JP2007266387A - レーザ発振器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ光を反射する円形状のミラー1と、ミラーを保持するホルダ2と、ミラー1を反射面側からホルダ2に押付け固定する弾性部材であるコイルバネ16とを備え、コイルバネ16は、ミラー1の質量、厚み、半径および縦弾性率ならびにミラー1とホルダ2との間の摩擦係数、レーザ光の波長および重力加速度に基づく式によって導出される押付力Fでミラー1を押付けた。
【選択図】図7
Description
図1は、この発明を実施するための実施の形態1におけるレーザ発振器のミラー取付け部の構成図である。図2は、図1に示すミラー取付け部のA−A断面図である。図1には、ホルダ2を図示していない。図1および図2において、ミラー1は、円形状をしており、レーザ発振器内部で発振されたレーザ光を反射する。ミラー1の反射面の向きを調整することによって、レーザ光の光軸を調整する。ミラー1は、ミラー保持部であるホルダ2の凹部に挿入されて、保持されている。ミラー1の2つの平面のうちのレーザ光が反射する面が反射面(板バネ3と接触する面)である。ミラー1の厚みを、ホルダ2の凹部の深さより大きくすることによって、ミラー1の反射面とホルダ2の板バネ取付け面との間に段差ができるようにしている。この段差が板バネ3のたわみ量Lに相当する。
図4は、この発明を実施するための実施の形態2におけるレーザ発振器のミラー取付け部の構成図である。図5は、図4に示したミラー取付け部のB−B断面図である。図4には、ホルダ2を図示していない。図4および図5において、ミラー取付け部は、ミラー押付板11を介してコイルバネ12によってミラー1をホルダ2に押付けていることが実施の形態1と異なる。図4および図5において、図1および図2と同一の符号を付したものは、同一またはこれに相当するものであり、このことは明細書の全文において共通することである。また、明細書全文に表れている構成要素の態様は、あくまで例示であってこれらの記載に限定されるものではない。
図6は、この発明を実施するための実施の形態3におけるレーザ発振器のミラー取付け部の構成図である。図7は、図6に示したミラー取付け部のC−C断面図である。図6には、ホルダ14を図示していない。図6および図7において、ホルダ14およびミラー押付板15に凸部を設けたことが実施の形態2と異なる。
図9は、この発明を実施するための実施の形態4におけるレーザ発振器のミラー取付け部の構成図である。図10は、図9に示したミラー取付け部のD−D断面図である。図9には、ホルダ2を図示していない。図9および図10において、コイルバネ23でミラー1を押付け固定したことが実施の形態3と異なる。
Claims (8)
- 弾性部材は、ミラー押付板を介してミラーを押付けたことを特徴とする請求項1に記載のレーザ発振器。
- ミラー押付板は、ドーナツ形状であることを特徴とする請求項2に記載のレーザ発振器。
- ミラー押付板は、ミラーの反射面の中心を円心とする同心円を略3分割した位置に対応して前記ミラー側に3つの突起を有することを特徴とする請求項2に記載のレーザ発振器。
- ミラー保持部は、ミラー押付板の突起に対応した位置に段差部を有することを特徴とする請求項4に記載のレーザ発振器。
- 弾性部材は、前記弾性部材を保持する弾性部材保持部とミラーとの間に設置されたことを特徴とする請求項1に記載のレーザ発振器。
- 弾性部材は、コイルバネを用いたことを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載のレーザ発振器。
- 弾性部材は、板バネを用いたことを特徴とする請求項1に記載のレーザ発振器。
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