CN205302576U - 一种二氧化碳检测报警系统 - Google Patents

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CN205302576U CN201520981784.0U CN201520981784U CN205302576U CN 205302576 U CN205302576 U CN 205302576U CN 201520981784 U CN201520981784 U CN 201520981784U CN 205302576 U CN205302576 U CN 205302576U
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Abstract

本实用新型提供一种二氧化碳检测报警系统,包括:系统电源检测模块、压力检测模块,所述系统电源检测模块包括:电源、R2继电器、与蜂鸣器Ⅱ、信号黄灯,所述R2继电器还与所述压力检测模块连接;所述压力检测模块包括:R1继电器、与所述R1继电器连接的压力检测装置、与所述压力检测装置连接的信号红灯、蜂鸣器Ⅰ、信号绿灯,本系统采用压力检测装置设置压力检测装置阈值,能够实时采集二氧化碳混合设备中的二氧化碳量,实现在用完之前就进行预警,且本实用新型采用电源异常自检保护,避免压力检测装置供电异常引起的二氧化碳信息采集的误差或失败,本实用新型软硬件结合实现自动检测预警,结构简单、成本低、可控性强。

Description

一种二氧化碳检测报警系统
技术领域
本实用新型涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种二氧化碳检测报警系统。
背景技术
在封装切割设备工作过程中,刀片高速转动对晶圆进行切割,摩擦会产生静电,产生的静电会对晶圆电路造成严重的电击穿伤害,导致产品品质不良;二氧化碳混合设备作业过程主要作用是将二氧化碳与纯水进行混合,使切割水具备一定的导电功能,及时消散切割时产生的静电,防止静电击穿不良。但是目前的二氧化碳混合设备没有对二氧化碳压力的检测装置,只用当二氧化碳彻底用完后,检测到电阻率异常,设备才会报警,而此时,对应的切割机并没有停止工作,报警期间作业的产品有非常严重的品质隐患。
实用新型内容
本实用新型提供一种二氧化碳检测报警系统,解决了二氧化碳混合设备无法在二氧化碳用完之前无法提前报警警示的缺陷,防止产品静电击穿不良的发生,大幅提高了产品品质可靠性,本实用新型采用以下技术方案:本实用新型包括:系统电源检测模块、压力检测模块,所述系统电源检测模块包括:电源15、与所述电源15连接的R2继电器8、与所述R2继电器8连接的蜂鸣器Ⅱ14、信号黄灯5,所述R2继电器8还与所述压力检测模块连接;所述压力检测模块包括:R1继电器10、与所述R1继电器10连接的压力检测装置9、与所述压力检测装置9连接的信号红灯1、蜂鸣器Ⅰ13、信号绿灯3。
优选的,所述R2继电器8的常开触点与所述压力检测装置9连接,所述R2继电器8的常闭触点Ⅳ6、常闭触点Ⅲ7与所述信号黄灯5连接,所述R2继电器8的常闭触点Ⅱ12与所述蜂鸣器Ⅱ14连接。
优选的,所述R1继电器10的常闭触点Ⅰ4与所述信号绿灯3连接,所述R1继电器10的常开触点Ⅱ2与所述信号红灯1连接,所述R1继电器10的常开触点Ⅲ11与所述蜂鸣器Ⅰ13连接。
优选的,所述电源15为24V直流电源。
本实用新型的有益效果:本系统采用压力检测装置、工业控制端结合其他软硬件设施,控制端设置压力检测装置阈值,能够实时采集二氧化碳混合设备中的二氧化碳量,实现在用完之前就进行预警,且本实用新型采用电源异常自检保护,避免压力检测装置供电异常引起的二氧化碳信息采集的误差或失败,本实用新型软硬件结合实现自动检测预警,结构简单、成本低、可控性强。
附图说明
图1为本实用新型的电气连接原理图;
图2为本实用新型控制电路原理图。
图中,1、信号红灯;2、常开触点Ⅱ;3、信号绿灯;4、常闭触点Ⅰ;5、信号黄灯;6、常闭触点Ⅳ;7、常闭触点Ⅲ;8、R2继电器;9、压力检测装置;10、R1继电器;11、常开触点Ⅲ;12、常闭触点Ⅱ;13、蜂鸣器Ⅰ;14、蜂鸣器Ⅱ;15、电源。
具体实施方式
由图1所示可知,本实用新型包括:系统电源检测模块、压力检测模块,所述系统电源检测模块包括:24V直流电源15、与所述电源15连接的R2继电器8、与所述R2继电器8连接的蜂鸣器Ⅱ14、信号黄灯5,所述R2继电器8还与所述压力检测模块连接;
所述压力检测模块包括:R1继电器10、与所述R1继电器10连接的压力检测装置9、与所述压力检测装置9连接的信号红灯1、蜂鸣器Ⅰ13、信号绿灯3。
优选的,所述R2继电器8的常开触点与所述压力检测装置9连接,所述R2继电器8的常闭触点Ⅳ6、常闭触点Ⅲ7与所述信号黄灯5连接,所述R2继电器8的常闭触点Ⅱ12与所述蜂鸣器Ⅱ14连接。
优选的,所述R1继电器10的常闭触点Ⅰ4与所述信号绿灯3连接,所述R1继电器10的常开触点Ⅱ2与所述信号红灯1连接,所述R1继电器10的常开触点Ⅲ11与所述蜂鸣器Ⅰ13连接。
本系统中压力检测装置9与MCU微控芯片连接,所述MCU微控芯片还与无线传输模块连接,通过无线传输模块实现与远程控制端的连接,便于生产车间的统一化监测管理。
上述实施例仅例示性说明本专利申请的原理及其功效,而非用于限制本专利申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本专利申请的精神及范畴下,对上述实施例进行修饰或改变。因此,举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本专利申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变,仍应由本专利申请的权利要求所涵盖。

Claims (4)

1.一种二氧化碳检测报警系统,包括系统电源检测模块、压力检测模块,
所述系统电源检测模块包括:电源(16)、与所述电源连接的继电器R2(8)、与所述继电器R2(8)连接的蜂鸣器Ⅱ(14)、信号黄灯(5),所述继电器R2(8)还与所述压力检测模块连接;
所述压力检测模块包括:继电器R1(10)、与所述继电器R1(10)连接的压力检测装置(9)、与所述压力检测装置(9)连接的信号红灯(1)、蜂鸣器Ⅰ(13)、信号绿灯(3)。
2.根据权利要求1所述的一种二氧化碳检测报警系统,其特征在于,所述继电器R2(8)的常开触点与所述压力检测装置(9)连接,所述继电器R2(8)的常闭触点Ⅳ(6)、常闭触点Ⅲ(7)与所述信号黄灯(5)连接,所述继电器R2(8)的常闭触点Ⅱ(12)与所述蜂鸣器Ⅱ(14)连接。
3.根据权利要求1所述的一种二氧化碳检测报警系统,其特征在于,所述继电器R1(10)的常闭触点Ⅰ(4)与所述信号绿灯(3)连接,所述继电器R1(10)的常开触点Ⅱ(2)与所述信号红灯(1)连接,所述继电器R1(10)的常开触点Ⅲ(11)与所述蜂鸣器Ⅰ(13)连接。
4.根据权利要求1所述的一种二氧化碳检测报警系统,其特征在于,所述电源(16)为24V直流电源。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108878310A (zh) * 2017-05-12 2018-11-23 无锡华润安盛科技有限公司 芯片切割系统及其控制电路

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