JP3211562B2 - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
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- JP3211562B2 JP3211562B2 JP12444494A JP12444494A JP3211562B2 JP 3211562 B2 JP3211562 B2 JP 3211562B2 JP 12444494 A JP12444494 A JP 12444494A JP 12444494 A JP12444494 A JP 12444494A JP 3211562 B2 JP3211562 B2 JP 3211562B2
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- Japan
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- piezoelectric
- piezoelectric vibrator
- groove
- vibrator
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
- G01C19/5663—Manufacturing; Trimming; Mounting; Housings
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は圧電振動子に関し、特
にたとえば、回転角速度を検出するための振動ジャイロ
などに用いられる圧電振動子に関する。
にたとえば、回転角速度を検出するための振動ジャイロ
などに用いられる圧電振動子に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は従来の圧電振動子を用いた振動ジ
ャイロの例を示す斜視図であり、図６はその断面図であ
る。振動ジャイロ１は、圧電振動子２を含む。圧電振動
子２は、たとえば正３角柱状の振動体３を含む。振動体
３の側面には、それぞれ圧電素子４ａ，４ｂ，４ｃが形
成される。さらに、振動体３の２つのノード点付近にお
いて、圧電素子４ａ，４ｂに挟まれた振動体３の稜線部
が、支持部材５で支持される。圧電素子４ａ，４ｂと圧
電素子４ｃとの間には、発振回路が接続される。また、
圧電素子４ａ，４ｂは、差動回路に接続される。さら
に、差動回路は検波回路に接続され、検波回路は平滑回
路に接続される。
ャイロの例を示す斜視図であり、図６はその断面図であ
る。振動ジャイロ１は、圧電振動子２を含む。圧電振動
子２は、たとえば正３角柱状の振動体３を含む。振動体
３の側面には、それぞれ圧電素子４ａ，４ｂ，４ｃが形
成される。さらに、振動体３の２つのノード点付近にお
いて、圧電素子４ａ，４ｂに挟まれた振動体３の稜線部
が、支持部材５で支持される。圧電素子４ａ，４ｂと圧
電素子４ｃとの間には、発振回路が接続される。また、
圧電素子４ａ，４ｂは、差動回路に接続される。さら
に、差動回路は検波回路に接続され、検波回路は平滑回
路に接続される。
【０００３】この発振回路の信号によって、振動体３は
圧電素子４ｃ形成面に直交する方向に屈曲振動する。振
動ジャイロ１に回転角速度が加わっていないとき、圧電
素子４ａ，４ｂの屈曲状態は同じであり、差動回路には
同じ信号が入力される。そのため、入力された信号は差
動回路で相殺され、差動回路からは信号が出力されな
い。振動ジャイロ１が振動体３の軸を中心として回転す
ると、コリオリ力によって、振動体３の振動方向が変わ
る。そのため、圧電素子４ａ，４ｂの屈曲状態が変わ
り、差動回路に接続された圧電素子４ａ，４ｂに異なる
電圧が発生する。そのため、差動回路から信号が出力さ
れ、この信号が検波回路で検波されたのち、平滑回路で
平滑される。平滑された信号は回転角速度に対応した信
号であるため、これを測定することによって、振動ジャ
イロ１に加わった回転角速度を検出することができる。
圧電素子４ｃ形成面に直交する方向に屈曲振動する。振
動ジャイロ１に回転角速度が加わっていないとき、圧電
素子４ａ，４ｂの屈曲状態は同じであり、差動回路には
同じ信号が入力される。そのため、入力された信号は差
動回路で相殺され、差動回路からは信号が出力されな
い。振動ジャイロ１が振動体３の軸を中心として回転す
ると、コリオリ力によって、振動体３の振動方向が変わ
る。そのため、圧電素子４ａ，４ｂの屈曲状態が変わ
り、差動回路に接続された圧電素子４ａ，４ｂに異なる
電圧が発生する。そのため、差動回路から信号が出力さ
れ、この信号が検波回路で検波されたのち、平滑回路で
平滑される。平滑された信号は回転角速度に対応した信
号であるため、これを測定することによって、振動ジャ
イロ１に加わった回転角速度を検出することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな振動ジャイロでは、振動体のノード点付近の稜線部
に支持部材が取り付けられているものの、真のノード点
は振動体の中心軸上にあるため、支持部材からの振動漏
れを防ぐことができなかった。そのため、このような圧
電振動子を用いた振動ジャイロでは、安定したドリフト
特性を得ることが困難であった。
うな振動ジャイロでは、振動体のノード点付近の稜線部
に支持部材が取り付けられているものの、真のノード点
は振動体の中心軸上にあるため、支持部材からの振動漏
れを防ぐことができなかった。そのため、このような圧
電振動子を用いた振動ジャイロでは、安定したドリフト
特性を得ることが困難であった。
【０００５】それゆえに、この発明の主たる目的は、支
持部材からの振動漏れを少なくし、安定したドリフト特
性を得ることができる圧電振動子を提供することであ
る。
持部材からの振動漏れを少なくし、安定したドリフト特
性を得ることができる圧電振動子を提供することであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、屈曲振動を
させるための柱状の振動体と、振動体をノード点付近で
支持するための支持部材とを含む圧電振動子であって、
振動体には、その各ノード点付近において幅方向に延び
る１つの溝が形成され、振動体と振動体の幅方向に延び
て形成された支持部材とが溝の底部において略１点で接
触・固定された、圧電振動子である。この圧電振動子に
おいて、振動体が正３角柱状に形成された場合、溝は振
動体の１つの面に形成されることが望ましい。このと
き、溝の深さは、振動体の１つの面から対向する稜線部
までの距離の約１／３であることが望ましい。
させるための柱状の振動体と、振動体をノード点付近で
支持するための支持部材とを含む圧電振動子であって、
振動体には、その各ノード点付近において幅方向に延び
る１つの溝が形成され、振動体と振動体の幅方向に延び
て形成された支持部材とが溝の底部において略１点で接
触・固定された、圧電振動子である。この圧電振動子に
おいて、振動体が正３角柱状に形成された場合、溝は振
動体の１つの面に形成されることが望ましい。このと
き、溝の深さは、振動体の１つの面から対向する稜線部
までの距離の約１／３であることが望ましい。
【０００７】
【作用】柱状の振動体に溝を形成することにより、真の
ノード点に近い部分に支持部材をとりつけることができ
る。しかも、溝は振動体の幅方向に延びるように形成さ
れるため、振動体の屈曲振動に対する影響が少ない。振
動体を正３角柱状に形成した場合、ノード点は側面から
対向する稜線部までの距離の約１／３の深さの部分に存
在する。したがって、振動体の側面から対向する稜線部
までの距離の約１／３の深さで溝を形成すれば、振動体
の真のノード点の近くを支持することができる。
ノード点に近い部分に支持部材をとりつけることができ
る。しかも、溝は振動体の幅方向に延びるように形成さ
れるため、振動体の屈曲振動に対する影響が少ない。振
動体を正３角柱状に形成した場合、ノード点は側面から
対向する稜線部までの距離の約１／３の深さの部分に存
在する。したがって、振動体の側面から対向する稜線部
までの距離の約１／３の深さで溝を形成すれば、振動体
の真のノード点の近くを支持することができる。
【０００８】
【発明の効果】この発明によれば、振動体の真のノード
点の近くを支持することができる。そのため、支持部か
らの振動漏れを小さくすることができる。このような圧
電振動子を用いれば、振動漏れが少なく、ドリフト特性
の良好な振動ジャイロを得ることができる。
点の近くを支持することができる。そのため、支持部か
らの振動漏れを小さくすることができる。このような圧
電振動子を用いれば、振動漏れが少なく、ドリフト特性
の良好な振動ジャイロを得ることができる。
【０００９】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【００１０】
【実施例】図１はこの発明の圧電振動子を振動ジャイロ
に用いた例を示す斜視図であり、図２は線ＩＩ−ＩＩに
おける断面図であり、図３は線ＩＩＩ−ＩＩＩにおける
断面図である。振動ジャイロ１０は、圧電振動子１２を
含む。圧電振動子１２は、たとえば正３角柱状の振動体
１４を含む。振動体１４は、たとえばエリンバ，鉄−ニ
ッケル合金，石英，ガラス，水晶，セラミックなど、一
般的に機械的な振動を生じる材料で形成される。
に用いた例を示す斜視図であり、図２は線ＩＩ−ＩＩに
おける断面図であり、図３は線ＩＩＩ−ＩＩＩにおける
断面図である。振動ジャイロ１０は、圧電振動子１２を
含む。圧電振動子１２は、たとえば正３角柱状の振動体
１４を含む。振動体１４は、たとえばエリンバ，鉄−ニ
ッケル合金，石英，ガラス，水晶，セラミックなど、一
般的に機械的な振動を生じる材料で形成される。
【００１１】振動体１４の１つの側面には、幅方向に延
びる２つの溝１６が形成される。ノード点は振動体１４
の中心軸上に存在するが、溝１６はノード点に対応する
位置に形成される。溝１６の深さは、振動体１４の側面
から対向する稜線部までの距離の約１／３となるように
形成される。これは、振動体１４の中心軸がその部分を
通っているためである。
びる２つの溝１６が形成される。ノード点は振動体１４
の中心軸上に存在するが、溝１６はノード点に対応する
位置に形成される。溝１６の深さは、振動体１４の側面
から対向する稜線部までの距離の約１／３となるように
形成される。これは、振動体１４の中心軸がその部分を
通っているためである。
【００１２】振動体１４の３つの側面の中央部には、そ
れぞれ圧電素子１８ａ，１８ｂ，１８ｃが形成される。
圧電素子１８ａ，１８ｂは溝１６が形成されていない側
面に形成され、圧電素子１８ｃは溝１６が形成された側
面に形成される。圧電素子１８ａは、たとえば磁器から
なる圧電層２０ａを含み、圧電層２０ａの両面に電極２
２ａ，２４ａが形成される。そして、一方の電極２４ａ
が、接着剤などで振動体１４の側面に接着される。同様
に、圧電素子１８ｂ，１８ｃは、圧電層２０ｂ，２０ｃ
を含む。圧電層２０ｂ，２０ｃの両面には、それぞれ電
極２２ｂ，２４ｂおよび電極２２ｃ，２４ｃが形成され
る。そして、それらの一方の電極２４ｂ，２４ｃが、接
着剤などで振動体１４の側面に接着される。
れぞれ圧電素子１８ａ，１８ｂ，１８ｃが形成される。
圧電素子１８ａ，１８ｂは溝１６が形成されていない側
面に形成され、圧電素子１８ｃは溝１６が形成された側
面に形成される。圧電素子１８ａは、たとえば磁器から
なる圧電層２０ａを含み、圧電層２０ａの両面に電極２
２ａ，２４ａが形成される。そして、一方の電極２４ａ
が、接着剤などで振動体１４の側面に接着される。同様
に、圧電素子１８ｂ，１８ｃは、圧電層２０ｂ，２０ｃ
を含む。圧電層２０ｂ，２０ｃの両面には、それぞれ電
極２２ｂ，２４ｂおよび電極２２ｃ，２４ｃが形成され
る。そして、それらの一方の電極２４ｂ，２４ｃが、接
着剤などで振動体１４の側面に接着される。
【００１３】振動体１４の溝１６部分には、支持部材２
６が取り付けられる。支持部材２６は、たとえば金属線
を折り曲げることによって形成される。この実施例で
は、金属線が略Ｍ字状に形成され、その中央部が振動体
１４の溝１６部分に取り付けられる。支持部材２６は、
たとえば溶接や接着などによって、振動体１４に取り付
けられる。支持部材２６の端部は、２つの支持板２８に
固定される。２つの支持板２８は、緩衝材３０を介して
基板３２に取り付けられる。緩衝材３０は、支持部材２
６から振動体１４の振動が漏れたときに、その振動が他
の支持部材を介して振動体１４に影響を与えないように
するためのものである。
６が取り付けられる。支持部材２６は、たとえば金属線
を折り曲げることによって形成される。この実施例で
は、金属線が略Ｍ字状に形成され、その中央部が振動体
１４の溝１６部分に取り付けられる。支持部材２６は、
たとえば溶接や接着などによって、振動体１４に取り付
けられる。支持部材２６の端部は、２つの支持板２８に
固定される。２つの支持板２８は、緩衝材３０を介して
基板３２に取り付けられる。緩衝材３０は、支持部材２
６から振動体１４の振動が漏れたときに、その振動が他
の支持部材を介して振動体１４に影響を与えないように
するためのものである。
【００１４】この振動ジャイロ１０を使用するために、
図４に示すように、圧電素子１８ａ，１８ｂと圧電素子
１８ｃとの間に、発振回路３４が接続される。発振回路
３４からの信号が圧電素子１８ａ，１８ｂに与えられ、
圧電素子１８ｃの出力が発振回路３４に帰還される。そ
れによって、振動体１４は、圧電素子１８ｃ形成面に直
交する方向に屈曲振動する。さらに、圧電素子１８ａ，
１８ｂは、差動回路３６の入力端に接続される。差動回
路３６の出力端は検波回路３８に接続され、検波回路３
８で検波された信号は平滑回路４０で平滑される。振動
ジャイロ１０に回転角速度が加わっていないとき、振動
体１４は圧電素子１８ｃ形成面に直交する方向に振動し
ているため、圧電素子１８ａ，１８ｂの屈曲状態は同じ
であり、差動回路３６には同じ信号が入力される。その
ため、差動回路３６から信号が出力されず、振動ジャイ
ロ１０に回転角速度が加わっていないことがわかる。
図４に示すように、圧電素子１８ａ，１８ｂと圧電素子
１８ｃとの間に、発振回路３４が接続される。発振回路
３４からの信号が圧電素子１８ａ，１８ｂに与えられ、
圧電素子１８ｃの出力が発振回路３４に帰還される。そ
れによって、振動体１４は、圧電素子１８ｃ形成面に直
交する方向に屈曲振動する。さらに、圧電素子１８ａ，
１８ｂは、差動回路３６の入力端に接続される。差動回
路３６の出力端は検波回路３８に接続され、検波回路３
８で検波された信号は平滑回路４０で平滑される。振動
ジャイロ１０に回転角速度が加わっていないとき、振動
体１４は圧電素子１８ｃ形成面に直交する方向に振動し
ているため、圧電素子１８ａ，１８ｂの屈曲状態は同じ
であり、差動回路３６には同じ信号が入力される。その
ため、差動回路３６から信号が出力されず、振動ジャイ
ロ１０に回転角速度が加わっていないことがわかる。
【００１５】この状態で、振動ジャイロ１０が振動体１
４の軸を中心として回転すると、コリオリ力によって振
動体１４の振動方向が変わる。振動体１４の振動方向が
変わると、圧電素子１８ａ，１８ｂの屈曲状態が変わ
り、これらの圧電素子１８ａ，１８ｂから異なる信号が
出力される。これらの信号が差動回路３６に入力される
ため、差動回路３６からは２つの入力信号の差が出力さ
れる。そして、差動回路３６の出力信号が検波回路３８
で検波され、さらに平滑回路４０で平滑される。平滑回
路４０から出力される信号は、振動体１４の振動状態の
変化に対応した信号であり、すなわちコリオリ力に対応
した信号である。したがって、平滑回路４０の出力信号
を測定することにより、振動ジャイロ１０に加わった回
転角速度を検出することができる。
４の軸を中心として回転すると、コリオリ力によって振
動体１４の振動方向が変わる。振動体１４の振動方向が
変わると、圧電素子１８ａ，１８ｂの屈曲状態が変わ
り、これらの圧電素子１８ａ，１８ｂから異なる信号が
出力される。これらの信号が差動回路３６に入力される
ため、差動回路３６からは２つの入力信号の差が出力さ
れる。そして、差動回路３６の出力信号が検波回路３８
で検波され、さらに平滑回路４０で平滑される。平滑回
路４０から出力される信号は、振動体１４の振動状態の
変化に対応した信号であり、すなわちコリオリ力に対応
した信号である。したがって、平滑回路４０の出力信号
を測定することにより、振動ジャイロ１０に加わった回
転角速度を検出することができる。
【００１６】この振動ジャイロ１０では、振動体１４に
溝１６が形成されているため、真のノード点に近い部分
に支持部材２６を取り付けることができる。そのため、
振動体１４の振動が支持部材２６から漏れにくい。した
がって、ドリフト特性の変動の少ない、平坦なドリフト
特性を得ることができる。また、実験では、振動漏れが
少なくなったことにより、機械的Ｑｍを約２０％上げる
ことができた。
溝１６が形成されているため、真のノード点に近い部分
に支持部材２６を取り付けることができる。そのため、
振動体１４の振動が支持部材２６から漏れにくい。した
がって、ドリフト特性の変動の少ない、平坦なドリフト
特性を得ることができる。また、実験では、振動漏れが
少なくなったことにより、機械的Ｑｍを約２０％上げる
ことができた。
【００１７】 また、上述の実施例では、振動体に圧電素
子を形成して圧電振動子としたが、振動体を圧電体材料
で形成し、圧電素子が形成されていた位置に電極を形成
することによって圧電振動子としてもよい。この場合で
も、振動体のノード点付近において、幅方向に溝を形成
することにより、支持部材からの振動漏れを小さくする
ことができる。さらに、振動体の形状としては、たとえ
ば４角柱状や円柱状など、他の柱状に形成してもよい。
このような振動体を用いた場合でも、溝を形成すること
によって、振動漏れの少ない圧電振動子を得ることがで
きる。
子を形成して圧電振動子としたが、振動体を圧電体材料
で形成し、圧電素子が形成されていた位置に電極を形成
することによって圧電振動子としてもよい。この場合で
も、振動体のノード点付近において、幅方向に溝を形成
することにより、支持部材からの振動漏れを小さくする
ことができる。さらに、振動体の形状としては、たとえ
ば４角柱状や円柱状など、他の柱状に形成してもよい。
このような振動体を用いた場合でも、溝を形成すること
によって、振動漏れの少ない圧電振動子を得ることがで
きる。
【図１】この発明の圧電振動子を振動ジャイロに用いた
例を示す斜視図である。
例を示す斜視図である。
【図２】図１の線ＩＩ−ＩＩにおける断面図である。
【図３】図１の線ＩＩＩ−ＩＩＩにおける断面図であ
る。
る。
【図４】図１に示す振動ジャイロを駆動および検出する
ための回路を示す図解図である。
ための回路を示す図解図である。
【図５】 従来の圧電振動子を振動ジャイロに用いた例を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図６】 図５ に示す従来の振動ジャイロの断面図であ
る。
る。
１０ 振動ジャイロ １２ 圧電振動子 １４ 振動体 １６ 溝 １８ａ，１８ｂ，１８ｃ 圧電素子 ２６ 支持部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01C 19/56 G01P 9/04
Claims (3)
- 【請求項１】 屈曲振動をさせるための柱状の振動体
と、前記振動体をノード点付近で支持するための支持部
材とを含む圧電振動子であって、 前記振動体には、その各ノード点付近において幅方向に
延びる１つの溝が形成され、前記振動体と前記振動体の
幅方向に延びて形成された前記支持部材とが前記溝の底
部において略１点で接触・固定された、圧電振動子。 - 【請求項２】 前記振動体は正３角柱状に形成され、前
記溝は前記振動体の１つの面に形成される、請求項１の
圧電振動子。 - 【請求項３】 前記溝の深さは、前記振動体の１つの面
から対向する稜線部までの距離の約１／３である、請求
項２の圧電振動子。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12444494A JP3211562B2 (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | 圧電振動子 |
| US08/432,624 US5635647A (en) | 1994-05-12 | 1995-05-02 | Piezoelectric vibrator |
| EP95106813A EP0682407B1 (en) | 1994-05-12 | 1995-05-05 | Piezoelectric vibrator |
| DE69522134T DE69522134T2 (de) | 1994-05-12 | 1995-05-05 | Piezoelektrischer Vibrator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12444494A JP3211562B2 (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | 圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07306048A JPH07306048A (ja) | 1995-11-21 |
| JP3211562B2 true JP3211562B2 (ja) | 2001-09-25 |
Family
ID=14885664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12444494A Expired - Lifetime JP3211562B2 (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | 圧電振動子 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5635647A (ja) |
| EP (1) | EP0682407B1 (ja) |
| JP (1) | JP3211562B2 (ja) |
| DE (1) | DE69522134T2 (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09105639A (ja) * | 1995-08-08 | 1997-04-22 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロおよびその製造方法 |
| JP3045053B2 (ja) * | 1995-10-11 | 2000-05-22 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
| JPH1194557A (ja) * | 1997-09-12 | 1999-04-09 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
| JP3674440B2 (ja) * | 2000-02-15 | 2005-07-20 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
| JP2002250630A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-06 | Murata Mfg Co Ltd | 振動子支持構造およびそれを用いた振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置 |
| JP3741041B2 (ja) * | 2001-05-09 | 2006-02-01 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置 |
| US6655215B2 (en) * | 2001-06-15 | 2003-12-02 | Honeywell International Inc. | Inverse corner cube for non-intrusive three axis vibration measurement |
| JP3698094B2 (ja) * | 2001-11-29 | 2005-09-21 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロおよびそれを用いた電子装置 |
| CA2498178A1 (en) * | 2004-03-03 | 2005-09-03 | Northrop Grumman Corporation | Support of vibrating beam near nodal point |
| US7322238B2 (en) * | 2004-03-03 | 2008-01-29 | Northrop Grumman Corporation | Support of vibrating beam near nodal point |
| JP4595779B2 (ja) * | 2005-10-12 | 2010-12-08 | 株式会社デンソー | 角速度センサ |
| JP5838749B2 (ja) | 2011-11-16 | 2016-01-06 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、振動デバイスおよび電子機器 |
| CN103516252A (zh) * | 2012-06-27 | 2014-01-15 | 森泉(上海)光电科技有限公司 | 一种高速率、高分辨率、高驱动力的双模超声波线性马达 |
| CN104022684B (zh) * | 2014-06-25 | 2016-03-09 | 哈尔滨工业大学 | 纵振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法 |
| CN104022682B (zh) * | 2014-06-25 | 2016-05-25 | 哈尔滨工业大学 | 弯振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR990214A (fr) * | 1944-03-18 | 1951-09-19 | Perfectionnement au maintien de cristaux piézo-électriques | |
| FR992545A (fr) * | 1944-06-22 | 1951-10-19 | Perfectionnements au maintien de cristaux piézo-électriques | |
| US5493166A (en) * | 1988-08-12 | 1996-02-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrator and vibrating gyroscope using the same |
| JPH02209339A (ja) * | 1989-02-08 | 1990-08-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 紙送り装置 |
| DE69111950T2 (de) * | 1990-08-27 | 1996-03-14 | Murata Manufacturing Co | Signaldetektorschaltung für Schwingkreisel. |
| US5345822A (en) * | 1991-06-28 | 1994-09-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibratory gyroscope having a support member |
| JP2589896B2 (ja) * | 1991-08-01 | 1997-03-12 | 赤井電機株式会社 | 振動ジャイロ |
| JP3178137B2 (ja) * | 1993-01-08 | 2001-06-18 | 株式会社村田製作所 | 振動子の支持構造 |
| JPH07139952A (ja) * | 1993-11-16 | 1995-06-02 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
-
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-
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