JP2004184354A - 分光光度計 - Google Patents
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Abstract
【課題】分光光度計内部を少量のガスで短時間に置換でき、しかも光のゆらぎが発生せず安定に測定できる分光光度計を提供する。
【解決手段】レンズ3、シャッター5、スリット8、ミラー9、グレーティング11、12、ミラー14、15、光検出器16、および光が通過する光路はすべては密閉容器22内に密閉されている。密閉容器22内部をガス置換する際は、ガス導入口24より置換ガスを導入する。置換ガスはガス導入口24より密閉容器内を一定の流れの方向に沿って流れるので、ガスは置換しやすく、少量のガスで短時間に置換することが可能となる。また、モーター6等の熱を発生する部品は密閉容器22の外にあり分離されているので、熱の発生により光がゆらぎ測定値がばらつくという現象は起こらない。
【選択図】 図1
【解決手段】レンズ3、シャッター5、スリット8、ミラー9、グレーティング11、12、ミラー14、15、光検出器16、および光が通過する光路はすべては密閉容器22内に密閉されている。密閉容器22内部をガス置換する際は、ガス導入口24より置換ガスを導入する。置換ガスはガス導入口24より密閉容器内を一定の流れの方向に沿って流れるので、ガスは置換しやすく、少量のガスで短時間に置換することが可能となる。また、モーター6等の熱を発生する部品は密閉容器22の外にあり分離されているので、熱の発生により光がゆらぎ測定値がばらつくという現象は起こらない。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する分野】
本発明は、ICP(高周波誘導結合プラズマ)発光分光分析装置等に用いられる分光光度計に関し、より詳しくは分光光度計内の光路をガス置換するガスパージ機構に関する。
【0002】
【従来の技術】
ICP発光分光分析装置では、溶液化された試料をプラズマトーチに導入して試料を発光させ、試料から放射された光を分光器で各元素のスペクトル光に分光した後、各スペクトル光の強度を測定して試料に含まれる各元素の定性、定量を行う。
【0003】
分光光度計を用いて試料を測定する場合、測定波長によっては吸収線を持たないガスで分光器内をガス置換する必要がある。分析対象となる元素が硫黄、燐、炭素、臭素等である場合には、これらの元素の発光スペクトルは、その波長が200オングストローム以下のいわゆる真空紫外領域にあるから、大気中の酸素の存在下では酸素によるスペクトルの吸収が起こり、十分な分析感度が得られなくなる。そのため、上記のような元素を分析対象とする場合には、分光器内部を真空ポンプで減圧するか、窒素ガスやアルゴンガスで置換することにより大気による光の吸収の影響をなくすようにしている(例えば、特許文献1、2、3参照。)。
【0004】
図2に従来のICP発光分光分析装置に用いられている分光光度計の概略構成図を示す。プラズマトーチ20で発光した光はレンズ3を通って分光光度計1に導入される。導入された光はシャッター5をモーター6により回転し、シャッター5の開の位置を光路上に位置させることによりシャッター5を通過し、さらにスリット8を通過し、ミラー9で反射した後、グレーティング11、12により分光される。分光された光はミラー14、15で反射し、光検出器16により強度が測定される。分光光度計1の内部全体をガス置換するためにガス導入口17とガス排出口18が設置されている。
【0005】
【特許文献1】
特開平7−286960号公報(第2−3頁)
【特許文献2】
特開平11−64179号公報(第2頁)
【特許文献3】
特開平11−101737号公報(第2−12頁)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従来のガス置換機構では、分光光度計内部でのガスの流れる経路が決まっていないため、大気と混ざってしまい、置換するのに大量のガスを必要とする。また、置換に要する時間も長時間を要する。置換時間を短縮するためにパージガス流量を大きくすると、分光光度計内部において光路上のガスの揺らぎが発生し、測定に悪影響を及ぼすため、置換時間の短縮も困難である。さらに、分光光度計内部にはシャッターを回転させるためのモーターが存在するが、モーター等の熱を発生する物があると、ガスにゆらぎが発生して光りもゆらいでしまい、光強度の測定値がばらついて安定な測定ができなくなるという問題がある。
【0007】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、分光光度計内部を少量のガスで短時間に置換でき、しかも光のゆらぎが発生せず安定に測定できる分光光度計を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、本発明の分光光度計は、被測定光を導入する導入部と、被測定光を分光して必要な波長の光を取り出す分光器と、その分光器で取り出された光の強度を検出する光検出器とを備えた分光光度計において、導入部から分光器を経て検出器に至る光の光路が密閉可能な容器内に収容されており、その密閉可能な容器にはガス置換手段が設けられているものである。
【0009】
分光器内部全体をガス置換するのではなく、導入部から分光器を経て検出器に至る光の光路のみを密閉可能な容器内に収容し、この密閉可能な容器内のみをガス置換することにより、ガスを流す必要のある空間は限られ、その空間だけをガスが流れる経路ができる。これにより、大気を追い出しやすくなり、ガスの消費量が少なくなり、置換時間も短縮できる。また、モーター等の熱源は密閉可能な容器の外に分離できるので、熱源が置換ガスに直接触れることはなく、熱の発生による光のゆらぎがなくなり、安定な測定を行うことが可能となる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図を参照しながら詳細に説明する。図1は、本発明の分光光度計の一実施例の概略構成図である。分光光度計1の構成は図2に示したものと基本的に同じであり、レンズ3と、シャッター5と、モーター6と、スリット8と、ミラー9、14、15と、グレーティング11、12と、光検出器16とから構成されており、さらに密閉容器22、ガス導入口24およびガス排出口25を備えている。
【0011】
プラズマトーチ20で発光した光はレンズ3を通って分光光度計1に導入される。導入された光はシャッター5をモーター6により回転し、シャッター5の開の位置を光路上に位置させることによりシャッター5を通過し、さらにスリット8を通過し、ミラー9で反射した後、グレーティング11、12により分光され、必要な波長が取り出される。この場合の分光器はエシェル型分光器である。分光された光はミラー14、15で反射し、光検出器16により強度が測定される。図1におけるミラー9、14、15、グレーティング11、12等の各光学素子は平面上にあるが、光検出器16はミラー15によって平面から下方向約25度に折り返されており、光検出器16は平面上にはなく、光路を妨げてはいない。同様に、光検出器16は光路を逆行するガスの流れも阻害することはない。ガス導入口24は光検出器16が位置する面のすぐ横から導入することによって光路を逆行していくことになる。
【0012】
レンズ3、シャッター5、スリット8、ミラー9、グレーティング11、12、ミラー14、15、光検出器16、および光が通過する光路はすべては密閉容器22内に密閉されている。密閉容器22内部をガス置換する際は、ガス導入口24より置換ガスを導入する。導入された置換ガスはガス排出口25より排出される。この場合、置換ガスはプラズマトーチ20のパージガスとしても働くことができる。
【0013】
ミラー9、14、15、グレーティング11、12等の各光学素子は分光光度計1に取り付ける際、角度調整を行う必要がある。よって密閉容器22はこれらの光学素子を単独で周りを囲う箱状の構造となっている。複数の箱と箱の間をチューブ状の囲いで接続することによって、密閉容器22は構成されている。基本的にこれらの箱状の囲いは全て分光光度計1の土台から取り外せるようになっている。構造としては板金に黒表面処理したものをパージガスを逃がさないようなゴムを挟んで土台にネジ止めするだけの構成となっている。箱状の囲いと囲いの接続にも間にゴムを挟んでネジ止めすることにより密閉構造となる。
【0014】
置換ガスはガス導入口24より密閉容器内を一定の流れの方向に沿って流れる。光検出器16はミラー9、14、15、グレーティング11、12等の各光学素子は配置されている平面よりは下にあり、行き止まりの面であることから、置換ガスはガス導入口24より光検出器16に導入することにより効率よく密閉容器22内を置換することができる。この場合のように置換ガスの流れる方向が光の進む方向と逆方向とすることにより、分光光度計1とプラズマトーチ20の間の空間へのガスパージを兼用できるという利点がある。置換ガスはガス導入口24より密閉容器22内を一定の流れの方向に沿って流れるので、ガスは置換しやすく、少量のガスで短時間に置換することが可能となる。また、モーター6等の熱を発生する部品は密閉容器22の外にあり分離されているので、熱の発生により光がゆらぎ測定値がばらつくという現象は起こらない。
【0015】
以上、本発明の実施例を説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で種々の変更を行うことができる。例えば、実施例においては分光器としてエシェル型を用いている。エシェル型の場合はグレーティング11、12が回転しないため、密閉容器22の構造を簡単にできるという利点があるが、分光器としてはエシェル型に限定されるものではなく、他の型の分光器も適用できる。密閉容器22の内面に光を反射しにくい材料を使うことにより、迷光を防止することができ、検出感度の向上および測定の安定をはかることが可能となる。また、上記実施例では密閉容器22内をガス置換したが、真空ポンプを接続し光路を減圧してもよい。その場合、密閉容器22はレンズ3の所で閉じられ、レンズ3とプラズマトーチ20の間は別途ガスパージが必要となる。密閉容器22の素材も真空に耐えれる物にしなければならない。
【0016】
【発明の効果】
本発明によれば、分光光度計の光路のみを密閉容器内に収容しているので、光路をガス置換するのに必要なガスの消費量を少なくすることができ、同時にガス置換に要する時間も短縮できる。また、熱源となる部品を密閉容器の外に分離できるので、熱の発生による光のゆらぎがなくなり、安定な測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の分光光度計の一実施例の概略構成図である。
【図2】従来の分光光度計の概略構成図である。
【符号の説明】
1−−−分光光度計
3−−−レンズ
5−−−シャッター
6−−−モーター
8−−−スリット
9、14、15−−−ミラー
11、12−−−グレーティング
16−−−光検出器
22−−−密閉容器
24−−−ガス導入口
【発明の属する分野】
本発明は、ICP(高周波誘導結合プラズマ)発光分光分析装置等に用いられる分光光度計に関し、より詳しくは分光光度計内の光路をガス置換するガスパージ機構に関する。
【0002】
【従来の技術】
ICP発光分光分析装置では、溶液化された試料をプラズマトーチに導入して試料を発光させ、試料から放射された光を分光器で各元素のスペクトル光に分光した後、各スペクトル光の強度を測定して試料に含まれる各元素の定性、定量を行う。
【0003】
分光光度計を用いて試料を測定する場合、測定波長によっては吸収線を持たないガスで分光器内をガス置換する必要がある。分析対象となる元素が硫黄、燐、炭素、臭素等である場合には、これらの元素の発光スペクトルは、その波長が200オングストローム以下のいわゆる真空紫外領域にあるから、大気中の酸素の存在下では酸素によるスペクトルの吸収が起こり、十分な分析感度が得られなくなる。そのため、上記のような元素を分析対象とする場合には、分光器内部を真空ポンプで減圧するか、窒素ガスやアルゴンガスで置換することにより大気による光の吸収の影響をなくすようにしている(例えば、特許文献1、2、3参照。)。
【0004】
図2に従来のICP発光分光分析装置に用いられている分光光度計の概略構成図を示す。プラズマトーチ20で発光した光はレンズ3を通って分光光度計1に導入される。導入された光はシャッター5をモーター6により回転し、シャッター5の開の位置を光路上に位置させることによりシャッター5を通過し、さらにスリット8を通過し、ミラー9で反射した後、グレーティング11、12により分光される。分光された光はミラー14、15で反射し、光検出器16により強度が測定される。分光光度計1の内部全体をガス置換するためにガス導入口17とガス排出口18が設置されている。
【0005】
【特許文献1】
特開平7−286960号公報(第2−3頁)
【特許文献2】
特開平11−64179号公報(第2頁)
【特許文献3】
特開平11−101737号公報(第2−12頁)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従来のガス置換機構では、分光光度計内部でのガスの流れる経路が決まっていないため、大気と混ざってしまい、置換するのに大量のガスを必要とする。また、置換に要する時間も長時間を要する。置換時間を短縮するためにパージガス流量を大きくすると、分光光度計内部において光路上のガスの揺らぎが発生し、測定に悪影響を及ぼすため、置換時間の短縮も困難である。さらに、分光光度計内部にはシャッターを回転させるためのモーターが存在するが、モーター等の熱を発生する物があると、ガスにゆらぎが発生して光りもゆらいでしまい、光強度の測定値がばらついて安定な測定ができなくなるという問題がある。
【0007】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、分光光度計内部を少量のガスで短時間に置換でき、しかも光のゆらぎが発生せず安定に測定できる分光光度計を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、本発明の分光光度計は、被測定光を導入する導入部と、被測定光を分光して必要な波長の光を取り出す分光器と、その分光器で取り出された光の強度を検出する光検出器とを備えた分光光度計において、導入部から分光器を経て検出器に至る光の光路が密閉可能な容器内に収容されており、その密閉可能な容器にはガス置換手段が設けられているものである。
【0009】
分光器内部全体をガス置換するのではなく、導入部から分光器を経て検出器に至る光の光路のみを密閉可能な容器内に収容し、この密閉可能な容器内のみをガス置換することにより、ガスを流す必要のある空間は限られ、その空間だけをガスが流れる経路ができる。これにより、大気を追い出しやすくなり、ガスの消費量が少なくなり、置換時間も短縮できる。また、モーター等の熱源は密閉可能な容器の外に分離できるので、熱源が置換ガスに直接触れることはなく、熱の発生による光のゆらぎがなくなり、安定な測定を行うことが可能となる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図を参照しながら詳細に説明する。図1は、本発明の分光光度計の一実施例の概略構成図である。分光光度計1の構成は図2に示したものと基本的に同じであり、レンズ3と、シャッター5と、モーター6と、スリット8と、ミラー9、14、15と、グレーティング11、12と、光検出器16とから構成されており、さらに密閉容器22、ガス導入口24およびガス排出口25を備えている。
【0011】
プラズマトーチ20で発光した光はレンズ3を通って分光光度計1に導入される。導入された光はシャッター5をモーター6により回転し、シャッター5の開の位置を光路上に位置させることによりシャッター5を通過し、さらにスリット8を通過し、ミラー9で反射した後、グレーティング11、12により分光され、必要な波長が取り出される。この場合の分光器はエシェル型分光器である。分光された光はミラー14、15で反射し、光検出器16により強度が測定される。図1におけるミラー9、14、15、グレーティング11、12等の各光学素子は平面上にあるが、光検出器16はミラー15によって平面から下方向約25度に折り返されており、光検出器16は平面上にはなく、光路を妨げてはいない。同様に、光検出器16は光路を逆行するガスの流れも阻害することはない。ガス導入口24は光検出器16が位置する面のすぐ横から導入することによって光路を逆行していくことになる。
【0012】
レンズ3、シャッター5、スリット8、ミラー9、グレーティング11、12、ミラー14、15、光検出器16、および光が通過する光路はすべては密閉容器22内に密閉されている。密閉容器22内部をガス置換する際は、ガス導入口24より置換ガスを導入する。導入された置換ガスはガス排出口25より排出される。この場合、置換ガスはプラズマトーチ20のパージガスとしても働くことができる。
【0013】
ミラー9、14、15、グレーティング11、12等の各光学素子は分光光度計1に取り付ける際、角度調整を行う必要がある。よって密閉容器22はこれらの光学素子を単独で周りを囲う箱状の構造となっている。複数の箱と箱の間をチューブ状の囲いで接続することによって、密閉容器22は構成されている。基本的にこれらの箱状の囲いは全て分光光度計1の土台から取り外せるようになっている。構造としては板金に黒表面処理したものをパージガスを逃がさないようなゴムを挟んで土台にネジ止めするだけの構成となっている。箱状の囲いと囲いの接続にも間にゴムを挟んでネジ止めすることにより密閉構造となる。
【0014】
置換ガスはガス導入口24より密閉容器内を一定の流れの方向に沿って流れる。光検出器16はミラー9、14、15、グレーティング11、12等の各光学素子は配置されている平面よりは下にあり、行き止まりの面であることから、置換ガスはガス導入口24より光検出器16に導入することにより効率よく密閉容器22内を置換することができる。この場合のように置換ガスの流れる方向が光の進む方向と逆方向とすることにより、分光光度計1とプラズマトーチ20の間の空間へのガスパージを兼用できるという利点がある。置換ガスはガス導入口24より密閉容器22内を一定の流れの方向に沿って流れるので、ガスは置換しやすく、少量のガスで短時間に置換することが可能となる。また、モーター6等の熱を発生する部品は密閉容器22の外にあり分離されているので、熱の発生により光がゆらぎ測定値がばらつくという現象は起こらない。
【0015】
以上、本発明の実施例を説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で種々の変更を行うことができる。例えば、実施例においては分光器としてエシェル型を用いている。エシェル型の場合はグレーティング11、12が回転しないため、密閉容器22の構造を簡単にできるという利点があるが、分光器としてはエシェル型に限定されるものではなく、他の型の分光器も適用できる。密閉容器22の内面に光を反射しにくい材料を使うことにより、迷光を防止することができ、検出感度の向上および測定の安定をはかることが可能となる。また、上記実施例では密閉容器22内をガス置換したが、真空ポンプを接続し光路を減圧してもよい。その場合、密閉容器22はレンズ3の所で閉じられ、レンズ3とプラズマトーチ20の間は別途ガスパージが必要となる。密閉容器22の素材も真空に耐えれる物にしなければならない。
【0016】
【発明の効果】
本発明によれば、分光光度計の光路のみを密閉容器内に収容しているので、光路をガス置換するのに必要なガスの消費量を少なくすることができ、同時にガス置換に要する時間も短縮できる。また、熱源となる部品を密閉容器の外に分離できるので、熱の発生による光のゆらぎがなくなり、安定な測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の分光光度計の一実施例の概略構成図である。
【図2】従来の分光光度計の概略構成図である。
【符号の説明】
1−−−分光光度計
3−−−レンズ
5−−−シャッター
6−−−モーター
8−−−スリット
9、14、15−−−ミラー
11、12−−−グレーティング
16−−−光検出器
22−−−密閉容器
24−−−ガス導入口
Claims (1)
- 被測定光を導入する導入部と、被測定光を分光して必要な波長の光を取り出す分光器と、その分光器で取り出された光の強度を検出する光検出器とを備えた分光光度計において、導入部から分光器を経て検出器に至る光の光路が密閉可能な容器内に収容されており、その密閉可能な容器にはガス置換手段が設けられていることを特徴とする分光光度計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002354566A JP2004184354A (ja) | 2002-12-06 | 2002-12-06 | 分光光度計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002354566A JP2004184354A (ja) | 2002-12-06 | 2002-12-06 | 分光光度計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004184354A true JP2004184354A (ja) | 2004-07-02 |
Family
ID=32755514
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002354566A Pending JP2004184354A (ja) | 2002-12-06 | 2002-12-06 | 分光光度計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004184354A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022500655A (ja) * | 2018-09-13 | 2022-01-04 | リガク ラマン テクノロジーズ インコーポレイテッド | プラズマスペクトル分析を介してサンプルの材料組成を分析するための装置 |
-
2002
- 2002-12-06 JP JP2002354566A patent/JP2004184354A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022500655A (ja) * | 2018-09-13 | 2022-01-04 | リガク ラマン テクノロジーズ インコーポレイテッド | プラズマスペクトル分析を介してサンプルの材料組成を分析するための装置 |
JP7356498B2 (ja) | 2018-09-13 | 2023-10-04 | オーシャン オプティクス インコーポレイテッド | プラズマスペクトル分析を介してサンプルの材料組成を分析するための装置 |
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