JPH10289868A - 露光装置及び露光方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】露光装置にエラーが生じた場合における露光装
置の作動環境に関するレポート作成の負担を減少させる
とともに、エラーの生じた露光装置の早期復旧を達成す
る露光装置の制御装置及び制御方法を提供する。 【解決手段】露光装置２０１にエラーが発生したとき
に、少なくともプログラムに関するデータとエラーに関
するデータとを読み出し、かつ所定の形式で出力するの
で、露光装置のオペレータが、エラー原因解析にいかな
る情報が必要か知らなくても、かかる情報の収集が容易
となり、もってエラーの生じた露光装置２０１の早期復
旧が確保されることとなる。さらには、収集された情報
が所定の形式で出力されるため、出力を受け取ったサー
ビスマン等が容易に情報を把握でき、もってエラーの早
期解析が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願発明は、エラー処理を行
う半導体製造用及び液晶表示素子製造用の露光装置及び
露光方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】露光装置においてエラーが生じその動作
が停止したようなとき、そのエラーが単純なものである
場合には、通常表示されたエラーメッセージに基づき、
露光装置のユーザーだけで、復旧に必要な措置をとるこ
とができる。

【０００３】ところが露光装置は、複雑なプログラム下
で複数の制御ユニットにより制御されるものであるた
め、表示されたエラーメッセージに基づく通常の復旧作
業では処理し得ない原因の特定困難なエラーもまれに生
じうる。このようなエラーに対処するには、装置全体に
関する知識が必要であり、露光装置のユーザーだけでそ
のエラーに対処するのは困難なことが多い。

【０００４】そこで、このような原因の特定困難なエラ
ーが発生したときに、露光装置のユーザーは、露光装置
が設置された工場等と別な場所にあるサービスステーシ
ョンのサービスマン等に、エラーの発生した露光装置を
復旧させるにはどうしたらよいかを問い合わせるのが一
般的である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】かかる場合、問い合わ
せを受けたサービスマン等は、特定困難なエラーの原因
が、エラーの発生箇所にとどまらずその周辺若しくは全
く異なる場所にもありえることを経験上知っているた
め、エラーが発生した時点あるいはそれ以前の露光装置
の作動環境をまず把握しようとする。

【０００６】しかるに、かかる作動環境把握のために
は、発生時の装置状態、制御ユニットの状態、制御用コ
ンピュータの状態、制御ソフトの状態、エラー発生直前
までの処理内容、エラー発生直前までの他のエラーの発
生状況等、露光装置の各部に散在した数多くの様々な情
報を収集することが必要となる。従って、サービスマン
等は、露光装置のユーザーに、とりあえず上述した様々
な情報を収集し、かつそれに基づき作動環境のレポート
を作成することを依頼することが多い。

【０００７】しかしながら露光装置のユーザーは、一般
的にはかかる情報を収集することに不慣れであり、よっ
て情報収集に時間がかかりエラーが軽微であるにも関わ
らず露光装置の復旧が大幅に遅れることがある。また、
通常行っている作業と全く異なるその情報収集及びレポ
ート作成は、露光装置のユーザーにとって過度の負担と
なる。更に、露光装置のユーザーが無秩序に収集した膨
大な情報を整理し、それから必要な情報のみを抜き出し
てエラー解析を行うことは、装置を良く知るサービスマ
ン等にとっても時間がかかる作業である。

【０００８】一方、露光装置のユ−ザーが苦労して収集
した情報は生じたエラーと無関係なものであったため、
その情報からはエラーの原因を判断できなかったサービ
スマンが現地に出向いたところ、実はエラーの解析に必
要な情報は別なものであり、その収集にはわずかな時間
で足りたというような場合もある。

【０００９】そこで本願発明は、露光装置にエラーが生
じた場合における露光装置の作動環境に関するレポート
作成の負担を減少させるとともに、エラーの生じた露光
装置の早期復旧を達成する露光装置の制御装置及び制御
方法を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく本
願発明の、マスクのパターンを基板に露光する露光系
と、前記露光系を所定のプログラムにより制御する制御
装置とを備えた露光装置は、実行されたプログラムに関
するデータと、前記露光動作時に発生したエラーに関す
るデータとを保持する保持手段と、前記エラーが発生し
たときに、少なくとも前記プログラムに関するデータと
前記エラーに関するデータとを読み出す読み出し手段
と、前記読み出し手段から読み出した前記データを所定
の形式で出力する出力手段とを備えたことを特徴とす
る。

【００１１】更に、本願発明の露光装置は、前記読み出
し手段が、前記エラーの種類に応じて前記露光系の状態
を表すデータを読み出すことを特徴とする。

【００１２】更に、本願発明の露光装置は、前記出力手
段が、前記データを電気信号に変換して出力することを
特徴とする。

【００１３】更に、本願発明の露光装置は、前記露光系
が複数の露光系構成部から構成されており、前記読み出
し手段が、前記エラーの種類に応じて前記露光系構成部
の各々から前記露光系構成部の状態を表すデータを読み
出すことを特徴とする。

【００１４】本願発明の制御装置によれば、露光装置に
エラーが発生したときに、少なくとも前記プログラムに
関するデータと前記エラーに関するデータとを読み出
し、かつ所定の形式で出力するので、露光装置のオペレ
ータが、エラー原因解析にいかなる情報が必要か知らな
くても、かかる情報の収集が容易となり、もってエラー
の生じた露光装置の早期復旧が確保されることとなる。
さらには、収集された情報が所定の形式で出力されるた
め、出力を受け取ったサービスマン等が容易に情報を把
握でき、もってエラーの早期解析が可能となる。

【００１５】また、本願発明の、マスクの回路パターン
を所定のプログラムにより露光する露光方法は、実行さ
れたプログラムに関するデータと、前記露光の動作時に
発生したエラーに関するデータとを保持するステップ
と、前記エラーが発生したときに、少なくとも前記プロ
グラムに関するデータと前記エラーに関するデータとを
読み出すステップと、読み出した前記データを電気信号
に変換して出力するステップとを含むことを特徴とす
る。

【００１６】本願発明の制御方法によれば、露光装置に
エラーが発生したときに、少なくとも前記プログラムに
関するデータと前記エラーに関するデータとを読み出
し、かつ電気信号に変換して出力するので、かかるデー
タを例えば電子メール等の手段を介して遠方へも直ちに
送信することができ、もってエラーの解析が迅速に行え
露光装置の早期復旧が確保されることとなる。さらに
は、収集されたデータは電気信号の形で送信されるた
め、送信されたサービスマン等がかかるデータに容易に
処理加工を施すことができ、更にエラーの早期解析が可
能となる。

【００１７】

【発明の実施の形態】本願発明の実施の形態を、図面を
参照して以下に詳細に説明する。図１は、本発明にかか
る露光装置のブロック図である。図中ブロック２０１が
露光装置本体である。装置内部は、外部環境から密閉さ
れ図示しない空調装置により一定の温度、清浄度（クリ
ーン度）に保たれるよう管理されている。

【００１８】この露光装置２０１を制御する制御用コン
ピュータ２０２は、ＣＰＵ（中央処理装置）、ＲＯＭ
（リード・オンリ・メモリ）、ＲＡＭ（ランダム・アク
セス・メモリ）、入出力インターフェースを有し、通信
用バス２１９を通じて、露光装置内部の各制御用ユニッ
ト２１２〜２１８と連結され、後述する各制御用ユニッ
トを制御するようになっている。また、制御用コンピュ
ータ２０２には制御用プログラムがインストールされて
おり、これを実行することにより各制御用ユニット２１
２乃至２１８が個々に制御され、それにより露光装置２
０１全体が制御されるようになっている。

【００１９】本実施の形態においては、制御用コンピュ
ータ２０２は、工場内ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ
Ｎｅｔｗｏｒｋ）のライン２２０を通じて工場内ホスト
コンピュータ２２１とも接続されており、ホストコンピ
ュータ２２１からの処理指示、モニタリングも可能とな
っている。しかしながら、制御用コンピュータ２０２を
ホストコンピュータ２２１から切り離し、独立的に動作
させることももちろん可能である。

【００２０】次に、露光装置２０１の露光系について詳
細に説明する。装置上部の水銀ランプ２０４から発せら
れた露光光は、楕円鏡２０３により反射された後に、下
方のシャッタ２０５に向かうように照射される。ここ
で、シャッタ２０５が開かれた場合に、露光光は、不図
示の照明光学系により均一な照度にされ、レチクル・ス
テージ２０７上に置かれたレチクル（マスク）２０６に
照射されることになる。レチクル２０６には、パターン
があらかじめ形成されている。レチクル２０６を透過し
たパターンの像は、投影光学系２０８を介して、三次元
に移動可能なプレート・ステージ２１１上に置かれあら
かじめ感光剤が塗布されたプレート（基板）２１０に投
影され、焼き付けられるようになっている。プレートア
ライメント顕微鏡２０９は、プレート２１０に形成され
たアライメントマークを検出して、プレート２１０の位
置決めを行うものである。

【００２１】次に、露光装置２０１の露光系構成部とし
ての各制御用ユニット２１２乃至２１８を説明する。Ｅ
Ｎユニット２１２は、この露光装置本体２０１の内部を
一定の温度、清浄度となるよう管理し、また水銀ランプ
２０４の連続使用時間を管理する。ＲＬユニット２１３
は、露光装置２０１内のレチクル格納場所とレチクル・
ステージ２０７間におけるレチクル２０６の搬送を制御
する。

【００２２】ＲＳユニット２１４は、不図示のレチクル
アライメント部のアライメント結果に基づいて、レチク
ル２０６を真空吸着したレチクル・ステージ２０７を動
かすことにより、レチクル２０６の位置決めを行う。Ｐ
Ｌユニット２１５は、露光装置外部とプレート・ステー
ジ２１１との間における被露光プレートの搬送を制御す
る。

【００２３】ＰＳユニット２１６は、後述のＡＬユニッ
トの検出結果に基づいて、プレートステージ２１１を駆
動させて、プレート２１０を所定の露光位置に位置決め
する。なお、プレートステージ２１１の水平方向の位置
は、不図示のレーザ干渉計により計測されており、この
計測結果はＰＳユニット２１６に入力されている。さら
には、ＰＳユニット２１６は、プレート・ステージ２１
１を上下に動かすことにより投影光学系２０８の焦点合
わせ（Ａｕｔｏ Ｆｏｃｕｓ）をも制御する。

【００２４】ＡＬユニット２１７は、正確にプレート・
ステージ２１１との位置関係が求められているプレート
・アライメント顕微鏡２０９により、プレート上に焼き
付けられたアライメント用のマークを観察し、プレート
の位置を算出するものである。ＥＸユニット２１８は、
シャッタ２０５の開閉とその露光時間を制御する。

【００２５】ところで、露光装置２０１においてエラー
が検出されると、まず制御用コンピュータ２０２にエラ
ー情報が通知される。このエラー情報には発生元を示す
識別コードならびにエラーの内容を示す詳細コードが含
まれる。すなわちこのエラー情報より、エラーの発生し
た場所及びその内容がわかる。

【００２６】制御用コンピュータ２０２は、もちろん制
御用プログラム内部で発生したエラーも検出する。エラ
ー発生を検出した制御用プログラムは、制御用コンピュ
ータ２０２の画面２０２ａをエラー発生を示すものに切
り替え、その後の処置について装置オペレータの判断を
仰ぐ。その処置選択肢の中に「調査及びレポート作成」
があり、これを選択することにより、制御用プログラム
は図２に示される情報収集、レポート作成処理を始め
る。なお、軽微なエラーであれば、装置オペレータは
「調査及びレポート作成」を選択せず自ら復旧作業を行
うため、かかる場合に「調査及びレポート作成」を強制
されることがなく復旧作業が妨げられることはない。制
御用コンピュータに表示される言語としては、日本語若
しくは英語の何れかを選択できる。

【００２７】図２のフローチャートに従い、この処理に
ついて説明する。制御用プログラムは、エラーの種別に
よりどの情報を収集するかあらかじめ定義されたテーブ
ルをもっており、それを参照し各処理の実行有無を決定
する。

【００２８】まずステップ１００において、エラーがホ
ストコンピュータ２２１と制御用コンピュータ２０２と
をつなぐライン２２０に生じたか判断する。もしライン
２２０にエラーが生じているならば、制御用ユニット側
に問題はないと判断できるため、各制御用ユニットから
情報を収集する必要はない。そこで、ステップ１１１に
おいて、ラインチェックを行い、例えば断線等が生じて
いる等の必要な情報を収集した後、プログラムを終了す
る。

【００２９】一方、ステップ１００において、エラーが
ライン２２０に生じたものでないと判断した場合、ステ
ップ１０１において出力するレポートファイルを制御用
コンピュータ２０２内部の記憶装置上に新規に作成す
る。この時点で、エラー内容に関わらず装置ＩＤ（固有
の番号）、エラー発生日時等の情報として、レポートフ
ァイルヘッダー部（所定のフォーマットに従う必須事
項）がファイル中に書き込まれる。

【００３０】次にステップ１０２において、調査対象全
ユニットに対しエラーにかかる情報の報告を要求する。
ここで調査対象となる制御用ユニットは、エラーの種別
に対して前述のテーブル中に定義されている。従って、
発生したエラーに対して無関係であって情報収集が必要
でない制御用ユニットは、調査対象とならない。なお、
エラーが複雑である場合、若しくは未だ経験したことの
ないものである場合には、調査対象は全制御用ユニット
となる。

【００３１】エラーにかかる情報の報告を要求された各
ユニットは、エラー発生時又はその直前の各種情報をテ
キスト形式でまとめ上げ、制御用プログラムに返送す
る。なお、ここでいう各種情報には、装置内温度、湿
度、水銀ランプの連続使用時間などの制御用ユニットが
管理している装置内情報の他、プレートステージ２１１
の位置、電圧値、カウンタ値なども含まれ、各ユニット
によって異なっている。

【００３２】ステップ１０３で、要求した全ユニットか
らエラーにかかる情報を受け取り、レポートファイルへ
の書き込みが終わると、以降制御用コンピュータ２０２
上のチェック、情報収集に入る。まず、ステップ１０
４、１０５において、エラーログファイルおよび制御用
プログラムのシーケンスログファイルをレポートファイ
ルに転写する。エラーログファイルとは、この露光装置
２０１において過去に発生したエラーの履歴である。一
方、シーケンスログファイルとは、露光装置２０１にエ
ラーが発生する直前でいかなる処理が行われていたかを
示す処理の履歴である。何れのファイルもエラー解析に
当たっては重要であり、調査が必要なものである。

【００３３】次にステップ１０６で、制御用プログラム
にて管理している全共有パラメータ値をレポートファイ
ルに書き込む。さらにステップ１０７で、制御用コンピ
ュータ２０２から各制御用ユニットまでの通信用バスの
チェックを行い、ステップ１０８では制御用コンピュー
タ２０２がどのくらいのメモリを使用しているかのチェ
ックを行う。

【００３４】更に、ステップ１０９で制御用コンピュー
タ２０２の記憶装置や通信基板などのデバイス（インタ
フェースを含む）チェックをそれぞれ行い、結果をレポ
ートファイルに書き込む。なお、デバイスチェックによ
り、例えば停電に起因するハードディスクの破損などの
エラーも解析することができる。最後にステップ１１０
で稼働中であるはずの常駐プロセスの現在の状態をチェ
ックし、レポートファイルに書き込む。常駐プロセスと
は、露光装置を制御する複数のプログラムの内、露光装
置の起動から終了時まで常時稼働しているプログラムを
いう。

【００３５】上述した処理終了後、制御用プログラムは
レポートファイル作成が終了した旨を装置オペレータに
通知し、そのファイルをプリントアウトするか、フロッ
ピィディスクにコピーするか、あるいは制御用コンピュ
ータ２０２がオンライン化されていれば電子メールにて
サービスステーション又は装置メーカーに送信するか、
何もせず終了するか何れかの選択を促す。装置オペレー
タが処理を選択するとその処理終了後、次の装置オペレ
ータからの指示待ち状態（アイドル状態）となる。かか
るレポートファイルは、所定のフォーマットで作成され
ており、ディスプレイ等を介してあるいはプリントアウ
トされたレポートファイルを見たサービスマン若しくは
装置メーカーの技術者が、エラー原因の解析を効率的に
行うことができるようになっている。また、電気信号の
形で送信されたデータを解析プログラムに読み込み、エ
ラーの分類や頻度等をグラフによって示すようにすれ
ば、サービスマン等は迅速にエラー解析を行いうる。

【００３６】本実施の形態によれば、エラー発生時に装
置オペレータに対し「調査及びレポート作成」を行うか
問い合わせ、装置オペレータの選択により発生エラーに
応じた情報収集を行い、その結果を１つのテキストファ
イルにまとめ、出力するようにしたので、装置オペレー
タによるエラー発生時の情報収集作業が短縮され、露光
装置停止時間の短縮により装置稼働率を上げることがで
きる。またエラー発生後、そのエラーが要因で装置を停
止せざるを得ない場合でも、正確な情報をサービスステ
ーション若しくは装置メーカーに対し迅速に報告でき、
それにより装置停止時間の短縮が図れる。

【００３７】このように、エラーに対する情報収集及び
レポート作成を自動化したことにより、装置オペレータ
が露光装置に関する知識がなくとも迅速に装置メーカー
への報告の準備を行うことができるようになる。また、
１つのテキストファイルに結果を出力するので、遠方の
サービスステーション等へもファクシミリや電子メール
を介して情報伝達が迅速かつ容易に行える。

【００３８】

【発明の効果】本願発明の制御装置によれば、露光装置
にエラーが発生したときに、少なくともプログラムに関
するデータとエラーに関するデータとを読み出し、かつ
所定の形式で出力するので、露光装置のオペレータが、
エラー原因解析にいかなる情報が必要か知らなくても、
かかる情報の収集が容易となり、もってエラーの生じた
露光装置の早期復旧が確保されることとなる。さらに
は、収集された情報が所定の形式で出力されるため、出
力を受け取ったサービスマン等が容易に情報を把握で
き、もってエラーの早期解析が可能となる。

【００３９】また本願発明の制御方法によれば、露光装
置にエラーが発生したときに、少なくともプログラムに
関するデータとエラーに関するデータとを読み出し、か
つ電気信号に変換して出力するので、かかるデータを例
えば電子メール等の手段を介して遠方へも直ちに送信す
ることができ、もってエラーの解析が迅速に行え露光装
置の早期復旧が確保されることとなる。さらには、収集
されたデータは電気信号の形で送信されるため、送信さ
れたサービスマン等がかかるデータに容易に処理加工を
施すことができ、更にエラーの早期解析が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示す露光装置のブロック
図である。

【図２】本発明の実施の形態におけるエラー発生時の情
報収集、レポート作成処理を示すフローチャートであ
る。

【符号の説明】

２０２‥‥制御用コンピュータ ２１２‥‥ＥＮユニット ２１３‥‥ＲＬユニット ２１４‥‥ＲＳユニット ２１５‥‥ＰＬユニット ２１６‥‥ＰＳユニット ２１７‥‥ＡＬユニット ２１８‥‥ＥＸユニット

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マスクのパターンを基板に露光する露光
   系と、前記露光系を所定のプログラムにより制御する制
   御装置とを備えた露光装置において、 実行されたプログラムに関するデータと、前記露光動作
   時に発生したエラーに関するデータとを保持する保持手
   段と、 前記エラーが発生したときに、少なくとも前記プログラ
   ムに関するデータと前記エラーに関するデータとを読み
   出す読み出し手段と、 前記読み出し手段から読み出した前記データを所定の形
   式で出力する出力手段とを備えたことを特徴とする露光
   装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の露光装置において、 前記読み出し手段は、前記エラーの種類に応じて前記露
   光系の状態を表すデータを読み出すことを特徴とする露
   光装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２記載の露光装置に
   おいて、 前記出力手段は、前記データを電気信号に変換して出力
   することを特徴とする露光装置。
4. 【請求項４】 請求項１記載の露光装置において、 前記露光系は複数の露光系構成部から構成されており、 前記読み出し手段は、前記エラーの種類に応じて前記露
   光系構成部の各々から前記露光系構成部の状態を表すデ
   ータを読み出すことを特徴とする露光装置。
5. 【請求項５】 マスクの回路パターンを所定のプログラ
   ムにより露光する露光方法において、 実行されたプログラムに関するデータと、前記露光の動
   作時に発生したエラーに関するデータとを保持するステ
   ップと、 前記エラーが発生したときに、少なくとも前記プログラ
   ムに関するデータと前記エラーに関するデータとを読み
   出すステップと、 読み出した前記データを電気信号に変換して出力するス
   テップとを含むことを特徴とする露光方法。