JP2013104855A - 振動子、振動デバイスおよび電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】実装基板に実装した際の導電性固定部材同士の接触を防止し、正しい駆動を行うことのできる振動子および振動デバイスを提供すること
【解決手段】振動子２は、振動体４、振動体４を支持する第１、第２支持部５１、５２および第１、第２支持部５１、５２と振動体４を連結する４つの梁６１、６２、６３、６４を有する振動片３と、振動体４に設けられた電極７１０〜７４０と、第１、第２支持部５１、５２に設けられ、梁６１、６２、６３、６４に設けられた配線７１２〜７４２を介して電極７１０〜７４０と電気的に接続された端子７１２〜７４２とを有し、隣り合う一対の端子の間には、所定方向に離間するとともに、所定方向と交わる方向に延在する複数の溝５１２が設けられている。
【選択図】図４

Description

本発明は、振動子、振動デバイスおよび電子機器に関する。

従来から、角速度を検出するための振動片として、いわゆる「ＷＴ型」のジャイロ素子が知られている（特許文献１参照）。
特許文献１のジャイロ素子は、振動体と、振動体を支持している第１、第２の支持部と、振動体と第１支持部とを連結している第１、第２梁と、振動体と第２支持部とを連結している第３、第４梁とを有している。また、振動体は、基部と、基部から両側へｙ軸に沿って延出している第１、第２検出振動腕と、基部から両側へｘ軸に沿って延出している第１、第２連結部腕と、第１連結腕の先端部から両側へｙ軸に沿って延出している第１、第２駆動振動腕と、第２連結腕の先端部から両側へｙ軸に沿って延出している第３、第４駆動振動腕とで構成されている。

また、特許文献１のジャイロ素子では、第１、第２検出振動腕に第１、第２検出電極が設けられており、第１、第２、第３、第４駆動振動腕に第１、第２、第３、第４駆動電極が設けられている。第１検出電極および第１、第２駆動電極は、第１、第２梁を介して第１支持部に引き出され、第１支持部に設けられている３つの接続端子に電気的に接続されている。これと同様に、第２検出電極および第３、第４駆動電極は、第３、第４梁を介して第２支持部に引き出され、第２支持部に設けられている３つの接続端子に電気的に接続されている。
このような特許文献１のジャイロ素子は、導電性接着剤を介して実装基板に実装される。具体的には、６つの各接続端子と実装基板とが導電性接着剤にて接合され、これにより、ジャイロ素子が実装基板に固定されるとともに、ジャイロ素子と実装基板とが電気的に接続される。

ここで、第１支持部に設けられている３つの接続端子は、互いにｘ軸方向に並んで設けられているため、例えば、導電性接着剤の塗布位置や塗布量がずれたり、実装基板に対するジャイロ素子のアライメントがずれたりすると、導電性接着剤が対応する接続端子以外の接続端子と接触したり、隣り合う導電性接着剤同士が接触したりし、ジャイロ素子が正しく駆動しないおそれがある。すなわち、特許文献１のジャイロ素子では、導電性接着剤の塗布位置や塗布量、ジャイロ素子のアライメントを精度よく制御しなければ、正しく駆動するジャイロ素子が得られないという問題がある。

特開２０１０−２５６３３２号公報

本発明の目的は、実装基板に実装した際の導電性固定部材同士の接触を防止し、正しい駆動を行うことのできる振動子および振動デバイスを提供することにある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動子は、振動体と、前記振動体を支持している支持部と、前記支持部と前記振動体とを連結している梁と、を備えている振動片と、
前記振動体に設けられている少なくとも２つの電極と、
前記支持部に設けられ、前記梁に設けられている配線を介して前記電極と電気的に接続されている少なくとも２つの端子と、を備え、
前記２つの端子は、前記梁の延出方向と交わる方向に沿って、離間して並設されており、
前記２つの端子の間には、前記梁の延出方向と交わる方向に沿って離間するとともに、前記梁の延出方向に沿って延在する複数の溝が設けられていることを特徴とする。
これにより、振動子を支持基板に固定するとともに、支持基板に設けられている電極（端子）と振動子に設けられている電極とを導通するための複数の導電性固定部材が互いに接触してしまうことを防止することができる。そのため、信頼性に優れた振動子を提供することができる。

［適用例２］
本発明の振動子では、前記梁の延出方向と交わる方向において、前記複数の溝が設けられている領域に、前記梁と前記支持部との接続部が含まれているのが好ましい。
梁と支持部との接合部は、応力集中が起きやすい部分であるため、このような接合部を含むように複数の溝を設けることにより、接合部に発生する応力を複数の溝にて効果的に吸収または緩和することができる。そのため、振動子の破損を効果的に抑制することができる。

［適用例３］
本発明の振動子では、前記複数の溝のうちの少なくとも１つの溝は、独立して設けられているのが好ましい。
これにより、各溝に入り込んだ導電性固定部材が溝を介して接触することを防止できるため、導電性固定部材同士の接触をより確実に防止することができる。

［適用例４］
本発明の振動子では、前記複数の溝の前記振動体と反対側の端は、前記支持部の側面に開放しているのが好ましい。
これにより、２つの端子の間を溝によって明確に仕切ることができる。そのため、例えば溝の設けられていない領域を伝って導電性固定部材同士が接触するといった問題の発生を防止することができる。

［適用例５］
本発明の振動子では、前記複数の溝の前記振動体側の端は、閉じているのが好ましい。
これにより、溝内に流入した導電性固定部材が梁に設けられている配線と接触してしまうのを防止することができる。
［適用例６］
本発明の振動子では、前記複数の溝の前記振動体側の端は、前記支持部の前記振動体側の縁と離間しているのが好ましい。
これにより、溝内に流入した導電性固定部材が梁に設けられている配線と接触してしまうのを防止することができる。

［適用例７］
本発明の振動子では、前記溝の前記振動体側の端と前記支持部の前記振動体側の縁との離間距離は、３μｍ以上３５μｍ以下であるのが好ましい。
これにより、溝内に流入した導電性固定部材が梁に設けられている配線と接触してしまうのを防止することができる。加えて、２つの端子の間を溝によって明確に仕切ることができる。そのため、例えば溝の設けられていない領域を伝って導電性固定部材同士が接触するといった問題の発生を防止することができる。

［適用例８］
本発明の振動子では、前記複数の溝のうちの少なくとも１つの溝の前記振動体側の端は、第１支持部の側面に開放しているのが好ましい。
これにより、２つの端子の間を溝によって明確に仕切ることができる。そのため、例えば溝の設けられていない領域を伝って導電性固定部材同士が接触するといった問題の発生を防止することができる。

［適用例９］
本発明の振動子では、前記複数の溝のうち、一方の前記端子側に位置している少なくとも１つの溝の前記振動体側の端は、前記一方の端子と接続されている前記配線に接触し、他方の前記端子側に位置している少なくとも１つの溝の前記振動体側の端は、前記他方の端子と接続されている前記配線に接触しているのが好ましい。
これにより、短絡を防止することができる。

［適用例１０］
本発明の振動子では、前記振動体は、基部と、前記基部から両側へ第１方向に沿って延出している第１検出振動腕および第２検出振動腕と、前記基部から両側へ前記第１方向と直交する第２方向に沿って延出している第１連結腕および第２連結腕と、前記第１連結腕から両側へ前記第１方向に沿って延出している第１駆動振動腕および第２駆動振動腕と、前記第２連結腕から両側へ前記第１方向に沿って延出している第３駆動振動腕および第４駆動振動腕と、を備え、前記第１検出振動腕および前記第２検出振動腕にて検出振動系が構成され、前記第１駆動振動腕、前記第２駆動振動腕、前記第３駆動振動腕および前記第４駆動振動腕にて駆動振動系が構成され、
前記支持部は、前記振動体を挟んで前記第１方向に沿って対向配置され、前記第２方向に延在している第１支持部および第２支持部を備え、
前記梁は、前記第１検出振動腕と前記第１駆動振動腕との間を通って、前記第１支持部と前記基部とを連結している第１梁と、前記第１検出振動腕と前記第３駆動振動腕との間を通って、前記第１支持部と前記基部とを連結している第２梁と、前記第２検出振動腕と前記第２駆動振動腕との間を通って、前記第２支持部と前記基部とを連結している第３梁と、前記第２検出振動腕と前記第４駆動振動腕との間を通って、前記第２支持部と前記基部とを連結している第４梁とを有し、
前記電極は、前記検出振動系に設けられている第１検出信号電極、第２検出信号電極、第１検出接地電極および第２検出接地電極と、前記駆動振動系に設けられている駆動信号電極および駆動接地電極と、を備え、
前記端子は、前記第１検出信号電極と接続されている第１検出信号端子、前記第２検出信号電極と接続されている第２検出信号端子、前記第１検出接地電極と接続されている第１検出接地端子、前記第２検出接地電極と接続されている第２検出接地端子、前記駆動信号電極と接続されている駆動信号端子および前記駆動接地電極と接続されている駆動接地端子を備えているのが好ましい。
これにより、振動子によって角速度を検出することができる。

［適用例１１］
本発明の振動デバイスは、少なくとも２つの接続パッドを備えている基板と、
本発明の振動子と、を備え、
前記接続パッドと前記端子とが導電性固定部材により接合されていることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い振動デバイスを提供することができる。

［適用例１２］
本発明の振動デバイスでは、前記基板の平面視にて、前記接続パッドの輪郭と前記複数の溝が設けられている領域の一部とが重なり合っているのが好ましい。
これにより、複数の溝を、目盛り（目印）として使用することができるため、基板に対する位置決めをより正確に行うことができる。
［適用例１３］
本発明の電子機器は、本発明の振動子を備えていることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器を提供することができる。

本発明の振動デバイスの第１実施形態を示す図（断面図および平面図）である。 図１に示す振動デバイスが備えるジャイロ素子の平面図である。 図１に示す振動デバイスが備えるジャイロ素子の平面図である。 図３に示すジャイロ素子の部分拡大図である。 図２に示すジャイロ素子の駆動を説明する平面図である。 従来のジャイロ素子の問題点を示す断面図である。 図４に示すジャイロ素子の効果を説明するための断面図である。 本発明の第２実施形態にかかる振動デバイスが有するジャイロ素子の部分拡大図である。

以下、本発明の振動子および振動デバイスを添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
まず、本発明の振動子を適用した振動デバイス（本発明の振動デバイス）の第１実施形態について説明する。

図１は、本発明の振動デバイスの第１実施形態を示す図（断面図および平面図）、図２および図３は、図１に示す振動デバイスが備えるジャイロ素子の平面図、図４は、図３に示すジャイロ素子の部分拡大図、図５は、図２に示すジャイロ素子の駆動を説明する平面図、図６は、従来のジャイロ素子の問題点を示す断面図、図７は、図４に示すジャイロ素子の効果を説明するための断面図である。なお、以下では、図１に示すように、互いに直交する３軸を、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸とし、ｚ軸は、振動デバイスの厚さ方向と一致する。また、ｘ軸に平行な方向を「ｘ軸方向（第２方向）」と言い、ｙ軸に平行な方向を「ｙ軸方向（第１方向）」と言い、ｚ軸に平行な方向を「ｚ軸方向」と言う。
図１に示す振動デバイス１は、ジャイロ素子（振動素子）２と、ジャイロ素子２を収納するパッケージ９とを有している。以下、ジャイロ素子２およびパッケージ９について順次詳細に説明する。

（ジャイロ素子２）
図２は、上側から（リッド９２側）から見たジャイロ素子の上面図であり、図３は、上側から見たジャイロ素子の下面図（透過図）である。また、図２および図３では、説明の便宜上、電極および端子にハッチングを入れている。また、図２および図３中、同じハッチングで示す電極および端子は電気的に接続されていることを示している。また、図４では、説明の便宜上、支持部、梁、電極等の図示を省略している。

ジャイロ素子２は、ｚ軸まわりの角速度を検出する「面内検出型」のセンサーであって、図２および図３に示すように、振動片３と、振動片３の表面に設けられている複数の電極、配線および端子とで構成されている。
振動片３は、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料で構成することができるが、これらの中でも、水晶で構成するのが好ましい。これにより、優れた振動特性（周波数特性）を発揮することのできる振動片３が得られる。
このような振動片３は、いわゆるダブルＴ型をなす振動体４と、振動体４を支持する第１支持部５１および第２支持部５２と、振動体４と第１、第２支持部５１、５２とを連結する第１梁６１、第２梁６２、第３梁６３および第４梁６４とを有している。

振動体４は、ｘｙ平面に拡がりを有し、ｚ軸方向に厚みを有している。このような振動体４は、中央に位置する基部４１と、基部４１からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１、第２検出振動腕４２１、４２２と、基部４１からｘ軸方向に沿って両側に延出している第１、第２連結腕４３１、４３２と、第１連結腕４３１の先端部からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１、第２駆動振動腕４４１、４４２と、第２連結腕４３２の先端部からｙ軸方向に沿って両側に延出している第３、第４駆動振動腕４４３、４４４とを有している。第１、第２検出振動腕４２１、４２２および第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４の先端部には、それぞれ、基端側よりも幅の大きい略四角形の重量部（ハンマーヘッド）が設けられている。このような重量部を設けることでジャイロ素子２の角速度の検出感度が向上する。なお、以下では、この重量部を「先端部」とも言う。

なお、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２は、第１連結腕４３１の延在方向の途中から延出してもよく、同様に、第３、第４駆動振動腕４４３、４４４は、第２連結腕４３２の延在方向の途中から延出してもよい。
また、第１、第２支持部５１、５２は、それぞれ、ｘ軸方向に沿って延在しており、これら第１、第２支持部５１、５２の間に振動体４が位置している。言い換えれば、第１、第２支持部５１、５２は、振動体４を介してｙ軸方向に沿って対向するように配置されている。第１支持部５１は、第１、第２梁６１、６２を介して基部４１と連結されており、第２支持部５２は、第３、第４梁６３、６４を介して基部４１と連結されている。

第１梁６１は、第１検出振動腕４２１と第１駆動振動腕４４１との間を通って第１支持部５１と基部４１を連結し、第２梁６２は、第１検出振動腕４２１と第３駆動振動腕４４３との間を通って第１支持部５１と基部４１を連結し、第３梁６３は、第２検出振動腕４２２と第２駆動振動腕４４２との間を通って第２支持部５２と基部４１を連結し、第４梁６４は、第２検出振動腕４２２と第４駆動振動腕４４４との間を通って第２支持部５２と基部４１を連結している。

このような各梁６１、６２、６３、６４は、それぞれ、ｘ軸方向に沿って往復しながらｙ軸方向に沿って延びる蛇行部（Ｓ字形状部）を有しており、ｘ軸方向およびｙ軸方向に弾性を有している。また、各梁６１、６２、６３、６４は、それぞれ、蛇行部を有する細長い形状を有しているので、あらゆる方向に弾性を有している。そのため、外部から衝撃が加えられても、各梁６１、６２、６３、６４で衝撃を吸収する作用を有するので、これに起因する検出ノイズを低減または抑制することができる。

以上、振動片３の構成について説明した。このような振動片３には、図２および図３に示すように、検出信号電極７１０、検出信号配線７１２、検出信号端子７１４、検出接地電極７２０、検出接地配線７２２、検出接地端子７２４、駆動信号電極７３０、駆動信号配線７３２、駆動信号端子７３４、駆動接地電極７４０、駆動接地配線７４２および駆動接地端子７４４が設けられている。

便宜上、図２および図３において、検出信号電極７１０、検出信号配線７１２および検出信号端子７１４を右下斜線で示し、検出接地電極７２０、検出接地配線７２２および検出接地端子７２４をクロス斜線で示し、駆動信号電極７３０、駆動信号配線７３２および駆動信号端子７３４を左下斜線で示し、駆動接地電極７４０、駆動接地配線７４２および駆動接地端子７４４をクロス縦横線で示している。また、図２および図３において、振動片３の側面に設けられている電極、配線、端子を太線で示している。

各電極７１０、７２０、７３０、７４０、各配線７１２、７２２、７３２、７４２および各端子７１４、７２４、７３４、７４４としては、例えば、クロムで構成された下地層と、金で構成された電極層とを積層した構成とすることができる。これにより、密着性の良い各電極７１０、７２０、７３０、７４０、各配線７１２、７２２、７３２、７４２および各端子７１４、７２４、７３４、７４４を形成することができる。

各電極７１０、７２０、７３０、７４０は、互いに電気的に分離されている。これと同様に、各配線７１２、７２２、７３２、７４２は、互いに電気的に分離されており、各端子７１４、７２４、７３４、７４４も互いに電気的に分離されている。以下、これら各電極、各配線、各端子について順次説明する。また、以下では、説明の便宜上、図２で示す面を「上面」といい、図３で示す面を「下面」と言い、上面と下面とを連ける面を「側面」と言う。

（１）検出信号電極、検出信号配線および検出信号端子
検出信号電極７１０は、第１、第２検出振動腕４２１、４２２の上面および下面に設けられている。ただし、本実施形態では、検出信号電極７１０は、第１、第２検出振動腕４２１、４２２の先端部には設けられていない。検出信号電極７１０は、ｘｚ平面に関して面対称に配置されている。検出信号電極７１０は、第１、第２検出振動腕４２１、４２２の検出振動が励起されたときに、該振動によって発生する圧電材料の歪みを検出するための電極である。

また、検出信号配線７１２は、第１、第３梁６１、６３に設けられている。より具体的には、検出信号配線７１２は、第１、第３梁６１、６３の上面に設けられている。さらに、検出信号配線７１２は、第１梁６１と第１支持部５１との接合部分の側面と、第３梁６３と第２支持部５２との接合部分の側面と、基部４１の上面および下面とにも設けられている。このような検出信号配線７１２は、ｘｙ平面に関して、面対称に配置されている。

また、検出信号端子７１４は、第１、第２支持部５１、５２に設けられている。より具体的には、検出信号端子７１４は、第１、第２支持部５１、５２の上面および下面、さらに側面に設けられている。第１支持部５１の上面、下面および側面に設けられている検出信号端子７１４は、互いに電気的に接続されている。また、第２支持部５２の上面、下面および側面に設けられている検出信号端子７１４は、互いに電気的に接続されている。

第１支持部５１に設けられている検出信号端子７１４は、駆動接地電極７４０が設けられる第１駆動振動腕４４１の先端部に対して、ｙ軸の正の方向側に配置されている。すなわち、第１支持部５１に設けられている検出信号端子７１４と、第１駆動振動腕４４１の先端部に設けられている駆動接地電極７４０とは、ｙ軸方向において対向している。また、第２支持部５２に設けられている検出信号端子７１４は、駆動接地電極７４０が設けられる第２駆動振動腕４４２の先端部に対して、ｙ軸の負の方向側に配置されている。すなわち、第２支持部５２に設けられている検出信号端子７１４と、第２駆動振動腕４４２の先端部に設けられている駆動接地電極７４０とは、ｙ軸方向において対向している。このような検出信号端子７１４は、ｘｚ平面に関して、面対称に配置されている。

第１支持部５１に設けられている検出信号端子（第１検出信号端子）７１４は、第１梁６１に設けられている検出信号配線７１２を介して、第１検出振動腕４２１に設けられている検出信号電極（第１検出信号電極）７１０と電気的に接続されている。具体的には、第１支持部５１に設けられている検出信号端子７１４は、第１梁６１の上面に設けられている検出信号配線７１２と接続され、検出信号配線７１２は、第１梁６１の上面から、第１梁６１と基部４１との接合部分の側面、そして基部４１の上面および下面を通って、第１検出振動腕４２１の上面および下面に設けられている検出信号電極７１０に接続されている。これにより、第１検出振動腕４２１が振動することにより生じる第１検出信号を検出信号電極７１０から第１支持部５１に設けられている検出信号端子７１４に伝達することができる。

第２支持部５２に設けられている検出信号端子（第２検出信号端子）７１４は、第３梁６３に設けられている検出信号配線７１２を介して、第２検出振動腕４２２に設けられている検出信号電極（第２検出信号電極）７１０と電気的に接続されている。具体的には、第２支持部５２に設けられている検出信号端子７１４は、第３梁６３の上面に設けられている検出信号配線７１２と接続され、検出信号配線７１２は、第３梁６３の上面から、第３梁６３と基部４１との接合部分の側面、そして基部４１の上面および下面を通って、第２検出振動腕４２２の上面および下面に設けられている検出信号電極７１０に接続されている。これにより、第２検出振動腕４２２が振動することにより生じる第２検出信号を検出信号電極７１０から第２支持部５２に設けられている検出信号端子７１４に伝達することができる。

（２）検出接地電極、検出接地配線および検出接地端子
検出接地電極７２０は、第１、第２検出振動腕４２１、４２２の先端部に設けられている。具体的には、検出接地電極７２０は、第１、第２検出振動腕４２１、４２２の先端部の上面および下面に設けられている。さらに、検出接地電極７２０は、第１、第２検出振動腕４２１、４２２の側面に設けられている。第１検出振動腕４２１の上面、下面および側面に設けられている検出接地電極７２０は、互いに電気的に接続されている。また、第２検出振動腕４２２の上面、下面および側面に設けられている検出接地電極７２０は、互いに電気的に接続されている。このような検出接地電極７２０は、ｘｚ平面に関して、面対称に配置されている。検出接地電極７２０は、検出信号電極７１０に対してグランドとなる電位を有する。

また、検出接地配線７２２は、第１、第３梁６１、６３に設けられている。具体的には、検出接地配線７２２は、第１、第３梁６１、６３の下面および側面に設けられている。さらに、検出接地配線７２２は、基部４１の上面および下面に設けられている。検出接地配線７２２は、ｘｚ平面に関して、面対称に配置されている。
また、検出接地端子７２４は、第１、第２支持部５１、５２に設けられている。具体的には、検出接地端子７２４は、第１、第２支持部５１、５２の上面および下面、さらに側面に設けられている。第１支持部５１の上面、下面および側面に設けられている検出接地端子７２４は、互いに電気的に接続されている。また、第２支持部５２の上面、下面および側面に設けられている検出接地端子７２４は、互いに電気的に接続されている。

第１支持部５１に設けられている検出接地端子７２４は、検出接地電極７２０が設けられている第１検出振動腕４２１の先端部に対して、ｙ軸の正の方向側に配置されている。すなわち、第１支持部５１に設けられている検出接地端子７２４と、第１検出振動腕４２１の先端部に設けられている検出接地電極７２０とは、ｙ軸方向において対向している。また、第２支持部５２に設けられている検出接地端子７２４は、検出接地電極７２０が設けられている第２検出振動腕４２２の先端部に対して、ｙ軸の負の方向側に配置されている。すなわち、第２支持部５２に設けられている検出接地端子７２４と、第２検出振動腕４２２の先端部に設けられている検出接地電極７２０とは、ｙ軸方向において対向している。このような検出接地端子７２４は、ｘｚ平面に関して、面対称に配置されている。

第１支持部５１に設けられている検出接地端子（第１検出接地端子）７２４は、第１梁６１に設けられている検出接地配線７２２を介して、第１検出振動腕４２１に設けられている検出接地電極（第１検出接地電極）７２０と電気的に接続されている。具体的には、第１支持部５１に設けられている検出接地端子７２４は、第１梁６１の下面および側面に設けられている検出接地配線７２２と接続され、検出接地配線７２２は、第１梁６１の下面および側面から、基部４１の上面および下面を通って、第１検出振動腕４２１の上面および下面に設けられている検出接地電極７２０に接続されている。

第２支持部５２に設けられている検出接地端子（第２検出接地端子）７２４は、第３梁６３に設けられている検出接地配線７２２を介して、第２検出振動腕４２２に設けられている検出接地電極（第２検出接地電極）７２０と電気的に接続されている。具体的には、第２支持部５２に設けられている検出接地端子７２４は、第３梁６３の下面および側面に設けられている検出接地配線７２２と接続され、検出接地配線７２２は、第３梁６３の下面および側面から、基部４１の上面および下面を通って、第２検出振動腕４２２の上面および下面に設けられている検出接地電極７２０に接続されている。

以上の通りに検出信号電極、配線、端子７１０、７１２、７１４と、検出接地電極、配線、端子７２０、７２２、７２４とが配置されている。これにより、第１検出振動腕４２１に生じた検出振動は、第１検出振動腕４２１に設けられている検出信号電極７１０と検出接地電極７２０との間の電荷として現れ、第１支持部５１に設けられている検出信号端子７１４と検出接地端子７２４とから信号として取り出すことができる。また、第２検出振動腕４２２に生じた検出振動は、第２検出振動腕４２２に設けられている検出信号電極７１０と検出接地電極７２０との間の電荷として現れ、第２支持部５２に設けられている検出信号端子７１４と検出接地端子７２４とから信号として取り出すことができる。

（３）駆動信号電極、駆動信号配線および駆動信号端子
駆動信号電極７３０は、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２に設けられている。ただし、本実施形態では、駆動信号電極７３０は、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２の先端部には設けられていない。具体的には、駆動信号電極７３０は、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２の上面および下面に設けられている。

さらに、駆動信号電極７３０は、第３、第４駆動振動腕４４３、４４４の側面と、第３、第４駆動振動腕４４３、４４４の先端部の上面および下面とにも設けられている。第３駆動振動腕４４３の上面、下面および側面に設けられている駆動信号電極７３０は、互いに電気的に接続されている。また、第４駆動振動腕４４４の上面、下面および側面に設けられている駆動信号電極７３０は、互いに電気的に接続されている。このような駆動信号電極７３０は、ｘｚ平面に関して、面対称に配置されている。駆動信号電極７３０は、第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４の駆動振動を励起させるための電極である。

駆動信号配線７３２は、第２、第４梁６２、６４に設けられている。具体的には、駆動信号配線７３２は、第２、第４梁６２、６４の上面に設けられている。さらに、駆動信号配線７３２は、基部４１の上面と、第１連結腕４３１の上面と、第１、第２連結腕４３１、４３２の側面とに設けられている。このような駆動信号配線７３２は、ｘｚ平面に関して、面対称に配置されている。
駆動信号端子７３４は、第２支持部５２に設けられている。具体的には、駆動信号端子７３４は、第２支持部５２の上面および下面、さらに側面に設けられている。第２支持部５２の上面、下面および側面に設けられている駆動信号端子７３４は、互いに電気的に接続されている。

第２支持部５２に設けられている駆動信号端子７３４は、駆動信号電極７３０が設けられている第４駆動振動腕４４４の先端部に対して、ｙ軸の負の方向側に配置されている。すなわち、第２支持部５２に設けられている駆動信号端子７３４と、第４駆動振動腕４４４の先端部に設けられている駆動信号電極７３０とは、ｙ軸方向において対向している。
第２支持部５２に設けられている駆動信号端子７３４は、第４梁６４に設けられている駆動信号配線７３２を介して、第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４に設けられている駆動信号電極７３０と電気的に接続されている。具体的には、駆動信号端子７３４は、第４梁６４の上面に設けられている駆動信号配線７３２と接続され、駆動信号配線７３２は、第４梁６４の上面から、基部４１の上面、そして第１連結腕４３１の上面を通って、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２の上面に設けられている駆動信号電極７３０に接続されている。さらに、駆動信号配線７３２は、第１連結腕４３１の上面から、第１連結腕４３１の側面を通って、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２の下面に設けられている駆動信号電極７３０に接続されている。また、さらに、駆動信号配線７３２は、基部４１の上面から、第２連結腕４３２の上面および側面を通って、第３、第４駆動振動腕４４３、４４４の上面および下面に設けられている駆動信号電極７３０に接続されていることができる。これにより、第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４を駆動振動させるための駆動信号を駆動信号端子７３４から駆動信号電極７３０に伝達することができる。

（４）駆動接地電極、駆動接地配線および駆動接地端子
駆動接地電極７４０は、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２の先端部に設けられている。具体的には、駆動接地電極７４０は、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２の先端部の上面および下面に設けられている。さらに、駆動接地電極７４０は、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２の側面にも設けられている。第１駆動振動腕４４１の上面、下面および側面に設けられている駆動接地電極７４０は、互いに電気的に接続されている。また、第２駆動振動腕４４２の上面、下面および側面に設けられている駆動接地電極７４０は、互いに電気的に接続されている。

さらに、駆動接地電極７４０は、第３、第４駆動振動腕４４３、４４４の上面および下面に設けられていることができる。ただし、本実施形態では、駆動接地電極７４０は、第３、第４駆動振動腕４４３、４４４の先端部には設けられていない。このような駆動接地電極７４０は、ｘｚ平面に関して、面対称に配置されている。駆動接地電極７４０は、駆動信号電極７３０に対してグランドとなる電位を有する。

また、駆動接地配線７４２は、第２、第４梁６２、６４に設けられている。具体的には、駆動接地配線７４２は、第２、第４梁６２、６４の下面および側面に設けられている。さらに、駆動接地配線７４２は、基部４１の下面と、第１連結腕４３１の側面と、第２連結腕４３２の下面と、第２連結腕４３２の側面とに設けられている。このような駆動接地配線７４２は、ｘｚ平面に関して、面対称に配置されている。

また、駆動接地端子７４４は、第１支持部５１に設けられている。具体的には、駆動接地端子７４４は、第１支持部５１の上面および下面、さらに側面に設けられている。第１支持部５１の上面、下面および側面に設けられている駆動接地端子７４４は、互いに電気的に接続されている。
第１支持部５１に設けられている駆動接地端子７４４は、駆動信号電極７３０が設けられている第３駆動振動腕４４３の先端部に対して、ｙ軸の正の方向側に配置されている。すなわち、第１支持部５１に設けられている駆動接地端子７４４と、第３駆動振動腕４４３の先端部に設けられている駆動信号電極７３０とは、ｙ軸方向において対向している。

また、第１支持部５１に設けられている駆動接地端子７４４は、第２梁６２に設けられている駆動接地配線７４２を介して、第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４に設けられている駆動接地電極７４０と電気的に接続されている。具体的には、駆動接地端子７４４は、第２梁６２の下面および側面に設けられている駆動接地配線７４２と接続され、駆動接地配線７４２は、第２梁６２の下面および側面から、基部４１の下面、そして第１連結腕４３１の側面を通って、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２の上面および下面に設けられている駆動接地電極７４０に接続されている。さらに、駆動接地配線７４２は、基部４１の下面から、第２連結腕４３２の下面および側面を通って、第３、第４駆動振動腕４４３、４４４の上面および下面に設けられている駆動接地電極７４０に接続されている。

以上の通りに、駆動信号電極、配線、端子７３０、７３２、７３４と、駆動接地電極、配線、端子７４０、７４２、７４４とが配置されている。これにより、第２支持部５２に設けられている駆動信号端子７３４と、第１支持部５１に設けられている駆動接地端子７４４との間に駆動信号を印加することで、第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４に設けられている駆動信号電極７３０と駆動接地電極７４０との間に電界を生じさせ、これら各駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４を駆動振動させることができる。

以上、説明したように、第１支持部５１には、検出信号端子７１４、検出接地端子７２４および駆動接地端子７４４がｘ軸方向に沿って並び、かつ離間して設けられている。具体的には、図４に示すように、ｘ軸方向に沿って延在する第１支持部５１の中央部（第１梁６１との接合部５１ａと第２梁６２との接合部５１ｂの間の領域）Ｓ１に検出接地端子７２４が設けられており、第１支持部５１の一端部（接合部５１ａよりも図４中右側の領域）Ｓ２に検出信号端子７１４が設けられており、第１支持部５１の他端部（接合部５１ｂよりも図４中左側の領域）Ｓ３に駆動接地端子７４４が設けられている。

このような第１支持部５１の下面（後述する導電性固定部材８が塗布される面）であって、検出信号端子７１４と検出接地端子７２４との間には複数の溝５１２が設けられている。また、複数の溝５１２が設けられている領域Ｓ４は、ｘ軸方向において、接合部５１ａを含んでいる。

複数の溝５１２は、それぞれ、ｙ軸方向に沿って延在するとともに、互いにｘ軸方向に沿って離間して設けられている。すなわち、複数の溝５１２は、それぞれ、独立して設けられている。また、図４に示すように、各溝５１２の図４中上側の端（振動体４と反対側の端）５１２ａは、第１支持部５１の側面に開放しているが、図４中下側の端（振動体４側の端）５１２ｂは、第１支持部５１の側面に開放しておらず閉じている。言い換えれば、端５１２ｂは、第１支持部５１の縁と離間している。

各溝５１２の端５１２ｂの位置は、溝５１２が接合部５１ａに設けられている各配線７１２、７２２に接触しない限り、なるべく振動体４側に位置するのが好ましい。具体的には、端５１２ｂと第１支持部５１の側面（縁）との離間距離Ｌは、例えば、３μｍ以上３５μｍ以下であるのが好ましい。
溝５１２の本数としては、２本以上であれば特に限定されず、３本であっても、４本であっても、５本以上であってもよいが、５本以上であるのが好ましい。これにより、後述するような効果がより顕著となる。

溝５１２の幅としては、特に限定されないが、２０μｍ以上３０μｍ以下であるのが好ましい。また、隣り合う溝５１２の離間距離としては、特に限定されないが、１０μｍ以上２０μｍ以下であるのが好ましい。また、溝５１２の深さとしては、特に限定されないが、１０μｍ以上４０μｍ以下であるのが好ましい。溝５１２をこのようなサイズ、配置とすることにより、後述するような効果がより顕著となる。

また、第１支持部５１の下面であって、駆動接地端子７４４と検出接地端子７２４との間には複数の溝５１４が設けられている。また、複数の溝５１４が設けられている領域Ｓ５は、ｘ軸方向において接合部５１ｂを含んでいる。複数の溝５１４の構成は、前述した複数の溝５１２と同様であるため、その説明を省略する。
同様に、第２支持部５２には、検出信号端子７１４、検出接地端子７２４および駆動信号端子７３４がｘ軸方向に沿って並び、かつ離間して設けられている。具体的には、図４に示すように、ｘ軸方向に沿って延在する第２支持部５２の中央部（第３梁６３との接合部５２ａと第４梁６４との接合部５２ｂの間の領域）Ｓ６に検出接地端子７２４が設けられており、第２支持部５２の一端部（接合部５２ａよりも図４中右側の領域）Ｓ７に検出信号端子７１４が設けられており、第２支持部５２の他端部（接合部５２ｂよりも図４中左側の領域）Ｓ８に駆動信号端子７３４が設けられている。

また、第２支持部５２の下面であって、検出信号端子７１４と検出接地端子７２４との間には複数の溝５２２が設けられている。また、複数の溝５２２が設けられている領域Ｓ９は、ｘ軸方向において接合部５２ａを含んでいる。複数の溝５２２の構成は、前述した複数の溝５１２と同様であるため、その説明を省略する。
また、第２支持部５２の下面であって、検出接地端子７２４と駆動信号端子７３４の間には複数の溝５２４が設けられている。また、複数の溝５２４が設けられている領域Ｓ１０は、ｘ軸方向において接合部５２ｂを含んでいる。複数の溝５２４の構成は、前述した複数の溝５１２と同様であるため、その説明を省略する。

このような構成のジャイロ素子２は、次のようにしてｚ軸まわりの角速度ωを検出する。ジャイロ素子２は、角速度ωが加わらない状態において、駆動信号電極７３０および駆動接地電極７４０の間に電界が生じると、図５（ａ）に示すように、各駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４が矢印Ａに示す方向に屈曲振動を行う。このとき、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２と、第３、第４駆動振動腕４４３、４４４とは、中心点Ｇ（重心Ｇ）を通るｙｚ平面に関して面対称の振動を行っているため、基部４１と、第１、第２連結腕４３１、４３２と、第１、第２検出振動腕４２１、４２２とは、ほとんど振動しない。

この駆動振動を行っている状態にて、ジャイロ素子２にｚ軸まわり角速度ωが加わると、図５（ｂ）に示すような振動が発生する。すなわち、駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４および連結腕４３１、４３２に矢印Ｂ方向のコリオリの力が働き、この矢印Ｂ方向の振動に呼応して、矢印Ｃ方向の検出振動が励起される。そして、この振動により発生した検出振動腕４２１、４２２の歪みを検出信号電極７１０および検出接地電極７２０が検出して角速度ωが求められる。

（パッケージ）
パッケージ９は、ジャイロ素子２を収納するものである。なお、パッケージ９には、ジャイロ素子２の他に、ジャイロ素子２の駆動等を行うＩＣチップ等が収納されていてもよい。このようなパッケージ９は、その平面視（ｘｙ平面視）にて、略矩形状をなしている。

パッケージ９は、上面に開放する凹部を有するベース９１と、凹部の開口を塞ぐようにベースに接合されているリッド（蓋体）９２とを有している。また、ベース９１は、板状の底板９１１と、底板９１１の上面周縁部に設けられている枠状の側壁９１２とを有している。このようなパッケージ９は、その内側に収納空間Ｓを有しており、この収納空間Ｓ内に、ジャイロ素子２が気密的に収納、設置されている。

ジャイロ素子２は、第１、第２支持部５１、５２にて、半田、銀ペースト、導電性接着剤（樹脂材料中に金属粒子などの導電性フィラーを分散させた接着剤）などの導電性固定部材８を介して底板９１１の上面に固定されている。第１、第２支持部５１、５２は、ジャイロ素子２のｙ軸方向の両端部に位置するため、このような部分を底板９１１に固定することにより、ジャイロ素子２の振動体４が両持ち支持され、ジャイロ素子２を底板９１１に対して安定的に固定することができる。そのため、ジャイロ素子２の不要な振動（検出したい振動以外の振動）が抑制され、ジャイロ素子２による角速度ωの検出精度が向上する。

また、導電性固定部材８は、第１、第２支持部５１、５２に設けられている２つの検出信号端子７１４、２つの検出接地端子７２４、駆動信号端子７３４および駆動接地端子７４４に対応（接触）して、かつ互いに離間して６つ設けられている。また、底板９１１の上面には、２つの検出信号端子７１４、２つの検出接地端子７２４、駆動信号端子７３４および駆動接地端子７４４に対応する６つの接続パッド１０が設けられており、導電性固定部材８を介して、これら各接続パッド１０とそれと対応するいずれかの端子とが電気的に接続されている。

このような構成とすることにより、導電性固定部材８を、ジャイロ素子２を底板９１１に固定するための固定部材として用いることができるとともに、ジャイロ素子２との電気的な接続を行う接続部材として用いることができるため、振動デバイス１の構成の簡易化を図ることができる。
また、導電性固定部材８は、ジャイロ素子２と底板９１１との間にギャップ（隙間）を形成し、これらの接触を防止するギャップ材としても用いられる。これにより、底板９１１との接触によるジャイロ素子２の破壊・破損を防止することができ、正確な角速度の検出と、優れた信頼性を発揮することのできる振動デバイス１となる。
なお、各接続パッド１０は、図示しない導体ポストを介してパッケージ９の外部へ引き出されていたり、パッケージ９内にＩＣチップ等を収納する場合には、そのＩＣチップと電気的に接続されていたりする。

ベース９１の構成材料としては、特に限定されないが、酸化アルミニウム等の各種セラミックスを用いることができる。また、リッド９２の構成材料としては、特に限定されないが、ベース９１の構成材料と線膨張係数が近似する部材であると良い。例えば、ベース９１の構成材料を前述のようなセラミックスとした場合には、コバール等の合金とするのが好ましい。なお、ベース９１とリッド９２の接合は、特に限定されず、例えば、接着剤を介して接合してもよいし、シーム溶接等により接合してもよい。

ここで、前述したように、ジャイロ素子２の第１支持部５２には、溝５１２、５１４が設けられており、第２支持部５２には、溝５２２、５２４が設けられている。このような溝５１２、５１４、５２２、５２４を設けることにより、次のような効果を発揮することができる。
前述したように、ジャイロ素子２は、導電性固定部材８を介して底板９１１に固定される。ここで、ジャイロ素子２を底板９１１に固定する工程は、例えば、底板９１１に設けられている６つの接続パッド１０上にそれぞれ銀ペースト（導電性固定部材）８を塗布し、塗布した銀ペースト８と対応する端子７１４、７２４、７３４、７４４が接触するようにジャイロ素子２をその下面を底板９１１側に向けて載置するとともにジャイロ素子２を押し当て、銀ペーストを固化することにより、銀ペースト８を介してジャイロ素子２が底板９１１に固定される。

そのため、例えば、銀ペースト８を所定位置に正確に塗布できなかった場合、従来のジャイロ素子（ジャイロ素子２から溝５１２、５１４、５２２、５２４を除いたもの）では、図６に示すように、ジャイロ素子２を押し当てた際に、銀ペースト８が濡れ広がり、濡れ広がった銀ペースト８同士が接触し、これらの間で短絡が生じるおそれがある。銀ペースト８の塗布位置や塗布量には、装置の精度上、ある程度のバラつきが存在するため、上記の問題は、比較的発生しやすい。そのため、ジャイロ素子２では、第１、第２の支持部５１、５２に溝５１２、５１４、５２４、５２４を設けることにより、このような問題の発生を防止している。以下、具体的に説明するが、各溝５１２、５１４、５２２、５２４の作用・効果は、互いに同様であるため、溝５１２について代表して説明する。

図７に示すように、検出接地端子７２４、検出信号端子７１４に対応する銀ペースト８は、それぞれ、ジャイロ素子２を押し込むことにより濡れ広がる。この時、検出接地端子７２４に対応する銀ペースト８の塗布位置が検出信号端子７１４側に偏っていたとしても、濡れ広がった銀ペースト８は、複数の溝５１２のうちの検出接地端子７２４側に位置する溝５１２（５１２ａ）内に入り込み、それ以上、検出信号端子７１４側へ濡れ広がらない。同様に、検出信号端子７１４に対応する銀ペースト８の塗布位置が検出接地端子７２４側に偏っていたとしても、濡れ広がった銀ペースト８は、複数の溝５１２のうちの検出信号端子７１４側に位置する溝５１２（５１２ｂ）内に入り込み、それ以上、検出接地端子７２４側へ濡れ広がらない。このように、検出接地端子７２４と検出信号端子７１４との間に複数の溝５１２を設けることにより、隣り合う銀ペースト８同士の接触を防止することができる。

また、前述したように、各溝５１２の振動体４側の端５１２ｂは、閉じている。そのため、この端によって、溝５１２内に溜まった銀ペースト８がそれ以上振動体４側へ流動するのが防止され、これにより、第１梁６１に設けられている配線と銀ペースト８との接触が防止され、配線と銀ペースト８との短絡の発生を防止することができる。
特に、前述したように、端５１２ｂと第１支持部５１の側面（縁）との離間距離Ｌが３μｍ以上３５μｍ以下である場合には、検出接地端子７２４と検出信号端子７１４の間をより明確に区切ることができ、例えば、溝５１２が設けられていない領域を伝って銀ペースト８同士が接触してしまうことを抑制することができる。

また、前述したように、各溝５１２の振動体と反対側の端５１２ａは、第１支持部５１の側面に開放している。そのため、溝５１２によって、検出接地端子７２４と検出信号端子７１４の間が明確に区切られ、例えば、溝５１２が設けられていない領域を伝って銀ペースト８同士が接触してしまうことを防止することができる。そのため、銀ペースト８同士の接触を確実に防止することができる。

また、複数の溝５１２を設けることにより、次のような効果を発揮することもできる。すなわち、複数の溝５１２を設けることにより、領域Ｓ４を他の部分よりも柔軟とすることができ、応力を吸収または緩和する緩衝部として機能させることができる。領域Ｓ４に含まれる第１梁６１との接合部５１ａは、応力集中が起きやすい部分であるため、接合部５１ａに発生する応力を領域Ｓ４にて効果的に吸収または緩和することができる。そのため、ジャイロ素子２の破損を効果的に抑制することができる。

また、ジャイロ素子２（振動片３）の構成材料と、底板９１１の構成材料とが異なっているため、振動デバイス１が昇温すると、導電性固定部材８を介して、熱膨張率の差から振動片３に応力が発生する。具体的には、底板９１１の熱膨張率が振動片３の熱膨張率よりも大きい場合には、第１、第２支持部５１、５２をｘ軸方向に伸長しようとする応力が加わり、底板９１１の熱膨張率が振動片３の熱膨張率よりも小さい場合には、第１、第２支持部５１、５２をｘ軸方向に収縮しようとする応力が加わる。このような応力を複数の溝５１２が設けられている領域Ｓ４によって吸収または緩和することができるため、ジャイロ素子２の不本意な歪みを抑制でき、ジャイロ素子２の検出精度の低下を防止することができる。
ここで、ｘｙ平面視にて、接続パッド１０の輪郭は、複数の溝５１２が設けられている領域Ｓ４の一部と重なり合っているのが好ましい。これにより、複数の溝５１２を、目盛り（目印）として使用することができるため、ジャイロ素子２（振動片３）の底板９１１に対する位置決めをより正確に行うことができる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の振動デバイスの第２実施形態について説明する。
図８は、本発明の第２実施形態にかかる振動デバイスが有するジャイロ素子の部分拡大図である。
以下、第２実施形態の振動デバイスについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

本発明の第２実施形態にかかる振動デバイスは、ジャイロ素子が有する溝の構成が異なる以外は、前述した第１実施形態と同様である。なお、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。また、複数の溝５１２、複数の溝５１４、複数の溝５２２、複数の溝５２４は、互いに同様の構成であるため、以下では、複数の溝５１２について代表して説明する。

図８に示すように、複数の溝５１２のうち、検出信号端子７１４側に位置する溝５１２’は、その一端５１２ｂ’が第１支持部５１の側面に開放するとともに、検出信号配線７１２と接触している。また、複数の溝５１２のうち、検出接地端子７２４側に位置する溝５１２”は、その一端５１２ｂ”が第１支持部５１の側面に開放するとともに、検出端子配線７２２と接触している。

このような構成とすることにより、検出信号端子７１４と検出接地端子７２４の間をｙ軸方向の全域にわたって複数の溝５１２（特に、溝５１２’、５１２”）によって仕切ることができる。そのため、銀ペースト８同士の接触を確実に防止することができる。また、仮に、検出信号端子７１４に対応する銀ペースト８が溝５１２’内に流入しても、その銀ペースト８は、検出信号配線７１２と接触することとなるため、銀ペースト８による短絡は、発生しない。同様に、検出接地端子７２４に対応する銀ペースト８が溝５１２”内に流入しても、その銀ペースト８は、検出接地配線７２２と接触することとなるため、銀ペースト８による短絡は、発生しない。
このような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。

以上のような振動デバイス１は、各種電子機器に組み込むことができる。振動デバイス１を組み込んだ本発明の電子機器としては、特に限定されないが、パーソナルコンピューター（例えば、モバイル型パーソナルコンピューター）、携帯電話機などの移動体端末、ディジタルスチールカメラ、インクジェット式吐出装置（例えば、インクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、タブレット型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ゲーム用コントローラ、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ、ヘッドマウントディスプレイ、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、ＰＤＲ（歩行者位置方位計測）等に適用することができる。

以上、本発明の振動子および振動デバイスを図示の各実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、他の任意の構成物や、工程が付加されていてもよい。また、本発明の振動デバイスは、前記各実施形態のうち、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。

Ｓ１〜Ｓ１０…領域 １…振動デバイス ２…ジャイロ素子 ２２…基部 ３…振動片 ４…振動体 ４１…基部 ４２１…第１検出振動腕 ４２２…第２検出振動腕 ４３１…第１連結腕 ４３２…第２連結腕 ４４１…第１駆動振動腕 ４４２…第２駆動振動腕 ４４３…第３駆動振動腕 ４４４…第４駆動振動腕 ５１…第１支持部 ５１２…溝 ５１２ａ、５１２ｂ…端 ５１２ｂ’、５１２ｂ”…一端 ５１４…溝 ５１ａ…接合部 ５１ｂ…接合部 ５２…第２支持部 ５２２…溝 ５２４…溝 ５２ａ…接合部 ５２ｂ…接合部 ６１…第１梁 ６２…第２梁 ６３…第３梁 ６４…第４梁 ７１０…検出信号電極 ７１２…検出信号配線 ７１４…検出信号端子 ７２０…検出接地電極 ７２２…検出接地配線 ７２４…検出接地端子 ７３０…駆動信号電極 ７３２…駆動信号配線 ７３４…駆動信号端子 ７４０…駆動接地電極 ７４２…駆動接地配線 ７４４…駆動信号端子 ８…導電性固定部材（銀ペースト） ９…パッケージ ９１…ベース ９１１…底板 ９１２…側壁 ９２…リッド １０…接続パッド

Claims (13)

1. 振動体と、前記振動体を支持している支持部と、前記支持部と前記振動体とを連結している梁と、を備えている振動片と、
   前記振動体に設けられている少なくとも２つの電極と、
   前記支持部に設けられ、前記梁に設けられている配線を介して前記電極と電気的に接続されている少なくとも２つの端子と、を備え、
   前記２つの端子は、前記梁の延出方向と交わる方向に沿って、離間して並設されており、
   前記２つの端子の間には、前記梁の延出方向と交わる方向に沿って離間するとともに、前記梁の延出方向に沿って延在する複数の溝が設けられていることを特徴とする振動子。
2. 前記梁の延出方向と交わる方向において、前記複数の溝が設けられている領域に、前記梁と前記支持部との接続部が含まれている請求項１に記載の振動子。
3. 前記複数の溝のうちの少なくとも１つの溝は、独立して設けられている請求項１または２に記載の振動子。
4. 前記複数の溝の前記振動体と反対側の端は、前記支持部の側面に開放している請求項１ないし３のいずれかに記載の振動子。
5. 前記複数の溝の前記振動体側の端は、閉じている請求項１ないし４のいずれかに記載の振動子。
6. 前記複数の溝の前記振動体側の端は、前記支持部の前記振動体側の縁と離間している請求項５に記載の振動子。
7. 前記溝の前記振動体側の端と前記支持部の前記振動体側の縁との離間距離は、３μｍ以上３５μｍ以下である請求項６に記載の振動子。
8. 前記複数の溝のうちの少なくとも１つの溝の前記振動体側の端は、第１支持部の側面に開放している請求項１ないし４のいずれかに記載の振動子。
9. 前記複数の溝のうち、一方の前記端子側に位置している少なくとも１つの溝の前記振動体側の端は、前記一方の端子と接続されている前記配線に接触し、他方の前記端子側に位置している少なくとも１つの溝の前記振動体側の端は、前記他方の端子と接続されている前記配線に接触している請求項８に記載の振動子。
10. 前記振動体は、基部と、前記基部から両側へ第１方向に沿って延出している第１検出振動腕および第２検出振動腕と、前記基部から両側へ前記第１方向と直交する第２方向に沿って延出している第１連結腕および第２連結腕と、前記第１連結腕から両側へ前記第１方向に沿って延出している第１駆動振動腕および第２駆動振動腕と、前記第２連結腕から両側へ前記第１方向に沿って延出している第３駆動振動腕および第４駆動振動腕と、を備え、前記第１検出振動腕および前記第２検出振動腕にて検出振動系が構成され、前記第１駆動振動腕、前記第２駆動振動腕、前記第３駆動振動腕および前記第４駆動振動腕にて駆動振動系が構成され、
    前記支持部は、前記振動体を挟んで前記第１方向に沿って対向配置され、前記第２方向に延在している第１支持部および第２支持部を備え、
    前記梁は、前記第１検出振動腕と前記第１駆動振動腕との間を通って、前記第１支持部と前記基部とを連結している第１梁と、前記第１検出振動腕と前記第３駆動振動腕との間を通って、前記第１支持部と前記基部とを連結している第２梁と、前記第２検出振動腕と前記第２駆動振動腕との間を通って、前記第２支持部と前記基部とを連結している第３梁と、前記第２検出振動腕と前記第４駆動振動腕との間を通って、前記第２支持部と前記基部とを連結している第４梁とを有し、
    前記電極は、前記検出振動系に設けられている第１検出信号電極、第２検出信号電極、第１検出接地電極および第２検出接地電極と、前記駆動振動系に設けられている駆動信号電極および駆動接地電極と、を備え、
    前記端子は、前記第１検出信号電極と接続されている第１検出信号端子、前記第２検出信号電極と接続されている第２検出信号端子、前記第１検出接地電極と接続されている第１検出接地端子、前記第２検出接地電極と接続されている第２検出接地端子、前記駆動信号電極と接続されている駆動信号端子および前記駆動接地電極と接続されている駆動接地端子を備えている請求項１ないし９のいずれかに記載の振動子。
11. 少なくとも２つの接続パッドを備えている基板と、
    請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の振動子と、を備え、
    前記接続パッドと前記端子とが導電性固定部材により接合されていることを特徴とする振動デバイス。
12. 前記基板の平面視にて、前記接続パッドの輪郭と前記複数の溝が設けられている領域の一部とが重なり合っている請求項１１に記載の振動デバイス。
13. 請求項１ないし１０のいずれかに記載の振動子を備えていることを特徴とする電子機器。

Images