JP2007025390A - 光学素子保持機構及びレーザ機器 - Google Patents

Abstract

【課題】 レーザ機器で用いられる光学素子の保持機構において、光学素子を保持機構から取り外すことなく光学素子の表面を容易に清掃できるようにする。
【解決手段】 光学素子保持機構１０は、表面１４、表面１４の反対側の裏面１６、及び表面１４と裏面１６との間の環状外周面１８を有する光学素子１２を、レーザ機器の所定位置に保持するものである。光学素子保持機構１０は、光学素子１２の環状外周面１８を係止する係止部２０を有するホルダ２２と、光学素子１２の裏面１６の少なくとも一部分に当接される当接面２４を有する支持台２６とを備える。ホルダ２２は、光学素子１２の表面１４を少なくとも係止部２０よりも外方に突出させた状態で、ホルダ２２の係止部２０と支持台２６の当接面２４との協働により、光学素子１２を保持する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、レーザ機器で用いられる光学素子を機器内の所定位置に保持する光学素子保持機構に関する。本発明はまた、そのような光学素子保持機構を備えたレーザ機器に関する。

レーザ発振器やレーザ加工機等のレーザ機器において、レーザ光に反射、屈折、透過等の光学的性質を与えるミラーやレンズ等の光学素子は、一般に円筒状の外周面を有する円盤状部材であって、適当な保持機構により、機器内の予め定めた場所に位置決めして保持される。例えば特許文献１は、レーザ機器に設置される光学素子保持機構の一例として、レーザ発振器の内部又は外部に設けられるミラーを所定位置に保持するミラーホルダを開示する。

図５は、特許文献１に開示されるミラーホルダと同様の構成を有する従来の保持機構であって、レーザ発振器の光共振部に設けられる出力ミラー（部分透過鏡）及びリアミラー（全反射鏡）の保持機構を、それぞれ模式図的に示す。図示のように、従来のレーザ発振器では、一般に出力ミラー１（図５（ａ））及びリアミラー２（図５（ｂ））はいずれも、円柱状ないし円盤状の外形を有する。出力ミラー１及びリアミラー２のそれぞれの直径は、レーザ発振器で生成されるレーザビームの直径や、ミラー保持機構による安定保持に必要な寸法等を考慮して決定され、また厚みは、通常は直径よりも小さく、ミラーに要求される機械的強度や取扱い易さ等を考慮して決定される。例えば、ガスレーザ発振器においては、出力ミラー１は、媒質ガス３と大気４とを互いに分離する役割も果たすので、媒質ガス３と大気４との圧力差に耐える機械的強度を有することが求められる。なお、レーザ発振器におけるリアミラーは、理論上は全反射鏡から構成されるが、レーザ出力をモニタリングする目的で、１％以下の透過率を有する部分透過鏡をリアミラーに使用することも知られている。その場合には、リアミラー（部分透過鏡）の保持機構は上記した出力ミラーの保持機構と同様のものとなる。

従来のレーザ発振器に設置される出力ミラー（部分透過鏡）１の保持機構（図５（ａ））は、互いに協働して出力ミラー１を保持するホルダ５と支持台６とを備える。ホルダ５は、出力ミラー１の表面１ａの外周近傍領域を係止する環状の係止部５ａを有し、支持台６は、出力ミラー１の裏面１ｂの外周近傍領域に当接される環状の当接面６ａを有する。ホルダ５の係止部５ａと出力ミラー１の表面１ａの外周近傍領域との間には、弾性シール部材（Ｏリング）７が配置される。出力ミラー１は、弾性シール部材７の弾性力下で支持台６の当接面６ａに突き当てられ、それにより所定位置に位置決めして保持される。ここで、出力ミラー１を含む保持機構の全体は、図示しない角度調整機構により、良好なレーザビーム特性を得る最適なミラー取付角度に調整できるようになっている。

また、従来のレーザ発振器に設置されるリアミラー（全反射鏡）２の保持機構（図５（ｂ））は、互いに協働してリアミラー２を保持するホルダ８と支持台９とを備える。ホルダ８は、リアミラー２の表面２ａの外周近傍領域を係止する環状の係止部８ａを有し、支持台９は、リアミラー２の裏面２ｂの略全体に当接される当接面９ａを有する。リアミラー２は、図示しない押さえ部材により支持台９の当接面９ａに突き当てられ、それにより所定位置に位置決めして保持される。ここで、リアミラー２を含む保持機構の全体は、図示しない角度調整機構により、良好なレーザビーム特性を得る最適なミラー取付角度に調整できるようになっている。

なお、従来のレーザ加工機において、ビーム伝播路に設置されるミラー（全反射鏡）の保持機構は、基本的には、図５（ｂ）に示すミラー保持機構と同様の構成を有する。

特開平８−０４３６１２号公報

上記した従来のレーザ機器用の光学素子保持機構においては、例えば出力ミラー１の大気４側の表面１ａを清掃しようとする際に、ホルダ５の係止部５ａが障害になり、特に係止部５ａに隣接する表面部分を十分に清浄にすることが困難であった。そこで従来、ミラー清掃時には保持機構から出力ミラー１を取り外し、清掃完了後に再び保持機構に出力ミラー１を組み付けるようにしていた。このとき、再組付け作業に起因して、出力ミラー１の取付角度が最適角度からずれる場合があり、その場合には、角度調整機構による取付角度の再調整を行なっていた。

ここで、産業用高出力炭酸ガスレーザ発振器においては、媒質ガスに接触する出力ミラーの表面（図５（ａ）では裏面１ｂ）に、所要反射率のコーティングが施される一方、大気に接触する出力ミラーの表面（図５（ａ）では表面１ａ）に、無反射（Ａｎｔｉ−Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ：ＡＲ）コーティングが施される。近年の技術革新により、媒質ガスの接触する反射コーティング面は汚損し難くなっている。これに対し、ＡＲコーティング面は、常に大気に曝されることに加えて、高出力化に伴うミラー温度の著しい上昇により、汚損し易い傾向がある。その結果、出力ミラーの清掃頻度が高まり、上記したミラー着脱及び取付角度調整により作業者の負担が増加している。しかも、出力ミラーを取り外すことで、媒質ガスが大気に解放されるので、出力ミラーの再組付け後には、媒質ガスの浄化作業（エージング又はベーキングと称する）も必要となる。

本発明の目的は、レーザ機器で用いられる光学素子を機器内の所定位置に保持する光学素子保持機構において、光学素子を保持機構から取り外すことなく光学素子の表面を容易に清掃でき、以って作業者の負担を著しく軽減できる光学素子保持機構を提供することにある。
本発明の他の目的は、光学素子保持機構を備えたレーザ機器において、光学素子を保持機構から取り外すことなく光学素子の表面を容易に清掃でき、メンテナンスの容易なレーザ機器を提供することにある。

上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、表面、表面の反対側の裏面、及び表面と裏面との間の環状外周面を有する光学素子を、レーザ機器の所定位置に保持する光学素子保持機構において、光学素子の環状外周面を係止する係止部を有するホルダを具備し、ホルダは、光学素子の表面を、少なくとも係止部よりも外方に突出させた状態で、光学素子を保持すること、を特徴とする光学素子保持機構を提供する。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光学素子保持機構において、光学素子の裏面の少なくとも一部分に当接される当接面を有する支持台をさらに具備し、支持台の当接面がホルダの係止部と協働して光学素子を保持する光学素子保持機構を提供する。

請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の光学素子保持機構において、光学素子の環状外周面に当接される当接面を有する支持台をさらに具備し、支持台の当接面がホルダの係止部と協働して、光学素子の裏面を当接面の反対側で外方に突出させた状態で、光学素子を保持する光学素子保持機構を提供する。

請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の光学素子保持機構において、ホルダの係止部と光学素子の環状外周面との間に配置される弾性シール部材をさらに具備する光学素子保持機構を提供する。

請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載の光学素子保持機構において、光学素子は、環状外周面の中心に対称軸を配置した複数回の回転対称形状を有し、環状外周面は、対称軸に直交する複数の断面の寸法が互いに異なる非円筒輪郭を有する光学素子保持機構を提供する。

請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のいずれか１項に記載の光学素子保持機構において、光学素子は、レーザ発振器に設置される出力ミラーである光学素子保持機構を提供する。

請求項７に記載の発明は、請求項１〜６のいずれか１項に記載の光学素子保持機構を具備することを特徴とするレーザ機器を提供する。

請求項１に記載の発明によれば、光学素子の表面を清掃しようとする際に、光学素子を光学素子保持機構に組み付けたままの状態でも、ホルダの係止部が清掃の障害になることは回避されるので、光学素子を光学素子保持機構から取り外すことなく表面を容易かつ十分清浄に清掃することができる。その結果、清掃時に光学素子を光学素子保持機構から取り外す従来構造における煩雑な光学素子の再組付け作業が不要になり、作業者の負担が著しく軽減される。

請求項２に記載の発明によれば、ホルダの係止部と支持台の当接面との協働により、光学素子を一層安定して保持することができる。

請求項３に記載の発明によれば、光学素子の裏面を清掃する必要が有る場合にも、光学素子を光学素子保持機構に組み付けたままの状態で、裏面を容易かつ十分清浄に清掃することができる。

請求項４に記載の発明によれば、弾性シール部材の作用により、光学素子が光学素子保持機構内で所定位置に安定して保持される。

請求項５に記載の発明によれば、比較的単純な形状の光学素子を用いて、清掃を容易にする効果が得られるので、光学系の製作コストを削減できる。

請求項６に記載の発明によれば、特に産業用高出力炭酸ガスレーザ発振器において、大気に接触する出力ミラーの表面（ＡＲコーティング面）を、所望時期に容易かつ迅速に清掃することができ、しかも媒質ガスが大気に解放されることがないから、媒質ガスの浄化作業も不要になる。

請求項７に記載の発明によれば、レーザ機器において、光学素子を光学素子保持機構から取り外すことなく光学素子の表面を容易に清掃できるので、メンテナンスが容易になり、機器稼働率が大幅に向上する。

以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。全図面に渡り、対応する構成要素には共通の参照符号を付す。
図面を参照すると、図１は、本発明の第１の実施形態による光学素子保持機構１０を示す。光学素子保持機構１０（以下、保持機構１０と略称する）は、レーザ発振器の光共振部に設けられる出力ミラー（部分透過鏡）や、レーザ加工機に設けられるコリメーション用の長焦点レンズ等の、透過型の光学素子１２を、特に好適に保持する構成を有する。

保持機構１０の使用対象となる光学素子１２は、略平坦な表面１４と、表面１４の反対側の略平坦な裏面１６と、表面１４と裏面１６との間に延びる環状外周面１８とを有する。光学素子１２は、環状外周面１８の中心に対称軸１２ａを配置した複数回の回転対称形状を有する。そして、環状外周面１８は、対称軸１２ａに直交する複数の断面の寸法が互いに異なる非円筒輪郭を有する。特に図示実施形態では、光学素子１２は、表面１４及び裏面１６が円形輪郭を有するとともに環状外周面１８が段付円筒輪郭を有する無限回の回転対象体からなる。つまり光学素子１２は、小径の表面１４と大径の裏面１６とが互いに同軸配置され、かつ環状外周面１８が、互いに同軸配置される大径円筒部分１８ａ及び小径円筒部分１８ｂと、それら大径円筒部分１８ａと小径円筒部分１８ｂとの間で対称軸１２ａに直交して延設される肩部分１８ｃとを有するように構成される。

保持機構１０は、光学素子１２の環状外周面１８を係止する係止部２０を有するホルダ２２と、光学素子１２の裏面１６の外周近傍の環状部分に当接される当接面２４を有する支持台２６とを備える。ホルダ２２は、光学素子１２を収容する中心空洞部２８を有する環状部材であり、その軸線方向一端面２２ａに沿って、係止部２０が、中心空洞部２８の内方へ環状に突出して、中心空洞部２８と同軸かつ小径の開口２０ａを有する張出片として形成される。また、支持台２６は、ホルダ２２の中心空洞部２８よりも小径の空洞部３０を有するブロック体であり、その軸線方向一端面２６ａの、空洞部３０の開口に隣接する領域に、環状の当接面２４が形成される。

ホルダ２２と支持台２６とは、前者の軸線方向他端面２２ｂを後者の軸線方向一端面２６ａに接触させるとともに、前者の中心空洞部２８を後者の空洞部３０に同軸配置して、図示しないボルト等の固定手段により相互に強固に固定される。ここで、図示のように、ホルダ２２の軸線方向他端面２２ｂと支持台２６の軸線方向一端面２６ａとの間に、両者間の気密性を保持するための弾性シール部材（Ｏリング）３２を介在させることもできる。なお、ホルダ２２及び支持台２６はいずれも、光学素子１２を所定位置に位置決めして安定保持するに十分な剛性を有する。

ホルダ２２と支持台２６とを互いに適正に組み合わせた状態で、ホルダ２２の中心空洞部２８は支持台２６の空洞部３０に連通し、ホルダ２２の係止部２０が支持台２６の当接面２４に空間を介して対向する。光学素子１２は、環状外周面１８の大径円筒部分１８ａをホルダ２２の係止部２０と支持台２６の当接面２４との間の空間に挿入するとともに、小径円筒部分１８ｂをホルダ２２の係止部２０の開口２０ａに挿入して、ホルダ２２と支持台２６との間に受容される。

光学素子１２の環状外周面１８の肩部分１８ｃと、ホルダ２２の係止部２０との間には、環状の弾性シール部材（すなわちＯリング）３４が配置される。弾性シール部材３４は、それ自体の弾性復元力により、光学素子１２の裏面１６の外周近傍領域を、支持台２６の当接面２４に密に突き当てて、光学素子１２を保持機構１０内で所定位置に位置決めするとともに、光学素子１２の表面１４が接する保持機構１０の外部空間（例えば大気）と、光学素子１２の裏面１６が接する支持台２６の空洞部３０内の空間（例えば媒質ガス）とを、互いに気密式に隔離するように作用する。なお、光学素子１２を含む保持機構１０の全体は、図示しない角度調整機構を装備することにより、良好なレーザビーム特性を得る最適な光学素子取付角度に調整可能に構成することもできる。

このようにして保持機構１０に光学素子１２を組み付けたときに、図示のようにホルダ２２は、光学素子１２の表面１４を、少なくとも係止部２０よりも外方に突出させた状態で、ホルダ２２の係止部２０と支持台２６の当接面２４との協働により、光学素子１２を所定位置に安定して保持するように構成される。なお、光学素子１２とホルダ２２との間の弾性シール部材３４の使用は任意であり、光学素子１２の表面１４を係止部２０よりも外方に突出させて保持する特徴的構成は、光学素子１２とホルダ２２との寸法及び形状を適宜選択することにより達成できるものである。

上記構成を有する保持機構１０によれば、光学素子１２の表面１４を清掃しようとする際に、光学素子１２を保持機構１０に組み付けたままの状態でも、ホルダ２２の係止部２０が清掃の障害になることは回避されるので、光学素子１２を保持機構１０から取り外すことなく表面１４を容易かつ十分清浄に清掃することができる。その結果、清掃時に光学素子を保持機構から取り外す従来構造における煩雑な光学素子の再組付け作業が不要になり、作業者の負担が著しく軽減される。特に、保持機構１０を、産業用高出力炭酸ガスレーザ発振器における出力ミラーの保持機構に適用すれば、大気に接触する出力ミラーのＡＲコーティング面を、所望時期に容易かつ迅速に清掃することができ、しかも媒質ガスが大気に解放されることがないから、媒質ガスの浄化作業も不要になる。

図２は、本発明の第２の実施形態による光学素子保持機構４０（以下、保持機構４０と略称する）を示す。保持機構４０は、光学素子１２の環状外周面１８及びホルダ２２の係止部２０の形状が異なる以外は、前述した第１実施形態による保持機構１０と実質的同一の構成を有する。したがって、対応する構成要素には共通の参照符号を付してその説明を省略する。

保持機構４０の使用対象となる光学素子１２は、表面１４及び裏面１６が円形輪郭を有するとともに、環状外周面１８が円錐台輪郭を有する無限回の回転対象体からなる。つまり光学素子１２は、小径の表面１４と大径の裏面１６とが互いに同軸配置され、かつ環状外周面１８が、裏面１６から表面１４に向かって漸減的に縮径するように構成される。

保持機構４０は、光学素子１２の環状外周面１８を係止する係止部２０を有するホルダ２２と、光学素子１２の裏面１６の外周近傍の環状部分に当接される当接面２４を有する支持台２６とを備える。ホルダ２２の係止部２０は、開口２０ａの内周面が、光学素子１２の環状外周面１８の円錐台形状に対応するテーパ面形状を有する。

ホルダ２２と支持台２６とを互いに適正に組み合わせた状態で、光学素子１２は、環状外周面１８の軸線方向に見て大径側の約２／３部分を、ホルダ２２の係止部２０と支持台２６の当接面２４との間の空間に挿入するとともに、残りの小径側部分をホルダ２２の係止部２０の開口２０ａに挿入して、ホルダ２２と支持台２６との間に受容される。光学素子１２の環状外周面１８とホルダ２２の係止部２０との間には、光学素子１２の裏面１６の外周近傍領域を支持台２６の当接面２４に密に突き当てる環状の弾性シール部材（すなわちＯリング）３４が配置される。

このようにして保持機構４０に光学素子１２を組み付けたときに、図示のようにホルダ２２は、光学素子１２の表面１４を、少なくとも係止部２０よりも外方に突出させた状態で、ホルダ２２の係止部２０と支持台２６の当接面２４との協働により、光学素子１２を所定位置に安定して保持するように構成される。このような構成を有する保持機構４０によっても、前述した保持機構１０と同等の作用効果が奏されることは理解されよう。

図３は、本発明の第３の実施形態による光学素子保持機構５０（以下、保持機構５０と略称する）を示す。保持機構５０は、光学素子１２の環状外周面１８及び支持台５２の形状が異なる以外は、前述した第１実施形態による保持機構１０と実質的同一の構成を有する。したがって、対応する構成要素には共通の参照符号を付してその説明を省略する。

保持機構５０の使用対象となる光学素子１２は、表面１４及び裏面１６が円形輪郭を有するとともに、環状外周面１８が、軸方向両端に小径部分を配置した段付円筒輪郭を有する無限回の回転対象体からなる。つまり光学素子１２は、小径の表面１４と大径の裏面１６とが互いに同軸配置され、かつ環状外周面１８が、互いに同軸配置される大径円筒部分１８ａ及びその軸線方向両側の一対の小径円筒部分１８ｂ、１８ｄと、大径円筒部分１８ａと両小径円筒部分１８ｂ、１８ｄとの間で対称軸１２ａに直交してそれぞれ延設される一対の肩部分１８ｃ、１８ｅとを有するように構成される。

保持機構５０は、光学素子１２の環状外周面１８を係止する係止部２０を有するホルダ２２と、光学素子１２の裏面１６の外周近傍の環状部分に当接される当接面５２を有する支持台５４とを備える。支持台５４は、ホルダ２２の中心空洞部２８よりも小径の開口部５６を有する板体であり、その軸線方向一端面５４ａの、開口部５６に隣接する領域に、環状の当接面５２が形成される。

ホルダ２２と支持台５４とは、前者の軸線方向他端面２２ｂを後者の軸線方向一端面５４ａに接触させるとともに、前者の中心空洞部２８を後者の開口部５６に同軸配置して、図示しないボルト等の固定手段により相互に強固に固定される。ホルダ２２と支持台５４とを互いに適正に組み合わせた状態で、ホルダ２２の中心空洞部２８は支持台５４の開口部５６に連通し、ホルダ２２の係止部２０が支持台５４の当接面５２に空間を介して対向する。

光学素子１２は、環状外周面１８の大径円筒部分１８ａをホルダ２２の係止部２０と支持台５４の当接面５２との間の空間に挿入し、表面１４側の小径円筒部分１８ｂをホルダ２２の係止部２０の開口２０ａに挿入し、かつ裏面１６側の小径円筒部分１８ｄを支持台５４の開口部５６に挿入して、ホルダ２２と支持台５４との間に受容される。また、光学素子１２の環状外周面１８の表面１４側の肩部分１８ｃとホルダ２２の係止部２０との間には、光学素子１２の環状外周面１８の裏面１６側の肩部分１８ｅを支持台５４の当接面５２に密に突き当てる環状の弾性シール部材（すなわちＯリング）３４が配置される。

このようにして保持機構５０に光学素子１２を組み付けたときに、図示のようにホルダ２２は、光学素子１２の表面１４を、少なくとも係止部２０よりも外方に突出させるとともに、光学素子１２の裏面１６を、当接面５２の反対側で支持台２６の外方に突出させた状態で、ホルダ２２の係止部２０と支持台２６の当接面２４との協働により、光学素子１２を所定位置に安定して保持するように構成される。

上記構成を有する保持機構５０によっても、前述した保持機構１０と同等の作用効果が奏されることは理解されよう。さらに保持機構５０では、光学素子１２の裏面１６を支持台２６の外方に突出させているから、裏面１６を清掃する必要が有る場合にも、光学素子１２を保持機構５０に組み付けたままの状態で、裏面１６を容易かつ十分清浄に清掃することができる。

図４は、本発明の第４の実施形態による光学素子保持機構６０（以下、保持機構６０と略称する）を示す。保持機構６０は、レーザ発振器の光共振部に設けられる全反射型のリアミラーや、レーザ加工機等のレーザ光伝播路に設置される全反射鏡（折り返しミラー（ビームベンディングミラー）とも称する）のような、反射型の光学素子１２を、特に好適に保持する構成を有する。なお、保持機構６０は、ホルダ６２及び支持台６４の形状が異なる以外は、前述した第１実施形態による保持機構１０と実質的同一の構成を有する。したがって、対応する構成要素には共通の参照符号を付してその説明を省略する。

保持機構６０は、光学素子１２の環状外周面１８を係止する係止部６６を有するホルダ６２と、光学素子１２の裏面１６の略全体に当接される当接面６８を有する支持台６４とを備える。ホルダ６２は、光学素子１２及び支持台６４を収容する中心空洞部７０を有する筒状部材であり、その軸線方向一端面６２ａに沿って、係止部６６が、中心空洞部７０の内方へ環状に突出して、中心空洞部７０と同軸かつ小径の開口６６ａを有する張出片として形成される。また、支持台６４は、中実のブロック体であり、その軸線方向一端面６４ａが当接面６８として作用する。

ホルダ６２と支持台６４とは、前者の内周面６２ｂを後者の外周面６４ｂに密に接触させて、図示しないボルト等の固定手段により相互に強固に固定される。なお、ホルダ６２及び支持台６４はいずれも、光学素子１２を所定位置に位置決めして安定保持するに十分な剛性を有する。ホルダ６２と支持台６４とを互いに適正に組み合わせた状態で、ホルダ６２の係止部６６は支持台６４の当接面６８の外周近傍部分に空間を介して対向する。光学素子１２は、環状外周面１８の大径円筒部分１８ａをホルダ６２の係止部６６と支持台６４の当接面６８との間の空間に挿入するとともに、小径円筒部分１８ｂをホルダ６２の係止部６６の開口６６ａに挿入して、ホルダ６２と支持台６４との間に受容される。

このようにして保持機構６０に光学素子１２を組み付けたときに、図示のようにホルダ６２は、光学素子１２の表面１４を、少なくとも係止部６６よりも外方に突出させた状態で、ホルダ６２の係止部６６と支持台６４の当接面６８との協働により、光学素子１２を所定位置に安定して保持するように構成される。このような構成を有する保持機構６０によっても、前述した保持機構１０と同等の作用効果が奏されることは理解されよう。

上記した種々の実施形態による保持機構１０、４０、５０、６０を搭載したレーザ機器（図示せず）は、光学素子１２を保持機構１０、４０、５０、６０から取り外すことなく光学素子１２の表面１４を容易に清掃できるものであるから、メンテナンスが容易になり、機器稼働率が大幅に向上する。

本発明の第１実施形態による光学素子保持機構を光学素子と共に示す断面図である。 本発明の第２実施形態による光学素子保持機構を光学素子と共に示す断面図である。 本発明の第３実施形態による光学素子保持機構を光学素子と共に示す断面図である。 本発明の第４実施形態による光学素子保持機構を光学素子と共に示す断面図である。 従来の光学素子保持機構を光学素子と共に示す断面図で、（ａ）透過型光学素子に適用される構成、及び（ｂ）反射型光学素子に適用される構成を示す。

符号の説明

１０、４０、５０、６０ 光学素子保持機構
１２ 光学素子
１４ 表面
１６ 裏面
１８ 環状外周面
２０、６６ 係止部
２２、６２ ホルダ
２４、５２、６８ 当接面
２６、５４、６４ 支持台
３４ 弾性シール部材

Claims (7)

1. 表面、該表面の反対側の裏面、及び該表面と該裏面との間の環状外周面を有する光学素子を、レーザ機器の所定位置に保持する光学素子保持機構において、
   前記光学素子の前記環状外周面を係止する係止部を有するホルダを具備し、
   前記ホルダは、前記光学素子の前記表面を、少なくとも前記係止部よりも外方に突出させた状態で、該光学素子を保持すること、
   を特徴とする光学素子保持機構。
2. 前記光学素子の前記裏面の少なくとも一部分に当接される当接面を有する支持台をさらに具備し、該支持台の該当接面が前記ホルダの前記係止部と協働して該光学素子を保持する、請求項１記載の光学素子保持機構。
3. 前記光学素子の前記環状外周面に当接される当接面を有する支持台をさらに具備し、該支持台の該当接面が前記ホルダの前記係止部と協働して、該光学素子の前記裏面を該当接面の反対側で外方に突出させた状態で、該光学素子を保持する、請求項１記載の光学素子保持機構。
4. 前記ホルダの前記係止部と前記光学素子の前記環状外周面との間に配置される弾性シール部材をさらに具備する、請求項１〜３のいずれか１項に記載の光学素子保持機構。
5. 前記光学素子は、前記環状外周面の中心に対称軸を配置した複数回の回転対称形状を有し、該環状外周面は、該対称軸に直交する複数の断面の寸法が互いに異なる非円筒輪郭を有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の光学素子保持機構。
6. 前記光学素子は、レーザ発振器に設置される出力ミラーである、請求項１〜５のいずれか１項に記載の光学素子保持機構。
7. 請求項１〜６のいずれか１項に記載の光学素子保持機構を具備することを特徴とするレーザ機器。

Images