JP2014011293A - エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法、および、エピタキシャルシリコンウェーハ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコンウェーハの裏面に酸化膜を形成する裏面酸化膜形成工程S6と、シリコンウェーハの外周部に存在する酸化膜を除去する裏面酸化膜除去工程S7と、裏面酸化膜除去工程S7後のシリコンウェーハに対し、アルゴンガス雰囲気下において1200℃以上1220℃以下の温度で60分以上120分以下の熱処理を行うアルゴンアニール工程S8と、アルゴンアニール工程S8後のシリコンウェーハの表面にエピタキシャル膜を形成するエピタキシャル膜形成工程S9,S10とを有する。
【選択図】図20
Description
そこで、砒素(As)やアンチモン(Sb)より比較的揮発性の低い性質をもつn型ドーパントとしてリン(P)を高濃度にドープした基板抵抗率が非常に低いシリコンウェーハが使用されつつある(例えば、特許文献1参照)。
このような不具合を解消するために、特許文献1には、シリコンウェーハに対して水素ガス雰囲気下でプレベーク処理を行った後、CVD法により1000℃〜1090℃の低い温度でエピタキシャル膜を成長させることが開示されている。
ゲッタリング不足を解消するための対策としては、ポリバックシール(PBS)法をエピタキシャル成長処理前に行う技術が知られている。ポリバックシール法とは、シリコンウェーハの裏面にポリシリコン膜を形成して、シリコンウェーハとの界面などにできる歪み場や格子不整合を利用するEG(External Gettering)法の一例である。
具体的には、ポリシリコン膜をシリコンウェーハの裏面に形成した場合にも、SFがエピタキシャル膜に多数発生し、そのSFが段差としてシリコンウェーハの表面に現れて、シリコンウェーハの表面のLPDレベルが大きく悪化するという不具合があるため、シリコンウェーハの裏面に、600℃未満の温度でポリシリコン膜を形成することで、SFの発生を効果的に抑制できることが開示されている。
そこで、このようなエピタキシャルシリコンウェーハを製造する際に、特許文献1,2に記載のような方法を適用することが考えられる。
特許文献2に記載されているように、エピタキシャル成長後に発生しているSFは、ポリシリコン膜を形成した基板においては、エピタキシャル成長前のシリコンウェーハ表面に存在する微小ピット(微小凹部)を起点に発生している、ということが確認されている。
この微小ピットは、p型ドーパントとしてボロン(B)を高濃度に添加したシリコンウェーハにプリベーク処理を施しても観察されず、ゲルマニウムの添加の有無に係わらず、n型ドーパントとしてリン(P)を添加したときにのみ微小ピットが観察されることから、シリコンウェーハの結晶内に高濃度にドープしたリンが関与している可能性が高いと考えられる。
この状態から、ポリシリコン膜を形成するためにシリコンウェーハを加熱すると、酸素の拡散能が赤リンの拡散能よりも大きいため、酸素が格子間を移動して赤リンと結合し、酸素と赤リンのクラスター(微小析出物)が形成される。
通常、エピタキシャル工程ではエピタキシャル膜を成長させるに先立って、シリコンウェーハ表面に存在する自然酸化膜除去を目的に、水素ガス雰囲気下で1100℃以上の温度で30秒以上の熱処理(以下、「水素ベーク」という)が施される。
ところが、酸素と赤リンのクラスターが形成されたシリコンウェーハに対して、エピタキシャル工程で実施される水素ベークが施されると、シリコンウェーハの最表層の酸素と赤リンは外方拡散するが、クラスターは安定状態にあるため、最表層に残留する。そして、水素ガスによるエッチング作用により、シリコンウェーハの最表層とクラスターとのエッチング速度の違いから、クラスターが選択的にエッチングされ微小ピットとなる。
この微小ピットが形成されたシリコンウェーハに対してエピタキシャル成長を行うと、微小ピットが起源となってエピタキシャル膜内にSFとなって発生すると考えられる。
しかしながら、基板抵抗率を0.9mΩ・cm以下とするために、赤リンの濃度をさらに高くすると、ポリバックシール法を適用しないだけでは、SFの発生が抑制できないことが分かり、これまでに想定し得ない結果となった。また、結晶の長さ方向のSF分布を、対応するエピタキシャルウェーハで詳細に調査したところ、図1に示すように、単結晶インゴットのうち、固化率が約60%より小さい部分では、直径200mmのシリコンウェーハ1cm2あたりのSFの個数(以下、単に、SFの個数という)が10個以上であり、固化率が前記約60%より大きい部分(点線で囲まれる部分)では、SFの個数が0個となることが分かった。すなわち、SFの個数が単結晶インゴットの固化率に依存していることが分かった。
なお、固化率とは、最初に石英坩堝に貯留されたドーパント添加融液の初期チャージ重量に対する単結晶インゴットの引上げ重量の割合をいう。ここで、SFの個数は、レーザーテック社製Magicsで欠陥の実体観察を行い、個数を測定した。
そこで、本発明者は、固化率と熱履歴との相関を調べるための実験を行った。
通常の単結晶インゴットの製造条件では、種結晶に連続し直径が徐々に増加する肩部を形成する工程(肩部形成工程)と、肩部に連続して形成され直径が略均一の直胴部を形成する工程(直胴部形成工程)と、直胴部の下端に連続し直径が徐々に低下してゼロになるテール部を形成する工程(テール部形成工程)とを行う。そして、テール部形成工程が終了した後、単結晶インゴットを冷却する工程(冷却工程)を行い、単結晶インゴットを引き上げ装置から取り出す。
このような製造条件のため、単結晶インゴットの下端に近くなるほど(固化率が大きくなるほど)、ドーパント添加融液から出た後の時間が短くなると考えられる。
図2に示すように、二点鎖線で囲まれる部分であって、固化率が60%より大きい部分では、固化率が60%より小さい部分と比べて、特に500℃±50℃での滞在時間が極端に短いことが分かった。
また、この単結晶インゴットから複数の固化率に対応するシリコンウェーハを切り出して、エピタキシャルシリコンウェーハを製造し、各エピタキシャルシリコンウェーハのSFの個数を調べた。その結果を図2に示す。
なお、この図2の結果は、シリコンウェーハの裏面にポリシリコン膜を設けずに、シリコンウェーハに対して水素ガス雰囲気中で1200℃の温度で30秒間加熱する水素ベーク処理を施した後、後述する実験3のエピタキシャル成長条件と同じ条件でエピタキシャル膜を形成したときの結果である。
図2に示すように、SFの個数は、単結晶インゴットの500℃±50℃での滞在時間とほぼ相関があり、固化率が60%より大きい部分では0となることが分かった。
以上から、単結晶インゴットが500℃±50℃となる時間を短くすれば、SFの発生を抑制できることが分かった。また、SFの発生原因であるクラスターは、単結晶インゴットの製造時の温度に依存して形成される可能性があることが分かった。
そこで、本発明者は、単結晶インゴットの製造段階においてクラスターが形成されたとしても、その後の処理によってSFの発生を抑制できる方法について検討を行った。
まず、シリコンウェーハのLPDの評価と、シリコンウェーハに対してピット評価用熱処理を行った後のLPDの評価を行った。
具体的には、まず、以下の基板条件を満たし、SFが発生する固化率での単結晶インゴット領域から得られた(SFが発生する固化率に対応する)シリコンウェーハと、SFが発生しない固化率に対応するシリコンウェーハとを準備した。
[基板条件]
直径:200mm
基板抵抗率:0.8mΩ・cm
(赤リン濃度:9.47×1019atoms/cm3)
次に、各シリコンウェーハの裏面(エピタキシャル膜の形成面と反対の面)に、以下のポリシリコン膜形成条件を満たすポリシリコン膜を形成した。
[ポリシリコン膜形成条件]
成膜方法:CVD法
成膜温度:650℃
ポリシリコン膜の厚さ:800nm
さらに、このポリシリコン膜上に、以下の裏面酸化膜形成条件を満たす裏面酸化膜を形成した。
[裏面酸化膜形成条件]
成膜方法:CVD法
裏面酸化膜の厚さ:550nm
そして、上記条件により形成されたポリシリコン膜および裏面酸化膜が形成された各シリコンウェーハから、当該シリコンウェーハの外周部のポリシリコン膜および裏面酸化膜を除去してLPD評価を行った。なお、LPDの評価は、以下のLPD評価条件で行った。
[LPD評価条件]
使用装置:表面検査装置(Tencor社製 SP−1)
観察モード:DCNモード
測定対象:90nm以上のLPD
図3に、SFが発生する固化率に対応するシリコンウェーハの測定結果を示す。なお、ここでは図示しないが、SFが発生しない固化率に対応するシリコンウェーハでの測定結果は、図3に示すものとほぼ同じであった。
[ピット評価用熱処理条件]
雰囲気:水素ガス
熱処理温度:1200℃
熱処理時間:30秒
そして、上記条件でピット評価用熱処理を行った各シリコンウェーハのLPD評価を、当該実験2の上記LPD評価条件に基づいて行った。その結果を図4および図5に示す。
ここで、LPDが増加した図4に示すシリコンウェーハをAFM(Atomic Force Microprobe:原子間力顕微鏡)で観察したところ、図6に示すようなピットPであることが確認された。すなわち、ピット評価用熱処理後に発生するピットPを、KLA−Tencor社製SP−1のDCNモードで90nm以上のLPDとして測定できることが分かった。
上記実験2において、図4に示すような、SFが発生する固化率に対応するシリコンウェーハに以下の水素ベーク処理を行った後、当該シリコンウェーハの表面に、以下のエピタキシャル膜成長条件を満たすエピタキシャル膜を形成することで、エピタキシャルシリコンウェーハを製造した。
[水素ベーク処理条件]
雰囲気:水素ガス
熱処理温度:1200℃
熱処理時間:30秒
[エピタキシャル膜成長条件]
ドーパントガス:フォスフィン(PH3)ガス
原料ソースガス:トリクロロシラン(SiHCl3)ガス
キャリアガス:水素ガス
成長温度:1080℃
エピタキシャル膜の厚さ:3μm
抵抗率(エピ膜抵抗率):1Ω・cm
(赤リン濃度:4.86×1015atoms/cm3)
そして、上記条件で製造したエピタキシャルシリコンウェーハのLPD評価を、実験2のLPD評価条件に基づいて行った。また、このエピタキシャルシリコンウェーハのLPD評価結果と、図4に示す実験で得たピット評価用熱処理後(エピタキシャル膜成長前)のシリコンウェーハ表面のLPD評価結果とを重ね合わせて評価した。その結果を図7に示す。また、図7における二点鎖線で囲まれる領域を拡大した分布を図8に示す。
[LPD評価条件]
使用装置:表面検査装置(レーザーテック社製Magics)
その結果、上記評価位置には、平面視で四角形かつ断面視で三角形(すなわち、底面がエピタキシャル膜の表面と略同一面に位置し、頂点がシリコンウェーハ側に位置する略四角錐状)のフラットタイプのSFが発生していることが分かった。
基板抵抗率が0.6mΩ・cm、0.7mΩ・cm、0.8mΩ・cm、0.9mΩ・cm、1.0mΩ・cm、1.1mΩ・cm、1.3mΩ・cm、1.5mΩ・cmのシリコンウェーハを準備した。そして、各シリコンウェーハに対して、上記実験2と同じ条件でポリシリコン膜、裏面酸化膜を形成した。この後、厚さを5μmにしたこと以外は、上記実験3と同じ条件でエピタキシャル膜を形成して、エピタキシャルシリコンウェーハを製造した。
このエピタキシャルシリコンウェーハのSFの個数を、表面検査装置(レーザーテック社製Magics)で評価した。その結果を、図9に示す。
図9に示すように、基板抵抗率が1.0mΩ・cm以上の場合、SFが10個/cm2未満であるが、0.9mΩ・cm以下の場合、SFが20個/cm2以上と多くなることが分かった。
SFを減らすためには、水素ベーク処理後に発生する微小ピットを減らす必要があると考えられる。そして、微小ピットを減らすためには、クラスターが形成されている水素ベーク処理前の段階において、クラスターを無くすための処理を行う必要があると考えられる。
そこで、本発明者は、クラスターを溶体化して無くす、あるいは少なくすることで、SFを減らせるか否かについて検討を行った。
基板抵抗率が0.8mΩ・cmのシリコンウェーハの裏面に、ポリシリコン膜を形成せずに、上記実験2と同じ条件で裏面酸化膜を形成した。そして、このシリコンウェーハに対して、以下のアルゴンアニール条件でアルゴンアニールを行った。
[アルゴンアニール条件]
雰囲気:アルゴンガス
熱処理温度:1200℃
熱処理時間:0分、30分、60分、90分、120分、180分の6水準
そして、上記条件でアルゴンアニールを行った6水準のシリコンウェーハの表面に対して、上記実験2の水素ベーク処理条件で熱処理を行った。この後、厚さを5μmにしたこと以外は、上記実験3と同じ条件でエピタキシャル膜を形成して、エピタキシャルシリコンウェーハを製造した。そして、上記実験4と同じ条件で、エピタキシャルシリコンウェーハのSFの個数を評価した。その結果を、図10に示す。
図10に示すように、1200℃で60分以上のアルゴンアニール処理を行えば、SFの個数が1個/cm2以下となることが分かった。
また、熱処理温度を1180℃とした場合についても同様の評価を行ったところ、熱処理時間に関係なく、SFの個数が1個/cm2を超えることが分かった。
実験5において、1200℃でアルゴンアニールを行ったエピタキシャルシリコンウェーハのうち、熱処理時間が0分、60分、120分のものについて、エピタキシャル膜面内の抵抗分布を評価した。その結果を、図11に示す。
図11に示すように、熱処理時間が長くなるほど、エピタキシャル膜外周部での抵抗率が低くなり、面内での抵抗率が均一化することが分かった。
また、抵抗率の均一性Δρ(Δρ=(最大値−最小値)/(2×平均値)×100%)を評価したところ、以下の通りであった。
熱処理時間 0分:9.6%
熱処理時間 60分:1.9%
熱処理時間120分:1.1%
本発明は、上述のような知見に基づいて完成されたものである。
さらには、シリコンウェーハの裏面に酸化膜を形成するため、当該裏面に存在する赤リンに起因するオートドープ現象の発生が抑制される。また、シリコンウェーハ外周部の酸化膜を除去してからエピタキシャル膜を形成するため、当該外周部におけるノジュール(ポリシリコンの異常成長による微小な突起物)の生成を抑制できる。
さらに、裏面酸化膜除去工程を行ってからアルゴンアニール工程を行うため、以下の効果を奏することができる。すなわち、アルゴンアニール工程の後に裏面酸化膜除去工程を行う場合、アルゴンアニールを行うときにシリコンウェーハ外周部に酸化膜が残っているため、当該酸化膜で覆われた外周部の赤リンの外方拡散が抑制される。そして、この後に外周部の酸化膜を除去してエピタキシャル膜を形成すると、当該外周部に存在している赤リンに起因するオートドープ現象が発生してしまうおそれがある。一方、裏面酸化膜除去工程後にアルゴンアニール工程を行う場合、酸化膜で覆われていない外周部の赤リンを外方拡散させることができる。このため、この後にエピタキシャル膜を形成したときに、当該外周部からのオートドープ現象の発生を抑制することができる。
また、本発明のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法では、前記単結晶インゴットから切り出された評価用のシリコンウェーハに対してピット評価用熱処理を行い、その表面にピットが観察されない場合に、当該評価用のシリコンウェーハの切り出し位置を含む部分から切り出されるシリコンウェーハに対し、前記裏面酸化膜形成工程から前記エピタキシャル膜形成工程に至る工程のうち前記アルゴンアニール工程以外の工程を行うことが好ましい。
一方、クラスターが発生していない部分の評価用のシリコンウェーハに対してピット評価用熱処理を行うと、その表面に微小ピットが観察されず、単結晶インゴットにおける当該評価用のシリコンウェーハを含む部分にも、クラスターが発生していないものと結論付けることができる。
なお、シリコンウェーハに発生した微小ピットをAFMで観察した結果、それぞれの径は、300nm〜500nmでほぼ同一であり、深さは、2.0nm〜5.5nmでほぼ同一であることが分かっている。また、微小ピットの個数は、SFの個数とほぼ同じであることが分かっている。
このことから、上述の「微小ピットが観察される」場合とは、径が500nm以上の微小ピットの個数が1個/cm2以上(200nmのシリコンウェーハ1枚あたり314個以上)の場合を意味し、「微小ピットが観察されない」場合とは、前記条件を満たさない場合を意味するものとする。
本発明によれば、単結晶インゴットから評価用のシリコンウェーハを切り出して、ピット評価用熱処理を行うことにより、単結晶インゴットの製造段階において、クラスターが発生している部分を推定することができる。したがって、クラスターが発生していると推定される部分から得られるシリコンウェーハに対して、アルゴンアニール工程を含む全工程を行うことにより、SFの発生が抑制された高品質のエピタキシャルシリコンウェーハを製造することができる。
また、クラスターが発生していないと推定される部分から得られるシリコンウェーハに対して、アルゴンアニール工程以外の工程を行うことにより、SFの発生が抑制された高品質のエピタキシャルシリコンウェーハを効率よく製造することができる。
実験1と同様の条件で単結晶インゴットを製造した後、冷却工程に入らずに、テール部がドーパント添加融液から切れた状態で、かつ、テール部形成工程での加熱状態を維持したまま、単結晶インゴットの引き上げを10時間停止した。この停止状態において、各固化率での単結晶インゴット中心の温度分布は、図12に示すような分布であった。
そして、10時間経過後に単結晶インゴットを引き上げ装置から取り出し、実験1と同様の条件で(単結晶インゴットから得たシリコンウェーハに対して1200℃の水素雰囲気中で30秒のプリベーク処理を施した後、エピタキシャル膜を形成する条件で)エピタキシャルシリコンウェーハを製造した。そして、直径200mmの各エピタキシャルシリコンウェーハ1枚あたりのLPDの個数(以下、単にLPDの個数という)と固化率との関係を調べた。その結果を図13に示す。
ここで、LPDの個数は、KLA−Tencor社製SP−1のDCNモードで測定したが、そのときのLPDの測定対象を、90nm以上のものとした。また、ここでは、LPDの個数はSFの個数と良い相関があるため、LPDの個数でSF個数を代替した。
このことから、SFは、単結晶インゴットの温度が約470℃〜約700℃で長時間維持されたときに発生しやすく、特に、約570℃で長時間維持されたときに発生しやすいことが分かった。
具体的には、上記図13の実験結果に基づいて、各対応する固化率について、550℃、570℃、600℃を中心にしたそれぞれ±30℃の範囲での滞在時間を調べた。その結果を図14に示す。また、550℃、570℃、600℃を中心にした±50℃の範囲での滞在時間を図15に示し、±70℃の範囲での滞在時間を図16に示す。
図14〜図16に示すように、±70℃の範囲での滞在時間の上昇幅(図中の横軸方向の長さ)と、LPD個数の上昇幅(図中の横軸方向の長さ)とがほぼ一致することが分かった。
このことから、LPDは、単結晶インゴットの温度が570℃±70℃の範囲内で長時間維持されたときに、発生しやすいことが分かった。
まず、実験1と同様の条件でテール部形成工程まで行った後、通常の冷却工程では、図17の二点鎖線で示すように単結晶インゴットを急冷するところ、実線で示すように単結晶インゴットを急冷せずに徐冷した。なお、図17において、縦軸は、650℃±50℃での滞在時間を表している。
そして、図17に実線で示す条件で製造した単結晶インゴットを用いて、実験1と同様の条件でエピタキシャルシリコンウェーハを製造し、各固化率におけるLPD個数を調べた。各固化率における滞在時間とLPD個数との関係を図18に示す。なお、図18において、縦軸は、570℃±70℃での滞在時間を表している。
図18に示すように、固化率が約66%を超える場合に、LPD個数が0となることが分かった。そして、このときの570℃±70℃での滞在時間が、約200分であることが分かった。
このことから、単結晶インゴットの温度が570℃±70℃の範囲内となる時間を200分以下とすることで、LPDの発生を抑制できる可能性があると推定した。
実験1と同様の条件でテール部形成工程まで行った後、通常通り図17の二点鎖線で示す冷却工程を行い、通常の条件で単結晶インゴットを製造した。そして、この単結晶インゴットを用いて、実験1と同様の条件でエピタキシャルシリコンウェーハを製造し、各固化率におけるLPD個数を調べた。その結果を図19に示す。
図19に示すように、固化率が約44%よりも後ろの場合に、単結晶インゴットの温度が570℃±70℃の範囲内となる時間が20分以上200分以下となり、LPD個数も少なくなることが分かった。
このことから、単結晶インゴットの温度が570℃±70℃の範囲内となる時間を20分以上200分以下とすることで、LPDの発生を抑制できることが分かった。すなわち、単結晶インゴットの温度が570℃±70℃の範囲内となる時間が200分を超える場合には、クラスターの発生を抑制できないため、LPDの発生を抑制できないことが分かった。
本発明によれば、単結晶インゴットにおけるアルゴンアニール工程の対象となり得る部分と、なり得ない部分とを識別することができ、効率よく高品質のエピタキシャルシリコンウェーハを製造できる。
本発明のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法では、前記シリコンウェーハの抵抗率は、0.6mΩ・cm以上であることが好ましい。0.6mΩ・cm未満となるようにリンをドープした場合、単結晶インゴットの育成そのものが行えなくなるからである。
本発明によれば、シリコンウェーハとエピタキシャル膜との界面部分での赤リンの濃度差に起因する転移欠陥(ミスフィット転移)の発生を抑制できる。
図20に示すように、エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法では、単結晶インゴット製造工程を行う(ステップS1)。
この単結晶インゴット製造工程では、図示しない引き上げ装置を用いたCZ法(チョクラルスキー法)にて、n型ドーパントとして赤リンを添加したシリコン融液から、図21(A)に示すような単結晶インゴット1を製造する。この単結晶インゴット1は、直径が200mmであり、肩部11と、直胴部12と、テール部13とを備える。
ここで、単結晶インゴット1から切り出されたシリコンウェーハの抵抗率が0.6mΩ・cm以上0.9mΩ・cm以下となるように、以下の条件で単結晶インゴット1を製造した。
赤リン濃度:8.29×1019atoms/cm3以上1.32×1020atoms/cm3以下
酸素濃度:7×1017atoms/cm3以上12×1017atoms/cm3以下
なお、ミスフィット転移を抑制するために、3.70×1019atoms/cm3以上2.93×1020atoms/cm3以下の濃度のゲルマニウムを添加してもよい。
この評価用ウェーハ切り出し工程では、図21(A)に示すように、まず、単結晶インゴット1の直胴部12のうち、単結晶インゴット製造工程において、温度が570℃±70℃の範囲内であった時間が200分を超える部分を、円柱状のアニール候補ブロック14として切り出す。このアニール候補ブロック14は、上述のような温度条件で製造されているため、クラスターが発生している可能性が高い。
そして、このアニール候補ブロック14を分割して、3個の円柱状の小ブロック140を得る。この後、この小ブロック140のテール部13側の端部から、評価用のシリコンウェーハ141を切り出す。
なお、小ブロック140の両端から評価用のシリコンウェーハ141を切り出してもよいし、肩部11側から切り出してもよい。
この評価アニール工程では、例えば1回で複数の評価用のシリコンウェーハ141をアニール可能なバッチ炉を用いてピット評価用熱処理を行う。そして、このバッチ炉内で、評価用のシリコンウェーハ141を水素ガス雰囲気下において1200℃の温度で30秒間熱処理する。
次に、ステップS4において、微小ピットが観察されたか否かを判断する(ステップS5)。
すなわち、この製品用のシリコンウェーハ142にはクラスターが発生している可能性が高いため、アルゴンアニール工程を含む全ての工程を行う。
原料ガス:モノシラン(SiH4)と酸素(O2)の混合ガス
裏面酸化膜の厚さ:550nm(100nm以上1500nm以下)
成膜温度:430℃(400℃以上450℃以下)
このような裏面酸化膜16を設けることによって、オートドープ現象が抑制される。
このように裏面酸化膜16の外周部を除去することによって、ノジュールの発生が抑制される。
雰囲気:アルゴンガス
熱処理温度:1200℃〜1220℃
熱処理時間:60分以上120分以下
このようなアルゴンアニール工程を行うことによって、製品用のシリコンウェーハ142に発生しているクラスターが溶体化して無くなる、あるいは少なくなる。
なお、アルゴンアニール工程において赤リンが外方拡散することで、製品用のシリコンウェーハ142の表面には、厚さが0.65μm以上0.91μm以下の外方拡散層が形成され、遷移領域幅が増大してしまう。しかし、その後のデバイス製造時における熱処理によって、濃度の高い位置から低い位置に赤リンが移動するため、問題とはならない。
雰囲気:水素ガス
熱処理温度:1200℃(1050℃以上1200℃以下)
熱処理時間:30秒(30秒以上300秒以下)
すなわち、評価アニール工程のピット評価用熱処理とほぼ同じ条件で熱処理を行う。
このような水素ベーク工程を行うことによって、製品用のシリコンウェーハ142表面に付着した自然酸化膜やパーティクルが除去され、製品用のシリコンウェーハ142の清浄化を図ることができる。
ドーパントガス:フォスフィン(PH3)ガス
原料ソースガス:トリクロロシラン(SiHCl3)ガス
キャリアガス:水素ガス
成長温度:1080℃(1000℃以上1150℃以下)
エピタキシャル膜の厚さ:5μm(1μm以上10μm以下)
抵抗率(エピ膜抵抗率):1Ω・cm(0.01Ω・cm以上10Ω・cm以下)
(赤リン濃度:4.86×1015atoms/cm3(4.44×1014atoms/cm3以上4.53×1018atoms/cm3以下)
このようなエピタキシャル膜成長工程を行うことによって、図22(F)に示すように、製品用のシリコンウェーハ142の表面にエピタキシャル膜17が形成されたエピタキシャルシリコンウェーハ2が製造される。
さらには、裏面酸化膜除去工程を行ってからアルゴンアニール工程を行うため、裏面酸化膜16で覆われていない外周部からの赤リンの外方拡散を促進させることができ、オートドープ現象の発生を抑制できる。このため、エピタキシャル膜17面内の抵抗率の均一化を図れる。
すなわち、この製品用のシリコンウェーハ142にはクラスターが発生している可能性が低いため、クラスターを溶体化するためのアルゴンアニール工程を行う必要がない。このような理由から、アルゴンアニール工程を除く全ての工程を行う。
そして、上述のステップS11〜S14の処理を行うことによって、エピタキシャルシリコンウェーハ2に発生しているSFの個数が1個/cm2以下であって、1枚のエピタキシャルシリコンウェーハ2に発生しているLPDの個数が314個以下の高品質のエピタキシャルシリコンウェーハ2を製造することができる。
そして、このアニール不要ブロック15から製品用のシリコンウェーハを切り出して、上述のステップS2〜S10の処理を行わずに、ステップS11〜S14の処理のみを行うことによって、上述のような高品質のエピタキシャルシリコンウェーハ2を製造することができる。
なお、本発明は上記実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の改良ならびに設計の変更などが可能である。
例えば、ステップS2〜S5,S11〜S14の処理を行わずに、直胴部12から切り出した製品用のシリコンウェーハ142の全てに対してステップS6〜S10の処理を行ってもよい。
また、上記実施形態におけるアニール不要ブロック15をアニール候補ブロック14として切り出して、このアニール候補ブロック14に対してステップS2〜S14の処理を行ってもよい。すなわち、単結晶インゴット製造工程での温度が570℃±70℃の範囲内であった時間の長さが200分以下か否かにかかわらず、ステップS2〜S14の処理を行ってもよい。
2…エピタキシャルシリコンウェーハ
16…裏面酸化膜
17…エピタキシャル膜
141,142…シリコンウェーハ
Claims (8)
- 抵抗率が0.9mΩ・cm以下となるようにリンが添加されたシリコンウェーハの表面にエピタキシャル膜が設けられたエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法であって、
CZ法により製造された単結晶インゴットから切り出されたシリコンウェーハの裏面に酸化膜を形成する裏面酸化膜形成工程と、
前記シリコンウェーハの外周部に存在する前記酸化膜を除去する裏面酸化膜除去工程と、
前記裏面酸化膜除去工程後の前記シリコンウェーハに対し、アルゴンガス雰囲気下において1200℃以上1220℃以下の温度で60分以上120分以下の熱処理を行うアルゴンアニール工程と、
前記アルゴンアニール工程後の前記シリコンウェーハの表面にエピタキシャル膜を形成するエピタキシャル膜形成工程とを有することを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。 - 請求項1に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法において、
前記単結晶インゴットから切り出された評価用のシリコンウェーハに対してピット評価用熱処理を行い、その表面にピットが観察された場合に、当該評価用のシリコンウェーハの切り出し位置を含む部分から切り出されるシリコンウェーハに対し、前記裏面酸化膜形成工程から前記エピタキシャル膜形成工程に至る全ての工程を行うことを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法において、
前記単結晶インゴットから切り出された評価用のシリコンウェーハに対してピット評価用熱処理を行い、その表面にピットが観察されない場合に、当該評価用のシリコンウェーハの切り出し位置を含む部分から切り出されるシリコンウェーハに対し、前記裏面酸化膜形成工程から前記エピタキシャル膜形成工程に至る工程のうち前記アルゴンアニール工程以外の工程を行うことを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法において、
前記単結晶インゴットから切り出されたシリコンウェーハは、前記単結晶インゴットのうち当該単結晶インゴットの製造工程において570℃±70℃の範囲内で加熱された時間が200分を超える部分から切り出されたシリコンウェーハであることを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法において、
前記シリコンウェーハの抵抗率は、0.8mΩ・cm未満であることを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。 - 請求項5に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法において、
前記シリコンウェーハの抵抗率は、0.6mΩ・cm以上であることを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法において、
前記シリコンウェーハにおけるゲルマニウムの濃度が3.70×1019atoms/cm3以上2.93×1020atoms/cm3以下となるようにゲルマニウムを添加して、CZ法により単結晶インゴットを製造する単結晶インゴット製造工程を有することを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。 - 抵抗率が0.9mΩ・cm以下となるようにリンが添加されたシリコンウェーハの表面にエピタキシャル膜が設けられ、裏面に酸化膜が設けられたエピタキシャルシリコンウェーハであって、前記エピタキシャル膜の表面で観察される90nmサイズ以上のLPD(Light Point Defect)の平均個数が1個/cm2以下であることを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハ。
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