JP2014085643A5 - - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims 19
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims 19
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims 16
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims 14
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims 12
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 8
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 7
- 150000004292 cyclic ethers Chemical class 0.000 claims 4
- 150000002391 heterocyclic compounds Chemical class 0.000 claims 3
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims 3
- 125000000732 arylene group Chemical group 0.000 claims 2
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims 2
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 claims 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 claims 2
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N acetaldehyde Diethyl Acetal Natural products CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 150000001241 acetals Chemical class 0.000 claims 1
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 claims 1
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims 1
- 125000004453 alkoxycarbonyl group Chemical group 0.000 claims 1
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 claims 1
- 125000005129 aryl carbonyl group Chemical group 0.000 claims 1
- 150000007514 bases Chemical class 0.000 claims 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 claims 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims 1
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 claims 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 claims 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 claims 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims 1
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 claims 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012237163A JP6100500B2 (ja) | 2012-10-26 | 2012-10-26 | 感光性転写材料、パターン形成方法およびエッチング方法 |
| PCT/JP2013/078404 WO2014065220A1 (ja) | 2012-10-26 | 2013-10-21 | 感光性転写材料、パターン形成方法およびエッチング方法 |
| US14/687,491 US9810984B2 (en) | 2012-10-26 | 2015-04-15 | Photosensitive transfer material, pattern formation method, and etching method |
| US15/470,110 US10289001B2 (en) | 2012-10-26 | 2017-03-27 | Pattern forming method, etching method and method for producing capacitance-type input device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012237163A JP6100500B2 (ja) | 2012-10-26 | 2012-10-26 | 感光性転写材料、パターン形成方法およびエッチング方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017038776A Division JP6397948B2 (ja) | 2017-03-01 | 2017-03-01 | 感光性転写材料、パターン形成方法およびエッチング方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014085643A JP2014085643A (ja) | 2014-05-12 |
| JP2014085643A5 true JP2014085643A5 (enExample) | 2016-05-19 |
| JP6100500B2 JP6100500B2 (ja) | 2017-03-22 |
Family
ID=50544600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012237163A Active JP6100500B2 (ja) | 2012-10-26 | 2012-10-26 | 感光性転写材料、パターン形成方法およびエッチング方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US9810984B2 (enExample) |
| JP (1) | JP6100500B2 (enExample) |
| WO (1) | WO2014065220A1 (enExample) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6100500B2 (ja) * | 2012-10-26 | 2017-03-22 | 富士フイルム株式会社 | 感光性転写材料、パターン形成方法およびエッチング方法 |
| JP6267951B2 (ja) | 2013-12-18 | 2018-01-24 | 富士フイルム株式会社 | 感光性転写材料、パターン形成方法およびエッチング方法 |
| JP6244463B2 (ja) * | 2014-07-15 | 2017-12-06 | 富士フイルム株式会社 | 積層材料の製造方法、積層材料、透明積層体の製造方法、透明積層体、静電容量型入力装置および画像表示装置 |
| JP6650696B2 (ja) | 2014-09-08 | 2020-02-19 | 信越化学工業株式会社 | ドライフィルム積層体の製造方法 |
| JP6507239B2 (ja) * | 2015-05-28 | 2019-04-24 | 富士フイルム株式会社 | 回路配線の製造方法、回路配線、入力装置および表示装置 |
| JP6574846B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2019-09-11 | 富士フイルム株式会社 | ドライフィルムレジスト、回路配線の製造方法、回路配線、入力装置および表示装置 |
| JP6502284B2 (ja) * | 2016-02-26 | 2019-04-17 | 富士フイルム株式会社 | 感光性転写材料及び回路配線の製造方法 |
| JP2017181895A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 東京応化工業株式会社 | 化学増幅型ポジ型感光性樹脂組成物 |
| JP6573721B2 (ja) * | 2016-06-10 | 2019-09-11 | 富士フイルム株式会社 | パターン付き基材の製造方法、及び、回路基板の製造方法 |
| JP6735171B2 (ja) * | 2016-07-22 | 2020-08-05 | 東京応化工業株式会社 | 高分子化合物の製造方法 |
| JP6620714B2 (ja) * | 2016-10-14 | 2019-12-18 | 信越化学工業株式会社 | フィルム材料及びパターン形成方法 |
| CN110337610A (zh) * | 2017-02-22 | 2019-10-15 | 富士胶片株式会社 | 感光性转印材料、电路配线的制造方法及触摸面板的制造方法 |
| JP6685461B2 (ja) * | 2017-02-22 | 2020-04-22 | 富士フイルム株式会社 | 感光性転写材料、回路配線の製造方法及びタッチパネルの製造方法 |
| CN110312965A (zh) * | 2017-03-30 | 2019-10-08 | 富士胶片株式会社 | 感光性转印材料以及电路配线的制造方法 |
| JP6830398B2 (ja) * | 2017-04-06 | 2021-02-17 | 富士フイルム株式会社 | 感光性転写材料用重合体溶液の製造方法、感光性転写材料用組成物の製造方法、感光性転写材料の製造方法、回路配線の製造方法、タッチパネルの製造方法、感光性転写材料用重合体溶液の製造に用いられる組成物、感光性転写材料用重合体溶液、感光性転写材料用組成物及び感光性転写材料 |
| CN111417900A (zh) * | 2018-01-24 | 2020-07-14 | 富士胶片株式会社 | 感光性转印材料及其制造方法、树脂图案的制造方法以及电路布线的制造方法 |
| JP7007308B2 (ja) * | 2019-02-01 | 2022-01-24 | 富士フイルム株式会社 | 感光性転写材料、樹脂パターンの製造方法、回路配線の製造方法、及び、タッチパネルの製造方法 |
| JPWO2019225363A1 (ja) * | 2018-05-22 | 2021-04-22 | 富士フイルム株式会社 | 感光性転写材料、樹脂パターンの製造方法、回路配線の製造方法、及び、タッチパネルの製造方法 |
| JP7065991B2 (ja) * | 2018-09-12 | 2022-05-12 | 富士フイルム株式会社 | 感光性転写材料、回路配線の製造方法、タッチパネルの製造方法、樹脂パターンの製造方法、及びフィルム |
| WO2021039187A1 (ja) * | 2019-08-27 | 2021-03-04 | 富士フイルム株式会社 | 転写フィルム、転写フィルムの製造方法、積層体の製造方法、積層体、タッチパネルセンサー、タッチパネル |
| WO2021105054A1 (en) * | 2019-11-25 | 2021-06-03 | Merck Patent Gmbh | Chemically amplified photoresist |
| JP7696328B2 (ja) * | 2020-02-21 | 2025-06-20 | 東京応化工業株式会社 | レジストパターン形成方法 |
| WO2021192058A1 (ja) * | 2020-03-24 | 2021-09-30 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、及び配線基板の製造方法 |
| JP2022051261A (ja) * | 2020-09-18 | 2022-03-31 | 富士フイルム株式会社 | 積層体の製造方法、反射防止部材、ｌｅｄディスプレイのフロント部材、転写フィルム |
| CN114276239B (zh) * | 2021-12-29 | 2023-10-27 | 徐州博康信息化学品有限公司 | 一种含缩酮结构酸敏感光刻胶树脂单体的制备方法 |
Family Cites Families (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| MY103006A (en) | 1987-03-30 | 1993-03-31 | Microsi Inc | Photoresist compositions |
| AT388145B (de) * | 1987-04-01 | 1989-05-10 | Bischofer Peter | Verfahren und einrichtung zum ueberwachen von ausstiegsplaetzen von schleppliften |
| JP2873889B2 (ja) * | 1991-01-29 | 1999-03-24 | 富士写真フイルム株式会社 | 感光性転写材料及び画像形成方法 |
| DE4202282A1 (de) * | 1991-01-29 | 1992-08-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | Lichtempfindliches uebertragungsmaterial und bilderzeugungsverfahren |
| JP3030672B2 (ja) * | 1991-06-18 | 2000-04-10 | 和光純薬工業株式会社 | 新規なレジスト材料及びパタ−ン形成方法 |
| TW538294B (en) * | 2000-12-04 | 2003-06-21 | Rohm Co Ltd | Liquid crystal display |
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| JP4502784B2 (ja) * | 2004-06-07 | 2010-07-14 | 富士フイルム株式会社 | カラーフィルター、カラーフィルターの製造方法、及び液晶表示装置 |
| KR101193824B1 (ko) | 2004-07-20 | 2012-10-24 | 시바 홀딩 인크 | 옥심 유도체 및 잠산으로서의 이의 용도 |
| KR101236100B1 (ko) | 2004-12-15 | 2013-02-21 | 가부시키가이샤 구라레 | 활성 에너지선 경화성 수지 조성물 및 그 용도 |
| JP4654938B2 (ja) | 2005-05-18 | 2011-03-23 | 日立化成工業株式会社 | ポジ型感光性樹脂組成物、並びに、それを用いた感光性エレメント、ポジ型レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 |
| JP5111742B2 (ja) * | 2005-07-11 | 2013-01-09 | 株式会社ジャパンディスプレイイースト | レジストおよびこれを用いた表示装置の製造方法 |
| JP2007163772A (ja) * | 2005-12-13 | 2007-06-28 | Kansai Paint Co Ltd | 回路基板用ポジ型レジスト組成物、回路基板用ポジ型ドライフィルム、及び、それを用いた回路基板の製造方法 |
| JP4654958B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2011-03-23 | Ｊｓｒ株式会社 | ポジ型感放射線性樹脂組成物、及び転写フィルム並びにメッキ造形物の製造方法 |
| WO2007125992A1 (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-08 | Asahi Kasei Emd Corporation | 感光性樹脂積層体 |
| JP4994136B2 (ja) * | 2006-07-26 | 2012-08-08 | 富士フイルム株式会社 | 感光性組成物、感光性樹脂転写フイルム及びフォトスペーサーの製造方法並びに液晶表示装置用基板、及び液晶表示装置 |
| JP4544219B2 (ja) | 2006-08-31 | 2010-09-15 | Ｊｓｒ株式会社 | ポジ型感放射線性樹脂組成物、転写フィルムおよびメッキ造形物の製造方法 |
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| JP4884951B2 (ja) * | 2006-12-15 | 2012-02-29 | 東京応化工業株式会社 | 厚膜用化学増幅型ポジ型ホトレジスト組成物及び厚膜レジストパターンの製造方法 |
| JP2008250062A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 厚膜用化学増幅型ポジ型ホトレジスト組成物及び厚膜レジストパターンの製造方法 |
| JP5116529B2 (ja) * | 2008-03-28 | 2013-01-09 | 三洋化成工業株式会社 | 感光性樹脂組成物 |
| JP5446145B2 (ja) * | 2008-06-30 | 2014-03-19 | Ｊｓｒ株式会社 | メッキ造形物製造用ポジ型感放射線性樹脂組成物、転写フィルムおよびメッキ造形物の製造方法 |
| JP5497312B2 (ja) | 2009-03-12 | 2014-05-21 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | フレキシブルプリント配線基板 |
| JP6100500B2 (ja) * | 2012-10-26 | 2017-03-22 | 富士フイルム株式会社 | 感光性転写材料、パターン形成方法およびエッチング方法 |
-
2012
- 2012-10-26 JP JP2012237163A patent/JP6100500B2/ja active Active
-
2013
- 2013-10-21 WO PCT/JP2013/078404 patent/WO2014065220A1/ja not_active Ceased
-
2015
- 2015-04-15 US US14/687,491 patent/US9810984B2/en active Active
-
2017
- 2017-03-27 US US15/470,110 patent/US10289001B2/en active Active