JP5914061B2

JP5914061B2 - 樹脂剥がし装置

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Publication number: JP5914061B2
Application number: JP2012052804A
Authority: JP
Inventors: 二郎現王園
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2012-03-09
Filing date: 2012-03-09
Publication date: 2016-05-11
Anticipated expiration: 2032-03-09
Also published as: JP2013184268A

Description

本発明は、板状ワークに貼り付けられた樹脂を剥離する樹脂剥がし装置に関する。

板状ワークの加工過程では、板状ワークにうねりや反りなどが形成されることがある。このようなうねりや反りを除去するために、板状ワークに硬化性の樹脂を貼り付けて硬化させた上で、板状ワークを研削するなどの平坦化加工をしている。板状ワークに樹脂を貼り付ける装置としては、例えば、板状ワークの一方の面を露出するように保持する略水平な保持面を有するステージと、ステージと対向して配設されステージに保持された板状ワークを押圧する押圧手段と、板状ワークに塗布された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射する紫外線照射手段と、を少なくとも備える樹脂貼付装置がある（例えば、下記の特許文献１を参照）。

板状ワークに樹脂を貼り付け平坦化加工した後は、加工後の板状ワークから樹脂を剥がす必要がある。板状ワークに貼り付けられた樹脂の剥離は、板状ワークの下面を保持テーブルによって吸引保持しつつ、樹脂剥がし装置が板状ワークの外周縁（エッジ）からはみ出した樹脂を掴んで板状ワークの上面から離れる方向に引き離すことにより行っている。

特開２００９−１４８８６６号公報

しかしながら、板状ワークから樹脂を剥がそうとすると、板状ワークが保持テーブルから持ち上げられることがあるため、板状ワークから樹脂を剥離できないという問題がある。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、板状ワークに貼り付けられた樹脂を板状ワークから的確に剥がすことに発明の解決すべき課題がある。

本発明は、一方の面に樹脂が貼り付けられた板状ワークの他方の面を吸引保持する保持面を有する保持テーブルと、該板状ワークの外周縁からはみ出している部分の該樹脂を掴むクランプ部と、該クランプ部を該保持面から離間させる移動手段と、を備え、該樹脂を掴んだ該クランプ部を該移動手段によって該保持面から離間させ該板状ワークに貼り付けられた該樹脂を剥がす樹脂剥がし装置であって、該保持テーブルに保持され該板状ワークに貼り付けられた該樹脂の上面を押し付けるローラ部と、該ローラ部と該保持テーブルとを該保持面と平行な方向に相対的に移動可能とするスライド部と、を備え、該樹脂のうち剥離されていない部分の上面に該ローラを押し付け、該クランプ部が掴んだ該樹脂を該ローラ部の外周に沿って周方向に押しあてながら該ローラ部と該保持テーブルとを該保持面と平行な方向に相対的に移動させるとともに、該クランプ部を該保持テーブルから離間する方向に上昇させることにより、該板状ワークから該樹脂を剥離する。

本発明では、一方の面に樹脂が貼り付けられた板状ワークの他方の面を吸引保持する保持面を有する保持テーブルと、板状ワークの外周縁からはみ出している部分の樹脂を掴むクランプ部と、クランプ部を保持面から離間させる移動手段に加えて、保持テーブルに保持され板状ワークに貼付けられた樹脂の上面を押し付けるローラ部とローラ部と保持テーブルとが保持面と平行な方向に相対的に移動可能とするスライド部とを備えているため、クランプ部によって板状ワークから樹脂を剥離する際には、ローラ部によって樹脂の上面を下方に押し付けることができる。したがって、樹脂が貼り付けられた板状ワークごと持ち上げることはなく、板状ワークに貼り付けられた樹脂を板状ワークから的確に剥がすことができる。

樹脂剥がし装置の第一の実施形態の構成を示す断面図である。樹脂剥がし装置の第一の実施形態による樹脂剥がしの開始直後の状態を示す断面図である。樹脂剥がし装置の第一の実施形態による樹脂剥がしの途中経過を示す断面図である。樹脂剥がし装置の第一の実施形態による樹脂剥がしの完了状態を示す断面図である。樹脂剥がし装置の第二の実施形態の構成を示す断面図である。樹脂剥がし装置の第二の実施形態による樹脂剥がしの開始直後の状態を示す断面図である。樹脂剥がし装置の第二の実施形態による樹脂剥がしの途中経過を示す断面図である。樹脂剥がし装置の第二の実施形態による樹脂剥がしの完了状態を示す断面図である。

（１）第一の実施形態
図１に示す樹脂剥がし装置１０は、板状ワーク１の上面１ａに貼り付けられた樹脂５の外周端部５ｂをクランプして板状ワーク１から剥がす樹脂剥がし装置の第一の実施形態である。まず、樹脂剥がし装置１０の構成を説明する。

図１に示すように、樹脂剥がし装置１０は、装置ベース１００を備え、その上部１０１には、板状ワーク１の下面１ｂを吸引保持する保持面３０を有する保持テーブル２Ａが固定されている。保持テーブル２Ａは、テーブルベース２ａを有し、このテーブルベース２ａによって吸引部３が支持されている。テーブルベース２ａの中心部分には、上端が吸引部３に連通する吸引孔４が形成されており、吸引孔４は不図示の吸引源に連通している。

図１に示すように、保持テーブル２Ａには、被加工物である板状ワーク１の下面１ｂ側が保持され、保持された板状ワーク１の上面１ａには、硬化性の樹脂５が貼り付けられている。板状ワーク１の上面１ａに樹脂５を貼り付ける際は、例えば、板状ワーク１の上面１ａに硬化性の樹脂を押圧し、紫外線を照射するなどして樹脂を硬化させる。後に樹脂５を剥離しやすくするために、図１の部分拡大図に示すように、板状ワーク１の外周縁１ｃから樹脂５がはみ出した状態にしておく。

図１に示すように、保持テーブル２Ａの近傍には、板状ワーク１の外周縁１ｃからはみ出している樹脂５の外周端部５ｂを掴持するクランプ部１１と、クランプ部１１を保持テーブル２Ａの保持面３０から離間させる移動手段１２とが配設されている。クランプ部１１は、ナット構造を有するクランプ移動軸１１０を備えており、移動手段１２によって支持されている。

移動手段１２は、鉛直方向にのびるボールネジ１２ａと、ボールネジ１２ａの上端に接続されたモータ１２ｂとを備えている。ボールネジ１２ａは、クランプ移動軸１１０のナット構造に螺合している。そして、モータ１２ｂの駆動によってボールネジ１２ａが回動することにより、クランプ移動軸１１０を上下方向に移動させクランプ部１１を保持テーブル２Ａの保持面３０から離反させるとともに保持テーブル２Ａの保持面３０に接近させることができる。

装置ベース１００の中央部分には、シリンダ１３が軸支部１３０を介して配設されており、シリンダ１３は、軸支部１３０を中心として回転できるようになっている。

ローラ部１５は、ピストン１４の先端において回転可能に支持されている。ローラ部１５は、ローラ部１５の自重に加えてシリンダ１３によって得られる押圧力により、樹脂５を割ることなく、板状ワーク１に貼り付けられた樹脂５の上面５ａを押圧することができる。

樹脂剥がし装置１０の中央部分には、ローラ部１５を保持テーブル２Ａの保持面３０に対して平行な方向に相対移動可能とする第一のスライド部１６が設けられている。第一のスライド部１６は、ローラブ１５の回転軸を水平方向にガイドするガイドレールとなっている。

移動手段１２に直交する位置には、移動手段１２を左右に移動させ、保持テーブル２Ａの保持面３０に対して平行な方向に相対移動を可能とする第二のスライド部１７が配設されている。第二のスライド部１７は、第一のスライド部１６及び保持テーブル２Ａの保持面３０と平行にのびるボールネジ１７ａと、ボールネジ１７ａに連結されたモータ１７ｂとを備えている。第二のスライド部１７が作動すると、移動手段１２を、例えば矢印Ａ１及び矢印Ａ２方向にスライドさせることができる。

以下に、樹脂剥がし装置１０によって、保持テーブル２Ａから樹脂５を剥離する手順について説明する。

図１に示すように、クランプ部１１は樹脂５の外周端部５ｂを掴持する。次いで、図２に示すように、移動手段１２を作動させ、クランプ移動軸１１０を保持テーブル２Ａから離間する矢印Ｂ１方向に上昇させる。これと同時に、第二のスライド部１７を作動させ、クランプ部１１が掴んだ樹脂５をローラ部１５の外周に沿って周方向に押しあてつつ、移動手段１２を矢印Ａ１方向に移動させ樹脂５を板状ワーク１から剥がしていく。

このとき、シリンダ１３は、ピストン１４を下方に摺動させる。これにより、ローラ部１５が下方に引っ張られるとともに、ローラ部１５の自重によって樹脂５の上面５ａが押し付けられる。そして、この押し付けられた状態を維持したまま、シリンダ１３が矢印Ｃ方向に回転し、ローラ部１５が第一のスライド部１６にガイドされ矢印Ａ１方向にスライドしていく。

上記の動作を継続すると、図３に示すように、クランプ部１１に掴持された樹脂５は、板状ワーク１から徐々に剥がされていく。なお、クランプ部１１が樹脂５を掴持して持ち上げていく際に、ローラ部１５が樹脂５の上面５ａを下方に押し付けているため、板状ワーク１を持ち上げることはない。

図４に示すように、第二のスライド部１７により、移動手段１２を矢印Ａ１方向にさらにスライドさせるとともに、ローラ部１５を第一のスライド部１６上を矢印Ａ１方向にスライドさせて、板状ワーク１から全ての樹脂５を剥がす。このようにして、樹脂剥がし装置１０による樹脂剥がしが完了する。

（２）第二の実施形態
図５に示す樹脂剥がし装置２０は、板状ワーク１の上面１ａに貼り付けられた樹脂５の外周端部５ｂをクランプして板状ワーク１から剥がす樹脂剥がし装置の第二の実施形態である。まず、樹脂剥がし装置２０の構成を説明する。

図５に示すように、樹脂剥がし装置２０は、装置ベース２００を備え、装置ベース２００の上部２０１には、板状ワーク１の下面１ｂを吸引保持する保持面３０を有する保持テーブル２Ｂが上部２０１上を移動可能に配設されている。保持テーブル２Ｂはテーブルベース２ｂを有し、テーブルベース２ｂによって吸引部３が支持されている。テーブルベース２ｂの中心部分には、上端が吸引部３に連通する吸引孔４が形成されており、吸引孔４は不図示の吸引源に連通している。さらに、保持テーブル２Ｂにおいては、テーブルベース２ｂの下端に移動軸６が備えてある。移動軸６には、ボールネジなどが螺合できるナット構造を有している。

図５に示すように、装置ベース２００の上部２０１には、板状ワーク１の外周縁１ｃからはみ出している樹脂５の外周端部５ｂを掴持するクランプ部２１と、クランプ部２１を保持テーブル２Ｂの保持面３０から離間させたり保持面３０に接近させたりする移動手段２２とを配設している。クランプ部２１は、ナット構造を有するクランプ移動軸２１０を備え、移動手段２２によって支持されている。

移動手段２２は、鉛直方向に伸びるボールネジ２２ａと、ボールネジ２２ａの上端に接続されたモータ２２ｂとを備えている。ボールネジ２２ａは、クランプ移動軸２１０のナット構造に螺合している。そして、モータ２２ｂの駆動によってボールネジ２２ａが回動することにより、クランプ移動軸２１０を上下方向に移動させクランプ部２１を保持テーブル２Ｂの保持面３０から離反させたり保持テーブル２Ｂの保持面３０に接近させたりすることができる。

図５に示すように、装置ベース２００には、シリンダ２３が固定されており、シリンダ２３は、ピストン２４に接続されている。シリンダ２３は、ピストン２４の摺動によりローラ部２５を下方に引っ張ることが可能となっている。ローラ部２５は、ピストン２４の先端において回転可能に支持されている。

装置ベース２００の上部２０１には、保持テーブル２Ｂを保持面３０と平行な方向に相対移動可能にするスライド部２６が配設されている。スライド部２６は、保持テーブル２Ｂの保持面３０と平行にのびるボールネジ２６ａと、ボールネジ２６ａの上端に接続されたモータ２６ｂとを備えている。ボールネジ２６ａは、保持テーブル２Ｂの移動軸６のナット構造に螺合している。スライド部２６が作動すると、保持テーブル２Ｂを、例えば矢印Ａ１及びＡ２方向にスライドさせることができる。

以下に、樹脂剥がし装置２０によって、保持テーブル２Ｂから樹脂５を剥離する手順について説明する。

図５に示すように、クランプ部２１によって、樹脂５の外周端部５ｂを掴持する。次いで、図６に示すように、移動手段２２を作動させ、クランプ移動軸２１０を保持テーブル２Ｂの保持面３０から離間する矢印Ｂ１方向に上昇させる。これと同時に、スライド部２６を作動させ、保持テーブル２Ｂを矢印Ａ２方向にスライドさせる。そして、クランプ部２１が掴んだ樹脂５をローラ部２５の外周に沿って周方向に押しあてつつ、矢印Ａ１方向に移動させ樹脂５を板状ワーク１から剥がしていく。

このとき、シリンダ２３のピストン２４を下方に摺動させる。これにより、ローラ部２５が下方に引っ張られるとともに、ローラ部２５の自重によって樹脂５の上面５ａが押し付けられる。この押し付けられた状態を維持したまま、保持テーブル２Ｂの矢印Ａ２方向へのスライド移動を継続して実施する。

上記の動作を継続すると、図７に示すように、クランプ部２１によって板状ワーク１から樹脂５が徐々に剥がされていく。樹脂剥がし装置２０についても、樹脂剥がし装置１０と同様に、クランプ部２１が樹脂５を持ち上げる際、ローラ部２５が樹脂５の上面５ａを下方に押し付けているため、クランプ部２１が板状ワーク１を持ち上げることはない。

図８に示すように、スライド部２６により、保持テーブル２Ｂを矢印Ａ２方向にさらに移動させるとともに、移動手段２２によってクランプ部２１をさらに矢印Ｂ１を方向に上昇させ、板状ワーク１から全ての樹脂５を剥がす。このようにして、樹脂剥がし装置２０による樹脂剥がしが完了する。

上記のように、実施形態に示した樹脂剥がし装置１０と樹脂剥がし装置２０とに、樹脂５の上面５ａを押し付けるローラ部１５とローラ部２５とがそれぞれ備えてあるため、クランプ部１１，クランプ部２１によって板状ワーク１から樹脂５を引っ張って剥離する際には、ローラ部１５及びローラ部２５によって樹脂５の上面５ａを下方に押し付けることができるとともに、樹脂５がローラ部２５に巻きつくようにして上昇する。したがって、樹脂５が貼り付けられた板状ワーク１を保持テーブルから持ち上げることはなく、板状ワーク１に貼り付けられた樹脂５を板状ワーク１から的確に引き剥がすことができる。

実施形態に示したローラ部１５及びローラ部２５は、ローラ径が小さいとクランプ部によってクランプされ板状ワークから剥がしている樹脂を割ってしまうことがある。一方、ローラ部のローラ径が大きいとクランプ移動軸に負荷がかかるため、クランプ部により樹脂を剥がすことが困難となる。したがって、ローラ部１５及びローラ部２５のローラ径は、φ１５ｍｍに形成することが望ましい。

１：板状ワーク１ａ：上面１ｂ：下面１ｃ：外周縁
２Ａ，２Ｂ：保持テーブル
２ａ，２ｂ：テーブルベース
３：保持部３０：保持面
４：吸引孔
５：樹脂５ａ：上面５ｂ：外周端部
６：移動軸
１０：樹脂剥がし装置１００：装置ベース１０１：上部
１１：クランプ部１１０：クランプ移動軸
１２：移動手段１２ａ：ボールネジ１２ｂ：モータ
１３：シリンダ１３０：軸支部
１４：ピストン１５：ローラ部
１６：第一のスライド部
１７：第二のスライド部１７ａ：ボールネジ１７ｂ：モータ
２０：樹脂剥がし装置２００：装置ベース２０１：上部
２１：クランプ部２１０：クランプ移動軸
２２：移動手段２２ａ：ボールネジ２２ｂ：モータ
２３：シリンダ２４：ピストン２５：ローラ部
２６：スライド部２６ａ：ボールネジ２６ｂ：モータ

Claims

一方の面に樹脂が貼り付けられた板状ワークの他方の面を吸引保持する保持面を有する保持テーブルと、該板状ワークの外周縁からはみ出している部分の該樹脂を掴むクランプ部と、該クランプ部を該保持面から離間させる移動手段と、を備え、該樹脂を掴んだ該クランプ部を該移動手段によって該保持面から離間させ該板状ワークに貼り付けられた該樹脂を剥がす樹脂剥がし装置であって、
該保持テーブルに保持され該板状ワークに貼り付けられた該樹脂の上面を押し付けるローラ部と、
該ローラ部と該保持テーブルとを該保持面と平行な方向に相対的に移動可能とするスライド部と、を備え、
該樹脂のうち剥離されていない部分の上面に該ローラを押し付け、該クランプ部が掴んだ該樹脂を該ローラ部の外周に沿って周方向に押しあてながら該ローラ部と該保持テーブルとを該保持面と平行な方向に相対的に移動させるとともに、該クランプ部を該保持テーブルから離間する方向に上昇させることにより、該板状ワークから該樹脂を剥離する樹脂剥がし装置。