JP2014072359A - 基板処理装置、基板搬送方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板Wに対して処理を行う基板処理装置1において、複数の処理モジュール2は、少なくとも第1処理部材及び第2処理部材を備え、基板搬送機構15、17は、複数の処理モジュール2に基板Wを搬送する。基板処理装置1を制御する制御部は、複数の処理モジュール2に備えられた第1処理部材と第2処理部材が使用可能か否かに関する部材使用可能情報を記憶し、基板Wに対して実施する処理に関する処理レシピ情報と前記部材使用可能情報とに基づいて、前記基板搬送機構15、17が複数の処理モジュール2に並列的に基板Wを搬送する搬送スケジュールを作成する。
【選択図】図2
Description
少なくとも第1処理部材及び第2処理部材を備えた複数の処理モジュールと、
前記複数の処理モジュールに基板を搬送する基板搬送機構と、
前記基板処理装置を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記複数の処理モジュールに備えられた前記第1処理部材と前記第2処理部材が使用可能か否かに関する部材使用可能情報を記憶することと、基板に対して実施する処理に関する処理レシピ情報と前記部材使用可能情報とに基づいて、前記基板搬送機構が前記複数の処理モジュールに並列的に基板を搬送する搬送スケジュールを作成することを特徴とする。
(a)基板に対して実施する処理レシピを記憶するレシピ記憶部をさらに備えること。
(b)前記部材使用可能情報は、前記第1処理部材及び第2処理部材のうちの少なくとも一方が使用不可能と判断された処理モジュール(トラブルモジュール)と、第1処理部材及び第2処理部材の各々について実施可能か否かと、を対応付けた情報であること。さらに、前記制御部は、前記処理レシピに含まれる処理種別と前記部材使用可能情報とを照合し、前記処理種別の中に、前記トラブルモジュールにおける実施可能ではない処理が含まれている場合、前記トラブルモジュールを搬送除外モジュールとして搬送スケジュールから外すこと。または、前記制御部は、前記部材使用可能情報に基づいて前記トラブルモジュールを搬送除外モジュールとして決定することと、前記処理レシピに含まれる処理種別の中に、前記トラブルモジュールにおける実施可能ではない処理が含まれていない場合、前記トラブルモジュールを搬送除外モジュールから外すこと。
(c)前記第1処理部材及び第2処理部材は、二流体洗浄処理、スクラブ洗浄処理、基板の裏面洗浄処理、薬液洗浄処理、塗布現像処理、めっき処理からなる処理群から選択され、基板に対して処理を行う部材であること。
図5に例示したCJ、PJの設定、確認画面に示すように、CJには、各CJの個別番号であるIDと、当該IDを持つCJが設定されるFOUP1〜4を特定する情報が含まれる。
図6に示すように、新たなFOUP1〜4が搬送されてくる前に(スタート)、制御部3はトラブルモジュール及び除外処理の情報を取得し、これらを特定する情報(M1〜8、処理A、B)を対応付けて記憶部31に記憶する(ステップS11、処理実施可否判断工程)。
図7は、このステップS14におけるPJの設定動作のうち、ある1枚のウエハWのPJに対してレシピ及び搬送除外モジュールを設定する動作の流れを抜き出したフロー図である。例えばFOUP1の最上段のスロットから順にPJの設定を行う場合に、次のウエハWにPJを設定する順番となったら(スタート)、制御部3は、そのウエハWに実施されるべき処理の種類に応じてレシピを選択しPJの設定を行う(ステップS141)。図5に示す例では、制御部3は、ウエハW1〜5のPJには二流体洗浄処理(処理A)を含むレシピを設定し、ウエハW6〜10のPJにはスクラブ洗浄処理(処理B)を含むレシピ設定する。また、ウエハW11〜15のPJには二流体洗浄処理、スクラブ洗浄処理(処理A、B)を含むレシピを設定する。
一方、トラブルモジュールが存在する場合には(ステップS142;YES)、制御部3は、そのトラブルモジュールと対応付けられて記憶されている除外処理の種類と、PJに設定された処理の種類とを照合する(ステップS143)。
図5に示す例では、ウエハW6〜10に設定されているPJ2には、搬送除外モジュールは設定されていない。そこで、制御部3は、全ての洗浄モジュール2の中から搬送先を選択することができるので、ウエハWの処理を行っていない洗浄モジュール2であるM5、7、8のうち、符号の小さなM5を搬送先に選ぶ。次いで、制御部3は、ウエハWの処理を行っていないM7、8、ウエハW1、2の処理を終えたM1、2の順に、ウエハW7〜10の搬送先を選択する。
こうして設定されたPJ1〜3に基づき(図12)、制御部3はPJに指定解除モジュールの情報があれば(図15のステップS262;YES)、指定解除された洗浄モジュール2と、その他のトラブルモジュールを除いた洗浄モジュール2との中から、搬送先を選択する(ステップS263)。即ち、指定解除モジュールに設定されたトラブルモジュールは、搬送除外モジュールから外されて、搬送スケジュールに含まれることになる。一方、指定解除モジュールの情報がなければ(ステップS262;NO)、制御部3は、トラブルモジュールを除いた洗浄モジュール2の中から搬送先を選択する(ステップS264)。
また、第2の実施の形態に関わる洗浄装置1においても、図11に示した例と同様に全てのPJ1、2に対して指定解除するモジュールを特定する情報を、実施可能な処理の種類と共に設定し、搬送スケジュールの作成時に各PJに設定されている処理の種類との照合を行ってもよいことは勿論である。
1 洗浄装置
2 洗浄モジュール
21 二流体洗浄処理部
22 スクラブ洗浄処理部
3 制御部
31 記憶部
Claims (11)
- 基板に対して処理を行う基板処理装置において、
少なくとも第1処理部材及び第2処理部材を備えた複数の処理モジュールと、
前記複数の処理モジュールに基板を搬送する基板搬送機構と、
前記基板処理装置を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記複数の処理モジュールに備えられた前記第1処理部材と前記第2処理部材が使用可能か否かに関する部材使用可能情報を記憶することと、基板に対して実施する処理に関する処理レシピ情報と前記部材使用可能情報とに基づいて、前記基板搬送機構が前記複数の処理モジュールに並列的に基板を搬送する搬送スケジュールを作成することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に対して実施する処理レシピを記憶するレシピ記憶部をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記部材使用可能情報は、前記第1処理部材及び第2処理部材のうちの少なくとも一方が使用不可能と判断された処理モジュール(トラブルモジュール)と、第1処理部材及び第2処理部材の各々について実施可能か否かと、を対応付けた情報であることを特徴とする請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記処理レシピに含まれる処理種別と前記部材使用可能情報とを照合し、前記処理種別の中に、前記トラブルモジュールにおける実施可能ではない処理が含まれている場合、前記トラブルモジュールを搬送除外モジュールとして搬送スケジュールから外すことを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記部材使用可能情報に基づいて前記トラブルモジュールを搬送除外モジュールとして決定することと、前記処理レシピに含まれる処理種別の中に、前記トラブルモジュールにおける実施可能ではない処理が含まれていない場合、前記トラブルモジュールを搬送除外モジュールから外すことを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記第1処理部材及び第2処理部材は、二流体洗浄処理、スクラブ洗浄処理、基板の裏面洗浄処理、薬液洗浄処理、塗布現像処理、めっき処理からなる処理群から選択され、基板に対して処理を行う部材であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 少なくとも第1処理及び第2処理を基板に対して実施可能な複数の処理モジュールにおいて、同一の処理を基板に対して並列的に行うための基板搬送方法であって、
前記複数の処理モジュールにおいて、前記第1処理及び前記第2処理がそれぞれ実施可能か否かを判断する処理実施可否判断工程と、
前記処理実施可否判断工程の後、基板について実施すべき処理に関する処理レシピと前記処理実施可否判断工程での判断結果とに基づき、基板搬送機構が前記複数の処理モジュールに並列的に基板を搬送する搬送スケジュールを作成する搬送スケジュール作成工程と、
前記搬送容器内の基板を前記搬送スケジュールに基づき処理モジュールに搬送して処理を行う処理工程と、を含み、
前記搬送スケジュールは、前記実施可否判断工程で実施できないと判断された前記処理モジュールには基板を搬送せず、実施できると判断された前記処理モジュールに基板を搬送するように作成されることを特徴とする基板搬送方法。 - 前記第1処理及び第2処理のうちの少なくとも一方が実施できないと判断された処理モジュール(トラブルモジュール)と、前記第1処理及び前記第2処理の各々に対する前記処理実施可否判断工程での判断結果と、を対応付けて記憶する記憶工程を含み、
前記搬送スケジュール作成工程において、基板について実施すべき処理に関する処理レシピと前記記憶工程において記憶したデータとに基づき、搬送スケジュールを作成することを特徴とする請求項7に記載の基板搬送方法。 - 前記搬送スケジュール作成工程は、処理レシピに含まれる処理種別と前記記憶工程で記憶したデータとを照合し、前記処理種別の中に、前記トラブルモジュールにおける実施可能ではない処理が含まれている場合は、前記トラブルモジュールを搬送除外モジュールとして搬送スケジュールから外す工程を含むことを特徴とする請求項8に記載の基板搬送方法。
- 前記記憶工程で記憶したデータに基づいて前記トラブルモジュールを搬送除外モジュールとして決定する工程を含み、
前記搬送スケジュール作成工程は、前記処理レシピに含まれる処理種別の中に、前記トラブルモジュールにおける実施可能ではない処理が含まれていない場合、前記トラブルモジュールを搬送除外モジュールから外して搬送スケジュールに含める工程を含むことを特徴とする請求項8に記載の基板搬送方法。 - 基板に対して処理を行う基板処理装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶する記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項7ないし10のいずれか一つに記載された基板搬送方法を実行するようにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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