CN104022682B - 弯振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法 - Google Patents

弯振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法 Download PDF

Info

Publication number
CN104022682B
CN104022682B CN201410290777.6A CN201410290777A CN104022682B CN 104022682 B CN104022682 B CN 104022682B CN 201410290777 A CN201410290777 A CN 201410290777A CN 104022682 B CN104022682 B CN 104022682B
Authority
CN
China
Prior art keywords
displacement
incentive
bending vibration
micro
output displacement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201410290777.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104022682A (zh
Inventor
刘英想
冯培连
陈维山
刘军考
石胜君
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Harbin Institute of Technology
Original Assignee
Harbin Institute of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Harbin Institute of Technology filed Critical Harbin Institute of Technology
Priority to CN201410290777.6A priority Critical patent/CN104022682B/zh
Publication of CN104022682A publication Critical patent/CN104022682A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104022682B publication Critical patent/CN104022682B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

弯振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法,属于压电驱动技术领域。本发明是为了解决现有的弯振复合模态足式压电驱动器的定位精度和分辨力低的问题。它选择下述三种激励模式之一、两种激励模式的组合或者三种激励模式的组合来实现不同位移尺度的输出:第一种为交流连续激励模式,该激励模式给两组弯振压电陶瓷片分别施加在时间上具有90度相位差的两相连续交流激励电压;第二种为脉冲步进激励模式,该激励模式给两组弯振压电陶瓷片分别施加在时间上具有90度相位差的两相脉冲激励电压;第三种为直流微驱动模式,该激励模式给一组弯振压电陶瓷片施加直流电压,另一组弯振压电陶瓷片为悬空状态。本发明用于实现足式压电驱动器的跨尺度驱动。

Description

弯振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法
技术领域
本发明涉及弯振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法,属于压电驱动技术领域。
背景技术
压电超声驱动技术是一种利用压电陶瓷的逆压电效应,在弹性体中激励出超声频段内的振动,在弹性体表面特定点或特定区域形成具有特定轨迹的质点运动,进而通过定子、转子之间的摩擦耦合将质点的微观运动转换成转子的宏观运动的技术。压电超声驱动器具有低速大转矩、无需变速机构、无电磁干扰、响应速度快和断电自锁等优点。
基于弯曲振动复合实现驱动的压电超声驱动器具有结构简单、无需模态简并、效率高、出力大的突出优点,例如中国专利《弯振模态梁式直线超声电机振子》,公开号为101626203,公开日为2010-01-13,提出了一种弯振模态梁式直线超声驱动器的振子,它解决了因陶瓷材料抗拉强度低和机电耦合效率低造成的超声驱动器的机械输出能力受到制约的问题,具有结构简单、设计灵活、机电耦合效率高、可实现大力矩输出、性能稳定、易于控制、可系列化生产的优点。
但是,具有这种振子的驱动器实际工作时通过给两组弯振压电陶瓷片施加连续的交流电压来激励出驱动足处质点的连续的椭圆轨迹振动,进而通过摩擦耦合实现动子致动;由于采用连续交变电压进行驱动,其定位精度和分辨力一般只能达到微米级,难于实现进一步提高,因此,无法满足超精密加工、微纳制造和生命科学等领域飞速发展的需要。
发明内容
本发明目的是为了解决现有的弯振复合模态足式压电驱动器的定位精度和分辨力低的问题,提供了一种弯振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法。
本发明所述弯振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法,所述弯振复合模态足式压电驱动器包括两组弯振压电陶瓷片和驱动足,所述驱动器的驱动方法根据目标输出位移选择下述三种激励模式之一、两种激励模式的组合或者三种激励模式的组合来实现不同位移尺度的输出;三种激励模式分别为:
第一种为交流连续激励模式,该激励模式给两组弯振压电陶瓷片分别施加在时间上具有90度相位差的两相连续交流激励电压,以实现驱动器两个正交弯曲振动的复合激励,从而在驱动足处产生持续的椭圆轨迹的振动;该振动能够驱动动子实现大推力、大位移、快速及连续的运动输出,所述大位移指位移大小不受限制;
第二种为脉冲步进激励模式,该激励模式给两组弯振压电陶瓷片分别施加在时间上具有90度相位差的两相脉冲激励电压,以实现驱动器两个正交弯曲振动的脉冲式复合激励,从而在驱动足处产生间歇性的椭圆轨迹的振动;该振动能够驱动动子实现微米尺度分辨力、低速及断续的步进输出;
第三种为直流微驱动模式,该激励模式给一组弯振压电陶瓷片施加直流电压,另一组弯振压电陶瓷片为悬空状态,实现驱动器单方向的弯曲变形,从而在驱动足处产生单一方向的位移输出;该位移输出能够驱动动子实现纳米尺度分辨力及微米尺度行程的输出,通过调整直流电压幅值实现动子输出位移的精确调整。
所述弯振复合模态足式压电驱动器在直流微驱动模式下获得的驱动足最大输出位移高于脉冲步进激励模式下能够获得的驱动足最佳分辨力。
当驱动器目标输出位移小于或者等于直流微驱动模式的最大输出位移时,该目标输出位移为微米量级,驱动器采用直流微驱动模式实现小尺度位移、高定位精度和分辨力的输出。
当驱动器目标输出位移大于直流微驱动模式的最大输出位移且不高于毫米量级,则驱动器首先采用脉冲步进激励模式,直至该激励模式获得的输出位移与目标输出位移的差值小于或者等于直流微驱动模式的最大输出位移时,驱动器切换至直流微驱动模式,实现最终的精确定位。
当驱动器目标输出位移为数十毫米量级以上时,则驱动器首先采用交流连续激励模式;在实际输出位移未达到目标输出位移时,每一设定采样周期采集一次当前实际输出位移;再计算当前实际输出位移与目标输出位移的差值,并采用下述方法之一实现最终精确定位:
方法一:当当前实际输出位移与目标输出位移的差值大于直流微驱动模式的最大输出位移并且不高于毫米量级时,切换至脉冲步进激励模式,进行步进调整;
继续采集当前实际输出位移,当当前实际输出位移与目标输出位移的差值小于或者等于直流微驱动模式的最大输出位移时,驱动器切换至直流微驱动模式,实现最终精确定位;
方法二:当当前实际输出位移与目标输出位移的差值小于或者等于直流微驱动模式的最大输出位移时,驱动器直接切换至直流微驱动模式,实现最终精确定位。
交流连续激励模式和脉冲步进激励模式的激励电压波形为正弦波波形、方波波形、三角波波形或者梯形波波形。
本发明的优点:本发明针对现有压电驱动器在具备快速、大行程响应能力的同时,难于兼具高精度、纳米尺度定位功能这一突出问题,通过三种激励模式的结合解决了强载、快速、大行程和高精度之间的矛盾。其中交流连续激励模式可以驱动动子实现大推力、大位移、快速、连续的运动输出;脉冲步进激励模式可以驱动动子实现微米尺度分辨力、低速、断续的步进输出;直流微驱动模式可以驱动动子实现纳米尺度分辨力、微米尺度行程的输出。通过三种激励模式的复合应用,使得弯振复合模态足式压电驱动器不仅具备快速、大行程响应能力,同时具备高精度、纳米尺度定位功能。本发明可以应用到超精密压电驱动技术中。
本发明实现了对驱动器真正的跨尺度、超精密驱动,该方法广泛适用于驱动各种利用弯曲振动模态复合实现致动的压电驱动器。
附图说明
图1是本发明所述驱动方法的驱动器在交流连续激励模式下两组弯振压电陶瓷片分别施加的两相连续交流激励电压的波形图;
图2是本发明所述驱动方法的驱动器在脉冲步进激励模式下两组弯振压电陶瓷片分别施加的两相脉冲激励电压的波形图;
图3是本发明所述驱动方法的驱动器在直流微驱动模式下两组弯振压电陶瓷片分别施加的直流电压的波形图。
具体实施方式
具体实施方式一:下面结合图1、图2和图3说明本实施方式,本实施方式为一种弯振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法,所述弯振复合模态足式压电驱动器包括两组弯振压电陶瓷片和驱动足,所述驱动器的驱动方法根据目标输出位移选择下述三种激励模式之一、两种激励模式的组合或者三种激励模式的组合来实现不同位移尺度的输出;三种激励模式分别为:
第一种为交流连续激励模式,该激励模式给两组弯振压电陶瓷片分别施加在时间上具有90度相位差的两相连续交流激励电压,以实现驱动器两个正交弯曲振动的复合激励,从而在驱动足处产生持续的椭圆轨迹的振动;该振动能够驱动动子实现大推力、大位移、快速及连续的运动输出,所述大位移指位移大小不受限制;
第二种为脉冲步进激励模式,该激励模式给两组弯振压电陶瓷片分别施加在时间上具有90度相位差的两相脉冲激励电压,以实现驱动器两个正交弯曲振动的脉冲式复合激励,从而在驱动足处产生间歇性的椭圆轨迹的振动;该振动能够驱动动子实现微米尺度分辨力、低速及断续的步进输出;
第三种为直流微驱动模式,该激励模式给一组弯振压电陶瓷片施加直流电压,另一组弯振压电陶瓷片为悬空状态,实现驱动器单方向的弯曲变形,从而在驱动足处产生单一方向的位移输出;该位移输出能够驱动动子实现纳米尺度分辨力及微米尺度行程的输出,通过调整直流电压幅值实现动子输出位移的精确调整。
本实施方式中的直流微驱动模式中,弯振压电陶瓷片的悬空状态指其不被施加电压,该模式可通过调整直流电压幅值实现动子输出位移的精确调整。
具体实施方式二:本实施方式对实施方式一作进一步说明,所述弯振复合模态足式压电驱动器在直流微驱动模式下获得的驱动足最大输出位移高于脉冲步进激励模式下能够获得的驱动足最佳分辨力。
本实施方式能够保证脉冲步进激励模式和直流微驱动模式实现有效的衔接与互补。
具体实施方式三:本实施方式对实施方式一或二作进一步说明,当驱动器目标输出位移小于或者等于直流微驱动模式的最大输出位移时,该目标输出位移为微米量级,驱动器采用直流微驱动模式实现小尺度位移、高定位精度和分辨力的输出。
具体实施方式四:本实施方式对实施方式一或二作进一步说明,当驱动器目标输出位移大于直流微驱动模式的最大输出位移且不高于毫米量级,则驱动器首先采用脉冲步进激励模式,直至该激励模式获得的输出位移与目标输出位移的差值小于或者等于直流微驱动模式的最大输出位移时,驱动器切换至直流微驱动模式,实现最终的精确定位。
具体实施方式五:本实施方式对实施方式一或二作进一步说明,当驱动器目标输出位移为数十毫米量级以上时,则驱动器首先采用交流连续激励模式;在实际输出位移未达到目标输出位移时,每一设定采样周期采集一次当前实际输出位移;再计算当前实际输出位移与目标输出位移的差值,并采用下述方法之一实现最终精确定位:
方法一:当当前实际输出位移与目标输出位移的差值大于直流微驱动模式的最大输出位移并且不高于毫米量级时,切换至脉冲步进激励模式,进行步进调整;
继续采集当前实际输出位移,当当前实际输出位移与目标输出位移的差值小于或者等于直流微驱动模式的最大输出位移时,驱动器切换至直流微驱动模式,实现最终精确定位;
方法二:当当前实际输出位移与目标输出位移的差值小于或者等于直流微驱动模式的最大输出位移时,驱动器直接切换至直流微驱动模式,实现最终精确定位。
具体实施方式六:本实施方式对实施方式一、二、三、四或五作进一步说明,交流连续激励模式和脉冲步进激励模式的激励电压波形为正弦波波形、方波波形、三角波波形或者梯形波波形。
本发明方法在工作时,首先设置驱动器的目标输出位移,然后根据目标输出位移的实际大小来判断采用何种激励方式或者激励方式的组合来实现驱动:
(1)若弯振复合模态足式压电驱动器的目标输出位移小于或者等于直流微驱动模式下可以获得的驱动足最大输出位移,该位移一般在微米量级,则直接进入直流微驱动模式实现小尺度位移、高定位精度和分辨力输出。
(2)若弯振复合模态足式压电驱动器的目标输出位移高于直流微驱动模式下可以获得的驱动足最大输出位移且不高于毫米量级,则首先进入脉冲步进激励模式,实现步进输出,直至输出位移与目标位移之间差值低于直流微驱动模式下可以获得的驱动足最大输出位移为止,然后切换至直流微驱动模式,实现最终的精确定位。
(3)若弯振复合模态足式压电驱动器的目标输出位移在数十毫米以上,则首先进入交流连续激励模式实现快速大位移输出,接近目标位移后停止,然后进行判断,若实际位移与目标输出位移的差值小于或者等于直流微驱动模式下可以获得的驱动足最大输出位移,则直接转换至直流驱动模式,实现最终的精确定位;若交流连续激励模式输出位移与目标位移差值大于直流微驱动模式下可以获得的驱动足最大输出位移,则首先切换至脉冲步进激励模式,实现步进调整,直至输出位移与目标位移之间差值低于或者等于直流微驱动模式下可以获得的驱动足最大输出位移为止,最后再切换至直流微驱动模式,实现最终的精确定位。
本发明方法适用于背景技术中提到的中国专利:弯振模态梁式直线超声电机振子,采用本发明的驱动方法能够提高该电机振子的定位精度和分辨力。

Claims (5)

1.一种弯振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法,所述弯振复合模态足式压电驱动器包括两组弯振压电陶瓷片和驱动足,其特征在于,所述驱动器的驱动方法根据目标输出位移选择下述三种激励模式之一、两种激励模式的组合或者三种激励模式的组合来实现不同位移尺度的输出;三种激励模式分别为:
第一种为交流连续激励模式,该激励模式给两组弯振压电陶瓷片分别施加在时间上具有90度相位差的两相连续交流激励电压,以实现驱动器两个正交弯曲振动的复合激励,从而在驱动足处产生持续的椭圆轨迹的振动;该振动能够驱动动子实现大推力、大位移、快速及连续的运动输出,所述大位移指位移大小不受限制;
第二种为脉冲步进激励模式,该激励模式给两组弯振压电陶瓷片分别施加在时间上具有90度相位差的两相脉冲激励电压,以实现驱动器两个正交弯曲振动的脉冲式复合激励,从而在驱动足处产生间歇性的椭圆轨迹的振动;该振动能够驱动动子实现微米尺度分辨力、低速及断续的步进输出;
第三种为直流微驱动模式,该激励模式给一组弯振压电陶瓷片施加直流电压,另一组弯振压电陶瓷片为悬空状态,实现驱动器单方向的弯曲变形,从而在驱动足处产生单一方向的位移输出;该位移输出能够驱动动子实现纳米尺度分辨力及微米尺度行程的输出,通过调整直流电压幅值实现动子输出位移的精确调整;
所述弯振复合模态足式压电驱动器在直流微驱动模式下获得的驱动足最大输出位移高于脉冲步进激励模式下能够获得的驱动足最佳分辨力。
2.根据权利要求1所述的弯振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法,其特征在于,当驱动器目标输出位移小于或者等于直流微驱动模式的最大输出位移时,该目标输出位移为微米量级,驱动器采用直流微驱动模式实现小尺度位移、高定位精度和分辨力的输出。
3.根据权利要求1所述的弯振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法,其特征在于,当驱动器目标输出位移大于直流微驱动模式的最大输出位移且不高于毫米量级,则驱动器首先采用脉冲步进激励模式,直至该激励模式获得的输出位移与目标输出位移的差值小于或者等于直流微驱动模式的最大输出位移时,驱动器切换至直流微驱动模式,实现最终的精确定位。
4.根据权利要求1所述的弯振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法,其特征在于,当驱动器目标输出位移为十毫米量级以上时,则驱动器首先采用交流连续激励模式;在实际输出位移未达到目标输出位移时,每一设定采样周期采集一次当前实际输出位移;再计算当前实际输出位移与目标输出位移的差值,并采用下述方法之一实现最终精确定位:
方法一:当当前实际输出位移与目标输出位移的差值大于直流微驱动模式的最大输出位移并且不高于毫米量级时,切换至脉冲步进激励模式,进行步进调整;
继续采集当前实际输出位移,当当前实际输出位移与目标输出位移的差值小于或者等于直流微驱动模式的最大输出位移时,驱动器切换至直流微驱动模式,实现最终精确定位;
方法二:当当前实际输出位移与目标输出位移的差值小于或者等于直流微驱动模式的最大输出位移时,驱动器直接切换至直流微驱动模式,实现最终精确定位。
5.根据权利要求1、2、3或4所述的弯振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法,其特征在于,交流连续激励模式和脉冲步进激励模式的激励电压波形为正弦波波形、方波波形、三角波波形或者梯形波波形。
CN201410290777.6A 2014-06-25 2014-06-25 弯振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法 Active CN104022682B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410290777.6A CN104022682B (zh) 2014-06-25 2014-06-25 弯振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410290777.6A CN104022682B (zh) 2014-06-25 2014-06-25 弯振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104022682A CN104022682A (zh) 2014-09-03
CN104022682B true CN104022682B (zh) 2016-05-25

Family

ID=51439293

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410290777.6A Active CN104022682B (zh) 2014-06-25 2014-06-25 弯振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104022682B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109378992B (zh) * 2018-10-23 2019-11-01 河南师范大学 一种超声电机性能可调的多重激励方法
CN109495011B (zh) * 2018-12-12 2020-04-17 华南农业大学 一种弧形振子直线型压电电机及其驱动方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3211562B2 (ja) * 1994-05-12 2001-09-25 株式会社村田製作所 圧電振動子
CN1182650C (zh) * 2002-09-26 2004-12-29 上海交通大学 微型压电型直线驱动器
CN1543052B (zh) * 2003-11-06 2010-04-28 清华大学 提高压电超声马达步进分辨率和减少驱动能耗的高低压驱动方法
JP5179918B2 (ja) * 2008-03-27 2013-04-10 太平洋セメント株式会社 超音波モータ装置
CN101626203B (zh) * 2009-08-19 2011-07-20 哈尔滨工业大学 弯振模态梁式直线超声电机振子
CN103516252A (zh) * 2012-06-27 2014-01-15 森泉(上海)光电科技有限公司 一种高速率、高分辨率、高驱动力的双模超声波线性马达

Also Published As

Publication number Publication date
CN104022682A (zh) 2014-09-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Liu et al. Design and experiments of a single-foot linear piezoelectric actuator operated in a stepping mode
CN107147328B (zh) 弯曲压电振子的两自由度压电驱动器及采用该驱动器实现的两自由度运动的激励方法
CN104038100B (zh) 基于多足旋转压电驱动器实现的跨尺度驱动激励方法
CN103746597B (zh) 贴片式t型双足直线压电超声电机振子
CN108400722A (zh) 一种两自由度压电驱动装置及其激励方法
CN104022683B (zh) 采用四足压电驱动器的超精密直线平台的驱动方法
CN104022682B (zh) 弯振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法
CN104967355A (zh) 仿生爬行多足直线压电驱动器
Ning et al. A dual-mode excitation method of flexure hinge type piezoelectric stick-slip actuator for suppressing backward motion
CN104467526A (zh) 一种实现单向运动的惯性粘滑式跨尺度运动平台
CN104038101B (zh) 一种纵弯复合模态足式压电驱动器实现跨尺度驱动的方法
CN205584047U (zh) 一种摩擦力可调式非对称旋转惯性压电驱动器
Li et al. A parasitic type piezoelectric actuator with the asymmetrical trapezoid flexure mechanism
CN105450081A (zh) 基于多压电振子弯曲运动的步进蠕动型驱动激励方法
Li et al. A bionic type piezoelectric actuator based on walking motion and asymmetrical L-shaped flexure mechanisms
He et al. Piezoelectric motor based on synchronized switching control
CN104269191A (zh) 液压伺服系统与压电陶瓷驱动器共同驱动的并联机构
CN113258825B (zh) 一种基于粘滑与冲击原理耦合的压电驱动器控制方法
CN104320015A (zh) 仿生多自由度精密压电驱动装置
CN104578899A (zh) 贴片式圆环双足超声电机振子
Xu et al. Motion planning of a stepping-wriggle type piezoelectric actuator operating in bending modes
CN103746601A (zh) 贴片换能器式圆筒型行波压电超声电机振子
CN104022684B (zh) 纵振复合模态足式压电驱动器的跨尺度驱动方法
CN204231226U (zh) 一种实现单向运动的惯性粘滑式跨尺度运动平台
CN203466750U (zh) 仿生型压电足式驱动器

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant