JP5740255B2 - 再生クーラント、及びクーラント再生方法 - Google Patents
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Description
2 遠心分離ユニット
3 使用済クーラント
4 再生クーラント
5 縦型遠心分離装置
6 濾過膜
7 膜分離ユニット
8 開口部
9 回転体
16 シリコン切削屑
17 固形分
19 遠心分離液
21 膜濾過液
22 濃縮液
23 抽出クーラント
A 遠心分離再生工程
B 膜分離再生工程
S1 クーラント供給工程
S2 遠心分離工程
S3 遠心分離液回収工程
S4 遠心分離液混合工程
S5 遠心分離液供給工程
S6 膜分離工程
S7 膜濾過液回収工程
T1 クーラント抽出工程
T2 抽出クーラント供給工程
T3 膜分離工程
T4 膜濾過液回収工程
T5 クーラント混合生成工程
Claims (2)
- ワイヤーソーでシリコン材料を切断する際に発生するシリコン切削屑を含む使用済クーラントから前記シリコン切削屑が除去された再利用可能な再生クーラントのクーラント再生方法であって、
ワイヤーソーでシリコン材料を切断する際に発生する使用済クーラントを縦型遠心分離装置を有する遠心分離ユニットに供給するクーラント供給工程と、
前記遠心分離ユニットに供給された前記使用済クーラントをシリコン切削屑を含む固形分と遠心分離液とに遠心分離する遠心分離工程と、
前記遠心分離液を回収する遠心分離液回収工程と、
前記遠心分離ユニットに供給される前の前記使用済クーラントの一部を抽出するクーラント抽出工程と、
前記クーラント抽出工程によって抽出された抽出クーラントを濾過膜を有する膜分離ユニットに供給する抽出クーラント供給工程と、
前記膜分離ユニットに供給された前記抽出クーラントの中の前記シリコン切削屑を含む濃縮液と膜濾過液とに膜分離する膜分離工程と、
前記膜濾過液及び前記遠心分離液を混合し前記再生クーラントを生成するクーラント混合生成工程と
を具備することを特徴とするクーラント再生方法。 - 請求項1に記載のクーラント再生方法により、ワイヤーソーでシリコン材料を切断する際に発生するシリコン切削屑を含む使用済クーラントから前記シリコン切削屑が除去された再利用可能な再生クーラントであって、
残存シリコン成分が前記再生クーラント全体の0.01重量%以上、3.0重量%以下であり、
前記残存シリコン成分に含まれる0.1μm以下の粒径のシリコン粒子が前記残存シリコン成分全体の0.01重量%以上、30重量%以下である
ことを特徴とする再生クーラント。
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