JP2014063882A - 樹脂剥がし方法及び樹脂剥がし装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の樹脂剥がし方法は、板状ワーク(W)の外周からはみ出した樹脂(85)の端部(82)をクランプ部(5)で掴み、板状ワーク(W)を保持する保持テーブル(3)の移動距離を板状ワーク(W)の半径内で指定し、保持テーブル(3)の水平移動に伴ってクランプ部(5)を上昇させて、板状ワーク(W)の外周部分の樹脂(85)を剥がす動作を、複数のクランプ位置で繰り返す工程と、残りのクランプ位置で樹脂(85)の端部(82)をクランプ部(5)で掴み、板状ワーク(W)を保持する保持テーブル(3)の移動距離を板状ワーク(W)の半径よりも大きく指定し、保持テーブル(3)の水平移動に伴ってクランプ部(5)を上昇させて、板状ワーク(W)の全体から樹脂(85)を剥がす動作を行う工程とを有している。
【選択図】図4
Description
研磨装置にも適用可能
3 保持テーブル
4 水平移動部
5 クランプ部
6 押付けローラ
32 保持面
35 回転動作部
55 上昇移動部
71 角度指定部
72 第1の距離指定部
73 第2の距離指定部
81 板状ワークの上面
82 樹脂の端部
83 板状ワークの下面
85 樹脂
W 板状ワーク
Claims (2)
- 樹脂が円形の板状ワークの上面および外周からはみ出して貼付けられていて、板状ワークの下面を吸引保持する保持面を有する保持テーブルと、該保持面の中心を軸に該保持テーブルを回転させる回転動作部と、該保持テーブルに保持された該板状ワークの外周からはみ出した該樹脂を掴むクランプ部と、該クランプ部から所定の距離を離間して配設され該樹脂を上から押す押付けローラと、該クランプ部を略上方向に上昇させる上昇移動部と、該保持テーブルを水平方向に移動させる水平移動部と、該回転動作部の回転角度を指定する角度指定部と、該水平移動部の移動距離を板状ワークの半径以内の値で指定する第1の距離指定部と、該水平移動部の移動距離を板状ワークの半径より大きな値で指定する第2の距離指定部と、を少なくとも備える樹脂剥がし装置を用いた樹脂剥がし方法であって、
該押付けローラで該樹脂の上面を押さえ、該クランプ部が該樹脂を掴み、該クランプ部に該上昇移動部で上方向の力を付与させ、該保持テーブルを該水平移動部で該第1の距離指定部の指定する距離を移動させ、該保持テーブルの移動によって該上昇移動部で該クランプ部が上昇して板状ワークの外周部分の該樹脂を剥がす動作を行い、該角度指示部で指定された角度に該保持テーブルを回転させた後、板状ワークの外周部分の該樹脂を剥がす動作を繰返す外周剥がし工程と、
該押付けローラで該樹脂の上面を押さえ、該クランプ部が該樹脂を掴み、該クランプ部に該上昇移動部で上方向に力を付与させ、該保持テーブルを該水平移動部で該第2の距離指定部が指定する距離を移動させ、板状ワークに貼付けられた樹脂を剥がす動作を行う全体剥がし工程とを有する樹脂剥がし方法。 - 円形の板状ワークの上面および外周からはみ出して貼付けられた樹脂を剥がす樹脂剥がし装置であって、
板状ワークの下面を吸引保持する保持面を有する保持テーブルと、
該保持面の中心を軸に該保持テーブルを回転させる回転動作部と、
該保持テーブルに保持された該板状ワークの外周からはみ出した該樹脂を掴むクランプ部と、
該クランプ部から所定の距離を離間して配設され該樹脂を上から押す押付けローラと、
該クランプ部を略上方向に上昇させる上昇移動部と、
該保持テーブルを水平方向に移動させる水平移動部と、
該回転動作部の回転角度を指定する角度指定部と、
該水平移動部の移動距離を板状ワークの半径以内の値で指定する第1の距離指定部と、
該水平移動部の移動距離を板状ワークの半径より大きな値で指定する第2の距離指定部と、を少なくとも備えていて、
該角度指定部が指定する角度で該保持テーブルを回転させ、該クランプ部が該樹脂を掴む位置を位置づけられて該クランプ部が該樹脂を掴み、該押付けローラが該樹脂の上面を押付け、該クランプ部を該上昇移動部で上方向に力を付与させ、該第1の距離指定部が指定する距離で該保持テーブルを水平方向に移動させ、該保持テーブルが移動される事で該上昇移動部によって該クランプ部が上昇して、板状ワークに貼付けられた該樹脂の外周を剥がし、該第2の距離指定部が指定する距離で該保持テーブルを水平方向に移動させ、該保持テーブルが移動させる事で該上昇移動部によって該クランプ部が上昇し板状ワークに貼付けられた樹脂を剥がす樹脂剥がし装置。
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