JPH0697021A - 半導体製造管理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、半導体製造管理システムにおい
て、製造工程に応じた補助処理回数の調整機能を設ける
ことにより、ロットの進捗を円滑にして、ロットの進捗
管理性能の向上を図る。 【構成】 ロットの品質を救済するための補助処理工程
の記憶手段122 と、各製造工程に対応した補助処理工程
を記憶する行き先補助処理工程の記憶手段113 と、各補
助処理工程に対応した戻り先の製造工程を記憶する戻り
先工程の記憶手段123 と、各記憶手段に指示する演算部
141 と、各製造工程ごとの補助処理回数の限度を記憶す
る繰り返し限度の記憶手段114 と、各製造工程での同一
補助処理工程の繰り返し回数を記憶する補助処理回数の
記憶手段135 と、補助処理の回数が限度を越えていない
場合には必要な補助処理を行い、限度を越えている場合
には補助処理を停止する、補助処理の進捗制御手段143
とを設けたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工程の管理
として、特に前工程プロセスにおけるロットの進捗状況
を制御する半導体製造管理システムに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体ＬＳＩ生産のうち前処理（ウエハ
プロセス）工程において、ある工程終了時点からその後
の特定の工程を開始するまでの時間間隔について、ある
一定基準内で行うことが予め定められている場合があ
る。これは、ある加工を実行したウエハに対して経時的
な物性の変化やウエハ表面に付着する浮遊塵埃が、後の
工程に好ましからぬ影響を与えることがあるためであ
る。このことについて、一般的な半導体工場の生産管理
システムでは、上述のような工程間の時間制約を任意の
工程間に登録することができ、かつ制約時間を超えたロ
ットが次の工程へ進捗しないようになっている。

【０００３】一方、時間制約越えたロットに対して、あ
る補助処理を行えばロットの品質を対する救済ができる
場合がある。例えば、ロットに対して洗浄処理を行った
後に酸化処理を実施するような工程では、予め定められ
ている時間制約を越えた場合、ウエハ表面に付着した塵
埃を洗い落とす再洗浄処理を行えば、その後の酸化処理
は、通常どおりに実施できる。

【０００４】したがって、一般的な半導体工場の生産管
理システムでは、ロットが本来進むべき工程とは別に、
上記したようなロット救済のための工程を予め登録して
おき、補助処理が必要であると判断された場合に、ロッ
トを本来の工程から補助処理工程に移し換える。このよ
うにして進捗が許可されたロットは補助処理工程を経て
本来の工程に戻る。

【０００５】また従来より、工場の生産管理を行う計算
機（以下ホストコンピュータと記す）には、その工場の
さまざまな物資の現在位置や工程の進捗状況、工程を処
理する装置の稼働状況など多様な情報を記憶する機能や
検索する機能があり、これらの情報はその端末機、一般
的にはＣＲＴディスプレイを操作することで参照したり
更新したりすることができる。この場合の参照や更新の
画面は、作業者の問い合わせや入力内容ごとに定型化さ
れているのが通例である。

【０００６】一方、工場内の種々の装置や物資は、生産
に関わる事象の発生ごとに刻々とその状況、状態を変化
させていくが、ホストコンピュータがこれらの変化の状
況〔あるいは変化を引き起こす事象（以下イベントと記
す）の発生〕を知りえるには、作業者によるＣＲＴ端末
入力が不可欠となる。すなわち、工場でのイベントの発
生のすべてを作業者が入力しなければならないので、作
業量の肥大化を招いている。

【０００７】この問題を解決するために、ホストコンピ
ュータと工場内の装置を通信回線で接続し、装置で発生
したイベントをリアルタイムにホストコンピュータに伝
え、端末入力の手間を省くシステムが一般的になってい
る。さらには、工場内の各装置での製造処理の自動化を
果たすために、ホストコンピュータと製造処理装置を通
信回線で接続し、さまざまな処理の指示を与えることも
行われている。このようなシステムでは、装置からのイ
ベント情報やホストコンピュータからの指示を、その装
置とホストコンピュータとの間で定めた、そのイベント
の種別ごとの定型化した文字列や手順に変換して通信を
行っている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記したような洗浄−
酸化の工程について、制約時間を一度オーバーしたため
に、補助処理としての洗浄を行った後に、再び酸化処理
までの時間が大きく経過してしまった場合には、工程に
よって、再度洗浄を行う場合と、洗浄によるウエハの損
傷を考慮して洗浄を行わずにそのまま酸化処理を行う場
合とがある。つまり補助処理を行える回数については、
工程によって差異が存在する。ところが現状の半導体製
造管理システムでは、工程に応じた補助処理回数の調整
機能はないのが一般的である。すなわち、補助処理が必
要でかつ補助処理の回数に制限を持たせなければならな
いような工程では、生産管理システムでのロット進捗管
理ができない。

【０００９】また例えば、時間制約を越えたロットが多
数存在する場合に、制約時間を越えたロットの多数を工
程調整して当該各ロットに進捗を許可する入力を行う
と、これらの多数の制約時間を越えたロットの補助処理
を行っている間に制約時間を越えていないロットまでが
制約時間を越える。この結果、制約時間を越えるロット
が大量に発生して、補助処理工程を行う必要が大幅の増
加する。この結果、ロットの円滑な進捗が妨げられる。
また補助処理工程の付加が非常に大きくなる。

【００１０】さらに制約時間を越えたロットに対する工
程調整入力をいつまでも行わないでいると、時間制約を
越えたロットの工程進捗が極めて悪くなり、かつロット
ごとの工程進捗の速度のばらつきが大きくなり、効率的
な生産管理を行うことが困難になる。

【００１１】さらに上記説明したようなホストコンピュ
ータのシステムでは、外部の装置の種類ごとに手順や文
字列を解釈するプログラムが必要になり、ホストコンピ
ュータのプログラム開発の期間の長大化やプログラム容
量の肥大化を引き起こしている。

【００１２】本発明は、補助処理の制約条件を考慮した
ロットの進捗管理性に優れた半導体製造管理システム、
あるいはプログラム開発が短期間で簡単な半導体製造管
理システムを提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされたシステムである。すなわち、第１
の半導体製造管理システムとしては、ロットの品質を救
済するための補助処理工程の記憶手段と、各製造工程に
対応した補助処理工程を記憶する行き先補助処理工程の
記憶手段と、各補助処理工程に対応した戻り先の製造工
程を記憶する戻り先工程の記憶手段と、各記憶手段に指
示する演算部とにより、製造工程中のロットの進捗状況
を管理する半導体製造管理システムにおいて、各製造工
程ごとの補助処理回数の限度を記憶する繰り返し限度の
記憶手段と、各製造工程での同一補助処理工程の繰り返
し回数を記憶する補助処理回数の記憶手段と、補助処理
の回数が限度を越えていない場合には必要な補助処理を
行い、限度を越えている場合には補助処理を停止する、
補助処理の進捗制御手段とを設けたものである。

【００１４】第２の半導体製造管理システムには、製造
工程の情報と制約時間の情報とを記憶する工程フロー情
報ファイルと、補助処理工程の情報を記憶する補助処理
フロー情報ファイルと、管理対象となる全ロットのロッ
ト情報と制約時間切れ時刻とを記憶するロット属性ファ
イルと、自動的にロットの進捗情報を管理するとともに
工程調整開始時刻を記憶する自動工程調整ロット情報フ
ァイルと、各ファイルを検索してロットの進捗管理計算
や時間管理計算を行う演算部とが設けられている。

【００１５】第２の半導体管理システムにおいて、管理
対象となるロットが時間制約を受ける区間の最初の工程
に仕掛かっている場合で、当該最初の工程を終了した後
には、演算部によって、ロット属性ファイルを呼び出し
て算出した当該ロットの現在の工程の制約時間切れ時刻
をロット属性ファイルに記憶するとともに、自動工程調
整ロット情報ファイルを呼び出して算出した当該ロット
の工程調整開始時刻を当該自動工程調整ロット情報ファ
イルに登録する。

【００１６】または管理対象となるロットが時間制約を
受ける場合に、ロット属性ファイルより検索した当該ロ
ットの処理制約時間の時間切れ時刻を現在の時刻が越え
ている場合には処理を終了し、その時刻を現在の時刻が
越えていない場合には、制約時間に関わりなくロットを
進捗する。

【００１７】さらに演算部によって、定期的に自動工程
調整ロット情報ファイルを呼び出して算出した工程調整
開始時刻が現在の時刻に達していない場合には、自動工
程調整ロット情報ファイル内の次のロットの処理を行
い、工程調整開始時刻が現在の時刻に達している場合に
は、ロット属性ファイル内のロット情報と工程フロー情
報ファイルと補助処理フロー情報ファイルとを順に参照
して補助処理工程に当該ロットを進捗するとともに当該
ロットの制約時間を無効にして自動工程調整の対象ロッ
トより外す。

【００１８】第３の半導体製造管理システムとしては、
生産管理を指示するホストコンピュータと、ホストコン
ピュータに接続する複数の端末機と、各端末機に通信回
線を介して接続する製造処理装置と、ホストコンピュー
タより指示された信号を各製造処理装置が解読可能な信
号に変換するものであって、各端末機に設けた信号変換
器とよりなるものである。

【００１９】

【作用】第１のシステムでは、各製造工程ごとの補助処
理回数の限度を記憶する繰り返し限度の記憶手段と、各
製造工程での同一補助処理工程の繰り返し回数を記憶す
る補助処理回数の記憶手段と、補助処理の回数が限度を
越えていない場合には必要な補助処理を行い、限度を越
えている場合には補助処理を停止する、補助処理の進捗
制御手段とを設けたことにより、補助処理工程の実行回
数を制限する工程においてもロットの進捗管理が可能に
なる。この結果、ロットの進捗が円滑になる。

【００２０】第２のシステムでは、工程フロー情報ファ
イルに制約時間の情報を記憶し、ロット属性ファイルに
制約時間切れ時刻を記憶し、自動工程調整ロット情報フ
ァイルに工程調整開始時刻を記憶するとともに演算部で
ロットの進捗管理計算や時間管理計算を行うことによ
り、時間制約によって補助処理を受けるロットのため
に、時間制約を受けないで済むロットの進捗が妨げられ
て当該ロットが制約時間を越えることがなくなる。この
結果、制約時間を越えるロット数が低減するので、製造
工程内のロットの流れが円滑になる。

【００２１】第３のシステムでは、生産管理を指示する
ホストコンピュータと、ホストコンピュータに接続する
複数の端末機と、各端末機に通信回線を介して接続する
製造処理装置と、ホストコンピュータより指示された信
号を各製造処理装置が解読可能な信号に変換するもので
あって、各端末機に設けた信号変換器とで構成したこと
により、ホストコンピュータは外部装置ごとに特殊なプ
ログラムを持つ必要がなくなる。この結果、ホストコン
ピュータのプログラム開発期間が短縮され、プログラム
が簡略化される。

【００２２】

【実施例】本発明の第１の実施例を、図１の半導体製造
管理システム図および図２〜図４のファイル説明図によ
り説明する。図１に示すように、半導体製造管理システ
ム１の主要部は、工程フロー情報ファイル１１１、補助
処理フロー情報ファイル１２１、ロット属性情報ファイ
ル１３１および各ファイル１１１，１２１，１３１に接
続するもので工程管理コンピュータ１１内に設けた演算
部１４１とによって構成されている。

【００２３】上記工程フロー情報ファイル１１１には、
品種ごとにある製品を製造するための工程順やそれぞれ
の工程名を記憶する通常製造工程の記憶手段１１２が設
けられている。また各製造工程に対応する補助処理工程
を、各製造工程に対応させて記憶する行き先補助処理工
程の記憶手段１１３が設けられている。さらに各製造工
程に対して補助処理工程を連続して行うことができる回
数の限度を記憶する繰り返し限度の記憶手段１１４が設
けられている。これらの各記憶手段１１２〜１１４の情
報は、相互に関連付けられて記憶されている。図２に一
例を示すように、上記工程フロー情報ファイル１１１に
は、製品の品種名、製造工程順、製造工程名、行き先補
助処理工程名、戻り先工程名、補助処理の繰り返し限度
回数が書き込まれている。なお図では、前洗浄・酸化工
程を例に示した。

【００２４】また上記補助処理フロー情報ファイル１２
１には、ロットの品質を救済する補助処理工程を、順列
をなす複数の工程の並びとして記憶する補助処理工程の
記憶手段１２２が設けられている。また各補助処理工程
を終了した後の戻り先の製造工程を、当該補助処理工程
に対応させて記憶する戻り先工程の記憶手段１２３と、
各製造工程に対する補助処理回数の限度を記憶する繰り
返し限度の記憶手段１２４とが設けられている。これら
の各記憶手段１２２〜１２４内に格納された情報は、相
互に関連付けられて記憶されている。図３に一例を示す
ように、上記補助処理フロー情報ファイル１２１には、
補助処理名、工程順、工程名、行き先補助処理工程名、
戻り先工程名、補助処理の繰り返し限度回数が書き込ま
れている。なお図では、前洗浄・酸化工程を例に示し
た。

【００２５】さらに上記ロット属性情報ファイル１３１
には、工場内の各ロットに対して現在の工程番号と工程
名を記憶する現工程の記憶手段１３２が設けられている
とともに、補助処理工程への調整を行った際の元の工程
名を記憶した元工程の記憶手段１３３が設けられてい
る。また補助処理工程が終了した時の戻り先の工程名を
記憶した戻り先工程の記憶手段１３４が設けられてい
る。さらに同一補助処理を連続して行った回数を記憶す
る補助処理回数の記憶手段１３５が設けられている。こ
れらの各記憶手段１３２〜１３５は 相互に関連付けら
れて設けられている。図４に一例を示すように、上記ロ
ット属性情報ファイル１３１には、ロット番号、現工
程、元工程、現在の補助処理回数、戻り先工程名が書き
込まれている。なお図では、レジスト塗布工程を例に示
した。

【００２６】またさらに上記演算部１４１には、上記各
ファイル１１１，１２１，１３１を適宜呼び出して、そ
の内容を検索あるいは参照し、ロットの進捗を図るロッ
ト進捗制御手段１４２が設けられている。さらに上記繰
り返し限度の記憶手段１１４に記憶した補助処理の限度
回数と上記補助処理回数の記憶手段１３５に記憶した同
一補助処理の繰り返し回数とを比較判定して、補助処理
の回数が限度を越えていない場合には必要な補助処理を
行い、限度を越えている場合には補助処理を停止する、
補助処理の進捗制御手段１４３が設けられている。上記
の如くに半導体製造管理システム１が構成されている。

【００２７】上記半導体製造管理システム１における補
助処理の繰り返しを、図５に示す流れ図により説明す
る。図に示すように、例えばロットがある工程の処理前
の段階になった時点で、ロット救済のための補助処理が
必要になったとする。この場合には、ロット処理の担当
作業者は、工程管理コンピュータの端末機を操作して、
ロットを補助処理工程に調整する、あるいはロットの番
号を入力する、という「補助処理開始の入力」１５１の
作業を行う。

【００２８】次いで、補助処理開始の入力を行ったロッ
ト番号が工程管理コンピュータに登録されているか否か
を判別する、「ロット登録の判別」１５２を行う。対象
となるロットが登録されていない場合には、端末機にエ
ラーを表示する、「エラー表示」１７１を行う。そして
当該ロットの処理を終了する。対象となるロットが登録
されている場合には、ロット属性情報ファイルにより、
当該ロットの現在の工程名を検索する「現工程の検索」
１５３を行う。

【００２９】次いで補助処理フロー情報ファイルにより
上記検索した工程名に基づいて、当該工程に補助処理工
程が登録されているか否かを判別する「補助処理工程の
登録判別」１５４を行う。補助処理フロー情報ファイル
に現工程からの行き先補助処理工程が登録されていない
場合には、端末機にエラーを表示する、「エラー表示」
１７１を行って、当該ロットの処理を処理を終了する。
補助処理フロー情報ファイルに現工程からの行き先補助
処理工程が登録されている場合には、ロット属性情報フ
ァイルより、最新の補助処理工程を必要とした工程（元
工程）を参照する、「元工程の参照」１５５を行う。

【００３０】続いて、これが今回の元工程と同じか否か
を判別する、「元工程の判別」１５６を行う。元工程の
判別によって、同一の場合には、ロット属性情報ファイ
ルにより現在の工程における連続して実行可能な補助処
理の回数を参照する、「補助処理の連続回数の限度値の
参照」１５７を行う。

【００３１】次いで参照して引き出した現在の工程にお
ける繰り返し可能な補助処理回数が０回か否かを判別す
る、「補助処理の可否の判別」１５８を行う。この判別
で、連続して実行可能な補助処理回数が１回以上残って
いる場合には、補助処理が可能であるので、ロット属性
情報ファイルによって、現在の補助処理の連続回数を参
照する、「補助処理回数の参照」１５９を行う。

【００３２】続いて、参照して引き出した補助処理の連
続回数値が現在の工程に登録されている連続して実行可
能な補助処理回数値に到達しているか否かを判別する、
「補助処理の連続回数の限度判別」１６０を行う。この
判別では、現在の工程に登録されている補助処理の連続
回数の限度値に現在の補助処理の連続回数値が達してい
る場合には、端末機にエラーを表示する、「エラー表
示」１７１を行って、当該ロットの処理を処理を終了す
る。また現在の工程に登録されている補助処理の連続回
数の限度値に現在の補助処理の連続回数値が到達してい
ない場合は、補助処理を連続して行うことが可能である
と判断して、当該ロットの補助処理の連続回数を１増す
る、「補助処理の連続回数の書き換え」１６１を行う。
そして、ロットの工程を補助処理工程に調整する、「補
助処理工程への調整」１６２を行う。

【００３３】先の「元工程の判別」１５６において、ロ
ット属性情報ファイルの最終行き先補助処理工程と今回
の補助処理工程とが異なる場合には、ロット属性情報フ
ァイルの最新の元工程を補助処理工程に書き直す、「元
工程の更新」１６３を行う。さらに現在に補助処理の連
続回数を１回に書き直す、「補助処理の連続回数の更
新」１６４を行う。さらに、工程を調節したロットにつ
いて、まず工程フロー情報ファイルに登録されているロ
ットの戻り先の情報をロット属性情報ファイルに登録す
る、「戻り先工程の更新」１６５を行う。その後、「補
助処理工程への調整」１６２によって、ロットの工程を
補助処理工程に調節する。

【００３４】また先の「補助処理の可否の判別」１５８
において、現在の工程に登録されている連続して実行可
能な補助処理回数値が０の場合には、補助処理に実行が
可能なので、そのまま「補助処理工程への調整」１６２
に進捗する。

【００３５】上記の如くにロットの補助処理を進めて、
補助処理フロー情報ファイルの最後の補助処理工程を終
了した時点で、半導体製造管理システムは、ロット属性
情報ファイルに登録されている戻り先工程を参照し、ロ
ットの工程を戻り先工程に調整する。

【００３６】またロットの処理を担当する作業者は、半
導体製造管理システムの端末機を操作することにより、
ロットの現在における連続処理回数を参照することが可
能になっている。

【００３７】上記第１の実施例では、各製造工程ごとの
補助処理回数の限度を記憶する繰り返し限度の記憶手段
１１４と、各製造工程での同一補助処理工程の繰り返し
回数を記憶する補助処理回数の記憶手段１３５と、補助
処理の回数が限度を越えていない場合には必要な補助処
理を行い、限度を越えている場合には補助処理を停止す
る、補助処理の進捗制御手段１４３とを設けたことによ
り、補助処理工程の実行回数を制限する工程においても
ロットの進捗管理が可能になる。この結果、ロットの進
捗が円滑になる。

【００３８】次に第２の実施例を、図６の半導体製造管
理システム図および図７〜図１０のファイルの説明図に
より説明する。図６に示すように、半導体製造管理シス
テム２の主要部は、工程フロー情報ファイル２１１、補
助処理フロー情報ファイル２２１、ロット属性情報ファ
イル２３１、自動工程調整ロット情報ファイル２４１お
よび各ファイル２１１，２２１，２３１，２４１に接続
する演算部２５１とによって構成されている。

【００３９】上記工程フロー情報ファイル２１１には、
図７に示すように、品種ごとに半導体装置製造のロット
投入から完成までの一連の工程順２１２と通常処理工程
名２１３、補助処理フロー２１４、補助処理工程からの
戻り先工程名２１５、工程間に設定してある制約時間の
開始点２１６および制約時間の終了点２１７、制約時間
値２１８、自動工程調整時間幅２１９が記憶されてい
る。これらの記憶した情報は、相互に関連付けられてい
る。これらの記憶情報は、工程管理コンピュータの端末
機（図示せず）を操作することで、作業者によって登録
することが可能である。また一旦登録した補助処理工程
の変更や削除も、工程管理コンピュータの端末機（図示
せず）を操作することにより可能になっている。

【００４０】上記補助処理フロー情報ファイル２２１に
は、図８に示すように、制約時間を超過したロットに対
して救済するための補助処理の情報が記憶されている。
すなわち、補助処理フロー２２２と一連の補助処理フロ
ー２２２ごとに補助処理に必要な工程順２２３とその補
助処理工程名２２４とが関連付けられて記憶されてい
る。これらの記憶した情報は、工程管理コンピュータの
端末機（図示せず）を操作することにより、作業者によ
って登録、変更、削除等ができる。

【００４１】上記ロット属性情報ファイル２３１には、
図９に示すように、管理対象となる全ロットについて、
そのロット番号２３２、現在の工程番号２３３と現在の
工程名２２４、さらに当該ロットの現在の仕掛かり状態
２３５、補助処理への工程の調整を行った際の元の工程
名（以下元工程２３６と記す）、補助処理終了時の戻り
先の工程名２３７、制約時間切れになる時刻（以下制約
時間切れ時刻２３８と記す）が関連付けられて記憶され
ている。これらの記憶した情報は、工程管理コンピュー
タの端末機（図示せず）を操作することにより、作業者
によって登録、変更、削除等ができる。

【００４２】上記自動工程調整ロット情報ファイル２４
１には、図１０に示すように、自動的にロットの進捗情
報を管理するとともに、自動工程調整を必要とするロッ
トのロット番号２４２に対して補助処理への工程調整を
開始する時刻（工程調整開始時刻２４３）を関連付けて
記憶されている。

【００４３】上記演算部２５１には、制約時刻計算プロ
グラム２５２，処理可能ロット参照プログラム２５３，
処理開始プログラム２５４，自動工程調整プログラム２
５５等が搭載されている。これらの各プログラムによっ
て、上記各ファイル２１１，２２１，２３１，２４１を
参照してロットの進捗管理計算や時間管理計算を行う。

【００４４】すなわち、管理対象となるロットが時間制
約を受ける区間の最初の工程に仕掛かっている場合で、
当該最初の工程を終了した後には、演算部２５１によっ
て、ロット属性ファイル２３１を呼び出し、当該ロット
の現在の工程名２２４の制約時間切れ時刻２３８を計算
して当該ロット属性ファイル２３１に記憶する。それと
ともに上記自動工程調整ロット情報ファイル２４１を呼
び出して、当該ロットの工程調整開始時刻２４３を計算
して当該自動工程調整ロット情報ファイル２４１に登録
する。

【００４５】また管理対象となるロットが時間制約を受
ける場合を説明する。演算部２５１によって上記ロット
属性ファイル２３１を呼び出し、当該ロットの制約時間
切れ時刻２３８を引き出して、現在の時刻と比較する。
そして現在の時刻がその制約時間切れ時刻２３８を越え
ている場合には、処理を終了する。現在の時刻が当該制
約時間切れ時刻２３８を越えていない場合には、制約時
間切れ時刻２３８に関わりなくロットを進捗する。

【００４６】さらに演算部２５１によって、上記自動工
程調整ロット情報ファイル２４１を定期的に呼び出し、
当該ロットの工程調整開始時刻２４３を引き出して、現
在の時刻と比較する。そして工程調整開始時刻２４３が
現在の時刻に達していない場合には、自動工程調整ロッ
ト情報ファイル２４１内の次のロットの処理を行う。工
程調整開始時刻２４３が現在の時刻に達している場合に
は、上記ロット属性ファイル２３１、上記工程フロー情
報ファイル２１１、上記補助処理フロー情報ファイル２
２１を順に呼び出して、当該ロットを補助処理フロー２
２２に進捗させる。それとともに、当該ロットの制約時
間を無効にして自動工程調整の対象ロットより外す。上
記の如くに半導体製造管理システム２は構成されてい
る。

【００４７】次にロット処理について具体的に図１１〜
図１４により説明する。いま、管理対象ロットの一つに
着目する。着目したロットが制約時間が設定されている
区間の最初の工程で処理中であるとする。そして処理が
終了した情報の入力を端末機（図示せず）より行う。図
１１に示すように、入力された情報が工程管理コンピュ
ータの演算部（２５１）に伝達された時点で、制約時刻
計算プログラム２５２によって、ロット属性情報ファイ
ル２３１から当該ロットの現在の工程名２２４を参照
（矢印ア）する。次いで工程フロー情報ファイル２１１
の当該通常処理工程名２１３に関する項目を検索（矢印
イ）し、当該制約時間値２１８を引き出す（矢印ウ）。
そして制約時刻計算プログラム２５２によって、この制
約時間値２１８を現在の時刻に加算して制約時間切れ時
刻を算出する。その後制約時間切れ時刻をロット属性情
報ファイル２３１の当該ロットの制約時間切れ時刻２３
８の項目に登録する（矢印エ）。

【００４８】さらに、工程管理コンピュータの演算部２
５１は、上記工程フロー情報ファイル２１１を参照（矢
印オ）し、自動工程調整時間幅２１９を引き出す（矢印
カ）。そして制約時刻計算プログラム２５２によって、
自動工程調整時間幅２１９を現在の時刻に加算して自動
工程調整を開始する時刻を算出する。その後自動工程調
整ロット情報ファイル２４１に、ロット番号２４２とと
もに上記自動工程調整を開始する時刻を工程調整開始時
刻２４３の項目に登録する（矢印キ，矢印ク）。

【００４９】時間制約のかかったロットが時間制約の最
終工程の処理前の状態になった場合には、次に処理を行
うべきロットの選択を行う。すなわち図１２に示すよう
に、工程管理コンピュータの演算部２５１は、処理可能
ロット参照プログラム２５３によって、ロット属性情報
ファイル２３１より、当該ロットの現在の工程名２３４
と一致する工程（矢印サ）で、仕掛かり状態２３５が当
該工程が処理前（矢印シ）であり、かつ制約時間切れ時
刻２３８（矢印ス）を越えていないロットを検索する。
そして、該当するロットのロット番号２４２（矢印セ）
の全リストを端末機２６１に、処理可能ロットリスト２
６１として表示する。表示した処理可能ロットリスト２
６１よりロットを任意に選択し、選択したロットに対し
て処理開始の入力を行う。

【００５０】そして図１３に示すように、工程管理コン
ピュータの演算部２５１では、端末機２２よりロット処
理開始入力２６２の情報を受け取ると、処理開始プログ
ラム２５４によって、ロット属性情報ファイル２３１を
検索して（矢印タ）当該ロットのロット番号２３２より
制約時間切れ時刻２３８を参照する（矢印チ）。そして
処理開始プログラム２５４によって、参照した制約時間
切れ時刻２３８が現在の時刻を越えているか否かを判定
し、越えている場合には、端末機２６１にエラーを表示
して終了する。上記制約時間切れ時刻２３８が現在の時
刻を越えていない場合には、ロット属性情報ファイル２
３１内の当該ロットに関する制約時間切れ時刻２３８を
空欄にする（矢印ツ）とともに、自動工程調整ロット情
報ファイル２４１内の当該ロットの制約時間に関する情
報として、ロット番号２４２と工程調整開始時刻２４３
とを削除する（矢印テ）。

【００５１】次に自動工程調整機能に関する処理を、図
１４により説明する。工程管理コンピュータの演算部２
５１は、自動工程調整プログラム２５５によって定期的
に自動工程調整ロット情報ファイル２４１を呼び出し、
順にロット番号２４２と当該工程の工程調整開始時刻２
４３を参照する（矢印ナ）。この工程調整開始時刻２４
３が現在の時刻に達していない場合には、自動工程調整
ロット情報ファイル２４１内の次のロットを処理する。
上記工程調整開始時刻２４３が現在の時刻に達している
場合には、ロット属性情報ファイル２３１中の当該ロッ
ト情報を参照して（矢印ニ）、当該ロットのロット番号
２３２より現在の工程名２３４を引き出す（矢印ヌ）。

【００５２】次いで工程フロー情報ファイル２１１を参
照して（矢印ネ）、引き出した現在の工程名２３４に対
応する通常処理工程名２１３より補助処理フロー２１４
を引き出す（矢印ノ）。続いて補助処理フロー情報ファ
イル２２１を参照して（矢印ハ）、引き出した補助処理
フロー２１４に対応する補助処理フロー２２２の最初の
補助処理工程名２２４を引き出す（矢印ヒ）。引き出さ
れた補助処理工程名２２４を、ロット属性情報ファイル
２３１の該当する工程名に書き込み（矢印フ）、ロット
の工程名の更新を行う。

【００５３】またロット属性情報ファイル２３１の当該
ロットの制約時間切れ時刻２３８を空欄にし（矢印
ヘ）、制約時間に関わりなくロットの進捗を可能にす
る。それとともに、自動工程調整ロット情報ファイル２
４１の該当するロット情報を削除して（矢印ホ）、当該
ロットが新たな工程調整の対象にならないようにする。
上記自動工程調整ロット情報ファイル２４１に記憶され
ている全てのロットに関して自動工程調整を行った後、
一旦自動工程調整を停止する。そして一定時間が経過し
た後、再び上記手順によって、自動工程調整を行う。

【００５４】第２のシステムでは、工程フロー情報ファ
イル２１１に制約時間の情報（制約時間値２１８）を記
憶し、ロット属性ファイル２３１に制約時間切れ時刻２
３８を記憶し、自動工程調整ロット情報ファイル２４１
に工程調整開始時刻２４３を記憶するとともに演算部２
５１でロットの進捗管理計算や時間管理計算を行うこと
により、時間制約によって補助処理を受けるロットによ
って、時間制約を受けないで済むロットの進捗が妨げら
れて当該ロットが制約時間を越えることがなくなる。こ
の結果、制約時間を越えるロット数が低減するので、製
造工程内のロットの流れが円滑になる。

【００５５】次に第３の実施例を図１５の半導体製造管
理システム図により説明する。図には、半導体製造工程
に仕掛かるロットの進捗状況を管理する半導体製造管理
システム３を示す。この半導体製造管理システム３に
は、生産管理を指示するホストコンピュータ３０１が設
けられている。このホストコンピュータ３０１には通信
回線３１１を介して複数の端末機３２１が接続されてい
る。各端末機３２１は、端末コントローラ３２２と、こ
の端末コントローラ３２２に接続する表示部３２３とキ
ー入力部３２４とより構成さている。また各端末コント
ローラ３２２には信号変換器３３１が設けられている。
さらに各端末機３２１には、通信回線３４１を介して製
造処理装置３５１が接続されている。上記各信号変換器
３３１は、ホストコンピュータ３０１より指示された信
号Ｓ１を各製造処理装置３５１が解読可能な信号Ｓ２に
変換する。または製造処理装置３５１より発した信号Ｓ
３をホストコンピュータ３０１が解読可能な信号Ｓ４に
変換する。

【００５６】次に端末機３２１の端末コントローラ３２
２を図１６の制御ブロック図により説明する。図に示す
ように、制御部３２５は後述する各記憶領域との文字列
の転送、編集作業および外部機器（ホストコンピュータ
３０１，製造処理装置３５１等）との通信機能を成すも
のである。上記信号Ｓ１〜Ｓ４等を一時的に記憶する記
憶領域として、メニュー番号の一時記憶領域Ａ、キー入
力用受信電文の一時記憶領域Ｂ、処理装置イベントの一
時記憶領域Ｃ、処理装置通信用受信電文の一時記憶領域
Ｄ、ホストコンピュータ通信用受信電文の一時記憶領域
Ｅ等が設けられている。これらの一時記憶領域Ａ〜Ｅ
は、端末コントローラ３２２内の記憶媒体として、随時
書換えまたは読み込みが可能なものとして、例えば半導
体メモリ（ＲＡＭ）などによって構成されている。

【００５７】また、立ち上げ手順の記憶領域Ｆ、キー入
力対応制御手順の記憶領域Ｇ、処理装置対応制御手順の
記憶領域Ｈ等が設けられている。これらの記憶領域Ｆ〜
Ｈは、端末コントローラ３２２内の読み出し専用記憶媒
体として、端末機能に応じて、予め設定された手順を固
定的に記憶するものとして、例えば半導体メモリ（ＲＯ
Ｍ）等によって構成されている。

【００５８】次に端末コントローラ３２２の機能を説明
する。端末コントローラ３２２の電源を投入した場合に
は、端末コントローラ３２２内の立ち上げ手順の記憶領
域Ｆに登録されている手順を読み出し、この手順にした
がってホストコンピュータ３０１との接続を自動的に行
う。

【００５９】次にキー入力部３２４からホストコンピュ
ータ３０１の端末機能を要求する入力があった場合に
は、端末コントローラ３２２は、キー入力部３２４から
の入力文字列，制御コードをホストコンピュータ３０１
に送信し、その応答の文字列，制御コードを表示部３２
３に出力する。この機能によって、端末機３２１は、ホ
ストコンピュータ３０１の一般的な端末としての機能を
果たす。

【００６０】キー入力部３２４から簡易端末機能の要求
があった場合には、端末コントローラ３２２は自らの持
つメニュー画面データを表示部３２３に出力して表示す
る。その後、キー入力部３２４によってメニュー選択文
字を受信した後、メニュー選択の範囲を調べる。その結
果、範囲外の文字であれば、その旨を表示部３２３に表
示する。そして初期画面に戻る。またメニュー選択の範
囲内の文字であれば、そのメニュー番号をメニュー番号
一時記憶領域Ａに記憶するとともに、そのメニューに応
じた端末コントローラ３２２自身の持つ画面データを表
示部３２３に出力して表示する。

【００６１】その後、制御部３２５がキー入力部３２４
からの文字列を受信した場合には、その内容を端末コン
トローラ３２２の内部のキー入力用受信電文の一時記憶
領域Ｂに蓄える。そして選択メニュー番号に応じた手順
にしたがって、ホストコンピュータ３０１に送信すべき
文字列，制御コードを編集する。そして編集が完了した
ら、この文字列，制御コードをホストコンピュータ３０
１に送信する。

【００６２】しかる後、ホストコンピュータ３０１から
の応答文字列，制御コードを受信したら、それを端末コ
ントローラ３２２内部のホストコンピュータ通信用受信
電文の一時記憶領域Ｅに蓄える。そして、選択メニュー
番号に応じた手順にしたがって、受信文字列を編集する
とともに、上記同手順にしたがって、表示部３２３に画
面データを出力表示する。さらに編集済みのホストコン
ピュータ３０１からの受信文字列を表示する。このよう
に、端末機３２１は、ホストコンピュータ３０１の簡易
端末装置としての機能を持つ。

【００６３】また、端末コントローラ３２２は、当該端
末コントローラ３２２に接続されている製造処理装置３
５１との通信により、製造処理装置３５１でのイベント
発生、その詳細な情報を受信する。そして発生したイベ
ントの種類を判別して記憶する。それとともに、その受
信電文（信号Ｓ３）を端末コントローラ３２２内の処理
装置イベントの一時記憶領域Ｃに蓄える。そして信号変
換器３３１によって、イベントの種類に応じた手順にそ
って、ホストコンピュータ３０１が解釈できる文字列，
制御コードに変換して編集する。そして編集が完了した
ら、この文字列，制御コードを信号Ｓ４としてホストコ
ンピュータ３０１に送信する。

【００６４】しかる後、ホストコンピュータ３０１から
応答文字列，制御コード等の信号Ｓ１が送信される。そ
の信号Ｓ１を端末コントローラ３２２内部のホストコン
ピュータ通信用受信電文の一時記憶領域Ｅに蓄える。そ
して記憶していた発生イベントの種類に応じた手順にそ
って、信号変換器３３１により、受信電文（信号Ｓ１）
を製造処理装置３５１が解釈可能な電文（信号Ｓ２）に
変換して編集し、その信号Ｓ２を製造処理装置３５１に
送信する。このように、製造処理装置３５１で発生した
イベントをホストコンピュータ３０１に報告することが
可能になる。

【００６５】いま、製造処理装置３５１に処理を行うべ
き物が到着したとする。製造処理装置３５１では、この
物を予め記入されている物のＩＤ番号等を読み取り、到
着した旨（以下イベントと記す）を到着した物のＩＤ番
号とともに信号Ｓ３として、通信回線３４１を介して端
末コントローラ３２２に送信する。端末コントローラ３
２２では受信した内容（ここでは物が到着した旨）を示
す受信電文（信号Ｓ３）を端末コントローラ３２２内の
処理装置イベントの一時記憶領域Ｃに蓄える。そこで、
イベントの種類に応じた手順い沿ってホストコンピュー
タ３０１に送信するべき文字列，制御コードを編集す
る。その際、信号変換器３３１によって、ホストコンピ
ュータ３０１に送信可能な受信電文（信号Ｓ４）に変換
して編集する。そして編集が完了したら、この文字列，
製造コードを信号Ｓ４としてホストコンピュータ３０１
に送信する。

【００６６】しかる後、ホストコンピュータ３０１から
の応答文字列，制御コード等の信号Ｓ１を受信する。こ
の内容には、報告した物の報告した製造処理装置３５１
での処理条件等が含まれている。端末コントローラ３２
２では、ホストコンピュータ３０１からの受信電文（信
号Ｓ１）を端末コントローラ３２２内部のホストコンピ
ュータ通信用受信電文の一時記憶領域Ｅに蓄える。そし
て、記憶していた発生イベントの種類に応じた手順にそ
って、受信電文（信号Ｓ１）を編集し、製造処理装置３
５１が解釈可能な応答電文（信号Ｓ２）に変換して編集
し、その編集した信号Ｓ２を製造処理装置３５１に送信
する。

【００６７】この応答電文（信号Ｓ２）を受信した製造
処理装置３５１は、到着した物の処理条件を知ることが
可能になる。このようにして、処理開始を自動化するこ
とが可能になる。上記説明した如くに、端末機３２１の
端末コントローラ３２２は、製造処理装置３５１の制御
装置としての機能を有する。

【００６８】例えば端末コントローラ３２２が受信する
イベントや問い合わせをホストコンピュータ３０１に報
告する際に、１回の電文受信では機能的に満足できない
場合がある。この場合には、イベントごとに定義するホ
ストコンピュータ３０１における受信データの編集手順
の中に最初に送信するべきホストコンピュータ３０１へ
の電文、それぞれの送信電文の応答受信ごとに送信する
べきホストコンピュータ３０１への電文、それぞれの電
文ごとの編集手順等を控えておき、端末コントローラ３
２２はこの手順にしたがってホストコンピュータ３０１
への送信受信を行う。このようにして、複数の問い合わ
せシーケンスを自動化することが可能になる。

【００６９】上記半導体製造管理システム３では、生産
管理を指示するホストコンピュータ３０１と、ホストコ
ンピュータ３０１に通信回線３１１を介して接続する複
数の端末機３２１と、各端末機３２１に通信回線３３１
を介して接続する製造処理装置３５１と、ホストコンピ
ュータより指示された電文を各製造処理装置が解読可能
な電文に変換するものであって、各端末機３３１に設け
た変換器３４１とで構成したことにより、ホストコンピ
ュータ３０１は外部装置（各製造処理装置３５１）ごと
に特殊なプログラムを持つ必要がなくなる。この結果、
ホストコンピュータ３０１のプログラム開発期間が短縮
され、プログラムが簡略化される。

【００７０】

【発明の効果】以上、説明したように、請求項１の発明
によれば、各製造工程ごとの補助処理回数の限度を記憶
する繰り返し限度の記憶手段と、各製造工程での同一補
助処理工程の繰り返し回数を記憶する補助処理回数の記
憶手段と、補助処理の回数が限度を越えていない場合に
は必要な補助処理を行い、限度を越えている場合には補
助処理を停止する制御手段とを設けたことにより、補助
処理工程の実行回数を制限する工程においてもロットの
進捗管理が可能になる。この結果、ロットの進捗の円滑
化が図れる。

【００７１】請求項２の発明によれば、通常工程情報フ
ァイルに制約時間の情報を記憶し、ロット属性ファイル
に制約時間切れ時刻を記憶し、自動工程調整ロット情報
ファイルに工程調整開始時刻を記憶するとともに演算部
でロットの進捗管理計算や時間管理計算を行うことによ
り、時間制約によって補助処理を受けるロットのため
に、時間制約を受けないで済むロットの進捗が妨げられ
て当該ロットが制約時間を越えることがなくなる。この
結果、制約時間を越えるロット数が低減する。したがっ
て、製造工程内のロットの流れが円滑になるので，生産
効率の向上が図れる。

【００７２】請求項３の発明によれば、生産管理を指示
するホストコンピュータと、ホストコンピュータに接続
する複数の端末機と、各端末機に通信回線を介して接続
する製造処理装置と、ホストコンピュータより指示され
た信号を各製造処理装置が解読可能な信号に変換するも
のであって、各端末機に設けた変換器とで構成したこと
により、ホストコンピュータは外部装置ごとに特殊なプ
ログラムを持つ必要がなくなる。この結果、ホストコン
ピュータのプログラム開発期間が短縮できるとともに、
プログラムが簡略化が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施例の半導体製造管理システム図であ
る。

【図２】工程フロー情報ファイルの説明図である。

【図３】補助処理フロー情報ファイルの説明図である。

【図４】ロット属性情報ファイルの説明図である。

【図５】第１の実施例における補助処理の繰り返しを説
明する流れ図である。

【図６】第２の実施例の半導体製造管理システム図であ
る。

【図７】工程フロー情報ファイルの説明図である。

【図８】補助処理フロー情報ファイルの説明図である。

【図９】ロット属性情報ファイルの説明図である。

【図１０】自動工程調整ロット情報ファイルの説明図で
ある。

【図１１】制約時間切れ時刻と工程調整開始時刻の算出
方法の説明図である。

【図１２】処理可能ロットの参照方法の説明図である。

【図１３】ロットの処理開始入力の説明図である。

【図１４】自動工程調整機能の説明図である。

【図１５】第３の実施例の半導体製造管理システム図で
ある。

【図１６】制御ブロック図である。

【符号の説明】

１ 半導体製造管理システム ２ 半導体製造管理システム ３ 半導体製造管理システム １１１ 工程フロー情報ファイル １１３ 行き先補助処理工程の記憶手段 １１４ 繰り返し限度の記憶手段 １２１ 補助処理フロー情報ファイル １２２ 補助処理工程の記憶手段 １２３ 戻り先工程の記憶手段 １２４ 繰り返し限度の記憶手段 １３５ 補助処理回数の記憶手段 １４１ 演算部 １４３ 補助処理の進捗制御手段 ２１１ 工程フロー情報ファイル ２１８ 制約時間値 ２２１ 補助処理フロー情報ファイル ２２２ 補助処理フロー ２３１ ロット属性情報ファイル ２３４ 現在の工程名 ２３８ 制約時間切れ時刻 ２４１ 自動工程調整ロット情報ファイル ２４３ 工程調整開始時刻 ２５１ 演算部 ３０１ ホストコンピュータ ３２１ 端末機 ３３１ 信号変換器 ３４１ 通信回線 ３５１ 製造処理装置

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ロットの品質を救済する補助処理工程
   を、順列をなす複数の工程の並びとして記憶する補助処
   理工程の記憶手段と、 対象となる品種ごとの各製造工程に対応する前記補助処
   理工程を、各製造工程に対応させて記憶する行き先補助
   処理工程の記憶手段と、 各補助処理工程を終了した後の戻り先の製造工程を、当
   該補助処理工程に対応させて記憶する戻り先工程の記憶
   手段と、 前記各記憶手段に指示する演算部とによって、半導体製
   造工程に仕掛かるロットの進捗状況を管理する半導体製
   造管理システムにおいて、 前記製造工程に対する補助処理回数の限度を記憶する繰
   り返し限度の記憶手段と、 前記製造工程で同一補助処理工程の繰り返し回数を記憶
   する補助処理回数の記憶手段と、 前記補助処理回数の限度と前記同一補助処理工程の繰り
   返し回数とを比較判定して、補助処理の回数が限度を越
   えていない場合には、必要な補助処理を行い、限度を越
   えている場合には補助処理を停止する、補助処理の進捗
   制御手段とを設けたことを特徴とする半導体製造管理シ
   ステム。
2. 【請求項２】 製造工程の情報と制約時間の情報とを記
   憶する工程フロー情報ファイルと、補助処理工程の情報
   を記憶する補助処理フロー情報ファイルと、管理対象と
   なる全ロットのロット情報と制約時間切れ時刻とを記憶
   するロット属性情報ファイルと、自動的にロットの進捗
   情報を管理するとともに工程調整開始時刻を記憶する自
   動工程調整ロット情報ファイルと、各ファイルの情報を
   基にしてロットの進捗管理計算や時間管理計算を行う演
   算部とを設けた半導体製造管理システムであって、 管理対象となるロットが時間制約を受ける区間の最初の
   工程に仕掛かっている場合で、当該最初の工程を終了し
   た後には、前記演算部によって、前記ロット属性ファイ
   ルを呼び出して算出した当該ロットの現在の工程の制約
   時間切れ時刻を当該ロット属性ファイルに記憶するとと
   もに、前記自動工程調整ロット情報ファイルを呼び出し
   て算出した当該ロットの自動工程調整を行う時刻を当該
   自動工程調整ロット情報ファイルに登録し、 管理対象となるロットが時間制約を受ける場合に、前記
   ロット属性ファイルより検索した当該ロットの制約時間
   切れ時刻を現在の時刻が越えている場合には処理を終了
   し、その時刻を現在の時刻が越えていない場合には制約
   時間切れ時刻に関わりなくロットを進捗するとともに、 前記演算部によって、前記自動工程調整ロット情報ファ
   イルを定期的に呼び出して算出した工程調整開始時刻が
   現在の時刻に達していない場合には、当該自動工程調整
   ロット情報ファイル内の次のロットの処理を行い、工程
   調整開始時刻が現在の時刻に達している場合には、前記
   ロット属性ファイル内のロット情報と前記工程フロー情
   報ファイルと前記補助処理フロー情報ファイルとを順に
   参照して補助処理工程に当該ロットを進捗し、かつ当該
   ロットの制約時間を無効にして自動工程調整の対象ロッ
   トより外すことを特徴とする半導体製造管理システム。
3. 【請求項３】 半導体製造工程に仕掛かるロットの進捗
   状況を管理する半導体製造管理システムであって、 生産管理を指示するホストコンピュータと、 前記ホストコンピュータに接続する複数の端末機と、 前記各端末機に通信回線を介して接続する製造処理装置
   と、 前記ホストコンピュータより指示された信号を前記各製
   造処理装置が解読可能な信号に変換するものであって、
   前記各端末機に設けた信号変換器とよりなることを特徴
   とする半導体製造管理システム。