンレスを用いることが望ましい。また前記「エキシマレ
ーザ光に対して安定な処理」はニッケル、クロム、コバ
ルト、金及び白金属のいずれかの金属によるメッキであ
ることが望ましい。 一方、本発明に係る光学素子ホルダ
は次の通り。レーザの共振器として使用されている光学
素子の光学素子ホルダは、エキシマレーザ光に対して安
定な処理を施されていることとした。また出力レーザ光
の検出器に使用されている光学素子ホルダも、エキシマ
レーザ光に対して安定な処理を施されていることとし
た。尚、上記光学素子ホルダの材質としてステンレスを
用いることが望ましい。また上記光学素子ホルダにおけ
る前記「エキシマレーザ光に対して安定な処理」もニッ
ケル、クロム、コバルト、金及び白金属のいずれかの金
属によるメッキであることが望ましい。
【０００６】
【作用】上記構成によれば、清浄気体で筺体内をパージ
し、しかも、筺体および光学素子ホルダの表面をエキシ
マレーザ光に対して安定に表面処理を施しているためダ
ストや化学物質が発生しないので光学素子はクリーンな
環境下に配置されることになり、光学素子の寿命が飛躍
的に延びる。
し、しかも、筺体および光学素子ホルダの表面をエキシ
マレーザ光に対して安定に表面処理を施しているためダ
ストや化学物質が発生しないので光学素子はクリーンな
環境下に配置されることになり、光学素子の寿命が飛躍
的に延びる。
【０００７】
【実施例】以下に、本発明に係わるエキシマレーザ装置
の実施例につき、図面を参照して詳細に説明する。
の実施例につき、図面を参照して詳細に説明する。
【０００８】図１は本発明のエキシマレーザ装置の１実
施例を示す構成図であり、外部ミラーの自然発振の実施
例を示す。図１において、エキシマレーザ装置１はレー
ザチャンバ部３と、フロント側筺体部７と、リア側筺体
部２０と、清浄気体供給部２４からなる。レーザチャン
バ部３はレーザチャンバ４と、フロント側ウインド５
と、リア側ウインド６とからなる。フロント側筺体部７
はフロントミラー８と、出力光サンプル用のビームスプ
リッタ９と、集光レンズ１０と、拡散板１１、コーン１
２およびフォトダイオード１３と、ウインド１４と、レ
ーザチャンバ４に固設されるフロント側筺体１５とから
なる。リア側筺体部２０はリアミラー２１と、レーザチ
ャンバ４に固設されるリア側筺体２２とからなる。
施例を示す構成図であり、外部ミラーの自然発振の実施
例を示す。図１において、エキシマレーザ装置１はレー
ザチャンバ部３と、フロント側筺体部７と、リア側筺体
部２０と、清浄気体供給部２４からなる。レーザチャン
バ部３はレーザチャンバ４と、フロント側ウインド５
と、リア側ウインド６とからなる。フロント側筺体部７
はフロントミラー８と、出力光サンプル用のビームスプ
リッタ９と、集光レンズ１０と、拡散板１１、コーン１
２およびフォトダイオード１３と、ウインド１４と、レ
ーザチャンバ４に固設されるフロント側筺体１５とから
なる。リア側筺体部２０はリアミラー２１と、レーザチ
ャンバ４に固設されるリア側筺体２２とからなる。
【０００９】さらに、ビームスプリッタ９、ミラー８、
２１およびレンズ１０等の光学素子は図示しない光学素
子ホルダにより支持されている。
２１およびレンズ１０等の光学素子は図示しない光学素
子ホルダにより支持されている。
【００１０】清浄気体供給部２４は配管２５、２６と、
清浄気体供給装置２８とからなる。さらに、フロント側
筺体部７とリア側筺体部２０とは配管２５、２６により
清浄気体供給装置２８に接続されている。フロント側筺
体部７では、フロント側ウインド５と、フロントミラー
８と、出力光サンプル用のビームスプリッタ９と、集光
レンズ１０と、拡散板１１、コーン１２およびフォトダ
イオード１３と、ウインド１４とを清浄気体はパージし
ている。また、同様にリア側筺体部２０ではリア側ウイ
ンド６とリアミラー２１とを清浄気体はパージしてい
る。
清浄気体供給装置２８とからなる。さらに、フロント側
筺体部７とリア側筺体部２０とは配管２５、２６により
清浄気体供給装置２８に接続されている。フロント側筺
体部７では、フロント側ウインド５と、フロントミラー
８と、出力光サンプル用のビームスプリッタ９と、集光
レンズ１０と、拡散板１１、コーン１２およびフォトダ
イオード１３と、ウインド１４とを清浄気体はパージし
ている。また、同様にリア側筺体部２０ではリア側ウイ
ンド６とリアミラー２１とを清浄気体はパージしてい
る。
【００１１】上記構成において、次に作動について説明
する。レーザチャンバ４内で自然発振したレーザ光は清
浄気体でパージされているフロントミラー８とリアミラ
ー２１とで共振され、出力光は清浄気体でパージされて
いるウインド１４を介して出力される。出力の検出は、
上記と同様に清浄気体でパージされている出力光サンプ
ル用のビームスプリッタ９により分岐され集光レンズ１
０を介して拡散板１１上に集められ、拡散板１１により
拡散されたレーザ光はコーン１２により反射されフォト
ダイオード１３に集められその光強度をフォトダイオー
ド１３により検出している。
する。レーザチャンバ４内で自然発振したレーザ光は清
浄気体でパージされているフロントミラー８とリアミラ
ー２１とで共振され、出力光は清浄気体でパージされて
いるウインド１４を介して出力される。出力の検出は、
上記と同様に清浄気体でパージされている出力光サンプ
ル用のビームスプリッタ９により分岐され集光レンズ１
０を介して拡散板１１上に集められ、拡散板１１により
拡散されたレーザ光はコーン１２により反射されフォト
ダイオード１３に集められその光強度をフォトダイオー
ド１３により検出している。
【００１２】なお、この実施例では出力モニタとして上
記の例を示したが、この実施例に限定されることなく、
出力モニタの光学素子をフロント側筺体部７またはリア
側筺体部２０内に配置しても良い。さらに、内部ミラー
の場合には、出力モニタの光学素子がフロント側にある
場合はレーザチャンバを介してフロントミラーと出力モ
ニタの光学素子を筺体で囲い、その筺体内を清浄気体で
パージしても良い。
記の例を示したが、この実施例に限定されることなく、
出力モニタの光学素子をフロント側筺体部７またはリア
側筺体部２０内に配置しても良い。さらに、内部ミラー
の場合には、出力モニタの光学素子がフロント側にある
場合はレーザチャンバを介してフロントミラーと出力モ
ニタの光学素子を筺体で囲い、その筺体内を清浄気体で
パージしても良い。
【００１３】図２は本発明の狭帯域エキシマレーザ装置
の第２実施例を示す構成図である。なお、前記第１実施
例と同一部品は同一符号を付し説明を省略する。図２に
おいて、狭帯域エキシマレーザ装置３０はレーザチャン
バ部３と、フロント側筺体部３５と、リア側筺体部４５
とからなる。フロント側筺体部３５には、波長検出用の
ビームスプリツタ３６と、集光レンズ３７と、拡散板３
８、モニタエタロン３９、集光レンズ４０およびライン
センサあるいはエリアセンサ４１と、ウインド１４と、
レーザチャンバ４に固設されるフロント側筺体４２と、
前記と同様にフォトダイオード等からなる。即ち、リア
側筺体部４５はプリズム４６、４７およびグレーティン
グ４８と、チャンバー４に固設されるリア側筺体４９と
からなる。さらに、フロント側筺体４２とリア側筺体４
９は配管２５、２６により清浄気体供給装置２８に接続
されている。フロント側筺体部３５では、フロント側ウ
インド５と、フロントミラー８と、出力光サンプル用の
ビームスプリッタ９と、集光レンズ１０と、拡散板１
１、コーン１２およびフォトダイオード１３と、ウイン
ド１４と、波長検出用のビームスプリッタ３６と、集光
レンズ３７と、拡散板３８、モニタエタロン３９、集光
レンズ４０およびラインセンサあるいはエリアセンサ４
１とを清浄気体はパージしている。また、同様にリア側
筺体部４５ではリア側ウインド６と、プリズム４６、４
７およびグレーティング４８とを清浄気体はパージして
いる。
の第２実施例を示す構成図である。なお、前記第１実施
例と同一部品は同一符号を付し説明を省略する。図２に
おいて、狭帯域エキシマレーザ装置３０はレーザチャン
バ部３と、フロント側筺体部３５と、リア側筺体部４５
とからなる。フロント側筺体部３５には、波長検出用の
ビームスプリツタ３６と、集光レンズ３７と、拡散板３
８、モニタエタロン３９、集光レンズ４０およびライン
センサあるいはエリアセンサ４１と、ウインド１４と、
レーザチャンバ４に固設されるフロント側筺体４２と、
前記と同様にフォトダイオード等からなる。即ち、リア
側筺体部４５はプリズム４６、４７およびグレーティン
グ４８と、チャンバー４に固設されるリア側筺体４９と
からなる。さらに、フロント側筺体４２とリア側筺体４
９は配管２５、２６により清浄気体供給装置２８に接続
されている。フロント側筺体部３５では、フロント側ウ
インド５と、フロントミラー８と、出力光サンプル用の
ビームスプリッタ９と、集光レンズ１０と、拡散板１
１、コーン１２およびフォトダイオード１３と、ウイン
ド１４と、波長検出用のビームスプリッタ３６と、集光
レンズ３７と、拡散板３８、モニタエタロン３９、集光
レンズ４０およびラインセンサあるいはエリアセンサ４
１とを清浄気体はパージしている。また、同様にリア側
筺体部４５ではリア側ウインド６と、プリズム４６、４
７およびグレーティング４８とを清浄気体はパージして
いる。
【００１４】さらに、ビームスプリッタ９、３６、ミラ
ー８、レンズ１０、３７、プリズム４６、４７およびグ
レーティング４８等の光学素子は前記第１実施例と同様
に図示しない光学素子ホルダにより支持されている。
ー８、レンズ１０、３７、プリズム４６、４７およびグ
レーティング４８等の光学素子は前記第１実施例と同様
に図示しない光学素子ホルダにより支持されている。
【００１５】上記構成において、次に作動について説明
する。レーザチャンバ４内で起振されたレーザはプリズ
ム４６、４７によりビームをエキスパンドし、その光を
グレーディング４８に入反射させたリトロー配置の狭帯
域化方式により狭帯域発振させ、フロントミラー８から
出力したレーザ光をビームスプリッタ９によりサンプル
して集光レンズ１０を介して拡散板１１上に集められ、
拡散板１１により拡散されたレーザ光はコーン１２によ
り反射されフォトダイオード１３に集められその光強度
をフォトダイオード１３により検出している。
する。レーザチャンバ４内で起振されたレーザはプリズ
ム４６、４７によりビームをエキスパンドし、その光を
グレーディング４８に入反射させたリトロー配置の狭帯
域化方式により狭帯域発振させ、フロントミラー８から
出力したレーザ光をビームスプリッタ９によりサンプル
して集光レンズ１０を介して拡散板１１上に集められ、
拡散板１１により拡散されたレーザ光はコーン１２によ
り反射されフォトダイオード１３に集められその光強度
をフォトダイオード１３により検出している。
【００１６】さらに、ビームスプリッタ３６によりサン
プルされた光は集光レンズ３７および拡散板３８を介し
てモニタエタロン３９を透過し、集光レンズ４０の焦点
の位置に配置されたラインセンサあるいはエリアセンサ
４１により干渉縞を検出して波長を検出している。
プルされた光は集光レンズ３７および拡散板３８を介し
てモニタエタロン３９を透過し、集光レンズ４０の焦点
の位置に配置されたラインセンサあるいはエリアセンサ
４１により干渉縞を検出して波長を検出している。
【００１７】なお、この実施例では狭帯域化素子として
プリズム４６、４７およびグレーティング４８を用いた
例を示したが、この実施例に限定されることなく、例え
ば、エタロンとリアミラーまたはプリズム、エタロンお
よびグレーティング等を組み合わせても良い。また、波
長検出器としてモニタエタロン方式を示したが、他の波
長検出方式、例えば回折格子型分光器等でも良い。
プリズム４６、４７およびグレーティング４８を用いた
例を示したが、この実施例に限定されることなく、例え
ば、エタロンとリアミラーまたはプリズム、エタロンお
よびグレーティング等を組み合わせても良い。また、波
長検出器としてモニタエタロン方式を示したが、他の波
長検出方式、例えば回折格子型分光器等でも良い。
【００１８】さらに、上記実施例で示した筺体１５、２
２、４２、４９および光学素子のホルダはメッキする場
合は表面処理として、ニッケル、コバルト、クロム、金
または白金属等の酸化して変質しない金属をメッキする
と良い。筺体および光学素子のホルダの材質をアルミニ
ウムとした場合は有機の色素を充填しない。例えば、白
アルマイト処理が良い。黒アルマイト処理ではレーザ光
が照射されることにより、光学素子に対して有害な有機
物質を発生するために適していない。また、筺体および
光学素子のホルダの材質をステンレスとしても良い。
２、４２、４９および光学素子のホルダはメッキする場
合は表面処理として、ニッケル、コバルト、クロム、金
または白金属等の酸化して変質しない金属をメッキする
と良い。筺体および光学素子のホルダの材質をアルミニ
ウムとした場合は有機の色素を充填しない。例えば、白
アルマイト処理が良い。黒アルマイト処理ではレーザ光
が照射されることにより、光学素子に対して有害な有機
物質を発生するために適していない。また、筺体および
光学素子のホルダの材質をステンレスとしても良い。
【００１９】清浄気体の例として窒素あるいはヘリウム
等の不活性ガスまたは空気等のレーザ光に反応および吸
収しない気体をＨＥＰＡ等のフィルタを透過して清浄気
体としても良い。さらに、筺体内の密閉度はその内部が
清浄気体で満たされる程度でも良い。もし、筺体内の密
閉度を高くした場合には清浄気体の小さい排出口を配設
すれば良い。
等の不活性ガスまたは空気等のレーザ光に反応および吸
収しない気体をＨＥＰＡ等のフィルタを透過して清浄気
体としても良い。さらに、筺体内の密閉度はその内部が
清浄気体で満たされる程度でも良い。もし、筺体内の密
閉度を高くした場合には清浄気体の小さい排出口を配設
すれば良い。
【００２０】以上説明したように、上記実施例によれ
ば、レーザの共振器として使用されている光学素子およ
び出力レーザ光の検出器に使用されている光学素子を筺
体で囲い、清浄気体で筺体内をパージしているため、光
学素子の周囲のダストおよび光学素子に有害な化学物質
が減り、光学素子の寿命が延びる。さらに、筺体および
光学素子ホルダの表面をレーザ光に対して安定なものに
することにより、レーザ光の散乱によるダストまたは光
学素子に対して有害な化学物質の発生がなくなり、光学
素子の寿命が延びる。また、光学素子を筺体で囲う手段
として、レーザチャンバを介してリア側の光学素子を第
１の筺体で囲い、レーザチャンバを介してフロント側の
光学素子を第２の筺体で囲い、第１の筺体と第２の筺体
にそれぞれ清浄気体で筺体内をパージすることにより効
率的にパージすることができるという優れた効果が得ら
れる。
ば、レーザの共振器として使用されている光学素子およ
び出力レーザ光の検出器に使用されている光学素子を筺
体で囲い、清浄気体で筺体内をパージしているため、光
学素子の周囲のダストおよび光学素子に有害な化学物質
が減り、光学素子の寿命が延びる。さらに、筺体および
光学素子ホルダの表面をレーザ光に対して安定なものに
することにより、レーザ光の散乱によるダストまたは光
学素子に対して有害な化学物質の発生がなくなり、光学
素子の寿命が延びる。また、光学素子を筺体で囲う手段
として、レーザチャンバを介してリア側の光学素子を第
１の筺体で囲い、レーザチャンバを介してフロント側の
光学素子を第２の筺体で囲い、第１の筺体と第２の筺体
にそれぞれ清浄気体で筺体内をパージすることにより効
率的にパージすることができるという優れた効果が得ら
れる。
【図１】本発明のエキシマレーザ装置の第１実施例を示
す構成図。
す構成図。
【図２】本発明の狭帯域発振エキシマレーザ装置の第２
実施例を示す構成図。
実施例を示す構成図。
【図３】従来のエキシマレーザ装置の構成図。
１：エキシマレーザ装置、３：レーザチャンバ部、４：
レーザチャンバ、５：フロント側ウインド、６：リア側
ウインド、７、３５：フロント側筺体部、８：フロント
ミラー、９、３６：ビームスプリッタ、１０：集光レン
ズ、１２：チャンバ：１５、４２：フロント側筺体、２
０、４５：リア側筺体部、２２、４９：リア側筺体、２
４：清浄気体供給部、２８：清浄気体供給装置、３０：
帯域エキシマレーザ装置、４６、４７：プリズム、４
８：グレーティング
レーザチャンバ、５：フロント側ウインド、６：リア側
ウインド、７、３５：フロント側筺体部、８：フロント
ミラー、９、３６：ビームスプリッタ、１０：集光レン
ズ、１２：チャンバ：１５、４２：フロント側筺体、２
０、４５：リア側筺体部、２２、４９：リア側筺体、２
４：清浄気体供給部、２８：清浄気体供給装置、３０：
帯域エキシマレーザ装置、４６、４７：プリズム、４
８：グレーティング
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザガスを封止するレーザチャンバ
と、 レーザチャンバの外部に配置され、レーザチャンバの内
部で発生した紫外線レーザ光を反射又は通過させる光学
素子と、 光学素子を保持するホルダと、 光学素子及びホルダを囲繞する筐体とを備え、 前記ホルダの少なくとも１つの表面、又は筐体内面に、
ニッケル、クロム、コバルト、金、及び白金属のうち、
いずれかの金属によるメッキを施したことを特徴とする
紫外線レーザ装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の紫外線レーザ装置におい
て、 前記筐体の内部が、清浄気体によってパージされている
ことを特徴とする紫外線レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35280691A JP3307665B2 (ja) | 1991-12-16 | 1991-12-16 | 光学素子筺体及び光学素子ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35280691A JP3307665B2 (ja) | 1991-12-16 | 1991-12-16 | 光学素子筺体及び光学素子ホルダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05167136A JPH05167136A (ja) | 1993-07-02 |
| JP3307665B2 true JP3307665B2 (ja) | 2002-07-24 |
Family
ID=18426566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35280691A Expired - Lifetime JP3307665B2 (ja) | 1991-12-16 | 1991-12-16 | 光学素子筺体及び光学素子ホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3307665B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6801560B2 (en) * | 1999-05-10 | 2004-10-05 | Cymer, Inc. | Line selected F2 two chamber laser system |
| JP5601305B2 (ja) * | 2011-10-12 | 2014-10-08 | 三菱電機株式会社 | 炭酸ガスレーザ発振器 |
-
1991
- 1991-12-16 JP JP35280691A patent/JP3307665B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05167136A (ja) | 1993-07-02 |
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