CN108878310B - 芯片切割系统及其控制电路 - Google Patents

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Abstract

本申请提供一种芯片切割系统及其控制电路。本申请中，所述芯片切割系统的控制电路，包括依次串联形成控制回路的第一继电器、第二继电器、监测装置以及控制主板，还包括与第二继电器电连接的第三继电器；第一继电器闭合时发泡机通电，在发泡机输出的水的电阻率处于预设范围内时，第三继电器断开，第二继电器闭合，控制回路闭合，监测装置将监测的划片机工作所需参数输出至控制主板，控制主板控制划片机进行切割工作；在电阻率超出预设范围时，第三继电器闭合，第二继电器断开，控制回路断开，控制主板控制划片机停止切割工作。本申请可以及时有效地预防在芯片切割过程中对芯片造成的静电污染，降低芯片失效的风险并极大的提高产品良率和生产效率。

Description

芯片切割系统及其控制电路
技术领域
本申请涉及芯片制造加工技术领域，特别涉及一种芯片切割系统及其控制电路。
背景技术
在芯片的划片过程中，使用高品质的超纯水有助于产品良率的提高。然而超纯水具有很高的电阻率，几乎没有导电性，因此很容易在产品表面产生静电，对产品造成静电污染。
相关技术中，可以利用CO2(二氧化碳)发泡机向超纯水里注入CO2来调节纯水电阻值，以避免在划片过程中产品表面产生静电，对产品造成静电污染。目前，在芯片的划片过程中，是将CO2发泡机的出水口连接至划片机切割水的进水口来实现互联，CO2发泡机可以时时监测电阻率，并在电阻率超出预设范围时进行报警。
然而，这种方案只能起到监测功能，即使在电阻率超出预设范围时进行报警，员工也无法及时的发现并处理，也就是说当检测到电阻率超标时发泡机报警，可是划片机不会自动停止切割，此时极有可能造成产品的静电污染或电性能失效。
发明内容
本申请实施例提供一种芯片切割系统及其控制电路，可以及时有效地预防在芯片切割过程中对芯片造成的静电污染，降低芯片失效的风险并极大的提高产品良率和生产效率。
本申请部分实施例提供了一种芯片切割系统的控制电路，所述芯片切割系统包括发泡机以及与所述发泡机连接的划片机，所述控制电路与所述芯片切割系统连接；其中，所述控制电路包括：第一继电器、第二继电器、第三继电器、监测装置以及控制主板；其中，
所述第一继电器、所述第二继电器、所述控制主板以及所述监测装置依次串联形成控制回路；所述第三继电器与所述第二继电器电连接；
所述第一继电器闭合时所述发泡机通电工作，在所述发泡机输出的水溶剂的电阻率处于预设范围内时，所述第三继电器失电断开，所述第二继电器失电闭合，所述控制回路闭合，所述监测装置将监测的所述划片机工作所需参数输出至所述控制主板，所述控制主板在接收到所述工作所需参数时控制所述划片机进行切割工作；
在所述电阻率超出所述预设范围时，所述第三继电器得电闭合，所述第二继电器得电断开，所述控制回路断开，所述控制主板控制所述划片机停止切割工作。
本申请部分实施例所达到的主要技术效果是：通过第一继电器、所述第二继电器、所述控制主板以及所述监测装置依次串联形成控制回路，且将第三继电器与所述第二继电器电连接，可以在所述电阻率超出所述预设范围时，断开控制回路，进而，控制所述划片机停止切割工作。这样，可以在发泡机提供的切割水的电阻率异常时及时使得划片机停止切割芯片，及时有效地预防在芯片切割过程中对芯片造成的静电污染，降低芯片失效的风险并极大的提高产品良率和生产效率。
在一个实施例中，所述监测装置可为流量计，所述工作所需参数可为所述划片机的主轴冷却水流量。由于主轴冷却水信号是直接连接划片机的主轴的，如果出现主轴冷却水信号异常，比如无信号，主轴会在控制主板的控制下立即停止动作，进而停止切割芯片，而在消除信号异常后又可直接恢复切割，无需复位等处理，可以减少处理系统异常的时间，有利于提高生产效率。
在一个实施例中，所述芯片切割系统还可包括与所述第三继电器电连接的第一报警器以及与所述控制主板电连接的第二报警器；所述第三继电器得电闭合时，所述第一报警器报警；所述控制回路断开时，所述第二报警器报警。由于在电阻率超出预设范围时，第一报警器报警，用于电阻率异常报警，同时，第二报警器报警，用于划片机异常报警，实现了发泡机与划片机的联动报警。
在一个实施例中，所述第一继电器包括第一触点、第二触点与第三触点；所述第二继电器包括第四触点、第五触点与第六触点；所述第一触点与所述监测装置电连接，所述第三触点与所述第五触点电连接，所述第四触点与所述控制主板电连接；当所述第一继电器闭合时，所述第一触点与所述第三触点吸合；当所述第二继电器失电闭合时，所述第四触点与所述第五触点吸合；当所述第二继电器得电断开时，所述第四触点与所述第六触点吸合。
本申请部分实施例还提供了一种芯片切割系统，包括发泡机、与所述发泡机连接的划片机以及上述的控制电路。
本申请部分实施例还提供了一种芯片切割系统，包括：发泡机与划片机；其中，
所述发泡机包括：用于容纳超纯水与发泡剂的腔体、位于所述腔体中的电阻率传感器、与所述腔体连通的出水口、位于所述出水口的电磁阀以及与所述电磁阀电连接的第一控制板；
所述划片机包括：与所述出水口连通的进水口、用于检测所述进水口流量的流量计、与所述流量计电连接的第二控制板以及与所述第二控制板电连接的切割装置；
所述电阻率传感器与所述第一控制板电连接，用于检测所述腔体中溶解有所述发泡剂的水溶剂的电阻率；
在所述电阻率超出预设范围时，所述第一控制板控制所述电磁阀闭合，禁止所述出水口输出所述水溶剂；
当所述进水口的流量低于预设阈值时，所述第二控制板控制所述切割装置停止切割工作。
本申请部分实施例所达到的主要技术效果是：通过在划片机的出水口安装电磁阀，在发泡机制备的水溶剂(用作划片机的切割水)的电阻率超出预设范围时，关闭电磁阀，禁止出水口输出水溶剂，使得划片机的切割水流量低于预设阈值，进而触发切割装置停止切割芯片。这样，可以在发泡机提供的切割水的电阻率异常时及时使得划片机停止切割芯片，及时有效地预防在芯片切割过程中对芯片造成的静电污染，降低芯片失效的风险并极大的提高产品良率和生产效率。
附图说明
图1是本申请一示例性实施例示出的一种芯片切割系统的结构示意图。
图2是本申请一示例性实施例示出的一种芯片切割系统的控制电路的结构示意图。
具体实施例
这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施例并不代表与本申请相一致的所有实施例。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本申请的一些方面相一致的装置和方法的例子。
在本申请使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请。在本申请和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。
应当理解，尽管在本申请可能采用术语第一、第二、第三等来描述各种信息，但这些信息不应限于这些术语。这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区分开。例如，在不脱离本申请范围的情况下，第一信息也可以被称为第二信息，类似地，第二信息也可以被称为第一信息。取决于语境，如在此所使用的词语“如果”可以被解释成为“在……时”或“当……时”或“响应于确定”。
下面结合附图，对本申请的一些实施例作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
本申请的示例性实施例提供一种芯片切割系统的控制电路。该控制电路可以与芯片切割系统通过水、电、气等方式的连接。请参阅图1，芯片切割系统包括发泡机以及与发泡机连接的划片机。其中，发泡机为CO2发泡机，用于向划片机输入溶解有CO2的水溶剂作为切割水。发泡机与划片机之间连接单向阀V与切割液注入机，单向阀V用于避免发泡机向划片机输入的水溶剂倒流，切割液注入机用于向划片机注入切割液。具体地，发泡机包括一腔体、去离子水注入机、二氧化碳注入机以及显示屏。腔体用于接收去离子水注入机注入的去离子水(DI water)以及二氧化碳注入机注入的二氧化碳(CO2)，显示屏用于实时显示腔体内的水溶剂的电阻率，其中水溶剂的电阻率由安装在腔体内的电阻率传感器检测得到。
请参阅图2，控制电路包括：第一继电器KA1、第二继电器KA2、第三继电器KA3、监测装置M、控制主板C、与第三继电器电连接的第一报警器(未示出)以及与控制主板电连接的第二报警器(未示出)。
其中，第一继电器、第二继电器、控制主板以及监测装置依次串联形成控制回路；第三继电器与第二继电器电连接，具体地，第三继电器的正极与第二继电器的正极连接，均接电源正极，第三继电器的负极与第二继电器的负极连接，均接电源负极。第一继电器为发泡机的开机继电器，第二继电器为发泡机的报警继电器，当第二继电器闭合时，第一报警装置报警，第二报警器为划片机的报警器，在控制回路断开时报警。
第一继电器闭合时发泡机通电工作。在发泡机输出的水溶剂的电阻率处于预设范围内时，第三继电器失电断开，第二继电器失电闭合，控制回路闭合，监测装置将监测的划片机工作所需参数输出至控制主板，控制主板在接收到工作所需参数时控制划片机进行切割工作。
在上述的电阻率超出上述的预设范围时，第三继电器得电闭合，同时，第二继电器得电断开，控制回路断开，控制主板控制划片机停止切割工作。当控制回路断开后，控制主板接收不到工作所需参数，进而控制划片机停止切割工作。
本实施例中，通过第一继电器、第二继电器、控制主板以及监测装置依次串联形成控制回路，且将第三继电器与第二继电器电连接，可以在电阻率超出预设范围时，断开控制回路，进而控制划片机停止切割工作。这样，可以在发泡机提供的切割水的电阻率异常时及时使得划片机停止切割芯片，及时有效地预防在芯片切割过程中对芯片造成的静电污染，降低芯片失效的风险并极大的提高产品良率和生产效率。
而且，由于在电阻率超出预设范围时，第三继电器得电闭合，触发第一报警器报警，用于电阻率异常报警，同时，控制回路断开，触发第二报警器报警，用于划片机异常报警，实现了发泡机与划片机的联动报警。
在一个实施例中，监测装置为流量计，工作所需参数为划片机的主轴冷却水流量。由于主轴冷却水信号是直接连接划片机的主轴的，如果出现主轴冷却水信号异常，比如无信号，主轴会在控制主板的控制下立即停止动作，进而停止切割芯片。而在消除信号异常后又可直接恢复切割，无需复位等处理，可以减少处理系统异常的时间，有利于提高生产效率。当然，在其他实施例中，监测装置可以为检测划片机的其他工作所需参数的监测装置，比如监测电参数或者气参数的监测装置。
在一个实施例中，第一继电器包括第一触点a、第二触点b与第三触点c；第二继电器包括第四触点f、第五触点e与第六触点g；第一触点a与监测装置电连接，第三触点c与第五触点e电连接，第四触点f与控制主板电连接。
当第一继电器闭合时，第一触点a与第三触点c吸合。当第一继电器闭合，且在发泡机输出的水溶剂(可以简称为水)的电阻率处于预设范围内时，第三继电器失电断开，第二继电器失电闭合，第四触点f与第五触点e吸合，控制回路闭合。
当第一继电器闭合，且在电阻率超出预设范围时，第三继电器得电闭合，同时，第二继电器得电断开，第四触点f与第六触点g吸合，控制回路断开，控制主板接收不到工作所需参数，进而控制划片机停止切割工作。
本实施例的主要有益效果是：通过第一继电器、第二继电器、控制主板以及监测装置依次串联形成控制回路，且将第三继电器与第二继电器电连接，可以在电阻率超出预设范围时，断开控制回路，进而，控制划片机停止切割工作。这样，可以在发泡机提供的切割水的电阻率异常时及时使得划片机停止切割芯片，及时有效地预防在芯片切割过程中对芯片造成的静电污染，降低芯片失效的风险并极大的提高产品良率和生产效率。
本申请的示例性实施例还提供一种芯片切割系统，包括发泡机、与发泡机连接的划片机以及上述的控制电路。
本申请的示例性实施例还提供一种芯片切割系统，包括：发泡机与划片机。
具体地，发泡机包括：用于容纳超纯水与发泡剂的腔体、位于腔体中的电阻率传感器、与腔体连通的出水口、位于出水口的电磁阀以及与电磁阀电连接的第一控制板。
划片机包括：与出水口连通的进水口、用于检测进水口流量的流量计、与流量计电连接的第二控制板以及与第二控制板电连接的切割装置。
其中，电阻率传感器与第一控制板电连接。电阻率传感器用于检测腔体中溶解有发泡剂的水溶剂的电阻率。在上述电阻率超出预设范围时，第一控制板控制电磁阀闭合，禁止出水口输出水溶剂。当发泡机禁止输出水溶剂后，划片机的进水口的流量会降低，当第二控制板确定流量计检测到的划片机的进水口的流量低于预设阈值时，第二控制板便控制切割装置停止切割工作。
本实施例的主要有益效果是：通过在划片机的出水口安装电磁阀，在发泡机制备的水溶剂(用作划片机的切割水)的电阻率超出预设范围时，关闭电磁阀，禁止出水口输出水溶剂，使得划片机的切割水流量低于预设阈值，进而触发切割装置停止切割芯片。这样，可以在发泡机提供的切割水的电阻率异常时及时使得划片机停止切割芯片，及时有效地预防在芯片切割过程中对芯片造成的静电污染，降低芯片失效的风险并极大的提高产品良率和生产效率。
以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本申请方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性劳动的情况下，即可以理解并实施。
以上仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请保护的范围之内。

Claims (4)

1.一种芯片切割系统的控制电路，其特征在于，所述芯片切割系统包括发泡机以及与所述发泡机连接的划片机，所述控制电路与所述芯片切割系统连接；其中，所述控制电路包括：第一继电器、第二继电器、第三继电器、监测装置以及控制主板；其中，所述监测装置用于将监测的划片机工作所需参数输出至所述控制主板；
所述第一继电器、所述第二继电器、所述控制主板以及所述监测装置依次串联形成控制回路；所述第三继电器与所述第二继电器电连接，所述第三继电器的正极与所述第二继电器的正极连接，所述第三继电器的负极与所述第二继电器的负极连接，所述第三继电器失电断开、得电闭合，所述第二继电器失电闭合、得电断开；
所述第一继电器闭合时所述发泡机通电工作，在所述发泡机输出的水溶剂的电阻率处于预设范围内时，所述第三继电器失电断开，所述第二继电器失电闭合，所述控制回路闭合，所述监测装置将监测的所述划片机工作所需参数输出至所述控制主板，所述控制主板在接收到所述工作所需参数时控制所述划片机进行切割工作；所述监测装置为流量计，所述工作所需参数为所述划片机的主轴冷却水流量；
在所述电阻率超出所述预设范围时，所述第三继电器得电闭合，所述第二继电器得电断开，所述控制回路断开，所述控制主板控制所述划片机停止切割工作；
所述芯片切割系统还包括与所述第三继电器电连接的第一报警器以及与所述控制主板电连接的第二报警器；
所述第三继电器得电闭合时，所述第一报警器报警；
所述控制回路断开时，所述第二报警器报警。
2.根据权利要求1所述的芯片切割系统的控制电路，其特征在于，所述第一继电器包括第一触点、第二触点与第三触点；
所述第二继电器包括第四触点、第五触点与第六触点；
所述第一触点与所述监测装置电连接，所述第三触点与所述第五触点电连接，所述第四触点与所述控制主板电连接；
当所述第一继电器闭合时，所述第一触点与所述第三触点吸合；
当所述第二继电器失电闭合时，所述第四触点与所述第五触点吸合；
当所述第二继电器得电断开时，所述第四触点与所述第六触点吸合。
3.一种芯片切割系统，其特征在于，包括发泡机、与所述发泡机连接的划片机以及权利要求1至2任一项所述的控制电路。
4.一种芯片切割系统，其特征在于，包括：发泡机与划片机以及权利要求1至2任一项所述的控制电路；其中，
所述发泡机包括：用于容纳超纯水与发泡剂的腔体、位于所述腔体中的电阻率传感器、与所述腔体连通的出水口、位于所述出水口的电磁阀以及与所述电磁阀电连接的第一控制板；
所述划片机包括：与所述出水口连通的进水口、用于检测所述进水口流量的流量计、与所述流量计电连接的第二控制板以及与所述第二控制板电连接的切割装置；
所述电阻率传感器与所述第一控制板电连接，用于检测所述腔体中溶解有所述发泡剂的水溶剂的电阻率；
在所述电阻率超出预设范围时，所述第一控制板控制所述电磁阀闭合，禁止所述出水口输出所述水溶剂；
当所述进水口的流量低于预设阈值时，所述第二控制板控制所述切割装置停止切割工作。
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