JP2013066994A - クーラント再生方法 - Google Patents
クーラント再生方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013066994A JP2013066994A JP2012121749A JP2012121749A JP2013066994A JP 2013066994 A JP2013066994 A JP 2013066994A JP 2012121749 A JP2012121749 A JP 2012121749A JP 2012121749 A JP2012121749 A JP 2012121749A JP 2013066994 A JP2013066994 A JP 2013066994A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coolant
- centrifuge
- liquid
- membrane
- centrifugal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B57/00—Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents
- B24B57/02—Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents for feeding of fluid, sprayed, pulverised, or liquefied grinding, polishing or lapping agents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
- B24B55/12—Devices for exhausting mist of oil or coolant; Devices for collecting or recovering materials resulting from grinding or polishing, e.g. of precious metals, precious stones, diamonds or the like
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Centrifugal Separators (AREA)
- Treatment Of Sludge (AREA)
Abstract
【解決手段】クーラント再生方法1aは、縦型遠心分離装置を有する遠心分離ユニット2に使用済クーラント3の一部を供給し、固形分17と遠心分離液19とに遠心分離する遠心分離工程S2、及び遠心分離液19を使用済クーラント3と混合する遠心分離液混合工程S3を備える遠心分離循環工程Aと、濾過膜6を有する膜分離ユニット7に使用済クーラント3の残部を供給し、濃縮液22と膜濾過液21とに膜分離する膜分離工程S4、及び濃縮液22を使用済クーラント3と混合する濃縮液混合工程S5とを備える膜分離循環工程Bと、循環させた遠心分離液19、及び、回収した膜濾過液21を混合し、クーラント4を生成するクーラント混合生成工程S6とを具備する。
【選択図】図1
Description
「ワイヤーソーでシリコン材料を切断する際に発生するシリコン切削屑を含む使用済クーラントから前記シリコン切削屑を除去し、再利用可能なクーラントを再生するクーラント再生方法であって、
縦型遠心分離装置を有する遠心分離ユニットに前記使用済クーラントの一部を供給し、前記シリコン切削屑を含む固形分と遠心分離液とに遠心分離する遠心分離工程、及び遠心分離された前記遠心分離液を前記使用済クーラントと混合する遠心分離液混合工程を備え、前記遠心分離液を循環させる遠心分離循環工程と、
前記遠心分離循環工程と並行して行われ、
濾過膜を有する膜分離ユニットに前記使用済クーラントの残部を供給し、前記シリコン切削屑を含む濃縮液と膜濾過液とに膜分離する膜分離工程、及び前記膜分離工程によって膜分離された前記濃縮液を前記使用済クーラントと混合する濃縮液混合工程とを備え、前記濃縮液を循環させる膜分離循環工程と、
前記遠心分離循環工程によって循環させた前記遠心分離液、及び、前記膜分離工程によって回収された前記膜濾過液を混合し、前記再利用可能なクーラントを生成するクーラント混合生成工程と」
を主に具備している。
「ワイヤーソーでシリコン材料を切断する際に発生するシリコン切削屑を含む使用済クーラントから前記シリコン切削屑を除去し、再利用可能なクーラントを再生するクーラント再生方法であって、
縦型遠心分離装置を有する遠心分離ユニットに前記使用済クーラントを供給し、前記シリコン切削屑を含む固形分と第一遠心分離液とに遠心分離する第一遠心分離工程、及び前記第一遠心分離液を前記使用済クーラントと混合する第一遠心分離液混合工程を備え、前記第一遠心分離液を循環させる第一遠心分離循環工程と、
濾過膜を有する膜分離ユニットに前記第一遠心分離循環工程によって循環させた前記第一遠心分離液を供給し、前記シリコン切削屑を含む濃縮液と膜濾過液とに膜分離する膜分離工程、及び前記濃縮液を前記第一遠心分離液と混合する濃縮液混合工程とを備え、前記濃縮液を循環させる膜分離循環工程と、
縦型遠心分離装置を有する第二遠心分離ユニットに前記膜分離循環工程によって循環させた前記濃縮液を供給し、前記シリコン切削屑を含む固形分と第二遠心分離液とに遠心分離する第二遠心分離工程、及び前記第二遠心分離液を前記濃縮液と混合する第二遠心分離液混合工程を備え、前記第二遠心分離液を循環させる第二遠心分離循環工程と、
前記第二遠心分離循環工程によって循環させた前記第二遠心分離液、及び、前記膜分離循環工程によって回収された前記膜濾過液を混合し、前記再利用可能なクーラントを生成するクーラント混合生成工程と」
を主に具備している。
「ワイヤーソーでシリコン材料を切断する際に発生するシリコン切削屑を含む使用済クーラントから前記シリコン切削屑を除去し、再利用可能なクーラントを再生するクーラント再生方法であって、
縦型遠心分離装置を有する遠心分離ユニットに前記使用済クーラントを供給し、前記シリコン切削屑を含む固形分と遠心分離液とに遠心分離する遠心分離工程、及び前記遠心分離液を前記使用済クーラントと混合する遠心分離液混合工程を備え、前記遠心分離液を循環させる遠心分離循環工程と、
前記遠心分離循環工程によって循環させた前記遠心分離液の一部を濾過膜を有する膜分離ユニットに供給し、前記シリコン切削屑を含む濃縮液と膜濾過液とに膜分離する膜分離工程、及び前記膜分離工程によって膜分離された前記濃縮液を前記遠心分離液と混合する濃縮液混合工程とを備え、前記濃縮液を循環させる膜分離循環工程と、
前記膜分離循環工程と並行して行われ、前記遠心分離循環工程によって循環させた前記遠心分離液の残部を縦型遠心分離装置を有する第二遠心分離ユニットに供給し、前記シリコン切削屑を含む固形分と第二遠心分離液とに遠心分離する第二遠心分離工程、及び遠心分離された前記第二遠心分離液を前記遠心分離液と混合する第二遠心分離液混合工程を備え、前記第二遠心分離液を循環させる第二遠心分離循環工程と、
前記第二遠心分離循環工程によって循環させた前記第二遠心分離液、及び、前記膜分離循環工程によって回収された前記膜濾過液を混合し、前記再利用可能なクーラントを生成するクーラント混合生成工程と」
を主に具備している。
投入量に対し、前記再利用可能なクーラントの回収率が85重量%以上、98重量%以下である」ものであっても構わない。
2 遠心分離ユニット(第二遠心分離ユニット)
3 使用済クーラント
4 クーラント
5 縦型遠心分離装置
6 濾過膜
7 膜分離ユニット
8,28 開口部
9 回転体
16 シリコン切削屑
19 遠心分離液
21 膜濾過液
22 濃縮液
23 第一遠心分離液
24,32 第二遠心分離液
A 遠心分離循環工程
A’ 第一遠心分離循環工程
A” 第二遠心分離循環工程
B 膜分離循環工程
S1 分配供給工程
S2,U1 遠心分離工程
S3,U2 遠心分離液混合工程
S4,T3,U3 膜分離工程
S5,T4,U4 濃縮液混合工程
S6,T7,U7 クーラント混合生成工程
T1 第一遠心分離工程
T2 第一遠心分離液混合工程
T5,U5 第二遠心分離工程
T6,U6 第二遠心分離液混合工程
Claims (5)
- ワイヤーソーでシリコン材料を切断する際に発生するシリコン切削屑を含む使用済クーラントから前記シリコン切削屑を除去し、再利用可能なクーラントを再生するクーラント再生方法であって、
縦型遠心分離装置を有する遠心分離ユニットに前記使用済クーラントの一部を供給し、前記シリコン切削屑を含む固形分と遠心分離液とに遠心分離する遠心分離工程、及び遠心分離された前記遠心分離液を前記使用済クーラントと混合する遠心分離液混合工程を備え、前記遠心分離液を循環させる遠心分離循環工程と、
前記遠心分離循環工程と並行して行われ、濾過膜を有する膜分離ユニットに前記使用済クーラントの残部を供給し、前記シリコン切削屑を含む濃縮液と膜濾過液とに膜分離する膜分離工程、及び前記膜分離工程によって膜分離された前記濃縮液を前記使用済クーラントと混合する濃縮液混合工程とを備え、前記濃縮液を循環させる膜分離循環工程と、
前記遠心分離循環工程によって循環させた前記遠心分離液、及び、前記膜分離工程によって回収された前記膜濾過液を混合し、前記再利用可能なクーラントを生成するクーラント混合生成工程と
を具備することを特徴とするクーラント再生方法。 - ワイヤーソーでシリコン材料を切断する際に発生するシリコン切削屑を含む使用済クーラントから前記シリコン切削屑を除去し、再利用可能なクーラントを再生するクーラント再生方法であって、
縦型遠心分離装置を有する遠心分離ユニットに前記使用済クーラントを供給し、前記シリコン切削屑を含む固形分と第一遠心分離液とに遠心分離する第一遠心分離工程、及び前記第一遠心分離液を前記使用済クーラントと混合する第一遠心分離液混合工程を備え、前記第一遠心分離液を循環させる第一遠心分離循環工程と、
濾過膜を有する膜分離ユニットに前記第一遠心分離循環工程によって循環させた前記第一遠心分離液を供給し、前記シリコン切削屑を含む濃縮液と膜濾過液とに膜分離する膜分離工程、及び前記濃縮液を前記第一遠心分離液と混合する濃縮液混合工程とを備え、前記濃縮液を循環させる膜分離循環工程と、
縦型遠心分離装置を有する第二遠心分離ユニットに前記膜分離循環工程によって循環させた前記濃縮液を供給し、前記シリコン切削屑を含む固形分と第二遠心分離液とに遠心分離する第二遠心分離工程、及び前記第二遠心分離液を前記濃縮液と混合する第二遠心分離液混合工程を備え、前記第二遠心分離液を循環させる第二遠心分離循環工程と、
前記第二遠心分離循環工程によって循環させた前記第二遠心分離液、及び、前記膜分離循環工程によって回収された前記膜濾過液を混合し、前記再利用可能なクーラントを生成するクーラント混合生成工程と
を具備することを特徴とするクーラント再生方法。 - ワイヤーソーでシリコン材料を切断する際に発生するシリコン切削屑を含む使用済クーラントから前記シリコン切削屑を除去し、再利用可能なクーラントを再生するクーラント再生方法であって、
縦型遠心分離装置を有する遠心分離ユニットに前記使用済クーラントを供給し、前記シリコン切削屑を含む固形分と遠心分離液とに遠心分離する遠心分離工程、及び前記遠心分離液を前記使用済クーラントと混合する遠心分離液混合工程を備え、前記遠心分離液を循環させる遠心分離循環工程と、
前記遠心分離循環工程によって循環させた前記遠心分離液の一部を濾過膜を有する膜分離ユニットに供給し、前記シリコン切削屑を含む濃縮液と膜濾過液とに膜分離する膜分離工程、及び前記膜分離工程によって膜分離された前記濃縮液を前記遠心分離液と混合する濃縮液混合工程とを備え、前記濃縮液を循環させる膜分離循環工程と、
前記膜分離循環工程と並行して行われ、前記遠心分離循環工程によって循環させた前記遠心分離液の残部を縦型遠心分離装置を有する第二遠心分離ユニットに供給し、前記シリコン切削屑を含む固形分と第二遠心分離液とに遠心分離する第二遠心分離工程、及び遠心分離された前記第二遠心分離液を前記遠心分離液と混合する第二遠心分離液混合工程を備え、前記第二遠心分離液を循環させる第二遠心分離循環工程と、
前記第二遠心分離循環工程によって循環させた前記第二遠心分離液、及び、前記膜分離循環工程によって回収された前記膜濾過液を混合し、前記再利用可能なクーラントを生成するクーラント混合生成工程と
を具備することを特徴とするクーラント再生方法。 - 生成された前記再利用可能なクーラントは、
残存シリコン成分の含有量が前記クーラント全体の0.01重量%以上、3.0重量%以下であり、
且つ前記残存シリコン成分に含まれる0.1μm以下の粒径のシリコン粒子の割合が前記残存シリコン成分全体の0.01重量%以上、30重量%以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一つに記載のクーラント再生方法。 - 前記使用済クーラントの投入量に対し、前記再利用可能なクーラントの回収率が85重量%以上、98重量%以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一つに記載のクーラント再生方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012121749A JP5802609B2 (ja) | 2011-09-07 | 2012-05-29 | クーラント再生方法 |
CN201280008310.7A CN103347654B (zh) | 2011-09-07 | 2012-07-18 | 冷却剂再生方法 |
PCT/JP2012/068197 WO2013035438A1 (ja) | 2011-09-07 | 2012-07-18 | クーラント再生方法 |
TW101132240A TW201318772A (zh) | 2011-09-07 | 2012-09-05 | 冷卻劑再生方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011194820 | 2011-09-07 | ||
JP2011194820 | 2011-09-07 | ||
JP2012121749A JP5802609B2 (ja) | 2011-09-07 | 2012-05-29 | クーラント再生方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013066994A true JP2013066994A (ja) | 2013-04-18 |
JP5802609B2 JP5802609B2 (ja) | 2015-10-28 |
Family
ID=47831890
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012121749A Expired - Fee Related JP5802609B2 (ja) | 2011-09-07 | 2012-05-29 | クーラント再生方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5802609B2 (ja) |
CN (1) | CN103347654B (ja) |
TW (1) | TW201318772A (ja) |
WO (1) | WO2013035438A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015139861A (ja) * | 2014-01-30 | 2015-08-03 | 株式会社クラレ | クーラント再生方法および再生クーラント中間生成物 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6085500B2 (ja) * | 2013-03-08 | 2017-02-22 | 株式会社Ihi回転機械 | ワイヤソースラリのクーラント回収装置 |
CN105121095B (zh) * | 2013-04-04 | 2018-04-27 | 株式会社可乐丽 | 浆料再生装置、浆料再生方法以及再生浆料 |
WO2015107826A1 (ja) * | 2014-01-20 | 2015-07-23 | 株式会社クラレ | クーラント再生装置及びクーラント再生方法 |
CN105856074A (zh) * | 2016-05-30 | 2016-08-17 | 深圳汇准科技有限公司 | 一种智能研磨液供给系统 |
CN112658991B (zh) * | 2020-12-16 | 2022-12-13 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 抛光液供给装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001225070A (ja) * | 2000-02-16 | 2001-08-21 | Kurita Water Ind Ltd | 研磨材の回収装置 |
JP2002144229A (ja) * | 2000-11-02 | 2002-05-21 | Nippei Toyama Corp | ワイヤソー及びワイヤソーの切断方法 |
JP2004255534A (ja) * | 2003-02-27 | 2004-09-16 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | リサイクルに適したワイヤソー砥粒、スラリ再生方法及びワイヤソーシステム |
JP2011502054A (ja) * | 2007-10-30 | 2011-01-20 | ポール・コーポレーション | 使用済み研磨スラリーを処理するための方法 |
JP2012076159A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Ihi Compressor & Machinery Co Ltd | ワイヤソースラリ廃液の処理方法及び装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU752347B2 (en) * | 1997-07-18 | 2002-09-19 | C.A. Arnold & Associates, Inc. | Pulverizing materials into small particles |
IT1299540B1 (it) * | 1998-07-01 | 2000-03-16 | Memc Electronic Materials | Procedimento per separare e rigenerare abrasivo esausto a base di glicole e carburo di silicio ai fini della loro riutilizzazione |
US6306282B1 (en) * | 1999-01-04 | 2001-10-23 | Advanced Micro Devices, Inc. | Sludge-free treatment of copper CMP wastes |
JP3776675B2 (ja) * | 2000-03-30 | 2006-05-17 | 三倉物産株式会社 | 無機研磨剤廃液の再生処理装置 |
JP2001310260A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-06 | Nippei Toyama Corp | スラリの再生方法 |
JP2003300072A (ja) * | 2002-04-09 | 2003-10-21 | Ngk Insulators Ltd | 研磨排水の処理方法 |
JP4369095B2 (ja) * | 2002-05-24 | 2009-11-18 | シャープ株式会社 | スラリ再生方法 |
ITRM20050329A1 (it) * | 2005-06-24 | 2006-12-25 | Guido Fragiacomo | Procedimento per il trattamento di sospensioni abrasive esauste per il recupero delle loro componenti riciclabili e relativo impianto. |
JP2010221337A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Ngk Insulators Ltd | 使用済み研削液の再利用方法 |
-
2012
- 2012-05-29 JP JP2012121749A patent/JP5802609B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2012-07-18 WO PCT/JP2012/068197 patent/WO2013035438A1/ja active Application Filing
- 2012-07-18 CN CN201280008310.7A patent/CN103347654B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2012-09-05 TW TW101132240A patent/TW201318772A/zh unknown
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001225070A (ja) * | 2000-02-16 | 2001-08-21 | Kurita Water Ind Ltd | 研磨材の回収装置 |
JP2002144229A (ja) * | 2000-11-02 | 2002-05-21 | Nippei Toyama Corp | ワイヤソー及びワイヤソーの切断方法 |
JP2004255534A (ja) * | 2003-02-27 | 2004-09-16 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | リサイクルに適したワイヤソー砥粒、スラリ再生方法及びワイヤソーシステム |
JP2011502054A (ja) * | 2007-10-30 | 2011-01-20 | ポール・コーポレーション | 使用済み研磨スラリーを処理するための方法 |
JP2012076159A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Ihi Compressor & Machinery Co Ltd | ワイヤソースラリ廃液の処理方法及び装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015139861A (ja) * | 2014-01-30 | 2015-08-03 | 株式会社クラレ | クーラント再生方法および再生クーラント中間生成物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5802609B2 (ja) | 2015-10-28 |
CN103347654A (zh) | 2013-10-09 |
TW201318772A (zh) | 2013-05-16 |
WO2013035438A1 (ja) | 2013-03-14 |
CN103347654B (zh) | 2015-11-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5802609B2 (ja) | クーラント再生方法 | |
JPWO2007097046A1 (ja) | シリコン粒子の処理方法及び装置 | |
JP5941995B2 (ja) | クーラント再生方法、及びクーラント再生装置 | |
JP6085500B2 (ja) | ワイヤソースラリのクーラント回収装置 | |
JP6088360B2 (ja) | 濾過装置 | |
JP3187466U (ja) | スラリー再生装置 | |
KR101799598B1 (ko) | 쿨런트 회수 방법 | |
JP2008188683A (ja) | シリコンインゴット切削方法および切削装置 | |
JP6198438B2 (ja) | ワイヤソースラリ廃液のクーラント回収装置 | |
JP2012020365A (ja) | クーラント回収システム | |
JP2013248706A (ja) | クーラント廃液の再生方法、クーラント廃液の処理方法、クーラント廃液の処理システム、及び再生クーラント液の製造方法 | |
JP4369054B2 (ja) | 使用済グリコール系スラリーの分離、再生および再使用法 | |
JP3187465U (ja) | スラリー再生装置 | |
JP5740255B2 (ja) | 再生クーラント、及びクーラント再生方法 | |
JP2013237130A (ja) | クーラントを回収する方法 | |
JP2013004896A (ja) | 使用済み冷却液の回収方法及び回収装置 | |
JP2011083845A (ja) | 研磨用固液回収分離装置 | |
TWI546160B (zh) | 冷卻劑再生方法 | |
JP2005021805A (ja) | 排水処理方法及び排水処理システム | |
KR101125359B1 (ko) | 폐절삭연마혼합액 재생방법 | |
JP6265974B2 (ja) | スラリー再生装置、スラリー再生方法及び再生スラリー | |
JP2014019603A (ja) | シリコンスラッジの洗浄装置及びシリコンの回収方法 | |
JP2005334992A (ja) | 廃液処理装置及び廃液処理方法、半導体装置の製造システム | |
JP4457444B2 (ja) | 研磨材の回収方法 | |
KR20130084935A (ko) | 폐절삭연마혼합액 재생방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150811 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150831 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5802609 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |