JP2001230168A

JP2001230168A - 生産管理方法

Info

Publication number: JP2001230168A
Application number: JP2000037693A
Authority: JP
Inventors: Shingo Yamaguchi; 新吾山口
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2000-02-16
Filing date: 2000-02-16
Publication date: 2001-08-24

Abstract

(57)【要約】【課題】トラブル時に装置が部分的にウエハ処理可能な
場合、ロット滞留防止、ロットＴＡＴの短縮化、ロット
納期遵守を図り得る生産管理方法を提供する。【解決手段】装置状態信号を装置から収集し（１０
５）、トラブル情報を登録して装置の稼動状態を設定し
（１１０、１１５）、正常稼動ではないと判定された場
合（１２０）、装置状態信号かトラブル情報を基に装置
のウエハ処理能力を０以上かつ１よりも小さい実数値と
して計算し（１２５）、ウエハ処理能力が０よりも大き
い場合で（１３０）、さらにトラブル発生直後に処理可
能ロットが存在する場合（２０５）、装置の稼動状態を
トラブル時稼動可能状態と設定し（１３５）、装置制御
手順設定（１４０）、送信（１４５）、指示をする（１
５０）。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、装置を自動的に制
御し、また作業者へ作業を指示する生産管理方法に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】図１６は従来の生産管理装置の構成を示
すものであり、図１６において、１６００は生産管理装
置の機能構成、５１０はキーボードなどの入力手段、５
１５はＣＲＴデイスプレイなどの表示手段、５０５は半
導体製造、あるいは検査装置、５２０は装置でのウエハ
処理待機時、ウエハ処理時、異常発生時などの状態を示
す信号を装置から収集する装置状態信号収集手段、５２
５はトラブル発生装置、発見者、発生日時、内容、復旧
作業開始予定日時、復旧予定日時、復旧日時などのトラ
ブルに関する情報を登録するトラブル情報登録手段、５
３０は装置状態信号収集手段５２０で収集された装置状
態信号とトラブル情報登録手段５２５で登録されたトラ
ブル情報とから装置の稼動状態を設定する装置稼動状態
設定手段、５５０は装置稼動状態設定手段５３０で装置
稼動状態がトラブル状態に設定された場合、トラブル時
専用の装置制御手順を設定する装置制御手順設定手段、
５６０は装置制御手順設定手段５５０で設定された装置
制御手順に従って装置制御信号を装置へ送信する装置制
御信号送信手段、５５５は作業者に対して作業指示内容
を指示する作業指示手段である。以上のように構成され
た従来の生産管理装置においては、装置５０５から自動
的に収集された装置状態信号収集手段５２０のウエハ処
理待機時、ウエハ処理時、異常発生時などの状態を示す
信号と、他方で作業者がキーボードなどの入力手段５１
０を使って登録されたトラブル情報登録手段５２５のト
ラブル発生装置、発見者、発生日時、内容、復旧作業開
始予定日時、復旧予定日時、復旧日時などのトラブルに
関する情報とから、装置稼動状態設定手段５３０により
装置の稼動状態を設定する。装置がトラブル状態に陥っ
た場合、作業者はＣＲＴデイスプレイなどの表示手段５
１５に指示された装置稼動状態に関する情報を基に、作
業指示手段５５５によりトラブル時の作業指示内容を検
索して表示手段５１５などに指示したり、装置制御手順
設定手段５５０によりトラブル時の装置の自動的な制御
の為の装置制御手順を設定したりする。そして、装置制
御手順設定手段５５０で設定された装置制御手順に従っ
て装置制御信号送信手段５６０により装置制御信号を装
置へ送信する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら装置を自
動的に制御し、また作業者へ作業を指示する従来の生産
管理装置では、装置から受信した装置の稼動状態信号
（正常稼動、異常、停止など）により装置の稼動状態を
設定し、トラブル時における装置のウエハ処理能力を考
慮して装置の稼動状態を設定していないので、装置から
異常という稼動状態信号を受信した場合、装置がトラブ
ルに陥りウエハが処理不可能となったと認識されて、装
置が部分的にでもウエハ処理可能にも関わらずウエハを
処理できないという問題を有していた。

【０００４】その結果、トラブルに陥った装置で処理を
待っているロットの滞留が発生しロットＴＡＴの長期
化、ロットの納期遅れという問題を有していた。したが
って、従来の生産管理装置では、装置から異常という稼
動状態信号を受信した場合でも、トラブル時における装
置のウエハ処理能力を考慮して装置の稼動状態を設定
し、装置が部分的にでもウエハ処理可能な場合はウエハ
を処理できるように装置を制御したり作業者へ作業を指
示することで、ロットの滞留を防止しロットＴＡＴの短
縮化、ロットの納期遵守を達成しなければならないとい
う課題を有していた。

【０００５】本発明は、装置から異常という稼動状態信
号を受信した場合でも、トラブル時における装置のウエ
ハ処理能力を考慮して装置の稼動状態を設定し、装置が
部分的にでもウエハ処理可能な場合は、ウエハを処理で
きるように装置を制御したり作業者へ作業を指示するこ
とで、ロットの滞留を防止しロットＴＡＴの短縮化、ロ
ットの納期遵守を達成することができる生産管理方法を
提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の生産管理
方法は、装置制御手順に従って装置を自動的に制御する
とともに、作業指示内容に従って作業者に作業を指示す
る生産管理方法であって、装置でのウエハ処理待機時、
ウエハ処理時、異常発生時を含む状態を示す信号を装置
から収集する装置状態信号収集工程と、トラブル発生装
置、発見者、発生日時、内容、復旧作業開始予定日時、
復旧予定日時、復旧日時を含むトラブルに関する情報を
登録するトラブル情報登録工程と、装置状態信号収集工
程で収集された装置状態信号とトラブル情報登録工程で
登録されたトラブル情報とから装置の稼動状態を設定す
る装置稼動状態設定工程と、この装置稼動状態設定工程
で設定された装置稼動状態が正常稼動か否かを判定する
装置稼動状態判定工程と、この装置稼動状態判定工程で
装置稼動状態が正常稼動ではないと判定された場合、装
置状態信号収集工程で収集された装置状態信号か、ある
いはトラブル情報登録工程で登録されたトラブル情報を
基に装置のウエハ処理能力を０以上かつ１よりも小さい
実数値として計算するウエハ処理能力計算工程と、この
ウエハ処理能力計算工程で計算した装置のウエハ処理能
力が０に等しいか、０よりも大きいかを判定するウエハ
処理能力判定工程と、ウエハ処理能力が０に等しい場
合、装置稼動状態をトラブル時稼動不能状態に設定し、
一方、ウエハ処理能力が０よりも大きい場合、装置稼動
状態をトラブル時稼動可能状態に設定する装置稼動状態
更新工程と、この装置稼動状態更新工程で装置稼動状態
がトラブル時稼動可能状態に設定された場合、トラブル
時稼動可能状態専用の装置制御手順を設定する装置制御
手順設定工程と、この装置制御手順設定工程で設定され
た装置制御手順に従って装置制御信号を装置へ送信する
装置制御信号送信工程と、装置制御手順設定工程で設定
された装置制御手順に従って作業者に対して作業指示を
する作業指示工程とを含むものである。

【０００７】請求項１記載の生産管理方法によれば、装
置を自動的に制御し、また作業者へ作業を指示する生産
管理方法において、まず、装置から収集したウエハ処理
待機時、ウエハ処理時、異常発生時などの状態を示す信
号と、トラブル発生装置、発見者、発生日時、内容、復
旧作業開始予定日時、復旧予定日時、復旧日時などのト
ラブルに関する情報とから装置の稼動状態を設定し、装
置稼動状態が正常稼動ではないと判定された場合、装置
状態信号か、あるいはトラブル情報を基に装置のウエハ
処理能力を０以上かつ１よりも小さい実数値として計算
する。ウエハ処理能力が０よりも大きい場合、かつ、ト
ラブル発生直後に処理可能ロットが存在する場合、装置
の稼動状態をトラブル時稼動可能状態と設定する。装置
稼動状態がトラブル時稼動可能状態に設定された場合、
トラブル時稼動可能状態専用の装置制御手順を設定し、
設定された装置制御手順に従って装置制御信号を装置へ
送信し装置を自動的に制御したり、作業者に対して作業
指示をする。

【０００８】これにより、トラブル時における装置のウ
エハ処理能力を考慮して装置の稼動状態を設定すること
ができるので、装置から異常という稼動状態信号を受信
した場合でも、装置が部分的にウエハ処理可能と認識し
トラブル時の処理能力に応じてウエハを処理できるよう
に装置を自動的に制御したり作業者へ作業を指示するこ
とができ、常に装置のウエハ処理能力を最大限に活用す
ることができる。

【０００９】その結果、トラブルに陥った装置で処理を
待っているロットの滞留を防止でき、ロットＴＡＴの短
縮化、ロットの納期遵守を実現できる。

【００１０】請求項２記載の生産管理方法は、装置制御
手順に従って装置を自動的に制御するとともに、作業指
示内容に従って作業者に作業を指示する生産管理方法で
あって、装置でのウエハ処理待機時、ウエハ処理時、異
常発生時などの状態を示す信号を装置から収集する装置
状態信号収集工程と、トラブル発生装置、発見者、発生
日時、内容、復旧作業開始予定日時、復旧予定日時、復
旧日時などのトラブルに関する情報を登録するトラブル
情報登録工程と、装置状態信号収集工程で収集された装
置状態信号とトラブル情報登録工程で登録されたトラブ
ル情報とから装置の稼動状態を設定する装置稼動状態設
定工程と、この装置稼動状態設定工程で設定された装置
稼動状態が正常稼動か否かを判定する装置稼動状態判定
工程と、この装置稼動状態判定工程で装置稼動状態が正
常稼動ではないと判定された場合、装置状態信号収集工
程で収集された装置状態信号か、あるいはトラブル情報
登録工程で登録されたトラブル情報を基に装置のウエハ
処理能力を０以上かつ１よりも小さい実数値として計算
するウエハ処理能力計算工程と、このウエハ処理能力計
算工程で計算した装置のウエハ処理能力が０に等しい
か、０よりも大きいかを判定するウエハ処理能力判定工
程と、ウエハ処理能力が０よりも大きい場合、トラブル
発生直後に処理可能な待ちロットが存在するか否かを判
定する処理可能ロット判定工程と、ウエハ処理能力判定
工程でウエハ処理能力が０に等しいか、または、処理可
能ロット判定工程で処理可能ロットが存在しない場合、
装置の稼動状態をトラブル時稼動不能状態と設定し、一
方、処理可能ロット判定工程で処理可能ロットが存在す
る場合、装置の稼動状態をトラブル時稼動可能状態と設
定する装置稼動状態更新工程と、この装置稼動状態更新
工程で装置稼動状態がトラブル時稼動可能状態に設定さ
れた場合、トラブル時稼動可能状態専用の装置制御手順
を設定する装置制御手順設定工程と、この装置制御手順
設定工程で設定された装置制御手順に従って装置制御信
号を装置へ送信する装置制御信号送信工程と、装置制御
手順設定工程で設定された装置制御手順に従って作業者
に対して作業指示をする作業指示工程とを含むものであ
る。

【００１１】請求項２記載の生産管理方法によれば、請
求項１と同様な効果がある。

【００１２】請求項３記載の生産管理方法は、請求項２
において、処理可能ロット判定工程が、トラブル発生直
後にトラブル復旧作業を開始することが不可能な場合、
トラブル情報登録工程で登録されたトラブル復旧作業開
始予定日時を抽出するトラブル復旧作業開始予定日時抽
出工程と、トラブルが発生している装置において、装置
が正常稼動する場合の待ちロットのサイクル時間を抽出
するロットサイクル時間抽出工程と、このロットサイク
ル時間抽出工程から抽出された待ちロットのサイクル時
間を基に、トラブルが発生してウエハの処理が部分的に
可能な状態の装置での待ちロット処理終了予定日時を計
算するロット処理終了予定日時計算工程と、トラブル復
旧作業開始予定日時抽出工程で抽出されたトラブル復旧
作業開始予定日時とロット処理終了予定日時計算工程で
計算された待ちロット処理終了予定日時とを比較する日
時比較工程と、この日時比較工程で処理終了予定日時が
トラブル復旧作業開始予定日時に等しいか先の場合の待
ちロットをトラブル時稼動可能状態で処理可能なロット
として設定する処理可能ロット設定工程と、この処理可
能ロット設定工程で処理可能な待ちロットが設定されて
いるかどうかを検出する処理可能ロット検出工程とを含
むものである。

【００１３】請求項３記載の生産管理方法によれば、請
求項２と同様な効果がある。

【００１４】請求項４記載の生産管理方法は、請求項２
において、処理可能ロット判定工程は、トラブル発生直
後にトラブル復旧作業を開始することが可能な場合、待
ちロットの納期を抽出するロット納期抽出工程と、トラ
ブルが発生している装置において、トラブル発生直後に
トラブル復旧作業を開始した場合の待ちロットの完了予
定日時を計算するロット完了予定日時計算工程と、ロッ
ト納期抽出工程から抽出された待ちロットの納期とロッ
ト完了予定日時計算工程で計算された待ちロット完了予
定日時とを比較する第１の日時比較工程と、この第１の
日時比較工程で完了予定日時が納期よりも後の場合の待
ちロットをトラブル時稼動可能状態で処理可能なロット
の候補として設定する処理可能候補ロット設定工程と、
この処理可能候補ロット設定工程で設定されたトラブル
時稼動可能状態で処理可能なロットの候補について、処
理終了予定日時を計算するロット処理終了予定日時計算
工程と、装置の次回のメンテナンス予定日時を抽出する
メンテナンス予定日時抽出工程と、ロット処理終了予定
日時計算工程で計算された処理可能候補ロットの処理終
了予定日時とメンテナンス予定日時抽出工程で抽出され
た装置の次回のメンテナンス予定日時とを比較する第２
の日時比較工程と、この第２の日時比較工程で処理終了
予定日時が次回メンテナンス予定日時に等しいか先の場
合の処理可能候補ロットをトラブル時稼動可能状態で処
理可能なロットとして設定する処理可能ロット設定工程
と、この処理可能ロット設定工程で設定された処理可能
な待ちロットが設定されているかどうかを検出する処理
可能ロット検出工程とを含むものである。

【００１５】請求項４記載の生産管理方法によれば、請
求項２と同様な効果がある

【００１６】

【発明の実施の形態】以下本発明の第１の実施の形態に
ついて、図面を参照しながら説明する。

【００１７】図２は本発明の実施の形態における生産管
理装置の構成を示すものであり、図２において、５００
は生産管理装置の機能構成、５２０は装置でのウエハ処
理待機時、ウエハ処理時、異常発生時などの状態を示す
信号を装置から収集する装置状態信号収集手段、５２５
はトラブル発生装置、発見者、発生日時、内容、復旧作
業開始予定日時、復旧予定日時、復旧日時などのトラブ
ルに関する情報を登録するトラブル情報登録手段、５３
０は装置状態信号収集手段５２０で収集された装置状態
信号とトラブル情報登録手段５２５で登録されたトラブ
ル情報とから装置の稼動状態を設定する装置稼動状態設
定手段、５３５は装置稼動状態設定手段５３０で設定さ
れた装置稼動状態が正常稼動か否かを判定する装置稼動
状態判定手段、５４０は装置稼動状態判定手段５３５で
装置稼動状態が正常稼動ではないと判定された場合、装
置状態信号収集手段５２０で収集された装置状態信号
か、あるいはトラブル情報登録手段５２５で登録された
トラブル情報を基に装置のウエハ処理能力を０以上かつ
１よりも小さい実数値として計算するウエハ処理能力計
算手段、５４５はウエハ処理能力計算手段５４０で計算
した装置のウエハ処理能力が０に等しいか、０よりも大
きいかを判定するウエハ処理能力判定手段、５５０は装
置稼動状態設定手段５３０で、ウエハ処理能力が０に等
しい場合、装置稼動状態をトラブル時稼動不能状態に設
定し、一方、ウエハ処理能力が０よりも大きい場合、装
置稼動状態をトラブル時稼動可能状態に設定し直し、そ
の後、装置稼動状態がトラブル時稼動可能状態に設定さ
れた場合、トラブル時稼動可能状態専用の装置制御手順
を設定する装置制御手順設定手段、５６０は装置制御手
順設定手段５５０で設定された装置制御手順に従って装
置制御信号を装置へ送信する装置制御信号送信手段、５
５５は装置制御手順設定手段５５０で設定された装置制
御手順に従って作業者に対して作業指示をする作業指示
手段である。

【００１８】以上のように構成された生産管理装置につ
いて、以下その動作を説明する。

【００１９】まず、図１は本発明の第１の実施の形態に
おける生産管理方法のフローチャート１００を示すもの
であり、図１において、ステップ１０５は装置でのウエ
ハ処理待機時、ウエハ処理時、異常発生時などの状態を
示す信号を装置から収集する装置状態信号収集工程、ス
テップ１１０はトラブル発生装置、発見者、発生日時、
内容、復旧作業開始予定日時、復旧予定日時、復旧日時
などのトラブルに関する情報を登録するトラブル情報登
録工程、ステップ１１５は装置状態信号収集工程１０５
で収集された装置状態信号とトラブル情報登録工程１１
０で登録されたトラブル情報とから装置の稼動状態を設
定する装置稼動状態設定工程、ステップ１２０は装置稼
動状態設定工程１１５で設定された装置稼動状態が正常
稼動か否かを判定する装置稼動状態判定工程、ステップ
１２５は装置稼動状態判定工程１２０で装置稼動状態が
正常稼動ではないと判定された場合、装置状態信号収集
工程１０５で収集された装置状態信号か、あるいはトラ
ブル情報登録工程１１０で登録されたトラブル情報を基
に装置のウエハ処理能力を０以上かつ１よりも小さい実
数値として計算するウエハ処理能力計算工程、ステップ
１３０はウエハ処理能力計算工程１２５で計算した装置
のウエハ処理能力が０に等しいか、０よりも大きいかを
判定するウエハ処理能力判定工程、ステップ１３５はウ
エハ処理能力が０に等しい場合、装置稼動状態をトラブ
ル時稼動不能状態に設定し、一方、ウエハ処理能力が０
よりも大きい場合、装置稼動状態をトラブル時稼動可能
状態に設定する、装置稼動状態更新工程、ステップ１４
０は装置稼動状態更新工程１３５で装置稼動状態がトラ
ブル時稼動可能状態に設定された場合、トラブル時稼動
可能状態専用の装置制御手順を設定する装置制御手順設
定工程、ステップ１４５は装置制御手順設定工程１４０
で設定された装置制御手順に従って装置制御信号を装置
へ送信する装置制御信号送信工程、ステップ１５０は装
置制御手順設定工程１４０で設定された装置制御手順に
従って作業者に対して作業指示をする作業指示工程であ
る。

【００２０】図７は本発明の実施の形態における装置稼
動状態信号７００を示すものである。ウエハ処理開始、
ウエハ処理終了、ウエハ処理待ち、異常発生などの装置
の状態に対応する信号をＰ−１、Ｐ−２、Ｐ−３、Ｅ−
１と定義している。

【００２１】図８は本発明の実施の形態における装置１
にて発生したトラブル１に関する情報（８００）を示す
ものである。

【００２２】図９は本発明の実施の形態における詳細な
装置状態信号９００の例としてスロット番号１〜２５の
正常、異常を示すものである。正常をＯＫ、異常をＮＧ
と表示している。

【００２３】図１０は本発明の実施の形態における装置
稼動状態１０００を示すものである。トラブル状態をウ
エハ処理可能なトラブル（状態識別符号１、状態識別符
号２）＝（１、１）と、ウエハ処理不可能なトラブル
（状態識別符号１、状態識別符号２）＝（１，２）とに
区分している。

【００２４】図１１は本発明の実施の形態における装置
制御手順情報１１００を示す例としてスロット番号１〜
２５の使用可能、使用不可能を示すものである。使用可
能を０（＝ＯＫ）、使用不可能を１（＝ＮＧ）と定義し
ている。

【００２５】装置状態信号収集工程１０５にて、装置状
態信号収集手段５２０が装置１（８００）から異常発生
時の状態を示す信号７００の（Ｅ−１）を収集した場合
を説明する。

【００２６】まず、トラブル情報登録工程１１０にて、
トラブル１に関する情報８００、すなわちトラブル名＝
トラブル１、トラブル装置名＝装置１、トラブル発生日
時＝Ｔ１０、トラブル発見者名＝松下太郎、トラブル復
旧作業開始予定日時＝Ｔ１２、トラブル復旧予定日時＝
Ｔ１４、トラブル内容、トラブル原因、トラブル復旧作
業と、詳細な装置状態信号９００として収集したスロッ
ト番号１〜２５の正常、異常を示す情報（正常をＯＫ、
異常をＮＧ）を登録する。

【００２７】次に、装置稼動状態設定工程１１５にて、
装置状態信号収集工程１０５で収集された装置状態信号
７００の（Ｅ−１）から装置の稼動状態をトラブル（状
態識別符号１＝１）と設定する。

【００２８】次に、装置稼動状態判定工程１２０にて、
装置稼動状態設定工程１１５で設定された装置稼動状態
が正常稼動か否かを状態識別符号１を用いて判定する。
ここでは、装置１は状態識別符号１＝１なのでトラブル
と判定する。

【００２９】次に、装置稼動状態がトラブルと判定され
たので、ウエハ処理能力計算工程１２５にて、装置状態
信号収集工程１０５で収集された装置状態信号９００
か、あるいはトラブル情報登録工程１１０で登録された
トラブル情報８００を基に装置のウエハ処理能力を０以
上かつ１よりも小さい実数値として計算する。ここで
は、スロット番号１〜２５までの中で、１〜２０までが
ＯＫで、２１から２５までがＮＧであるので、ウエハ処
理能力は、５／２５＝０．２と計算される。

【００３０】次に、ウエハ処理能力判定工程１３０に
て、ウエハ処理能力計算工程１２５で計算した装置のウ
エハ処理能力が０に等しいか、０よりも大きいかを判定
する。ここでは、ウエハ処理能力＝０．２であり、０よ
りも大きいと判定する。

【００３１】次に、ウエハ処理能力が０よりも大きいと
判定されたので、装置稼動状態更新工程１３５にて、装
置稼動状態をトラブル時稼動可能状態（状態識別符号
１、状態識別符号２）＝（１、２）と設定する。

【００３２】次に、装置稼動状態更新工程１３５で装置
稼動状態がトラブル時稼動可能状態（状態識別符号１、
状態識別符号２）＝（１、２）と設定されたので、装置
制御手順設定工程１４０にて、トラブル時稼動可能状態
専用の装置制御手順を設定する。ここでは、スロット番
号１〜２５の中で、１〜２０までを使用可能（０＝Ｏ
Ｋ）、２１〜２５までを使用不可能（１＝ＮＧ）という
情報を設定している。

【００３３】次に、装置制御信号送信工程１４５にて、
装置制御手順設定工程１４０で設定された装置制御手順
情報１１００に従って装置制御信号を装置１へ送信す
る。ここでは、スロット番号１〜２０までが使用可能と
いう装置制御手順情報１１００が送信された装置は、１
〜２０までのスロットのみ存在するものとして制御され
る。

【００３４】また、作業指示工程１５０にて、装置制御
手順設定工程１４０で設定された装置制御手順情報１１
００に従って作業者に対して作業指示をする。ここで
は、装置１はトラブルであるがウエハの処理が可能であ
ることを指示するとともに、２１枚以上のウエハで構成
されたロットを自動的に２つ以上のロットに分割し、こ
れらの必要に応じて分割されたロットについての処理を
指示する。

【００３５】以上のように、第１の実施の形態によれ
ば、装置稼動状態が正常稼動ではないと判定された場合
でも、装置状態信号収集工程１０５で収集された装置状
態信号７００か、あるいはトラブル情報登録工程１１０
で登録されたトラブル情報８００、９００を基に装置の
ウエハ処理能力を０以上かつ１よりも小さい実数値とし
て計算するウエハ処理能力計算工程１２５と、ウエハ処
理能力計算工程１２５で計算した装置のウエハ処理能力
が０に等しいか、０よりも大きいかを判定するウエハ処
理能力判定工程１３０と、ウエハ処理能力が０に等しい
場合、装置稼動状態をトラブル時稼動不能状態に設定
し、一方、ウエハ処理能力が０よりも大きい場合、装置
稼動状態をトラブル時稼動可能状態に設定する装置稼動
状態更新工程１３５と、装置稼動状態更新工程１３５で
装置稼動状態がトラブル時稼動可能状態に設定された場
合、トラブル時稼動可能状態専用の装置制御手順を設定
する装置制御手順設定工程１４０を設けることにより、
トラブル時における装置のウエハ処理能力を考慮して装
置の稼動状態を設定することができるので、装置から異
常という稼動状態信号を受信した場合でも、装置が部分
的にウエハ処理可能と認識しトラブル時の処理能力に応
じてウエハを処理できるように装置を自動的に制御した
り作業者へ作業を指示することができ、常に装置のウエ
ハ処理能力を最大限に活用することができる。

【００３６】なお、以上の発明において、トラブル情報
登録工程（１１０）にて、トラブル装置名＝装置１、ト
ラブル発生日時＝Ｔ１０を登録するとしたが、装置状態
信号収集工程（１０５）にて収集したトラブル装置名＝
装置１、トラブル発生日時＝Ｔ１０を登録するとしても
よい。

【００３７】また、以上の発明において、スロット番号
１〜２５の正常、異常を装置状態信号として収集すると
したが、作業者が登録するとしてもよい。

【００３８】また、以上の発明において、装置稼動状態
設定工程１１５にて、装置状態信号収集工程１０５で収
集された装置状態信号７００の（Ｅ−１）から装置の稼
動状態をトラブル（状態識別符号１＝１）と設定すると
したが、トラブル情報登録工程１１０で登録されたトラ
ブル情報８００、９００から設定するとしてもよい。

【００３９】また、以上の発明において、装置稼動状態
を、２つの状態識別符号（状態識別符号１と状態識別符
号２）を使って設定するとしたが、ウエハ処理可能か否
かを正負で識別する方法、つまり、トラブル時稼動可能
状態を１、トラブル時稼動不能状態を−１としてもよ
い。また、装置稼動状態を、数字で表現するとしたが、
任意の文字列で表現してもよい。

【００４０】また、以上の発明において、装置制御手順
設定工程１４０にて、トラブル時稼動可能状態専用の装
置制御手順として、スロット番号１〜２５の中で、１〜
２０までを使用可能（０＝ＯＫ）、２１〜２５までを使
用不可能（１＝ＮＧ）という情報（定義情報）を設定す
るとしたが、制御手順情報を新たに設定するとしてもよ
い。また、制御手順の中の変数を新たに設定するとして
もよい。

【００４１】以下本発明の第２の実施の形態について、
図面を参照しながら説明する。

【００４２】図６は本発明の第２の実施の形態における
生産管理装置の構成を示すものであり、図６において６
００は生産管理装置の機能構成、５２０は装置でのウエ
ハ処理待機時、ウエハ処理時、異常発生時などの状態を
示す信号を装置から収集する装置状態信号収集手段、５
２５はトラブル発生装置、発見者、発生日時、内容、復
旧作業開始予定日時、復旧予定日時、復旧日時などのト
ラブルに関する情報を登録するトラブル情報登録手段、
５３０は装置状態信号収集手段５２０で収集された装置
状態信号とトラブル情報登録手段５２５で登録されたト
ラブル情報とから装置の稼動状態を設定する装置稼動状
態設定手段、５３５は装置稼動状態設定手段５３０で設
定された装置稼動状態が正常稼動か否かを判定する装置
稼動状態判定手段、５４０は装置稼動状態判定手段５３
５で装置稼動状態が正常稼動ではないと判定された場
合、装置状態信号収集手段５２０で収集された装置状態
信号か、あるいはトラブル情報登録手段５２５で登録さ
れたトラブル情報を基に装置のウエハ処理能力を０以上
かつ１よりも小さい実数値として計算するウエハ処理能
力計算手段、５４５はウエハ処理能力計算手段５４０で
計算した装置のウエハ処理能力が０に等しいか、０より
も大きいかを判定するウエハ処理能力判定手段、６０５
は待ちロットについての納期、サイクル時間、トラブル
復旧作業予定を組み込んでの終了予定日時、完了予定日
時を計算したり、トラブルが発生している装置のメンテ
ナンス予定日時などロット進行に関する情報を登録する
ロット処理計画計算手段、６１０はウエハ処理能力が０
よりも大きい場合、ロット処理計画計算手段６０５で計
算した情報を基にトラブル発生直後に処理可能な待ちロ
ットが存在するか否かを判定する処理可能ロット判定手
段、５５０は装置稼動状態設定手段５３０で、ウエハ処
理能力が０に等しいか、または、処理可能ロット判定手
段５４５で処理可能ロットが存在しない場合、装置の稼
動状態をトラブル時稼動不能状態と設定し、一方、処理
可能ロット判定手段５４５で処理可能ロットが存在する
場合、装置の稼動状態をトラブル時稼動可能状態と設定
し直し、その後、装置稼動状態がトラブル時稼動可能状
態に設定された場合、トラブル時稼動可能状態専用の装
置制御手順を設定する装置制御手順設定手段、５６０は
装置制御手順設定手段５５０で設定された装置制御手順
に従って装置制御信号を装置へ送信する装置制御信号送
信手段、５５５は装置制御手順設定手段５５０で設定さ
れた装置制御手順に従って作業者に対して作業指示をす
る作業指示手段である。

【００４３】以上のように構成された生産管理装置につ
いて、以下その動作を説明する。

【００４４】図３は本発明の生産管理方法のフローチャ
ート２００を示すものであり、図３において、ステップ
１０５は装置でのウエハ処理待機時、ウエハ処理時、異
常発生時などの状態を示す信号を装置から収集する装置
状態信号収集工程、ステップ１１０はトラブル発生装
置、発見者、発生日時、内容、復旧作業開始予定日時、
復旧予定日時、復旧日時などのトラブルに関する情報を
登録するトラブル情報登録工程、ステップ１１５は装置
状態信号収集工程１０５で収集された装置状態信号とト
ラブル情報登録工程１１０で登録されたトラブル情報と
から装置の稼動状態を設定する装置稼動状態設定工程、
ステップ１２０は装置稼動状態設定工程１１５で設定さ
れた装置稼動状態が正常稼動か否かを判定する装置稼動
状態判定工程、ステップ１２５は装置稼動状態判定工程
１２０で装置稼動状態が正常稼動ではないと判定された
場合、装置状態信号収集工程１０５で収集された装置状
態信号か、あるいはトラブル情報登録工程１１０で登録
されたトラブル情報を基に装置のウエハ処理能力を０以
上かつ１よりも小さい実数値として計算するウエハ処理
能力計算工程、ステップ１３０はウエハ処理能力計算工
程１２５で計算した装置のウエハ処理能力が０に等しい
か、０よりも大きいかを判定するウエハ処理能力判定工
程、ステップ２０５はウエハ処理能力が０よりも大きい
場合、トラブル発生直後に処理可能な待ちロットが存在
するか否かを判定する処理可能ロット判定工程、ステッ
プ１３５はウエハ処理能力判定工程１３０でウエハ処理
能力が０に等しいか、または、処理可能ロット判定工程
２０５で処理可能ロットが存在しない場合、装置の稼動
状態をトラブル時稼動不能状態と設定し、一方、処理可
能ロット判定工程２０５で処理可能ロットが存在する場
合、装置の稼動状態をトラブル時稼動可能状態と設定す
る装置稼動状態更新工程、ステップ１４０は装置稼動状
態更新工程１３５で装置稼動状態がトラブル時稼動可能
状態に設定された場合、トラブル時稼動可能状態専用の
装置制御手順を設定する装置制御手順設定工程、ステッ
プ１４５は装置制御手順設定工程１４０で設定された装
置制御手順に従って装置制御信号を装置へ送信する装置
制御信号送信工程、ステップ１５０は装置制御手順設定
工程１４０で設定された装置制御手順に従って作業者に
対して作業指示をする作業指示工程である。

【００４５】図４は本発明の第２の実施の形態における
トラブル発生直後にトラブル復旧作業を開始することが
不可能な場合の処理可能ロット判定工程のフローチャー
ト２０５である。図４において、ステップ３０５はトラ
ブル情報登録工程１１０で登録されたトラブル復旧作業
開始予定日時を抽出するトラブル復旧作業開始予定日時
抽出工程、ステップ３１５はトラブルが発生している装
置において、装置が正常稼動する場合の待ちロットのサ
イクル時間を抽出するロットサイクル時間抽出工程、ス
テップ３２０はロットサイクル時間抽出工程３１５から
抽出された待ちロットのサイクル時間を基に、トラブル
が発生してウエハの処理が部分的に可能な状態の装置で
の待ちロット処理終了予定日時を計算するロット処理終
了予定日時計算工程、ステップ３２５はトラブル復旧作
業開始予定日時抽出工程３０５で抽出されたトラブル復
旧作業開始予定日時とロット処理終了予定日時計算工程
３２０で計算された待ちロット処理終了予定日時とを比
較する日時比較工程、ステップ３３０は日時比較工程３
２５で処理終了予定日時がトラブル復旧作業開始予定日
時に等しいか先の場合の待ちロットをトラブル時稼動可
能状態で処理可能なロットとして設定する処理可能ロッ
ト設定工程、ステップ３３５は処理可能ロット設定工程
３３０で処理可能な待ちロットが設定されているかどう
かを検出する処理可能ロット検出工程である。

【００４６】図５は本発明の第２の実施の形態における
トラブル発生直後にトラブル復旧作業を開始することが
可能な場合の処理可能ロット判定工程のフローチャート
２０５である。図５において、ステップ４０５は待ちロ
ットの納期を抽出するロット納期抽出工程、ステップ４
１５はトラブルが発生している装置において、トラブル
発生直後にトラブル復旧作業を開始した場合の待ちロッ
トの完了予定日時を計算するロット完了予定日時計算工
程、ステップ４２５はロット納期抽出工程４０５から抽
出された待ちロットの納期とロット完了予定日時計算工
程４１５で計算された待ちロット完了予定日時とを比較
する日時比較工程、ステップ４３０は日時比較工程４２
５で完了予定日時が納期よりも後の場合の待ちロットを
トラブル時稼動可能状態で処理可能なロットの候補とし
て設定する処理可能候補ロット設定工程、ステップ４３
５は処理可能候補ロット設定工程４３０で設定されたト
ラブル時稼動可能状態で処理可能なロットの候補につい
て、処理終了予定日時を計算するロット処理終了予定日
時計算工程、ステップ４３７は装置の次回のメンテナン
ス予定日時を抽出するメンテナンス予定日時抽出工程、
ステップ４４０はロット処理終了予定日時計算工程４３
５で計算された処理可能候補ロットの処理終了予定日時
とメンテナンス予定日時抽出工程４３７で抽出された装
置の次回のメンテナンス予定日時とを比較する日時比較
工程、ステップ３３０は日時比較工程４４０で処理終了
予定日時が次回メンテナンス予定日時に等しいか先の場
合の処理可能候補ロットをトラブル時稼動可能状態で処
理可能なロットとして設定する処理可能ロット設定工
程、ステップ３３５は処理可能ロット設定工程３３０で
設定された処理可能な待ちロットが設定されているかど
うかを検出する処理可能ロット検出工程である。なお、
ステップ４２５で待ちロットの納期≧待ちロットの完了
予定日時のときステップ３３０の処理可能ロット設定工
程に移行し、ステップ３３０では日時比較工程４２５で
の待ちロットの納期が待ちロットの完了予定日時に等し
いか後の場合、トラブル復旧後でも納期に間に合うの
で、待ちロットをトラブル時稼動可能状態で処理不要な
ロットとして設定する（つまり、処理可能なロットにす
る必要がない）。

【００４７】図７は本発明の実施の形態における装置稼
動状態信号（７００）を示すものである。ウエハ処理開
始、ウエハ処理終了、ウエハ処理待ち、異常発生などの
装置の状態に対応する信号をＰ−１、Ｐ−２、Ｐ−３、
Ｅ−１と定義している。図８は本発明の実施の形態にお
ける装置１にて発生したトラブル１に関する情報（８０
０）を示すものである。

【００４８】図９は本発明の実施の形態における詳細な
装置状態信号９００の例としてスロット番号１〜２５の
正常、異常を示すものである。正常をＯＫ、異常をＮＧ
と表示している。

【００４９】図１０は本発明の実施の形態における装置
稼動状態１０００を示すものである。トラブル状態をウ
エハ処理可能なトラブル（状態識別符号１、状態識別符
号２）＝（１、１）と、ウエハ処理不可能なトラブル
（状態識別符号１、状態識別符号２）＝（１，２）とに
区分している。

【００５０】図１１は本発明の実施の形態における装置
制御手順情報１１００を示す例としてスロット番号１〜
２５の使用可能、使用不可能を示すものである。使用可
能を０（＝ＯＫ）、使用不可能を１（＝ＮＧ）と定義し
ている。

【００５１】図１２は本発明の実施の形態における待ち
ロット情報１２００を示すものである。

【００５２】図１３は本発明の実施の形態におけるトラ
ブル復旧作業開始予定日時タイムチャート１３００を示
すものである。

【００５３】図１４は本発明の実施の形態における納期
タイムチャート１４００、１４０５を示すものである。

【００５４】図１５は本発明の実施の形態におけるメン
テナンス予定日時タイムチャート１５００を示すもので
ある。

【００５５】装置状態信号収集工程１０５にて、装置状
態信号収集手段５２０が情報８００の装置１から異常発
生時の状態を示す信号７００の（Ｅ−１）を収集した場
合を説明する。

【００５６】まず、トラブル情報登録工程１１０にて、
図８の情報８００のトラブル名＝トラブル１、トラブル
装置名＝装置１、トラブル発生日時＝Ｔ１０、トラブル
発見者名＝松下太郎、トラブル復旧作業開始予定日時＝
Ｔ１２、トラブル復旧予定日時＝Ｔ１４、トラブル内
容、トラブル原因、トラブル復旧作業、図９に示す詳細
な装置状態信号９００として収集したスロット番号１〜
２５の正常、異常を示す情報（正常をＯＫ、異常をＮ
Ｇ）を登録する。

【００５７】次に、装置稼動状態設定工程１１５にて、
装置状態信号収集工程１０５で収集された装置状態信号
７００の（Ｅ−１）から装置の稼動状態をトラブル（状
態識別符号１＝１）と設定する。

【００５８】次に、装置稼動状態判定工程１２０にて、
装置稼動状態設定工程１１５で設定された装置稼動状態
が正常稼動か否かを状態識別符号１を用いて判定する
（図１０）。ここでは、装置１は状態識別符号１＝１な
のでトラブルと判定する。

【００５９】次に、装置稼動状態がトラブルと判定され
たので、ウエハ処理能力計算工程１２５にて、装置状態
信号収集工程１０５で収集された装置状態信号９００
か、あるいはトラブル情報登録工程１１０で登録された
トラブル情報８００を基に装置のウエハ処理能力を０以
上かつ１よりも小さい実数値として計算する。ここで
は、スロット番号１〜２５までの中で、１〜２０までが
ＯＫで、２１から２５までがＮＧであるので、ウエハ処
理能力は、５／２５＝０．２と計算される（図１１）。

【００６０】次に、ウエハ処理能力判定工程１３０に
て、ウエハ処理能力計算工程１２５で計算した装置のウ
エハ処理能力が０に等しいか、０よりも大きいかを判定
する。ここでは、ウエハ処理能力＝０．２であり、０よ
りも大きいと判定する。

【００６１】次に、ウエハ処理能力が０よりも大きいと
判定されたので、処理可能ロット判定工程２０５にて、
ウエハ処理能力が０よりも大きい場合、トラブル発生直
後に処理可能な待ちロットが存在するか否かを判定す
る。

【００６２】ここで、処理可能ロット判定工程２０５を
詳細に説明する。

【００６３】まず、トラブル発生直後にトラブル復旧作
業を開始することが不可能な場合の図４に示す処理可能
ロット判定工程２０５を詳細に説明する。

【００６４】トラブル復旧作業開始予定日時抽出工程３
０５にて、トラブル情報登録工程１１０で登録されたト
ラブル復旧作業開始予定日時＝Ｔ１２を抽出する（図
８）。

【００６５】次に、ロットサイクル時間抽出工程３１５
にて、トラブル１が発生している装置１において、装置
１が正常稼動する場合の待ちロット情報１２００すなわ
ち待ちロットのサイクル時間、ロット１＝△ＬＴ１０、
ロット２＝△ＬＴ２０、ロット３＝△ＬＴ３０、ロット
４＝△ＬＴ４０、ロット５＝△ＬＴ５を抽出する（図１
２）。

【００６６】次に、ロット処理終了予定日時計算工程３
２０にて、ロットサイクル時間抽出工程３１５から抽出
された待ちロットのサイクル時間を基に、トラブル１が
発生してウエハの処理が部分的に可能な状態の装置１で
の待ちロット処理終了予定日時を計算する。まず、各待
ちロットの部分的に処理可能な状態の装置１でのサイク
ル時間を計算する。ロット１を構成するウエハ枚数は２
５枚で使用可能なスロット数（２０スロット）よりも大
きいので、ロット１を２分割して処理する必要がある。
したがって、サイクル時間△ＬＴ１２＝△ＬＴ１０×２
となる。ロット２を構成するウエハ枚数は２０枚で使用
可能なスロット数（２０スロット）と等しいので、ロッ
ト２は分割することなく１回で処理することができる。
したがって、サイクル時間△ＬＴ２２＝△ＬＴ２０とな
る。ロット３を構成するウエハ枚数は２１枚で使用可能
なスロット数（２０スロット）よりも大きいので、ロッ
ト３を２分割して処理する必要がある。したがって、サ
イクル時間△ＬＴ３２＝△ＬＴ３０×２となる。ロット
４を構成するウエハ枚数は１０枚で使用可能なスロット
数（２０スロット）よりも小さいので、ロット４は分割
することなく１回で処理することができる。したがっ
て、サイクル時間△ＬＴ４２＝△ＬＴ４０となる。ロッ
ト５を構成するウエハ枚数は２５枚で使用可能なスロッ
ト数（２０スロット）よりも大きいので、ロット５を２
分割して処理する必要がある。したがって、サイクル時
間△ＬＴ５２＝△ＬＴ５０×２となる。次に、図１２の
待ちロット情報１２００の各待ちロットの部分的に処理
可能な状態の装置１でのサイクル時間を使ってロット処
理終了予定日時を計算する。ここでは、優先順位の順番
に各ロットのサイクル時間を足し合わせてロット処理終
了予定日時とする。つまり、優先順位１のロット１の処
理終了予定日時＝ＴＬ１２＝△ＬＴ１２、優先順位１、
２のロット１、ロット２の処理終了予定日時＝ＴＬ２２
＝△ＬＴ１２＋△ＬＴ２２、優先順位１、２、３のロッ
ト１、ロット２、ロット３の処理終了予定日時＝ＴＬ３
２＝△ＬＴ１２＋△ＬＴ２２＋△ＬＴ３２、優先順位
１、２、３、４のロット１、ロット２、ロット３、ロッ
ト４の処理終了予定日時＝ＴＬ４２＝△ＬＴ１２＋△Ｌ
Ｔ２２＋△ＬＴ３２＋△ＬＴ４２、優先順位１、２、
３、４、５のロット１、ロット２、ロット３、ロット
４、ロット５の処理終了予定日時＝ＴＬ５２＝△ＬＴ１
２＋△ＬＴ２２＋△ＬＴ３２＋△ＬＴ４２＋△ＬＴ５２
とする。

【００６７】次に、日時比較工程３２５はトラブル復旧
作業開始予定日時抽出工程３０５で抽出されたトラブル
復旧作業開始予定日時＝Ｔ１２とロット処理終了予定日
時計算工程３２０で計算された待ちロット処理終了予定
日時＝ＴＬ１２、ＴＬ２２、ＴＬ３２、ＴＬ４２、ＴＬ
５２とを比較する。

【００６８】次に、図１３のトラブル復旧作業開始予定
日時タイムチャート１３００に示すように、トラブル復
旧作業開始予定日時＝Ｔ１２は、ロット１の処理終了予
定日時＝ＴＬ１２やロット１、ロット２の処理終了予定
日時＝ＴＬ２２よりも後で、かつ、ロット１、ロット
２、ロット３の処理終了予定日時＝ＴＬ３２よりも先な
ので、処理可能ロット設定工程３３０にて、待ちロット
＝ロット１、ロット２をトラブル時稼動可能状態で処理
可能なロットとして設定する。

【００６９】次に、処理可能ロット検出工程３３５に
て、処理可能ロット設定工程３３０で処理可能な待ちロ
ットが設定されているかどうかを検出する。ここでは、
待ちロット＝ロット１、ロット２が検出される。

【００７０】以上で、トラブル発生直後にトラブル復旧
作業を開始することが不可能な場合の図４に示す処理可
能ロット判定工程２０５の詳細な説明を終了する。

【００７１】次に、トラブル発生直後にトラブル復旧作
業を開始することが可能な場合の図５に示す処理可能ロ
ット判定工程２０５を詳細に説明する。

【００７２】ロット納期抽出工程４０５にて、待ちロッ
ト情報１２００の待ちロットの納期、ロット１＝ＴＥ１
０、ロット２＝ＴＥ２０、ロット３＝ＴＥ３０、ロット
４＝ＴＥ４０、ロット５＝ＴＥ５０を抽出する。

【００７３】次に、ロット完了予定日時計算工程ステッ
プ４１５にて、トラブル１が発生している装置１におい
て、トラブル発生直後にトラブル復旧作業を開始した場
合の待ちロットの完了予定日時を計算する。ここでは、
ロット処理計画計算手段６０５の１機能として、ロット
１＝ＴＥ１２、ロット２＝ＴＥ２２、ロット３＝ＴＥ３
２、ロット４＝ＴＥ４２、ロット５＝ＴＥ５２と計算す
る。

【００７４】次に、日時比較工程４２５にて、ロット納
期抽出工程４０５から抽出された待ちロットの納期、ロ
ット１＝ＴＥ１０、ロット２＝ＴＥ２０、ロット３＝Ｔ
Ｅ３０、ロット４＝ＴＥ４０、ロット５＝ＴＥ５０とロ
ット完了予定日時計算工程４１５で計算された待ちロッ
ト完了予定日時、ロット１＝ＴＥ１２、ロット２＝ＴＥ
２２、ロット３＝ＴＥ３２、ロット４＝ＴＥ４２、ロッ
ト５＝ＴＥ５２とを比較する。

【００７５】次に、図１４の納期タイムチャート１４０
０に示すように、完了予定日時計算工程４１５で計算さ
れた待ちロット完了予定日時、ロット１＝ＴＥ１２、ロ
ット２＝ＴＥ２２、ロット３＝ＴＥ３２が各待ちロット
の納期、ロット１＝ＴＥ１０、ロット２＝ＴＥ２０、ロ
ット３＝ＴＥ３０よりも後なので、処理可能候補ロット
設定工程４３０にて、待ちロット、ロット１、ロット
２、ロット３をトラブル時稼動可能状態で処理可能なロ
ットの候補として設定する。

【００７６】次に、ロット処理終了予定日時計算工程４
３５は処理可能候補ロット設定工程４３０で設定された
トラブル時稼動可能状態で処理可能なロットの候補、ロ
ット１、ロット２、ロット３について、処理終了予定日
時を計算する。各待ちロットの部分的に処理可能な状態
の装置１でのサイクル時間を使ってロット処理終了予定
日時を計算する。ここでは、図１５のメンテナンス予定
日時タイムチャート１５００に示すように、優先順位の
順番に各ロットのサイクル時間を足し合わせてロット処
理終了予定日時とする。つまり、優先順位１のロット１
の処理終了予定日時＝ＴＬ１２＝△ＬＴ１２、優先順位
１、２のロット１、ロット２の処理終了予定日時＝ＴＬ
２２＝△ＬＴ１２＋△ＬＴ２２、優先順位１、２、３の
ロット１、ロット２、ロット３の処理終了予定日時＝Ｔ
Ｌ３２＝△ＬＴ１２＋△ＬＴ２２＋△ＬＴ３２とする。

【００７７】次に、メンテナンス予定日時抽出工程４３
７にて、図１５のタイムチャート１５００に示すよう
に、装置１の次回のメンテナンス予定日時＝ＴＭ１０
（１５００）を抽出する。

【００７８】次に、日時比較工程４４０にて、ロット処
理終了予定日時計算工程４３５で計算された処理可能候
補ロットの処理終了予定日時＝ＴＬ１２、ＴＬ２２、Ｔ
Ｌ３２とメンテナンス予定日時抽出工程４３７で抽出さ
れた装置１の次回のメンテナンス予定日時＝ＴＭ１０と
を比較する。

【００７９】次に、図１５のタイムチャート１５００に
示すように、メンテナンス予定日時＝ＴＭ１０は、ロッ
ト１の処理終了予定日時＝ＴＬ１２よりも後で、かつ、
ロット１、ロット２の処理終了予定日時＝ＴＬ２２より
も先なので、処理可能ロット設定工程３３０にて、処理
可能候補ロット＝ロット１をトラブル時稼動可能状態で
処理可能なロットとして設定する。

【００８０】次に、処理可能ロット検出工程３３５に
て、処理可能ロット設定工程３３０で処理可能な待ちロ
ットが設定されているかどうかを検出する。ここでは、
待ちロット＝ロット１が検出される。

【００８１】以上で、トラブル発生直後にトラブル復旧
作業を開始することが可能な場合の図５に示す処理可能
ロット判定工程２０５の詳細な説明を終了する。

【００８２】次に、ウエハ処理能力判定工程１３０でウ
エハ処理能力が０より大きく、かつ、処理可能ロット判
定工程２０５で処理可能ロットが存在すると判定された
ので、装置稼動状態更新工程１３５にて、装置１の稼動
状態をトラブル時稼動可能状態（状態識別符号１、状態
識別符号２）＝（１、２）と設定する。

【００８３】次に、装置稼動状態更新工程１３５で装置
稼動状態がトラブル時稼動可能状態（状態識別符号１、
状態識別符号２）＝（１、２）と設定されたので、装置
制御手順設定工程１４０にて、トラブル時稼動可能状態
専用の装置制御手順を設定する。ここでは、スロット番
号１〜２５の中で、１〜２０までを使用可能（０＝Ｏ
Ｋ）、２１〜２５までを使用不可能（１＝ＮＧ）という
情報を設定している。

【００８４】次に、装置制御信号送信工程１４５にて、
装置制御手順設定工程１４０で設定された図１１に示す
装置制御手順情報１１００に従って装置制御信号を装置
へ送信する。ここでは、スロット番号１〜２０までが使
用可能という装置制御手順情報１１００が送信された装
置は、１〜２０までのスロットのみ存在するものとして
制御される。

【００８５】また、作業指示工程１５０にて、装置制御
手順設定工程１４０で設定された装置制御手順情報１１
００に従って作業者に対して作業指示をする。ここで
は、装置１はトラブルであるがウエハの処理が可能であ
ることを指示するとともに、トラブル発生直後にトラブ
ル復旧作業を開始することが不可能な場合は、ロット
１、ロット２についてロット処理の指示をする。また、
トラブル発生直後にトラブル復旧作業を開始することが
可能な場合は、ロット１の処理を指示する。

【００８６】以上のように、第２の実施の形態によれ
ば、装置稼動状態が正常稼動ではないと判定された場合
でも、装置状態信号収集工程１０５で収集された装置状
態信号か、あるいはトラブル情報登録工程１１０で登録
されたトラブル情報を基に装置のウエハ処理能力を０以
上かつ１よりも小さい実数値として計算するウエハ処理
能力計算工程１２５と、ウエハ処理能力計算工程１２５
で計算した装置のウエハ処理能力が０に等しいか、０よ
りも大きいかを判定するウエハ処理能力判定工程１３０
と、ウエハ処理能力が０よりも大きい場合、トラブル発
生直後に処理可能な待ちロットが存在するか否かを判定
する処理可能ロット判定工程２０５と、ウエハ処理能力
判定工程１３０でウエハ処理能力が０に等しいか、また
は、処理可能ロット判定工程２０５で処理可能ロットが
存在しない場合、装置の稼動状態をトラブル時稼動不能
状態と設定し、一方、処理可能ロット判定工程２０５で
処理可能ロットが存在する場合、装置の稼動状態をトラ
ブル時稼動可能状態と設定する装置稼動状態更新工程１
３５と、装置稼動状態更新工程１３５で装置稼動状態が
トラブル時稼動可能状態に設定された場合、トラブル時
稼動可能状態専用の装置制御手順を設定する装置制御手
順設定工程１４０と、装置制御手順設定工程１４０で設
定された装置制御手順に従って装置制御信号を装置へ送
信する装置制御信号送信工程１４５と、装置制御手順設
定工程１４０で設定された装置制御手順に従って作業者
に対して作業指示をする作業指示工程１５０とを含む。

【００８７】トラブル発生直後にトラブル復旧作業を開
始することが不可能な場合は、トラブル情報登録工程１
１０で登録されたトラブル復旧作業開始予定日時を抽出
するトラブル復旧作業開始予定日時抽出工程３０５と、
トラブルが発生している装置において、装置が正常稼動
する場合の待ちロットのサイクル時間を抽出するロット
サイクル時間抽出工程３１５と、ロットサイクル時間抽
出工程３１５から抽出された待ちロットのサイクル時間
を基に、トラブルが発生してウエハの処理が部分的に可
能な状態の装置での待ちロット処理終了予定日時を計算
するロット処理終了予定日時計算工程３２０と、トラブ
ル復旧作業開始予定日時抽出工程３０５で抽出されたト
ラブル復旧作業開始予定日時とロット処理終了予定日時
計算工程３２０で計算された待ちロット処理終了予定日
時とを比較する日時比較工程３２５と、日時比較工程３
２５で処理終了予定日時がトラブル復旧作業開始予定日
時に等しいか先の場合の待ちロットをトラブル時稼動可
能状態で処理可能なロットとして設定する処理可能ロッ
ト設定工程３３０と、処理可能ロット設定工程３３０で
処理可能な待ちロットが設定されているかどうかを検出
する処理可能ロット検出工程３３５を含む。

【００８８】トラブル発生直後にトラブル復旧作業を開
始することが可能な場合は、待ちロットの納期を抽出す
るロット納期抽出工程４０５と、トラブルが発生してい
る装置において、トラブル発生直後にトラブル復旧作業
を開始した場合の待ちロットの完了予定日時を計算する
ロット完了予定日時計算工程４１５と、ロット納期抽出
工程４０５から抽出された待ちロットの納期とロット完
了予定日時計算工程４１５で計算された待ちロット完了
予定日時とを比較する日時比較工程４２５と、日時比較
工程４２５で完了予定日時が納期よりも後の場合の待ち
ロットをトラブル時稼動可能状態で処理可能なロットの
候補として設定する処理可能候補ロット設定工程４３０
と、処理可能候補ロット設定工程４３０で設定されたト
ラブル時稼動可能状態で処理可能なロットの候補につい
て、処理終了予定日時を計算するロット処理終了予定日
時計算工程４３５と、装置の次回のメンテナンス予定日
時を抽出するメンテナンス予定日時抽出工程４３７と、
ロット処理終了予定日時計算工程４３５で計算された処
理可能候補ロットの処理終了予定日時とメンテナンス予
定日時抽出工程４３７で抽出された装置の次回のメンテ
ナンス予定日時とを比較する日時比較工程４４０と、日
時比較工程４４０で処理終了予定日時が次回メンテナン
ス予定日時に等しいか先の場合の処理可能候補ロットを
トラブル時稼動可能状態で処理可能なロットとして設定
する処理可能ロット設定工程３３０と、処理可能ロット
設定工程３３０で設定された処理可能な待ちロットが設
定されているかどうかを検出する処理可能ロット検出工
程３３５を有する処理可能ロット判定工程２０５を含
む。

【００８９】これにより、トラブル時における装置のウ
エハ処理能力を考慮して装置の稼動状態を設定し、トラ
ブル復旧作業開始までに任意の待機時間が発生する場合
は、装置の状態をトラブル時稼動可能として、ロットを
処理することができる。また、トラブル復旧作業がすぐ
に開始できる場合でも、ロットの納期を遵守できるよう
に、トラブル復旧作業の前にロットを速やかに処理する
ことができる。

【００９０】その結果、トラブルに陥った装置で処理を
待っているロットの滞留を防止でき、ロットＴＡＴの短
縮化、ロットの納期遵守を実現することができる。

【００９１】なお、以上の発明において、ロット処理終
了予定日時計算工程３２０にて、ロットサイクル時間抽
出工程３１５から抽出された待ちロットのサイクル時間
を基に、トラブル１が発生してウエハの処理が部分的に
可能な状態の装置１での待ちロットのサイクル時間を計
算する際に、ロットを構成するウエハ枚数を使用可能な
スロット数で除算し、割り切れる場合はその商を正常稼
動時のサイクル時間に乗算し、割り切れない場合はその
商＋１を正常稼動時のサイクル時間に乗算することにし
たが、バッチ方式の装置の場合は、１バッチで処理可能
なウエハ枚数で複数待ちロットのウエハ枚数を除算して
もよい。また、装置レシピ条件が等しいか否かを組み込
んで１回に処理可能なウエハ枚数を都度計算し、用いて
もよい。

【００９２】また、以上の発明において、ロット処理終
了予定日時計算工程３２０にて、各待ちロットの部分的
に処理可能な状態の装置１でのサイクル時間を使ってロ
ット処理終了予定日時を計算する際に、優先順位の順番
に各ロットのサイクル時間を足し合わせるとしたが、納
期までの緊急度が高い順番、待ちロットの次工程の装置
の負荷が低い順番に足し合わせるとしてもよい。

【００９３】また、以上の発明において、日時比較工程
３２５はトラブル復旧作業開始予定日時抽出工程３０５
で抽出されたトラブル復旧作業開始予定日時＝Ｔ１２と
ロット処理終了予定日時計算工程３２０で計算された全
ての待ちロット処理終了予定日時＝ＴＬ１２、ＴＬ２
２、ＴＬ３２、ＴＬ４２、ＴＬ５２とを比較するとした
が、各待ちロット処理終了予定日時＝ＴＬ１２、ＴＬ２
２、ＴＬ３２、ＴＬ４２、ＴＬ５２をそれぞれ計算する
都度に比較するとしてもよい。

【００９４】

【発明の効果】請求項１記載の生産管理方法によれば、
装置を自動的に制御し、また作業者へ作業を指示する生
産管理方法において、まず、装置から収集したウエハ処
理待機時、ウエハ処理時、異常発生時などの状態を示す
信号と、トラブル発生装置、発見者、発生日時、内容、
復旧作業開始予定日時、復旧予定日時、復旧日時などの
トラブルに関する情報とから装置の稼動状態を設定し、
装置稼動状態が正常稼動ではないと判定された場合、装
置状態信号か、あるいはトラブル情報を基に装置のウエ
ハ処理能力を０以上かつ１よりも小さい実数値として計
算する。ウエハ処理能力が０よりも大きい場合、かつ、
トラブル発生直後に処理可能ロットが存在する場合、装
置の稼動状態をトラブル時稼動可能状態と設定する。装
置稼動状態がトラブル時稼動可能状態に設定された場
合、トラブル時稼動可能状態専用の装置制御手順を設定
し、設定された装置制御手順に従って装置制御信号を装
置へ送信し装置を自動的に制御したり、作業者に対して
作業指示をする。

【００９５】これにより、トラブル時における装置のウ
エハ処理能力を考慮して装置の稼動状態を設定すること
ができるので、装置から異常という稼動状態信号を受信
した場合でも、装置が部分的にウエハ処理可能と認識し
トラブル時の処理能力に応じてウエハを処理できるよう
に装置を自動的に制御したり作業者へ作業を指示するこ
とができ、常に装置のウエハ処理能力を最大限に活用す
ることができる。

【００９６】その結果、トラブルに陥った装置で処理を
待っているロットの滞留を防止でき、ロットＴＡＴの短
縮化、ロットの納期遵守を実現できる。

【００９７】請求項２記載の生産管理方法によれば、請
求項１と同様な効果がある。

【００９８】請求項３記載の生産管理方法によれば、請
求項２と同様な効果がある。

【００９９】請求項４記載の生産管理方法によれば、請
求項２と同様な効果がある

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態における生産管理方
法のフローチャートである。

【図２】本発明の第１の実施の形態における生産管理装
置の構成図である。

【図３】本発明の第２の実施の形態における生産管理方
法のフローチャートである。

【図４】本発明の第２の実施の形態におけるトラブル発
生直後にトラブル復旧作業を開始不可能な場合の処理可
能ロット判定工程のフローチャートである。

【図５】本発明の第２の実施の形態におけるトラブル発
生直後にトラブル復旧作業を開始可能な場合の処理可能
ロット判定工程のフローチャートである。

【図６】本発明の第２の実施の形態における生産管理装
置の構成図である。

【図７】本発明の実施の形態における装置稼動状態信号
の一覧図である。

【図８】本発明の実施の形態におけるトラブル情報の一
覧図である。

【図９】本発明の実施の形態における装置状態信号情報
の図表である。

【図１０】本発明の実施の形態における装置稼動状態の
一覧図である。

【図１１】本発明の実施の形態における装置制御手順情
報の図表である。

【図１２】本発明の実施の形態における待ちロット情報
の一覧図である。

【図１３】本発明の実施の形態におけるトラブル復旧作
業開始予定日時タイムチャートである。

【図１４】本発明の実施の形態における納期タイムチャ
ートである。

【図１５】本発明の実施の形態におけるメンテナンス予
定日時タイムチャートである。

【図１６】従来の生産管理装置の構成図である。

【符号の説明】

１０５装置状態信号収集工程１１０トラブル情報登録工程１１５装置稼動状態設定工程１２０装置稼動状態判定工程１２５ウエハ処理能力計算工程１３０ウエハ処理能力判定工程２０５処理可能ロット判定工程１３５装置稼動状態更新工程１４０装置制御手順設定工程１４５装置制御信号送信工程１５０作業指示工程３０５トラブル復旧作業開始予定日時抽出工程３１５ロットサイクル時間抽出工程３２０ロット処理終了予定日時計算工程３２５日時比較工程３３０処理可能ロット設定工程３３５処理可能ロット検出工程４０５ロット納期抽出工程４１５ロット完了予定日時計算工程４２５日時比較工程４３０処理可能候補ロット設定工程４３５ロット処理終了予定日時計算工程４３７メンテナンス予定日時抽出工程４４０日時比較工程

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】装置制御手順に従って装置を自動的に制
御するとともに、作業指示内容に従って作業者に作業を
指示する生産管理方法であって、装置でのウエハ処理待
機時、ウエハ処理時、異常発生時を含む状態を示す信号
を前記装置から収集する装置状態信号収集工程と、トラ
ブル発生装置、発見者、発生日時、内容、復旧作業開始
予定日時、復旧予定日時、復旧日時を含むトラブルに関
する情報を登録するトラブル情報登録工程と、前記装置
状態信号収集工程で収集された装置状態信号と前記トラ
ブル情報登録工程で登録されたトラブル情報とから装置
の稼動状態を設定する装置稼動状態設定工程と、この装
置稼動状態設定工程で設定された装置稼動状態が正常稼
動か否かを判定する装置稼動状態判定工程と、この装置
稼動状態判定工程で装置稼動状態が正常稼動ではないと
判定された場合、前記装置状態信号収集工程で収集され
た装置状態信号か、あるいは前記トラブル情報登録工程
で登録されたトラブル情報を基に前記装置のウエハ処理
能力を０以上かつ１よりも小さい実数値として計算する
ウエハ処理能力計算工程と、このウエハ処理能力計算工
程で計算した装置のウエハ処理能力が０に等しいか、０
よりも大きいかを判定するウエハ処理能力判定工程と、
ウエハ処理能力が０に等しい場合、装置稼動状態をトラ
ブル時稼動不能状態に設定し、一方、ウエハ処理能力が
０よりも大きい場合、装置稼動状態をトラブル時稼動可
能状態に設定する装置稼動状態更新工程と、この装置稼
動状態更新工程で装置稼動状態がトラブル時稼動可能状
態に設定された場合、トラブル時稼動可能状態専用の装
置制御手順を設定する装置制御手順設定工程と、この装
置制御手順設定工程で設定された装置制御手順に従って
装置制御信号を装置へ送信する装置制御信号送信工程
と、前記装置制御手順設定工程で設定された装置制御手
順に従って作業者に対して作業指示をする作業指示工程
とを含む生産管理方法。
【請求項２】装置制御手順に従って装置を自動的に制
御するとともに、作業指示内容に従って作業者に作業を
指示する生産管理方法であって、前記装置でのウエハ処
理待機時、ウエハ処理時、異常発生時などの状態を示す
信号を前記装置から収集する装置状態信号収集工程と、
トラブル発生装置、発見者、発生日時、内容、復旧作業
開始予定日時、復旧予定日時、復旧日時などのトラブル
に関する情報を登録するトラブル情報登録工程と、前記
装置状態信号収集工程で収集された装置状態信号と前記
トラブル情報登録工程で登録されたトラブル情報とから
前記装置の稼動状態を設定する装置稼動状態設定工程
と、この装置稼動状態設定工程で設定された装置稼動状
態が正常稼動か否かを判定する装置稼動状態判定工程
と、この装置稼動状態判定工程で装置稼動状態が正常稼
動ではないと判定された場合、前記装置状態信号収集工
程で収集された装置状態信号か、あるいは前記トラブル
情報登録工程で登録されたトラブル情報を基に前記装置
のウエハ処理能力を０以上かつ１よりも小さい実数値と
して計算するウエハ処理能力計算工程と、このウエハ処
理能力計算工程で計算した装置のウエハ処理能力が０に
等しいか、０よりも大きいかを判定するウエハ処理能力
判定工程と、ウエハ処理能力が０よりも大きい場合、ト
ラブル発生直後に処理可能な待ちロットが存在するか否
かを判定する処理可能ロット判定工程と、前記ウエハ処
理能力判定工程でウエハ処理能力が０に等しいか、また
は、前記処理可能ロット判定工程で処理可能ロットが存
在しない場合、前記装置の稼動状態をトラブル時稼動不
能状態と設定し、一方、前記処理可能ロット判定工程で
処理可能ロットが存在する場合、前記装置の稼動状態を
トラブル時稼動可能状態と設定する装置稼動状態更新工
程と、この装置稼動状態更新工程で装置稼動状態がトラ
ブル時稼動可能状態に設定された場合、トラブル時稼動
可能状態専用の装置制御手順を設定する装置制御手順設
定工程と、この装置制御手順設定工程で設定された装置
制御手順に従って装置制御信号を前記装置へ送信する装
置制御信号送信工程と、前記装置制御手順設定工程で設
定された装置制御手順に従って作業者に対して作業指示
をする作業指示工程とを含む生産管理方法。
【請求項３】処理可能ロット判定工程は、トラブル発
生直後にトラブル復旧作業を開始することが不可能な場
合、トラブル情報登録工程で登録されたトラブル復旧作
業開始予定日時を抽出するトラブル復旧作業開始予定日
時抽出工程と、トラブルが発生している装置において、
前記装置が正常稼動する場合の待ちロットのサイクル時
間を抽出するロットサイクル時間抽出工程と、このロッ
トサイクル時間抽出工程から抽出された待ちロットのサ
イクル時間を基に、トラブルが発生してウエハの処理が
部分的に可能な状態の装置での待ちロット処理終了予定
日時を計算するロット処理終了予定日時計算工程と、前
記トラブル復旧作業開始予定日時抽出工程で抽出された
トラブル復旧作業開始予定日時と前記ロット処理終了予
定日時計算工程で計算された待ちロット処理終了予定日
時とを比較する日時比較工程と、この日時比較工程で処
理終了予定日時がトラブル復旧作業開始予定日時に等し
いか先の場合の待ちロットをトラブル時稼動可能状態で
処理可能なロットとして設定する処理可能ロット設定工
程と、この処理可能ロット設定工程で処理可能な待ちロ
ットが設定されているかどうかを検出する処理可能ロッ
ト検出工程とを含む請求項２記載の生産管理方法。
【請求項４】処理可能ロット判定工程は、トラブル発
生直後にトラブル復旧作業を開始することが可能な場
合、待ちロットの納期を抽出するロット納期抽出工程
と、トラブルが発生している装置において、トラブル発
生直後にトラブル復旧作業を開始した場合の待ちロット
の完了予定日時を計算するロット完了予定日時計算工程
と、前記ロット納期抽出工程から抽出された待ちロット
の納期と前記ロット完了予定日時計算工程で計算された
待ちロット完了予定日時とを比較する第１の日時比較工
程と、この第１の日時比較工程で完了予定日時が納期よ
りも後の場合の待ちロットをトラブル時稼動可能状態で
処理可能なロットの候補として設定する処理可能候補ロ
ット設定工程と、この処理可能候補ロット設定工程で設
定されたトラブル時稼動可能状態で処理可能なロットの
候補について、処理終了予定日時を計算するロット処理
終了予定日時計算工程と、装置の次回のメンテナンス予
定日時を抽出するメンテナンス予定日時抽出工程と、前
記ロット処理終了予定日時計算工程で計算された処理可
能候補ロットの処理終了予定日時と前記メンテナンス予
定日時抽出工程で抽出された装置の次回のメンテナンス
予定日時とを比較する第２の日時比較工程と、この第２
の日時比較工程で処理終了予定日時が次回メンテナンス
予定日時に等しいか先の場合の処理可能候補ロットをト
ラブル時稼動可能状態で処理可能なロットとして設定す
る処理可能ロット設定工程と、この処理可能ロット設定
工程で設定された処理可能な待ちロットが設定されてい
るかどうかを検出する処理可能ロット検出工程とを含む
請求項２記載の生産管理方法。