JP2005241249A - F2ガス濃度の測定方法並びに測定装置 - Google Patents
F2ガス濃度の測定方法並びに測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005241249A JP2005241249A JP2004047137A JP2004047137A JP2005241249A JP 2005241249 A JP2005241249 A JP 2005241249A JP 2004047137 A JP2004047137 A JP 2004047137A JP 2004047137 A JP2004047137 A JP 2004047137A JP 2005241249 A JP2005241249 A JP 2005241249A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- measuring
- concentration
- cell
- gas cell
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Optical Measuring Cells (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】 F2ガスを充填したガスセルに紫外光を照射し吸収スペクトルを測定する。また、ガスセルが、少なくとも1つの通気管を具備した筒状部材料で、その両端にCaF2、MgF2、BaF2、LiF、またはSiO2から選ばれる少なくとも1種の結晶からなる窓を具備し、該筒状部材料が、ステンレス鋼、鉄、アルミ、アルミ合金、ニッケル、ニッケル合金、銅、酸化アルミ、または窒化アルミのいずれかひとつからなる。また、前処理としてNaF吸着管もしくは深冷トラップでフッ化水素またはフッ化水素酸を除去する。また、少なくとも、該筒状部材料からなるガス通気管を具備したガスセルを用いた装置。
【選択図】 なし
Description
(1)ガスクロマト分析法。
(2)NMR法。
(3)F2ガスとNaClと反応させ発生したCl2ガスをNaOH溶液に吸収させ、生成した次亜塩素酸をヨウ素滴定により求める方法。
渡辺等:フッ素の化学、II、p216(1973)
図1は、本発明のF2ガス濃度測定装置の概略図(ダブルビーム方式)である。測定方法は、試料ガスをガス精製機1に通し、圧力計2で圧力を測定しながら試料用ガスセル3にガスを導入して測定を行う。導入したガスは調圧しながら流通させてもよいし、ガスを封入した状態で測定し、測定終了後にガスを排気して再度ガスを封入する方法で測定しても良い。測定は紫外光を分光器6で分光しセルを通過した光を光電子増倍管8で検出した。
実施例1,2で作成した検量線を基にF2濃度測定試験を行った。試験に用いたガスは、NF3、F2、HF、N2を含む混合ガスである。HFもガス中に混入しているが、HFは215nmに吸光度のピークを持つためガス状では直接測定に影響しない。しかし、HFが多量に存在し液化すると窓材を腐蝕したり、ベースラインが不安定になったりする。そのため、ガスセルの入り口にNaF管を設置しHFの吸収除去を行った。F2ガスが0.2〜40%含まれるサンプルガスを5本準備した。
測定の結果、紫外光による吸光度法では連続的に数秒で濃度測定が行えるのに比較して、ガスクロ分析法では、ガスをガスクロのサンプラーに入れた後も20分測定に要しリアルタムイムでの測定はできなかった。
シングルビーム方式、ダブルビーム方式の測定器をCVD装置の排気ガスを吸引するためのドライポンプの排気側の配管に取り付けた。CVD装置の外部に誘導結合型のプラズマ発生器を取り付け、1200Wの電力を印可してNF3を分解しF2ガスを発生させた。プラズマの印可電力を変えながら発生したF2ガスがドライポンプから排出される時の濃度の経時変化を284nmの波長の吸光度で測定した。その結果を図2に示した。なお、NF3の流量は500SCCM、ドライポンプへのN2流通量は1SLMである。ガスセル内の圧力は大気圧(101.3kPa)である。
2 圧力計
3 試料用ガスセル
4 対照用ガスセル
5 光源部
6 分光器
7 検出器
8 光電子増倍管
Claims (5)
- F2ガスを充填したガスセルに紫外光を照射し吸収スペクトルを測定することを特徴とするF2ガス濃度の測定方法。
- ガスセルが、少なくとも1つの通気管を具備した筒状部材料で、その両端にCaF2、MgF2、BaF2、LiF、またはSiO2から選ばれる少なくとも1種の結晶からなる窓を具備したことを特徴とする請求項1に記載のF2ガス濃度の測定方法。
- 筒状部材料が、ステンレス鋼、鉄、アルミ、アルミ合金、ニッケル、ニッケル合金、銅、酸化アルミ、または窒化アルミのいずれかひとつからなることを特徴とする請求項2に記載のF2ガス濃度の測定方法。
- F2ガス濃度を測定するに際し、前処理としてNaF吸着管もしくは深冷トラップでフッ化水素またはフッ化水素酸を除去することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のF2ガス濃度の測定方法。
- 少なくとも、請求項2または請求項3に記載のガスセル、紫外光ランプ、分光器、検出器、ガスセルに入るF2ガスを精製するための薬剤充填管、ガスセルや薬剤充填管内を洗浄するための真空ポンプ、また迷光が入らないようにガスセル、分光器、検出器、光源を外部光と遮蔽するためのケースからなるF2ガス濃度の測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004047137A JP4211983B2 (ja) | 2004-02-24 | 2004-02-24 | F2ガス濃度の測定方法並びに測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004047137A JP4211983B2 (ja) | 2004-02-24 | 2004-02-24 | F2ガス濃度の測定方法並びに測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005241249A true JP2005241249A (ja) | 2005-09-08 |
JP4211983B2 JP4211983B2 (ja) | 2009-01-21 |
Family
ID=35023154
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004047137A Expired - Fee Related JP4211983B2 (ja) | 2004-02-24 | 2004-02-24 | F2ガス濃度の測定方法並びに測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4211983B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007107904A (ja) * | 2005-10-11 | 2007-04-26 | Taiyo Nippon Sanso Corp | フッ素ガス測定装置 |
JP2008196882A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Taiyo Nippon Sanso Corp | ガス分析装置 |
EP1990628A1 (de) * | 2007-05-09 | 2008-11-12 | SICK MAIHAK GmbH | Küvette |
CN103994981A (zh) * | 2014-04-28 | 2014-08-20 | 中国农业科学院兰州畜牧与兽药研究所 | 一种快速测定蜂蜜制品中铝离子含量的方法 |
RU2558014C2 (ru) * | 2010-05-24 | 2015-07-27 | Лабио А.С. | Устройство для уф-спектрометрического анализа газообразных соединений |
US10371630B2 (en) | 2013-07-31 | 2019-08-06 | Tokushima University | Inline concentration meter and concentration detection method |
US11984308B2 (en) | 2019-11-27 | 2024-05-14 | Resonac Corporation | Method for measuring concentration of fluorine gas in halogen fluoride-containing gas using mass spectrometer |
-
2004
- 2004-02-24 JP JP2004047137A patent/JP4211983B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007107904A (ja) * | 2005-10-11 | 2007-04-26 | Taiyo Nippon Sanso Corp | フッ素ガス測定装置 |
JP2008196882A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Taiyo Nippon Sanso Corp | ガス分析装置 |
EP1990628A1 (de) * | 2007-05-09 | 2008-11-12 | SICK MAIHAK GmbH | Küvette |
RU2558014C2 (ru) * | 2010-05-24 | 2015-07-27 | Лабио А.С. | Устройство для уф-спектрометрического анализа газообразных соединений |
US10371630B2 (en) | 2013-07-31 | 2019-08-06 | Tokushima University | Inline concentration meter and concentration detection method |
CN103994981A (zh) * | 2014-04-28 | 2014-08-20 | 中国农业科学院兰州畜牧与兽药研究所 | 一种快速测定蜂蜜制品中铝离子含量的方法 |
US11984308B2 (en) | 2019-11-27 | 2024-05-14 | Resonac Corporation | Method for measuring concentration of fluorine gas in halogen fluoride-containing gas using mass spectrometer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4211983B2 (ja) | 2009-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW561543B (en) | On-line UV-visible halogen gas analyzer for semiconductor processing effluent monitoring | |
US6955801B2 (en) | High-purity fluorine gas, production and use thereof, and method for analyzing trace impurities in high-purity fluorine gas | |
KR100742488B1 (ko) | 가스 중의 불순물 정량 방법 및 장치 | |
KR101030405B1 (ko) | 촉매적 변형에 의한 분석 민감도 증진법 | |
KR100837477B1 (ko) | 미량 성분의 분석 방법 및 그 분석 장치 | |
JP4211983B2 (ja) | F2ガス濃度の測定方法並びに測定装置 | |
JP2001509596A (ja) | 分光センサーのキャリブレーションのための方法 | |
JP4744017B2 (ja) | 高純度フッ素ガス中の微量不純物の分析方法 | |
JP3998018B2 (ja) | シラノール基濃度の測定方法および測定用セル | |
JP5221881B2 (ja) | ガス分析装置 | |
EP4253938A1 (en) | Gas analyzing method | |
US5804702A (en) | Process for reducing interfering signals in optical measurements of water vapor | |
Fahr et al. | Scattered light and accuracy of the cross‐section measurements of weak absorptions: Gas and liquid phase UV absorption cross sections of CH3CFCl2 | |
JPH08159964A (ja) | ガス中の水分の定量方法及び試料容器 | |
JP2004138467A (ja) | 紫外線吸収式測定装置および測定試料の処理方法 | |
WO2021106602A1 (ja) | 紫外分光法によるハロゲンフッ化物含有ガスに含まれるフッ素ガス濃度の測定方法 | |
WO2021106601A1 (ja) | 質量分析計によるハロゲンフッ化物含有ガス中のフッ素ガス濃度の測定方法 | |
KR101890404B1 (ko) | 셀타입 가스인증표준물질 제조방법, 제조장치 및 용기 | |
JP4653357B2 (ja) | 金属カルボニル化合物の分析方法及び装置 | |
Pope et al. | A temperature‐dependent kinetics study of the reaction of O (3PJ) with (CH3) 2SO | |
US20110171743A1 (en) | Detection of halogens | |
RU2154028C1 (ru) | Способ определения содержания перфторуглеродных соединений в гексафториде урана | |
McAndrew et al. | Gaseous contaminant measurement for semiconductor processing by diode laser spectroscopy | |
Bacsik et al. | Indirect determination of molecular chlorine by fourier transform infrared spectrometry | |
JP2009008397A (ja) | 赤外分光分析装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20060424 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060922 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080819 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080922 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081022 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081023 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4211983 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121107 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121107 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121107 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131107 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |