RU2558014C2 - Устройство для уф-спектрометрического анализа газообразных соединений - Google Patents
Устройство для уф-спектрометрического анализа газообразных соединений Download PDFInfo
- Publication number
- RU2558014C2 RU2558014C2 RU2012155864/28A RU2012155864A RU2558014C2 RU 2558014 C2 RU2558014 C2 RU 2558014C2 RU 2012155864/28 A RU2012155864/28 A RU 2012155864/28A RU 2012155864 A RU2012155864 A RU 2012155864A RU 2558014 C2 RU2558014 C2 RU 2558014C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- measuring channel
- gas
- spectrographic
- channel
- flow
- Prior art date
Links
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 title claims abstract description 18
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 41
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 34
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 17
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 14
- 229910052805 deuterium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N Deuterium Chemical compound [2H] YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 9
- 238000004817 gas chromatography Methods 0.000 claims description 8
- 229910001618 alkaline earth metal fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 15
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 100
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 150000001975 deuterium Chemical class 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000002594 sorbent Substances 0.000 description 1
- 238000002798 spectrophotometry method Methods 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000000870 ultraviolet spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/33—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using ultraviolet light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0291—Housings; Spectrometer accessories; Spatial arrangement of elements, e.g. folded path arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N21/09—Cuvette constructions adapted to resist hostile environments or corrosive or abrasive materials
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/15—Preventing contamination of the components of the optical system or obstruction of the light path
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/15—Preventing contamination of the components of the optical system or obstruction of the light path
- G01N2021/151—Gas blown
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/33—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using ultraviolet light
- G01N2021/335—Vacuum UV
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относится к УФ-спектрометрическому анализу газообразных соединений. Устройство (20) содержит измерительный канал (5) для того, чтобы вмещать поток пробного газа, окно (16), прозрачное для ультрафиолетового излучения и расположенное на первом конце (5a) измерительного канала (5), источник (11) излучения, генерирующий ультрафиолетовое излучение, который скомпонован для того, чтобы испускать излучение через окно (16) внутрь измерительного канала (5), и спектрограф (3) для измерения ультрафиолетового излучения на втором, противоположном конце (5b) измерительного канала (5). Спектрограф (3) снабжен отверстием (12), причем второй конец (5b) измерительного канала (5) открыт в направлении спектрографа (3) так, что внутренняя часть спектрографа (3) и измерительный канал (5) соединяются через указанное отверстие (12). Спектрограф (3) заполняют защитным газом, который может течь через указанное отверстие (12) и внутрь измерительного канала (5). Изобретение обеспечивает упрощение компоновки выходного окна. 17 з.п. ф-лы, 2 ил.
Description
ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ, К КОТОРОЙ ОТНОСИТСЯ ИЗОБРЕТЕНИЕ
Изобретение относится к устройству для УФ-спектрометрического анализа газообразных соединений согласно родовому понятию п.1. В частности, изобретение относится к измерениям УФ-излучения с длинами волн в дальней УФ-области.
УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ
Спектрофотометрическое измерение абсорбции газа и пара хорошо известно в различных применениях. Примером является аналитическая химия, где ультрафиолетовые (УФ) спектрометры комбинируют с газовой хроматографией (ГХ) для определения газообразных соединений. Примеры оборудования для такого использования раскрыты в US 4668091 и US 6305213. Различные УФ-спектрометры или спектрографы, а также газовые хроматографы коммерчески доступны.
Ультрафиолетовое излучение имеет длину волны короче, чем у видимого света, но длиннее, чем у рентгеновских лучей, в диапазоне 10-400 нм, и его спектр можно разделить многими способами, например ближний УФ 400-300 нм, средний УФ 300-200 нм, дальний УФ 200-122 и вакуумный УФ 200-100 нм. Обычное стекло непрозрачно для более коротких длин волн. Окна, выполненные из кварцевого стекла, обычно используют при анализе длин волн короче приблизительно 350 нм. Очень сильное поглощение длин волн короче приблизительно 190 нм, т.е. излучения в области дальнего или вакуумного УФ, также обычно происходит в кварце. В этой области длин волны возможно использование окон и других оптических элементов, выполненных из фторидов щелочноземельных металлов, таких как MgF2. Однако такие материалы неустойчивы к химическим веществам, как кварц, и существует множество применений, где эти материалы не подходят. Это, в частности, является проблемой при повышенных температурах.
УФ-длины волн в области дальнего или вакуумного УФ представляют большой интерес в химическом анализе, поскольку большинство химических соединений поглощают свет в этой области. Многие соединения, которые нельзя обнаружить при более длинных длинах волн, можно анализировать с использованием излучения в дальней УФ-области. Однако также воздух или точнее кислород (O2) и водяной пар сильно поглощают свет в этой области (в диапазоне ниже приблизительно 190 нм), что означает, что аналитическое оборудование должно быть специально адаптировано для того, чтобы избежать воздействия воздуха. Для этой цели существуют, например, коммерчески доступные УФ-спектрографы, которые адаптированы для откачивания или для заполнения инертным газом, таким как азот (N2) (который поглощает только УФ с очень короткими длинами волн).
Оборудование для анализа газов и/или паров с использованием УФ-спектроскопии типично содержит удлиненный нагретый канал (кювету), который вмещает пробный газ во время измерения, УФ-источник (например, дейтериевую лампу), расположенную на одном конце канала, и УФ-детектор (УФ-спектрограф), расположенный на противоположном конце канала. Газонепроницаемые и УФ-прозрачные окна, типично выполняемые из кварца, предоставлены на каждом конце канала. Канал может быть снабжен впускными и выпускными отверстиями для того, чтобы проводить пробный газ, например, из ГХ и газообразный носитель в и из канала непрерывным образом. УФ-свет, испускаемый УФ-источником, проходит через окно УФ-источника, через входное окно канала и внутрь и через канал, где происходит абсорбция части света в пробном газе. Остальное излучение проходит к выходному окну канала и входит в УФ-спектрограф через окно или щель. УФ-спектрограф измеряет интенсивность различных длин волн УФ-излучения, которое прошло через канал, и получаемые спектры поглощения используют для идентификации и количественного определения соединений, присутствующих в пробном газе.
Чтобы адаптировать такое оборудование для измерений излучения в дальней УФ-области, можно использовать УФ-прозрачный (например, вакуумный) УФ-детектор, а кварцевые окна можно заменить окнами, выполненными из фторида щелочноземельного металла. Однако такая адаптация хорошо работает только в ситуациях, где пробный газ не содержит соединения, которые могут разлагать чувствительный материал окон канала. Такому разложению окон канала сложно препятствовать во многих случаях, в частности при повышенных температурах, например, когда пробный газ подают из нагретой колонки газового хроматографа.
Соответственно, существует необходимость в улучшении в области техники оборудования для использования в УФ-спектроскопическом анализе газа, в частности, для анализов в дальней УФ-области.
РАСКРЫТИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Цель данного изобретения состоит в том, чтобы предоставить устройство для УФ-спектрометрического анализа газообразных соединений, которое проявляет улучшенные возможности осуществления анализа излучения в дальней УФ-области по сравнению со стандартными устройствами. Дополнительная цель состоит в том, чтобы предоставить менее дорогостоящую компоновку окна. Эту цель достигают посредством устройства, определяемого техническими признаками, которые содержатся в независимом пункте 1 формулы изобретения. Зависимые пункты формулы изобретения содержат предпочтительные варианты осуществления, дополнительные разработки и варианты изобретения.
Изобретение относится к устройству для УФ-спектрометрического анализа газообразных соединений, причем указанное устройство содержит: измерительный канал, предназначенный для того, чтобы вмещать поток пробного газа, подлежащего анализу, оконный элемент, прозрачный для ультрафиолетового излучения, расположенный на первом конце измерительного канала, источник излучения, способный генерировать ультрафиолетовое излучение, расположенный для того, чтобы испускать излучение через оконный элемент и внутрь измерительного канала, и спектрографический элемент для измерения ультрафиолетового излучения, испускаемого посредством источника излучения, расположенного на втором, противоположном конце измерительного канала, при этом устройство расположено так, что ультрафиолетовое излучение, входящее в измерительный канал на первом конце, может распространяться через измерительный канал, взаимодействовать с размещенным газом и может подвергаться измерению посредством спектрографического элемента на втором конце измерительного канала.
Изобретение отличается тем, что спектрографический элемент снабжен отверстием, через которое ультрафиолетовое излучение проходит внутрь спектрографического элемента во время работы устройства, при этом второй конец измерительного канала открыт в направлении спектрографического элемента, так что внутренняя часть спектрографического элемента и измерительный канал соединяются через указанное отверстие, причем спектрографический элемент скомпонован для заполнения защитным газом, и устройство скомпоновано так, что защитному газу, подаваемому в спектрографический элемент, позволяют течь через указанное отверстие и внутрь измерительного канала.
Подавая защитный газ через спектрографический элемент через отверстие (типично щель) и, кроме того, внутрь открытого измерительного канала, защитный газ формирует «газовое окно», которое обходится без необходимости размещения нормального твердого выходного окна с этой стороны измерительного канала. Используя подходящий защитный газ, такой как N2, формируемое газовое окно можно сделать прозрачным для УФ-излучения с достаточно короткой длиной волны без использования, например, MgF2, который представляет собой не только чувствительный материал, но также является дорогостоящим.
Защитный газ, входящий в измерительный канал через отверстие в спектрографическом элементе, может работать как газообразный носитель для пробного газа в измерительном канале до того, как он будет выведен. Должным образом корректируя давление газа, пробный газ не будет течь в направлении отверстия спектрографического элемента или по меньшей мере не через него.
Защитный газ, подаваемый в спектрографический элемент, таким образом, имеет по меньшей мере две функции: удаление мешающих газов, таких как O2 и H2O, из спектрографического элемента (и по меньшей мере части измерительного канала), и формирование «окна», которое позволяет проходить ультрафиолетовому излучению, но которое предотвращает утечку пробного газа. В зависимости от конструкции, например, впускных и выпускных отверстий измерительного канала, защитный газ, подаваемый в спектрографический элемент, также может выполнять функцию газообразного носителя.
Таким образом, изобретение предоставляет окно, которое является экономически эффективным и хорошо функционирующим, и также решает проблему компоновки выходного окна для УФ, так что УФ-излучение также в дальней УФ-области может выходить из канала и входить в спектрографический элемент без риска разложения чувствительного материала окна.
Чтобы иметь возможность осуществлять правильный анализ пробного газа в дальней УФ-области также входное окно для УФ на первом конце измерительного канала должно быть должным образом скомпоновано с тем, чтобы УФ-излучение в дальней УФ-области могло входить в измерительный канал. Стандартно расположенное окно, выполненное из фторида щелочноземельного металла, можно использовать с этой целью при условии, что пробный газ не разлагает этот чувствительный материал.
Однако патентоспособную компоновку газового окна также можно использовать для анализа более длинных длин волн и можно использовать вместе со стандартным кварцевым окном или даже со стеклянным окном, скомпонованным в виде входного окна для УФ на стороне УФ-источника измерительного канала.
В одном из вариантов осуществления изобретения первый конец измерительного канала открыт в направлении оконного элемента, и в этом канале для направления защитный газ расположен в связи с оконным элементом так, что защитный газ, подаваемый через канал защитного газа, может обтекать и покрывать сторону оконного элемента, обращенную к измерительному каналу, и течь дополнительно внутрь измерительного канала.
Эта конструкция имеет полезный эффект, который делает возможным предотвращение вхождения пробного газа (и содержащихся в нем потенциально коррозионных соединений) в измерительном канале в контакт с оконным элементом посредством подачи защитного (инертного) газа через канал защитного газа. Поскольку защитный газ проходит оконный элемент и затем течет внутрь измерительного канала через его открытый конец, он останавливает пробный газ в канале и защищает оконный элемент. Это позволяет использовать входное окно канала, выполненное из фторида щелочноземельного металла, такого как MgF2, который вероятно чувствителен к соединениям в пробном газе, но одновременно прозрачен для более коротких УФ-длин волн.
Азот (N2) представляет собой подходящий защитный газ в том отношении, что он хорошо защищает окно и прозрачен для УФ-излучения при длинах волн выше приблизительно 150 нм. Поток N2 или другого подходящего защитного газа можно использовать также для применения в качестве газообразного носителя и для удаления кислорода водяного пара из измерительного канала.
Таким образом, этот вариант осуществления решает проблему компоновки входного окна для УФ так, что УФ-излучение в дальней УФ-области может входить в измерительный канал без риска разложения чувствительного материала окна.
Вместе с патентоспособным газовым окном, размещенным на втором конце устройства, это допускает УФ-спектрометрический анализ УФ-излучения с длинами волн короче 190 нм приблизительно до 150 нм в зависимости от используемого защитного газа.
В одном из вариантов осуществления изобретения полость расположена смежно с оконным элементом на стороне оконного элемента, обращенной к измерительному каналу, при этом полость соединена с открытым концом измерительного канала, где в полости предусмотрено впускное отверстие полости так, что когда защитный газ подают в указанное впускное отверстие полости, защитному газу позволяют заполнять полость и течь дополнительно внутрь измерительного канала.
В одном из вариантов осуществления изобретения измерительный канал снабжен по меньшей мере одним впускным отверстием для подачи пробного газа внутрь измерительного канала и по меньшей мере одним выпускным отверстием для вывода пробного газа и защитного газа из измерительного канала.
В одном из вариантов осуществления изобретения устройство содержит размещенные уплотнительные элементы, например, для предотвращения входа воздуха, который окружает устройство, в измерительный канал.
В одном из вариантов осуществления изобретения устройство содержит колонку для газовой хроматографии для соединения с впускным отверстием для пробного газа.
В одном из вариантов осуществления изобретения устройство содержит регулятор потока газа, скомпонованный для того, чтобы регулировать поток защитного газа, подаваемого в канал защитного газа.
В одном из вариантов осуществления изобретения регулятор потока газа скомпонован для того, чтобы регулировать поток пробного газа.
В одном из вариантов осуществления изобретения регулятор потока газа скомпонован для того, чтобы регулировать поток защитного газа, подаваемого в спектрографический элемент.
В одном из вариантов осуществления изобретения измерительный канал имеет удлиненную форму, где оконный элемент и спектрографический элемент расположены на противоположных концах измерительного канала.
В одном из вариантов осуществления изобретения измерительный канал представляет собой трубку из диоксида кремния.
В одном из вариантов осуществления изобретения измерительный канал скомпонован в обшивке, адаптированной для нагревания.
В одном из вариантов осуществления изобретения источник излучения представляет собой дейтериевую лампу. Предпочтительно, оконный элемент формирует интегрированную часть дейтериевой лампы.
В одном из вариантов осуществления изобретения оконный элемент выполняют из фторида щелочноземельного металла. Предпочтительно, оконный элемент выполняют из MgF2.
В одном из вариантов осуществления изобретения спектрографический элемент содержит отражатели и регистрирующий элемент, адаптированные для ультрафиолетового излучения с короткой длиной волны.
В одном из вариантов осуществления изобретения оконный элемент выполняют из кварца.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ
В описании изобретения, приведенном ниже, сделаны ссылки на следующие фигуры, на которых:
на фиг.1 показан в схематическом виде первый вариант осуществления изобретения и
на фиг.2 показан в схематическом виде второй вариант осуществления изобретения.
ОСУЩЕСТВЛЕНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
На фиг.1 показан первый вариант осуществления устройства 20 для УФ-спектрометрического анализа газообразных соединений. Устройство 20 содержит регулятор 1 потока газа, спектрографический элемент 3, соединительную трубку 4, измерительный канал 5, инжектор образцов 7, набивную колонку 8 для газовой хроматографии и УФ-источник 11 в форме дейтериевой лампы.
Спектрографический элемент 3 в этом примере представляет собой дифракционный спектрограф, содержащий исключительно отражающие оптические элементы 3b с длинным регистрирующим элементом, способным регистрировать УФ-свет с очень короткой длиной волны. Спектрографический элемент 3 снабжен впускным отверстием 2 для подачи защитного газа внутрь элемента 3 и отверстием 12 в форме щели для того, чтобы впускать УФ-излучение (штриховая линия 15), которое прошло через измерительный канал 5, чтобы войти в спектрографический элемент 3. Соединительная трубка 4 скомпонована герметичным (газонепроницаемым) образом около щели 12 и около второго открытого конца 5b измерительного канала 5, обращенного к спектрографическому элементу 3. Трубка 4 скомпонована в виде продолжения измерительного канала 5. Спектрографический элемент 3 является газонепроницаемым, что обозначает, что когда спектрографический элемент 3 заполняют защитным газом через впускное отверстие 2, газ будет вытекать через щель 12 через трубку 4 и, кроме того, внутрь измерительного канала 5 через его открытый конец 5b.
Дейтериевая лампа 11 расположена на противоположном конце измерительного канала 5 по отношению к спектрографическому элементу 3. Оконный элемент 16, который формирует интегрированную часть дейтериевой лампы 11, обращен к первому открытому концу 5a измерительного канала 5. Оконный элемент 16 выполнен из MgF2 и скомпонован герметичным (газонепроницаемым) образом в соединении с первым концом 5a измерительного канала 5.
Инжектор образцов 7 скомпонован для того, чтобы впрыскивать пробный газ в колонку 8 для газовой хроматографии.
Измерительный канал 5 представляет собой трубку, выполненную из чистого диоксида кремния, и он скомпонован в корпусе 17, адаптированном для нагревания, например, для того, чтобы поддерживать контролируемую повышенную температуру измерительного канала 5 во время работы устройства 20. Впускное отверстие 9 для введения пробного газа внутрь измерительного канала 5 скомпоновано в измерительном канале 5 в положении, относительно близком ко второму концу 5b канала 5, обращенному к спектрографическому элементу 3. Выпускное отверстие 10 для вывода пробного газа и защитного газа из измерительного канала 5 расположено относительно близко к первому концу 5a канала 5, обращенному к УФ-источнику 11. Впускное отверстие 6 для защитного/инертного газа соединено с первым концом 5a канала 5, обращенным к УФ-источнику 11, с тем, чтобы газ, подаваемый в это впускное отверстие 6, входил в полость 18 между оконным элементом 16 и каналом 5 с тем, чтобы этот газ обтекал, покрывал и защищал сторону оконного элемента 16, обращенную к каналу 5, до того, как газ продолжит течь внутрь канала 5 через его открытый конец 5a.
Регулятор 1 потока газа скомпонован, например, для того, чтобы подавать газообразный носитель через колонку 8 и подавать защитный газ (который в этом случае представляет собой тот же газ, что и газообразный носитель: N2) во впускное отверстие 2 спектрографического элемента 3 и во впускное отверстие 6 на оконном элементе 16.
Во время работы устройства 20 потоки газа корректируют так, что газ, подаваемый в спектрографический элемент 3 через впускное отверстие 2, заполняет спектрографический элемент 3 и течет дополнительно внутрь измерительного канала 5 через щель 12, трубку 4 и открытый конец 5b канала 5. Пробный газ, входящий в канал 5 через впускное отверстие 9, смешивается с потоком (азота) из спектрографического элемента 3 и течет через канал 5 в направлении УФ-источника 11.
Одновременно, защитный или инертный газ подают во впускное отверстие 6 на оконном элементе 16. Этот поток газа заполняет полость 18 и контактирует и покрывает оконный элемент 16 и течет дальше внутрь канала 5 в направлении спектрографического элемента 3. В положении выпускного отверстия 10 два противоположно направленных потока газа в канале 5 встречаются и смешиваются и вытекают из измерительного канала 5 через выпускное отверстие 10. Предпочтительно, защитному/инертному газу позволяют входить в открытее концы 5a, 5b канала 5 до того, как пробный газ вводят через впускное отверстие 9.
Измерение пробного газа можно осуществлять, пока он течет вдоль измерительного канала 5. Поскольку колонка 8 для газовой хроматографии, которая разделяет соединения, расположена выше по направлению потока относительно измерительного канала 5, вероятно, что только одно или по меньшей мере лишь небольшое число соединений пробного газа будет присутствовать в измерительном канале 5 одновременно. Результат измерения, осуществляемого посредством спектрографического элемента 3, типично представляет собой спектр, показывающий абсорбцию УФ-излучения в качестве функции как длины волны, так и времени.
Устройство 20 также содержит блок управления (не показано) для управления различными частями устройства 20, такими как регулятор 1 потока газа (для управления потоками газа), УФ-источник 11, спектрографический элемент 3, нагревание корпуса 17 и колонки 8 и инжектор образцов 7.
Пример 1
Собирали устройство в соответствии с изобретением, содержащее дейтериевую лампу с выходным окном, выполненным из MgF2 (Hamamatsu, Japan), кювету/измерительный канал, выполненный из трубки из диоксида кремния (внутренний диаметр 1 мм, длина 200 мм), вставленный и вплавленный в нагретый Al брусок квадратного поперечного сечения, снабженный входным штуцером для газов и силиконовым уплотнением, как на лампе, так и на спектрографе (Photon Control, Canada) с решеткой 1200 штрихов/мм, оптимизированной для 300 нм, и оптический элемент CCD Toshiba TCD1304 CCD со снятой стеклянной крышкой из диоксида кремния (например, для того чтобы создать отверстие). Все компоненты монтировали на оптической скамье, выполненной из алюминиевого углового проката (100 мм × 100 мм × 10 мм). Поток инертного газа (азот, чистота 5.0), который входил в отверстие, выполненное в центральной части кюветы из петлевого инжектора, использовали для добавления соединений, спектры которых подлежали измерению, в поток инертного газа. Дополнительный инертный газ входил во впускное отверстие близко к окну лампы, а также к спектрографу, который должным образом был герметизирован, чтобы гарантировать, что газ может выходить только через щель, через которую входит свет из проточной кюветы. Потоками газа управляли таким образом, который гарантирует, что анализируемые соединения не контактируют или даже не подошли близко к окну лампы. Прибор использовали для измерения спектров ароматических углеводородов и кетонов.
Пример 2
Спектрометр, описанный в примере 1, соединяли с газовым хроматографом (Labio, Czech Republic) с хроматографической колонкой 2 мм в диаметре, 4 м в длину, заполненной сорбентом Supelcoport OV1 (Sigma Aldrich). Впрыскивали смеси органических соединений, растворенных в алифатическом растворителе, и измеряли и регистрировали спектры как функцию времени.
На фиг.2 показан второй вариант осуществления устройства 200 для УФ-спектрометрического анализа газообразных соединений. Основное отличие от варианта осуществления, описанного выше, состоит в том, что в этом случае защитный газ не подают в направлении оконного элемента 16, чтобы защитить его от пробного газа. Впускное отверстие 6 теперь формирует выпускное отверстие 26, а предыдущее выпускное отверстие 10 удалено. В варианте осуществления, показанном на фиг.2, пробный газ и азот, подаваемые в спектрографический элемент 3, текут через измерительный канал 5, проходят оконный элемент 16 и покидают систему через выпускное отверстие 26. Оконный элемент 16 в этом случае выполняют из кварца, который обычно не поражается пробным газом.
Вариант осуществления, показанный на фиг.1, можно легко превратить в вариант осуществления на фиг.2 посредством затыкания выпускного отверстия 10, отсоединения впускного отверстия 6 от регулятора 1 потока газа (как для того, чтобы сформировать выпускное отверстие 26) и замены оконного элемента 16 (например, посредством замены дейтериевой лампы с той, что имеет интегрированное окно из MgF2, на ту, что имеет интегрированное кварцевое окно). Модификацию обратно к варианту осуществления, показанному на фиг.1, конечно, также легко осуществить.
«Окно», сформированное на втором конце 5b измерительного канала 5 посредством газа, текущего из спектрографического элемента 3 внутрь измерительного канала 5, можно использовать также в применениях, где стандартное окно используют в качестве оконного элемента 16.
Изобретение не ограничено вариантами осуществления, описанными выше, но его можно модифицировать различными способами в пределах объема формулы изобретения.
Например, впускные и выпускные отверстия для подачи газа в и из измерительного канала 5 можно размещать различными путями. Как правило, полезно, если пробному газу позволяют течь вдоль большей части длины канала 5, чтобы позволить УФ-свету (штриховая линия 15) проходить через как можно большее количество пробного газа перед входом в спектрографический элемент 3. Обычно это увеличивает чувствительность анализа. Со ссылкой на фиг.1, пробный газ может входить в измерительный канал 5 в положении, близком к первому концу 5a канала, обращенному к УФ-источнику 11 (с выпускным отверстием, расположенным близко ко второму концу 5b канала 5, обращенному к спектрографическому элементу 3), или пробный газ можно подавать в среднюю часть измерительного канала 5 (предпочтительно с одним выпускным отверстием, расположенным на каждом конце канала 5 с тем, чтобы поток пробного газа мог делиться и течь в различных направлениях в направлении каждого конца канала 5). Конечно, потоки газа следует регулировать с тем, чтобы предотвратить вхождение пробного газа в контакт с оконным элементом 16 и вхождение в спектрографический элемент 3.
Кроме того, УФ-источник 11 не обязательно должен представлять собой дейтериевую лампу.
Claims (18)
1. Устройство (20) для УФ-спектрометрического анализа газообразных соединений, причем указанное устройство (20) содержит:
- измерительный канал (5), предназначенный для того, чтобы вмещать поток пробного газа, подлежащего анализу,
- оконный элемент (16), прозрачный для ультрафиолетового излучения, который размещен на первом конце (5a) измерительного канала (5),
- источник (11) излучения, способный генерировать ультрафиолетовое излучение, который скомпонован для того, чтобы испускать излучение через оконный элемент (16) и внутрь измерительного канала (5),
- спектрографический элемент (3) для измерения ультрафиолетового излучения, испускаемого источником (11) излучения, размещенный на втором, противоположном конце (5b) измерительного канала (5),
при этом устройство (20) скомпоновано так, что ультрафиолетовое излучение, входящее в измерительный канал (5) на первом конце (5a), может распространяться через измерительный канал (5), взаимодействовать с размещенным газом и подвергаться измерению спектрографическим элементом (3) на втором конце (5b) измерительного канала (5),
отличающееся тем, что
спектрографический элемент (3) снабжен отверстием (12), через которое ультрафиолетовое излучение проходит внутрь спектрографического элемента (3) во время работы устройства (20), при этом второй конец (5b) измерительного канала (5) открыт в направлении спектрографического элемента (3) так, что внутренняя часть спектрографического элемента (3) и измерительный канал (5) соединяются через указанное отверстие (12), причем спектрографический элемент (3) скомпонован для заполнения защитным газом, и устройство (20) скомпоновано так, что защитный газ, подаваемый в спектрографический элемент (3), может течь через указанное отверстие (12) и вовнутрь измерительного канала (5).
- измерительный канал (5), предназначенный для того, чтобы вмещать поток пробного газа, подлежащего анализу,
- оконный элемент (16), прозрачный для ультрафиолетового излучения, который размещен на первом конце (5a) измерительного канала (5),
- источник (11) излучения, способный генерировать ультрафиолетовое излучение, который скомпонован для того, чтобы испускать излучение через оконный элемент (16) и внутрь измерительного канала (5),
- спектрографический элемент (3) для измерения ультрафиолетового излучения, испускаемого источником (11) излучения, размещенный на втором, противоположном конце (5b) измерительного канала (5),
при этом устройство (20) скомпоновано так, что ультрафиолетовое излучение, входящее в измерительный канал (5) на первом конце (5a), может распространяться через измерительный канал (5), взаимодействовать с размещенным газом и подвергаться измерению спектрографическим элементом (3) на втором конце (5b) измерительного канала (5),
отличающееся тем, что
спектрографический элемент (3) снабжен отверстием (12), через которое ультрафиолетовое излучение проходит внутрь спектрографического элемента (3) во время работы устройства (20), при этом второй конец (5b) измерительного канала (5) открыт в направлении спектрографического элемента (3) так, что внутренняя часть спектрографического элемента (3) и измерительный канал (5) соединяются через указанное отверстие (12), причем спектрографический элемент (3) скомпонован для заполнения защитным газом, и устройство (20) скомпоновано так, что защитный газ, подаваемый в спектрографический элемент (3), может течь через указанное отверстие (12) и вовнутрь измерительного канала (5).
2. Устройство (20) по п.1, отличающееся тем, что первый конец (5a) измерительного канала (5) открыт в направлении оконного элемента (16), и тем, что канал (6, 18) для направления защитного газа расположен в соединении с оконным элементом (16) так, что защитный газ, подаваемый через канал (6, 18) защитного газа, может обтекать и покрывать сторону оконного элемента (16), обращенную к измерительному каналу (5), и течь дальше внутрь измерительного канала (5).
3. Устройство (20) по п.2, отличающееся тем, что полость (18) расположена смежно с оконным элементом (16) на стороне оконного элемента (16), обращенной к измерительному каналу (5), причем полость (18) соединена с открытым концом (5a) измерительного канала (5), и при этом полость (18) снабжена впускным отверстием (6) полости так, что когда защитный газ подают в указанное впускное отверстие (6) полости, защитный газ может заполнять полость (18) и течь дальше внутрь измерительного канала (5).
4. Устройство (20) по п.1 или 2, отличающееся тем, что измерительный канал (5) снабжен по меньшей мере одним впускным отверстием (9) для подачи пробного газа внутрь измерительного канала (5) и по меньшей мере одним выпускным отверстием (10) для вывода пробного газа и защитного газа из измерительного канала (5).
5. Устройство (20) по п.1 или 2, отличающееся тем, что оно содержит уплотнительные элементы, расположенные так, чтобы предотвращать попадание воздуха, который окружает устройство, в измерительный канал (5).
6. Устройство (20) по п.4, отличающееся тем, что оно содержит колонку (8) для газовой хроматографии для соединения с впускным отверстием (9) для пробного газа.
7. Устройство (20) по п.2 или 3, отличающееся тем, что оно содержит регулятор (1) потока газа, скомпонованный для того, чтобы регулировать поток защитного газа, подаваемого в канал (6, 18) защитного газа.
8. Устройство (20) по п.7, отличающееся тем, что регулятор (1) потока газа скомпонован для того, чтобы регулировать поток пробного газа.
9. Устройство (20) по п.7, отличающееся тем, что регулятор (1) потока газа скомпонован для того, чтобы регулировать поток защитного газа, подаваемого в спектрографический элемент (3).
10. Устройство (20) по п.1, отличающееся тем, что измерительный канал (5) имеет удлиненную форму, при этом оконный элемент (16) и спектрографический элемент (3) расположены на противоположных концах (5a, 5b) измерительного канала (5).
11. Устройство (20) по п.10, отличающееся тем, что измерительный канал (5) представляет собой трубку из диоксида кремния.
12. Устройство (20) по одному из пп.1, 10 и 11, отличающееся тем, что измерительный канал (5) расположен в корпусе (17), адаптированном для нагревания.
13. Устройство (20) по п.1, отличающееся тем, что источник (11) излучения представляет собой дейтериевую лампу.
14. Устройство (20) по п.13, отличающееся тем, что оконный элемент (16) формирует интегрированную часть дейтериевой лампы.
15. Устройство (20) по п.1, отличающееся тем, что оконный элемент (16) выполнен из фторида щелочноземельного металла.
16. Устройство (20) по п.15, отличающееся тем, что оконный элемент (16) выполнен из MgF2.
17. Устройство (20) по п.1, отличающееся тем, что спектрографический элемент (3) содержит отражатели и регистрирующий элемент, адаптированный для ультрафиолетового излучения с короткой длиной волны.
18. Устройство (20) по п.1, отличающееся тем, что оконный элемент (16) выполнен из кварца.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CZPV2010-398 | 2010-05-24 | ||
CZ2010-398A CZ305797B6 (cs) | 2010-05-24 | 2010-05-24 | Zařízení pro měření spekter plynných látek nebo par v UV oblasti pod 190 nm v průtokovém uspořádání |
PCT/EP2011/053990 WO2011147603A1 (en) | 2010-05-24 | 2011-03-16 | Device for uv-spectrometric analysis of gaseous compounds |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2012155864A RU2012155864A (ru) | 2014-06-27 |
RU2558014C2 true RU2558014C2 (ru) | 2015-07-27 |
Family
ID=44060763
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2012155864/28A RU2558014C2 (ru) | 2010-05-24 | 2011-03-16 | Устройство для уф-спектрометрического анализа газообразных соединений |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8841626B2 (ru) |
EP (2) | EP2577264B1 (ru) |
KR (1) | KR101774547B1 (ru) |
CN (1) | CN102985805B (ru) |
BR (1) | BR112012029970B1 (ru) |
CZ (1) | CZ305797B6 (ru) |
DK (1) | DK2577263T3 (ru) |
ES (1) | ES2685487T3 (ru) |
RU (1) | RU2558014C2 (ru) |
SG (1) | SG185382A1 (ru) |
WO (2) | WO2011147602A2 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU200181U1 (ru) * | 2020-08-10 | 2020-10-08 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Вологодский государственный университет" | Устройство для экспресс-анализа молекулярных структур |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012121651A1 (en) * | 2011-03-05 | 2012-09-13 | Chromalytica Ab | Make up and protective gas for light path window materials and increased spatial resolution in gas chromatography - uv detection |
US9116158B2 (en) | 2012-10-18 | 2015-08-25 | Vuv Analytics, Inc. | Vacuum ultraviolet absorption spectroscopy system and method |
US10677767B2 (en) | 2018-06-12 | 2020-06-09 | Vuv Analytics, Inc. | Vacuum ultraviolet absorption spectroscopy system and method |
CN113414775A (zh) * | 2021-06-06 | 2021-09-21 | 安徽省志成建设工程咨询股份有限公司 | 辅助监理机器人 |
WO2024058733A1 (en) | 2022-09-16 | 2024-03-21 | Haus Sps Makina Elektronik Bilisim Sanayi Ve Ticaret Anonim Sirketi | Device for measuring elemental and molecular properties with hybrid electromagnetic waves |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5225681A (en) * | 1991-05-02 | 1993-07-06 | Spectro Analytical Instruments Gesellschaft Fur Analytische Messgerate Mbh | Gas-filled uv spectrometer |
RU2112960C1 (ru) * | 1993-02-08 | 1998-06-10 | Северо-Осетинский государственный университет им.К.Л.Хетагурова | Устройство для измерения дымности отработавших газов дизелей |
US6305213B1 (en) * | 1997-09-26 | 2001-10-23 | Verner Lagesson | Device in a gas flow cell and a method of analyzing chemical substances by means of the gas flow cell |
JP2005241249A (ja) * | 2004-02-24 | 2005-09-08 | Central Glass Co Ltd | F2ガス濃度の測定方法並びに測定装置 |
RU2299422C1 (ru) * | 2005-10-11 | 2007-05-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Интеллект-Клуб РадиоФосфор-32" | Оптико-электронный спектральный газоанализатор |
JP2008196882A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Taiyo Nippon Sanso Corp | ガス分析装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4188534A (en) * | 1978-04-20 | 1980-02-12 | Fuji Electric Co., Ltd. | Infrared gas analyzer |
US4255052A (en) * | 1979-09-25 | 1981-03-10 | Beckman Instruments, Inc. | Method of generating nitrogen for flameless emission spectroscopy |
SE8302468L (sv) * | 1983-05-02 | 1984-11-03 | Lagesson Andrasko Ludmila | Anordning vid en gasflodescell for spektrofotometrisk analys av kemiska substanser |
US5322799A (en) * | 1988-02-03 | 1994-06-21 | The State Of Oregon Acting By And Through The State Board Of Higher Education On Behalf Of Oregon State University | Observation cell and mixing chamber |
US4927265A (en) * | 1988-04-29 | 1990-05-22 | 501 Microphoretic Systems, Inc. | Detector for fluorescence and absorption spectroscopy |
US5135304A (en) * | 1990-05-11 | 1992-08-04 | Boc Health Care, Inc. | Gas analysis system having buffer gas inputs to protect associated optical elements |
DE4232371C2 (de) * | 1992-09-26 | 1995-02-02 | Kernforschungsz Karlsruhe | Analysengerät zur Bestimmung von Gasen oder Flüssigkeiten |
US5804827A (en) * | 1995-10-27 | 1998-09-08 | Nikon Corporation | Infrared ray detection device and solid-state imaging apparatus |
US6783705B1 (en) * | 1997-04-11 | 2004-08-31 | Waters Investments Limited | Calibration medium for wavelength calibration of U.V. absorbance detectors and methods for calibration |
DE10318786B4 (de) * | 2003-04-25 | 2006-03-09 | Nattkemper, Andreas, Dr.-Ing. | FTIR-Messzelle zur Analyse aggressiver Gase |
KR101095394B1 (ko) | 2003-05-22 | 2011-12-16 | 코닌클리즈케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. | 하나 이상의 광학 컴포넌트를 클리닝하기 위한 방법 및장치 |
DE102004028420B3 (de) * | 2004-06-04 | 2006-02-09 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und Verfahren zur optischen Detektion von in Abgasen chemischer Prozesse enthaltenen Stoffen |
JP4571892B2 (ja) * | 2005-07-05 | 2010-10-27 | フロンティア・ラボ株式会社 | 高分子試料分析装置 |
WO2007014019A2 (en) * | 2005-07-21 | 2007-02-01 | North Dakota State University | Photoemissive ion mobility spectrometry in ambient air |
US7511802B2 (en) * | 2006-05-26 | 2009-03-31 | Spectrasensors, Inc. | Measuring trace components of complex gases using gas chromatography/absorption spectrometry |
-
2010
- 2010-05-24 CZ CZ2010-398A patent/CZ305797B6/cs not_active IP Right Cessation
-
2011
- 2011-03-16 US US13/699,286 patent/US8841626B2/en active Active
- 2011-03-16 CN CN201180025480.1A patent/CN102985805B/zh active Active
- 2011-03-16 US US13/699,283 patent/US9018592B2/en active Active
- 2011-03-16 EP EP11710163.4A patent/EP2577264B1/en active Active
- 2011-03-16 WO PCT/EP2011/053989 patent/WO2011147602A2/en active Application Filing
- 2011-03-16 ES ES11710163.4T patent/ES2685487T3/es active Active
- 2011-03-16 RU RU2012155864/28A patent/RU2558014C2/ru active
- 2011-03-16 BR BR112012029970A patent/BR112012029970B1/pt active IP Right Grant
- 2011-03-16 SG SG2012080388A patent/SG185382A1/en unknown
- 2011-03-16 WO PCT/EP2011/053990 patent/WO2011147603A1/en active Application Filing
- 2011-03-16 KR KR1020127029927A patent/KR101774547B1/ko active IP Right Grant
- 2011-03-16 DK DK11709698.2T patent/DK2577263T3/da active
- 2011-03-16 EP EP11709698.2A patent/EP2577263B1/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5225681A (en) * | 1991-05-02 | 1993-07-06 | Spectro Analytical Instruments Gesellschaft Fur Analytische Messgerate Mbh | Gas-filled uv spectrometer |
RU2112960C1 (ru) * | 1993-02-08 | 1998-06-10 | Северо-Осетинский государственный университет им.К.Л.Хетагурова | Устройство для измерения дымности отработавших газов дизелей |
US6305213B1 (en) * | 1997-09-26 | 2001-10-23 | Verner Lagesson | Device in a gas flow cell and a method of analyzing chemical substances by means of the gas flow cell |
JP2005241249A (ja) * | 2004-02-24 | 2005-09-08 | Central Glass Co Ltd | F2ガス濃度の測定方法並びに測定装置 |
RU2299422C1 (ru) * | 2005-10-11 | 2007-05-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Интеллект-Клуб РадиоФосфор-32" | Оптико-электронный спектральный газоанализатор |
JP2008196882A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Taiyo Nippon Sanso Corp | ガス分析装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU200181U1 (ru) * | 2020-08-10 | 2020-10-08 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Вологодский государственный университет" | Устройство для экспресс-анализа молекулярных структур |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8841626B2 (en) | 2014-09-23 |
WO2011147602A3 (en) | 2015-07-23 |
KR20130123293A (ko) | 2013-11-12 |
CZ2010398A3 (cs) | 2011-12-07 |
EP2577263B1 (en) | 2021-09-29 |
CN102985805B (zh) | 2016-01-20 |
BR112012029970B1 (pt) | 2019-09-03 |
EP2577264A1 (en) | 2013-04-10 |
CZ305797B6 (cs) | 2016-03-16 |
WO2011147603A1 (en) | 2011-12-01 |
WO2011147602A2 (en) | 2011-12-01 |
EP2577264B1 (en) | 2018-05-30 |
DK2577263T3 (da) | 2022-01-10 |
EP2577263A2 (en) | 2013-04-10 |
CN102985805A (zh) | 2013-03-20 |
US9018592B2 (en) | 2015-04-28 |
ES2685487T3 (es) | 2018-10-09 |
KR101774547B1 (ko) | 2017-09-04 |
US20130256549A1 (en) | 2013-10-03 |
RU2012155864A (ru) | 2014-06-27 |
SG185382A1 (en) | 2012-12-28 |
US20140145087A1 (en) | 2014-05-29 |
BR112012029970A2 (pt) | 2017-03-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2558014C2 (ru) | Устройство для уф-спектрометрического анализа газообразных соединений | |
US6897951B2 (en) | Probe assemblies for Raman spectroscopy | |
Meinen et al. | Using a high finesse optical resonator to provide a long light path for differential optical absorption spectroscopy: CE-DOAS | |
WO1997046866A1 (en) | Gas detection and measurement system | |
CN110398474B (zh) | 气体分析仪 | |
US10429363B2 (en) | Far-ultraviolet absorbance detection device for liquid chromatography | |
Wang et al. | A demonstration of broadband cavity-enhanced absorption spectroscopy at deep-ultraviolet wavelengths: Application to sensitive real-time detection of the aromatic pollutants benzene, toluene, and xylene | |
US7576841B2 (en) | Photometric apparatus | |
US6133740A (en) | Chlorine specific gas chromatographic detector | |
KR20100096407A (ko) | 냉증기원자흡광광도부와 냉증기원자형광광도부가 결합되어 있는 수은분석장치 | |
Singh et al. | Isotopic trace analysis of water vapor with multipass cavity Raman scattering | |
US9030666B2 (en) | Non-dispersive gas analyzer | |
EP4111516B1 (en) | Flow-through protective system of hydrogen fuel receiver and method of protection of hydrogen fuel receiver | |
CA2213974C (en) | Chlorine specific gas chromatographic detector | |
Meinen et al. | Using a high finesse optical resonator to provide a long light path for differential optical absorption spectroscopy: CE-DOAS | |
WO2020217356A1 (ja) | クロマトグラフィ検出器用フローセルおよびクロマトグラフィ検出器 | |
KR200445465Y1 (ko) | 플라즈마를 이용한 소형화된 시료 검출 장치 | |
Eckhardt et al. | Fiber-optic detection device for GC-UV | |
JP2004184354A (ja) | 分光光度計 | |
JP2009008397A (ja) | 赤外分光分析装置 | |
KR20040059399A (ko) | Pl 및 uv 겸용 분광기 | |
Medina | Instrument Development and Measurements of the Atmospheric Pollutants Sulfur Dioxide, Nitrate Radical, and Nitrous Acid by Cavity Ring-down Spectroscopy and Cavity Enhanced Absorption Spectroscopy | |
Sensor et al. | Swept Sensor™-A Novel Portable Battery-operated Gas Sensing Solution | |
JP2002228584A (ja) | 同位体ガス測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PC41 | Official registration of the transfer of exclusive right |
Effective date: 20190708 |