JP5261090B2 - シリコン含有排水の処理方法及び装置 - Google Patents
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Description
原水は固形分約1500mg/Lのシリコンインゴット製造排水を用い、350L/hで原水槽からろ過膜装置に供給した。膜ろ過は外圧全ろ過方式とし、ろ過膜としてはポリスルホン製で外径1mm、内径0.6mm、孔径0.02μmの中空糸膜で、膜面積が7m2のモジュールを用いた。
実施例1と同様の条件で処理を行い、濃縮水を3.4m3/h(このときのシリコン粒子濃度 10000mg/L)を、それぞれ遠心分離した後に、濃縮水槽に循環させた例と循環させずに廃棄したときの、水回収率、スラッジ回収率について、本処理方式を基準として比較し、その結果を表1に示した。
Claims (9)
- シリコンインゴットの加工により排出されるシリコン微粒子を含む排水を、中空糸型のろ過手段でろ過し、ろ過水と濃縮液に分離し、該ろ過により得られた濃縮液を濃縮水槽に収容するろ過工程と、
前記濃縮水槽に収容された濃縮水を、縦型の遠心分離手段によりシリコン微粒子と脱離水とに分離する第1の遠心分離工程と、
前記脱離水を前記濃縮水槽に循環させ、前記濃縮液との混合液としシリコン粒子を造粒させるシリコン粒子造粒工程と、
前記混合液を、さらに前記遠心分離手段によりシリコン微粒子と脱離水とに分離する第2の遠心分離工程と、を有することを特徴とするシリコン含有排水の処理方法。 - 前記中空糸型のろ過手段が、加圧方式のろ過手段であることを特徴とする請求項1記載のシリコン含有排水の処理方法。
- 前記ろ過工程が、該排水を膜の外表面側から供給し、供給した該排水の全量をろ過し、ろ過水を内表面側から取り出す外圧全ろ過(デッドエンドろ過)方式であることを特徴とする請求項1又は2記載のシリコン含有排水の処理方法。
- 前記シリコン粒子造粒工程と前記第2の遠心分離工程とを、繰り返し行うことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のシリコン含有排水の処理方法。
- 前記遠心分離手段が、縦型のバッチ式であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載のシリコン含有排水の処理方法。
- 前記シリコン微粒子を含む排水が、シリコンインゴット加工により排出された後、24時間以内に前記ろ過工程を行うことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載のシリコン含有排水の処理方法。
- 前記ろ過工程で得られたろ過水を、前記シリコンインゴット加工に再利用することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項記載のシリコン含有排水の処理方法。
- 前記ろ過工程で得られたろ過水を、イオン交換処理又は逆浸透膜処理してから、シリコンインゴット加工に再利用することを特徴とする請求項7記載のシリコン含有排水の処理方法。
- シリコンインゴット加工により排出されるシリコン微粒子を含む排水をろ過する中空糸型のろ過手段と、前記ろ過手段の濃縮水を収容する濃縮水槽と、前記濃縮水をシリコン微粒子と脱離水とに分離する遠心分離手段と、前記遠心分離手段から排出される脱離水を前記濃縮水槽に循環させる循環手段と、を有することを特徴とするシリコン含有排水の処理装置。
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