JP2012526487A - ワイドバンドギャップ半導体パワーjfetのための高温ゲートドライバ及びそれを含む集積回路 - Google Patents

ワイドバンドギャップ半導体パワーjfetのための高温ゲートドライバ及びそれを含む集積回路 Download PDF

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Abstract

高い周囲温度環境において作動することが可能なワイドバンドギャップ(例えば、>2eV)半導体接合形電界効果トランジスタ(JFET)のためのゲートドライバについて記載される。ワイドバンドギャップ(WBG)半導体デバイスは、炭化ケイ素(SiC)及び窒化ガリウム(GaN)を含む。ドライバは、入力、出力、第1供給電圧を受け取るための第1基準線、第2供給電圧を受け取るための第2基準線、グランド端子、6つの接合形電界効果トランジスタ(JFET)を有する非反転ゲートドライバであり得、第1JFETおよび第2JFETは、第1反転バッファを形成し、第3JFETおよび第4JFETは、第2反転バッファを形成し、及び第5JFET及び第6JFETは、高温パワーSiC JFETを駆動させるために使用され得るトーテムポールを形成する。反転ゲートドライバも記載される。
【選択図】 なし

Description

本発明は、一般的に、ゲートドライバおよびゲートドライバを含む集積回路に関し、より具体的には、ワイドバンドギャップ半導体パワーJFETのための高温で作動可能な(high temperature capable)ゲートドライバに関する。
炭化ケイ素(SiC)接合形電界効果トランジスタ(JFET)に関する主な最終用途は、高い周辺温度用に設計されたパワー・エレクトロニクスにある。SiC JFETの例外的な特性が高温でそれを信頼できる作動を可能にしているが、現在のところ、高温で作動可能なゲートドライバを欠いている。現在の解決法は、より低温度環境におけるパワー電子制御を整えること、又はシステムの一部またはすべてのための安全な作動温度を維持するために余分な冷却系装置を設置することが挙げられる。しかしながら、任意の半導体パワートランジスタの最適性能のためには、ゲートドライバ回路は、寄生効果(Parasitic affects)(例えばゲート制御信号上の望まれない共振及び/又はグランドノイズ)を少なくするために、パワートランジスタにできるだけ接近して配置するべきである。これらのタイプの好ましくない寄生効果は、パワートランジスタの迷走性の(erratic)スイッチングを引き起こすことがあり、装置またはシステム故障に潜在的に繋がり得る。
パワートランジスタのための典型的な駆動方法は、プルアップトランジスタおよびプルダウントランジスタを有するトーテムポール回路である。これらのトランジスタは、通常、金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)またはバイポーラ接合トランジスタ(BJT)で、単極の供給電圧(すなわち、1つの陽極、また1つのグランド)、または2つの電圧供給(すなわち、1つの陽極、また1つの陰極)に接続される(参考文献[1]参照)。トーテムポール回路の最も一般的で最も単純な形状が、相補的ロジック(例えば、NPNおよびPNPまたは、PチャネルとNチャネルの装置)を使用して構築される。しかしながら、同じ機能性は2つのN型装置で達成することができる。
トーテムポールは、電流増幅器、および必要ならば、電圧レベルシフタとして働き、また入力で弱電流ドライブ信号を受けて、負荷トランジスタ用のより高い電流を生成する。プルアップとプルダウンの電源電圧は、入力制御信号のロジック高電圧およびロジック低電圧と一致する必要はない。他のパワートランジスタのように、SiCパワーJFETもトーテムポールドライバによって駆動させることができる。このタスクは、SiBJT/MOSFET、または絶縁ゲート型電界効果トランジスタ(IGFET)または、金属−絶縁体半導体電界効果トランジスタ(MISFET)を個別に使用して達成することができる(参考文献[1−4.]参照)。しかしながら、これらの装置は、SiCパワーJFETの最高温度定格(すなわち300℃を超過する温度)で、作動することができない。
従って、SiCパワーJFETの最高温度能力で作動することができるゲートドライバの必要性が依然として存在する。これらのドライバは、高温用途でSiCパワーJFETの最適な使用(エンハンスメントモード型またはデプレションモード型)を可能にする。
本発明は、1つの態様において、高温で作動可能な非反転ゲートドライバに関する。1つの実施形態において、ゲートドライバは以下を含む:(i)入力、(ii)出力、(iii)第1供給電圧を受け取るための第1基準線、(iv)第2供給電圧を受け取るための第2基準線、(v)グランド端子、(vi)第1接合形電界効果トランジスタ(「JFET」)、(vii)第2JFET、(viii)第3JFET、(ix)第4JFET、(x)第5JFET、および(xi)第6JFET。第1JFET、第2JFET、第3JFET、第4JFET、第5JFETおよび第6JFETの各々は、ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する。
1つの実施形態において、ゲートドライバは、以下のように構築されている:
(i)それぞれ、第1JFETのゲート端子は、第1JFETのソース端子に電気的に繋がれ、及び、第1JFETのドレイン端子は、第1供給電圧を受け取るための第1基準線に電気的に繋がれる;
(ii)それぞれ、第2JFETのゲート端子は、入力に電気的に繋がれ、第2JFETのドレイン端子は、第1JFETのゲート端子およびソース端子に電気的に繋がれ、および、第2JFETのソース端子は、第2供給電圧を受け取るための第2基準線に電気的に繋がれる;
(iii)それぞれ、第3JFETのゲート端子は、第3JFETのソース端子に電気的に繋がれ、及び、第3JFETのドレイン端子は、第1供給電圧を受け取るための第1基準線および第1JFETのドレイン端子に電気的に繋がれる;
(iv)それぞれ、第4JFETのゲート端子は、第1JFETのソース端子及びゲート端子並びに第2JFETのドレイン端子に電気的に繋がれ、第4JFETのドレイン端子は、第3JFETのゲート端子およびソース端子に電気的に繋がれ、及び、第4JFETのソース端子は、第2供給電圧を受け取るための第2基準線および第2JFETのソース端子に電気的に繋がれる;
(v)それぞれ、第5JFETのゲート端子は、第3JFETのソース端子及びゲート端子並びに第4JFETのドレイン端子に電気的に繋がれ、第5JFETのドレイン端子は、第1供給電圧を受け取るための第1基準線、第3JFETのドレイン端子および第1JFETのドレイン端子に電気的に繋がれ、及び、第5JFETのソース端子は出力に電気的に繋がれる;および
(vi)それぞれ、第6JFETのゲート端子は、第1JFETのゲート端子及びソース端子、第2JFETのドレイン端子、並びに第4JFETのゲート端子に電気的に繋がれ、第6JFETのドレイン端子は、第5JFETのソース端子および出力に電気的に繋がれ、及び第6JFETのソース端子は、第2JFETのソース端子、第4JFETのソース端子、および第2供給電圧を受け取るための第2基準線に電気的に繋がれる。
1つの実施形態において、第1JFET、第2JFET、第3JFET、第4JFET、第5JFETおよび第6JFETは、SiC NチャネルJFETである。
1つの実施形態において、第1JFETおよび第3JFETは、デプレションモード型JFETであり、および第2JFET、第4JFET、第5JFET、および第6JFETは、エンハンスメントモード型JFETである。
1つの実施形態において、第1供給電圧を受け取るための第1基準線は、グランド参照陽極電源電圧またはスイッチ共通参照陽極電源電圧に電気的に繋がれ、および第2供給電圧を受け取るための第2基準線は、グランド参照陰極電源電圧またはスイッチ共通参照陰極電源電圧に電気的に繋がれる。ゲートドライバは、第1端子および第2端子を有するレベルシフトコンデンサをさらに含んでいる。コンデンサの第1端子は、入力に電気的に繋がれ、およびコンデンサの第2端子は、第2JFETのゲート端子に電気的に繋がれる。
1つの実施形態において、ゲートドライバは、(i)ゲートドライバの出力を可能にする、または不可能にするためのイネーブル電圧入力、および(ii)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する第7JFETをさらに備える。第7JFETのゲート端子は、イネーブル電圧入力に電気的に繋がれる。第7JFETのソース端子は、グランド端子に電気的に繋がれる。第7JFETのドレイン端子は、第1JFETのソース端子およびゲート端子、第2JFETのドレイン端子、第4JFETのゲート端子、第6JFETのゲート端子に電気的に繋がれ、及び第7JFETのソース端子は、グランド端子に電気的に繋がれる。
別の実施形態において、第1供給電圧を受け取るための第1基準線は、グランド参照陽極電源電圧またはスイッチ共通参照陽極電源電圧に電気的に繋がれ、及び第2供給電圧を受け取るための第2基準線は、グランド端子又はスイッチ共通端子に電気的に繋がれる。
1つの実施形態において、ゲートドライバは、以下をさらに含む:(i)ゲートドライバの出力を可能にする、または不可能にするためのイネーブル電圧入力、(ii)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する第7JFET、ここで、それぞれ、第7JFETのゲート端子は、イネーブル電圧入力に電気的に繋がれ、第7JFETのソース端子は、グランド端子に電気的に繋がれ;および、第7JFETのドレイン端子は、第4JFETのドレイン端子、第3JFETのゲート端子およびソース端子、並びに第5JFETのゲート端子に電気的に繋がれる、および(iii)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する第8JFET、ここで、第8JFETのゲート端子は、イネーブル電圧入力および第7JFETのゲート端子に電気的に繋がれ、第8JFETのドレイン端子は、第6JFETのドレイン端子、および第5JFETのソース端子および出力に電気的に繋がれ、及び第8JFETのソース端子は、グランド端子に電気的にそれぞれ繋がれる。
1つの実施形態において、ゲートドライバへの入力は、弱電流グランド参照入力ロジック信号または弱電流スイッチ共通参照入力ロジック信号である。ゲートドライバの出力は、グランド参照信号又はスイッチ共通参照信号である。
別の態様において、本発明は、高温で作動可能な反転ゲートドライバに関する。1つの実施形態において、反転ゲートドライバは、(i)入力、(ii)出力、(iii)第1供給電圧を受け取るための第1基準線、(iv)第2供給電圧を受け取るための第2基準線、(v)グランド端子、(vi)第1JFET、(vii)第2JFET、(viii)第3JFET、(ix)第4JFET、(x)第5JFET、および(xi)第6JFETを含む。第1JFET、第2JFET、第3JFET、第4JFET、第5JFETおよび第6JFETの各々は、ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する。
1つの実施形態において、ゲートドライバは、以下のように構築されている:
(i)それぞれ、第1JFETのゲート端子は、第1JFETのソース端子に電気的に繋がれ、および、第1JFETのドレイン端子は、第1供給電圧を受け取るための第1基準線に電気的に繋がれる:
(ii)それぞれ、第2JFETのゲート端子は、入力に電気的に繋がれ、第2JFETのドレイン端子は、第1JFETのゲート端子およびソース端子に電気的に繋がれ、及び、第2JFETのソース端子は、第2供給電圧を受け取るための第2基準線に電気的に繋がれる;
(iii)それぞれ、第3JFETのゲート端子は、第3JFETのソース端子に電気的に繋がれ、及び、第3JFETのドレイン端子は、第1供給電圧を受け取るための第1基準線および第1JFETのドレイン端子に電気的に繋がれる;
(iv)第4JFETのゲート端子は、第1JFETのソース端子およびゲート端子、並びに第2JFETのドレイン端子に電気的に繋がれ、第4JFETのドレイン端子は、第3JFETのゲート端子およびソース端子に電気的に繋がれ、及び、第4JFETのソース端子は、第2供給電圧を受け取るための第2基準線および第2JFETのソース端子に電気的にそれぞれ繋がれる;
(v)それぞれ、第5JFETのゲート端子は、第1JFETのソース端子およびゲート端子、第2JFETのドレイン端子および第4JFETのゲート端子に電気的に繋がれ、第5JFETのドレイン端子は、第1供給電圧を受け取るための第1基準線、第3JFETのドレイン端子および第1JFETのドレイン端子に電気的に繋がれ、及び第5JFETのソース端子は、出力に電気的に繋がれる;および
(vi)それぞれ、第6JFETのゲート端子は、第3JFETのゲート端子及びソース端子および第4JFETのドレイン端子に電気的に繋がれ、第6JFETのドレイン端子は、第5JFETのソース端子および出力に電気的に繋がれ、および、第6JFETのソース端子は、第2JFETのソース端子、第4JFETのソース端子及び第2供給電圧を受け取るための第2基準線に電気的に繋がれる。
1つの実施形態において、第1JFET、第2JFET、第3JFET、第4JFET、第5JFETおよび第6JFETは、SiC NチャネルJFETである。
1つの実施形態において、第1JFETおよび第3JFETはデプレションモード型JFETであり、また第2JFET、第4JFET、第5JFET、および第6JFETはエンハンスメントモード型JFETである。
1つの実施形態において、第1供給電圧を受け取るための第1基準線は、グランド参照陽極電源電圧またはスイッチ共通参照陽極電源電圧に電気的に繋がれ、及び第2供給電圧は、グランド参照陰極端子又はスイッチ共通陰極電源電圧に電気的に繋がれる。ゲートドライバは、第1端子および第2端子を有するレベルシフトコンデンサをさらに含んでおり、ここで、コンデンサの第1端子は入力に電気的に繋がれ、及び、コンデンサの第2の端子は、第2JFETのゲート端子に電気的に繋がれる。
別の実施形態において、第1供給電圧を受け取るための第1基準線は、グランド参照陽極電源電圧又はスイッチ共通参照陽極電源電圧に電気的に繋がれ、及び、第2供給電圧を受け取るための第2基準線は、グランド端子またはスイッチ共通端子に電気的に繋がれる。
1つの実施形態において、ゲートドライバへの入力は、弱電流グランド参照入力ロジック信号または弱電流スイッチ共通参照入力ロジック信号である。出力は、グランド参照信号又はスイッチ共通参照信号である。
本発明のこれらのおよび他の態様は、本開示の新しい概念の精神および範囲から外れることなく、その中で変形および修正を受けることがあるが、以下の図面と組み合わされた好ましい実施形態の以下の記載から明白になるだろう。
添付の図面は、本発明の1以上の実施形態を図示し、書かれた記載と共に、本発明の原理を説明するのに役立つ。可能な限り、実施形態の同じまたは類似の要素を指すために、図面の全体にわたって同じ参考番号が使用される。
図1は、本発明の1つの実施形態に係る、陰極電源電圧を備えたSiC高温非反転ゲートドライバの回路図を示す。 図2は、本発明の1つの実施形態に係る、SiC高温グランド参照非反転ゲートドライバの回路図を示す。 図3は、本発明の1つの実施形態に係る、陰極電源電圧及びゲートドライバの出力を可能にする、または不可能にするための電圧イネーブル入力を備えたSiC高温非反転ゲートドライバの回路図を示す。 図4は、本発明の1つの実施形態に係る、ゲートドライバの出力を可能にする、または不可能にするための電圧イネーブル入力を備えたSiC高温グランド参照非反転ゲートドライバの回路図を示す。 図5は、本発明の1つの実施形態に係る、陽極及び陰極の電源電圧を有するSiC高温グランド参照反転ゲートドライバの回路図を示す。 図6は、本発明の1つの実施形態に係る、SiC高温グランド参照陽極電源電圧反転ゲートドライバの回路図を示す。 図7は、図1−4に示される非反転ゲートドライバ用の波形を示す。 図8は、図5−6に示される反転ゲートドライバ用の波形を示す。 図9Aは、本発明の1つの実施形態に係る、ゲートドライバのためのRCドライブインターフェース回路を示す。 図9Bは、本発明の1つの実施形態に係る、ゲートドライバのためのアンチパラレルドライブインターフェース回路を示す。 図10は、SiC型トランジスタを使用したNチャネルロジックトーテムポール回路を示す。 図11は、SiC型トランジスタを使用したNチャネルロジックデプレッション負荷インバータを示す。
本発明は、以下の実施例により具体的に記載されており、それらは、その中で多数の修正又は変形が当業者に明らかであるので、例示のみとして意図される。本発明の様々な実施形態は、ここに詳細に記載される。図面に関して、同種の数は、その図中で同種の部品を示す。本明細書の記載において、及びそれに続く請求項の全体にわたって使用される場合、「1つの("a"、"an")」および「その("the")」は、文脈が明白にそうでないと示さないならば、複数の言及を含んでいる。また、本明細書の記載において、およびそれに続く請求項の全体にわたって使用される場合、「において("in")」は、文脈が明白にそうでないと示さないならば、「において("in")」、「に関して("on")」を含む。
記載は、添付の図面と共に本発明の実施形態に関してなされる。
他のパワートランジスタのように、SiCパワーJFETは、トーテムポールドライバによって典型的に駆動される。このタスクは、Si BJT/MOSFET、同等の絶縁ゲート型電界効果トランジスタ(IGFET)又は金属−絶縁体半導体電界効果トランジスタ(MISFET)を使用し個別に達成することができるが、SiCパワーJFETの最高温度定格にマッチするこれらのタイプの高温小信号個別部品は現在のところない。
小信号の、デプレッションモードおよびエンハンスメントモード型WBG NチャネルJFETは、電流SiCパワーJFETデバイス設計に基づいて製造することができる。利用可能なP型のデバイス設計が現在ないので、単に小信号の、WBG NチャネルJFETからなるゲートドライバは、CMOSロジックではなくNチャネルロジックに基づいた回路設計を必要とする。NチャネルまたはCMOSロジックのいずれかにおけるシリコン個別部品を使用して、同様の回路を設計することができるが、全てのSiC回路がそうであるように、どちらも高温運転ができない。
小信号のデプレッションモードおよびエンハンスメントモード型SiC JFETを使用する全てのSiC Nチャネルロジックゲートドライバを使用する回路は、入力としてデジタルロジックパルスを認めること、及び、パワーJFETによって必要とされる正確な電圧準位およびピーク電流のゲート制御パルスを生成することができる高温ゲートドライバ回路を可能にする。
小信号WBG(SiCまたはGaN)NチャネルJFETのみを使用して、高温ゲートドライバを構築するために、Nチャネルロジックトーテムポールが最初に開発された。図10は、小信号SiC JFET方法を使用するNチャネルロジックトーテムポール(1000)を示す。トーテムポールにおいて使用される装置は、顕著なピーク電流(例えば数アンペア)を通電し、何十ボルトをブロックする必要があることがあるかもしれない。
トーテムポールのハイサイド装置を駆動するために、入力信号はゲートで反転される。これは、小信号SiC JFETのみを使用して構築されたNチャネルロジック反転回路で達成することができる。使用することができる3つの異なる型:エンハンスメント負荷型、デプレッション負荷型、又は抵抗負荷型、のNチャネル・インバータが存在する。
図11は、小信号のSiC JFET技術を使用するNチャネルロジックデプレッション負荷インバータ(1100)を示す。インバータに使用される装置は、トーテムポールJFETのゲートによって必要とされるピーク電流(例えば、数十ミリアンペア)を通電し、同じ電圧準位をブロックする必要のみがある。
任意のドライバの破損が直接ユーザー制御回路網を破損しないように、バッファ回路は、入力制御信号とより低いトーテムポールスイッチの間で使用することができる。トーテムポールスイッチのほんの1つに対する信号が反転されることが必要であるが、より低いトーテムポールFETのためのバッファ回路はまた、インバータ式であり得る。
図1−6は、ゲートドライバ回路の様々な実施形態を示す。図1−6に示されるように、ゲートドライバ回路は、Nチャネルロジックトーテムポールに続く、2つのNチャネルロジックバッファ反転バッファからなる。
本発明の目的に従って、本明細書に具体化され広く記述されるように、本発明は、1つの態様において、非反転ゲートドライバに関する。
ここで図1に言及すると、SiC高温グランド参照非反転ゲートドライバ(100)が、本発明の1つの実施形態によって示される。図1は、デプレションモードおよびエンハンスメントモード、小信号の、NチャネルSiC JFETを使用して開発されたNチャネルゲートドライバ回路の実施形態の回路図面を提供する。1つの実施形態において、非反転ゲートドライバ(100)は、以下を有する:(i)入力Vin、(ii)出力VouT、(iii)第1供給電圧Vddを受け取るための第1基準線、(iv)第2供給電圧Vssを受け取るための第2基準線、(v)グランド端子、(vi)第1JFET、(Ql0l)、(vii)第2JFET(Q102)、(viii)第3JFET(Q103)、(ix)第4JFET(Q104)、(x)第5JFET(Q105)、および(xi)第6JFET(Q106)。第1JFET(Ql0l)、第2JFET(Q102)、第3JFET(Q103)、第4JFET(Q104)、第5JFET(Q105)および第6JFET(Q106)の各々は、ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する。
図1に示されるように、非反転ゲートドライバ(100)回路は、以下の構成で配置される:
●第1JFET(Q101)のゲート端子は、1JFET(Q101)のソース端子に電気的に繋がれる、および
●第1JFET(Q101)のドレイン端子は、第1供給電圧Vddを受け取るための第1基準線に電気的にそれぞれ繋がれる;
●第2JFET(Q102)のゲート端子は、入力Vinに電気的に繋がれる、
●第2JFET(Q102)のドレイン端子は、第1JFET(Q101)のゲート端子およびソース端子に電気的に繋がれる、および
●第2JFET(Q102)のソース端子は、第2供給電圧Vssを受け取るための第2基準線に電気的にそれぞれ繋がれる;
●第3JFET(Q103)のゲート端子は、第3JFET(Q103)のソース端子に電気的に繋がれる、および
●第3JFET(Q103)のドレイン端子は、第1供給電圧Vddを受け取るための第1基準線および第1JFET(Q101)のドレイン端子に電気的にそれぞれ繋がれる;
●第4JFET(Q104)のゲート端子は、第1JFET(Q101)のソース端子およびゲート端子、並びに第2JFET(Q102)のドレイン端子に電気的に繋がれる、
●第4JFET(Q104)のドレイン端子は、第3JFET(Q103)のゲート端子およびソース端子に電気的に繋がれる、および
●第4JFET(Q104)のソース端子は、第2供給電圧Vssを受け取るための第2基準線および第2JFET(Q102)のソース端子に電気的にそれぞれ繋がれる;
●第5JFET(Q105)のゲート端子は、第3JFET(Q103)のソース端子およびゲート端子、並びに第4JFET(Q104)のドレイン端子に電気的に繋がれる、
●第5JFET(Q105)のドレイン端子は、第1供給電圧Vddを受け取るための第1基準線、第3JFET(Q103)のドレイン端子、及び第1JFET(Q101)のドレイン端子に電気的に繋がれる、
●第5JFET(Q105)ソース端子は、出力Voutに電気的にそれぞれ繋がれる;及び
●第6JFET(Q106)のゲート端子は、第1JFET(Q101)のゲート端子およびソース端子、第2JFET(Q102)のドレイン端子、並びに第4JFET(Q104)のゲート端子に電気的に繋がれる、
●第6JFET(Q106)のドレイン端子は、第5JFET(Q105)のソース端子および出力Voutに電気的に繋がれる、および
●第6JFET(Q106)のソース端子は、第2JFET(Q102)のソース端子、第4JFET(Q104)のソース端子、および第2供給電圧Vssを受け取るための第2基準線に電気的にそれぞれ繋がれる。
1つの実施形態において、ゲートドライバ(100)の第1JFET(Q101)、第2JFET(Q102)、第3JFET(Q103)、第4JFET(Q104)、第5JFET(Q105)および第6JFET(Q106)は、炭化ケイ素NチャネルJFETである。
1つの実施形態において、ゲートドライバ(100)の第1JFET(Q101)および第3JFET(Q103)は、デプレションモード型JFETであり、およびゲートドライバ(100)の第2JFET(Q102)、第4JFET(Q104)、第5JFET(Q105)、および第6JFET(Q106)は、エンハンスメントモード型JFETである。
第1供給電圧Vddを受け取るための第1基準線は、グランド参照陽極電源電圧又はスイッチ共通参照陽極電源電圧を電気的に繋がれる。第2供給電圧Vssを受け取るための第2基準線は、グランド参照陰極電源電圧又はスイッチ共通参照陰極電源電圧に電気的に繋がれる。図1に示されるようなこの構成におけるゲートドライバは、レベルシフトコンデンサCをさらに含む。コンデンサCの1つの端子は、入力Vinに電気的に繋がれ、及び、コンデンサCの他方の端子は、第2JFET(Q102)のゲート端子に電気的に繋がれる。
1から2のエンハンスメントモード型JFETの追加によって、イネーブル/ディスエーブル(disable)入力が、ゲート駆動回路に加えられることができる。Venable入力への0Vの適用に対して、ゲートドライバの出力が可能となる。+5VがVenable入力に適用されれば、ゲートドライバの出力Voutは無効になる。これは、イネーブル入力の使用を必要とする任意の回路のための本発明の他の実施例を提供する。電圧VddおよびVssは、デプレションモード型またはエンハンスメントモード型SiCパワーJFETに最適な駆動電圧を供給するために調節することができる。
図3は、本発明の1つの実施形態に係る、ゲートドライバ出力を可能にする/不可能にするための、陰極電源電圧および電圧Venable入力を有するSiC高温ゲートドライバ(300)の回路図である。図3に示されるように、回路は、(i)ゲートドライバの出力Voutを可能にする、又は不可能にするためのイネーブル電圧入力Venable、および(ii)第7JFET(Q307)を含む。第7JFET(Q307)のゲート端子は、イネーブル電圧入力Venableに電気的に繋がれ、第7JFET(Q307)のソース端子は、グランド端子に電気的に繋がれ、および第7JFET(Q307)のドレイン端子は、第1JFET(Q301)のソース端子およびゲート端子、第2JFET(Q302)のドレイン端子、第4JFET(Q304)のゲート端子、第6JFET(Q306)のゲート端子に電気的に繋がれ、および第7JFET(Q307)のソース端子は、グランド端子に電気的に繋がれる。
別の実施形態において、第1供給電圧Vddを受け取るための第1基準線は、グランド参照陽極電源電圧またはスイッチ共通参照陽極電源電圧に電気的に繋がれ、および第2供給電圧Vssを受け取るための第2基準線は、グランド端子またはスイッチ共通端子に電気的に繋がれる。本発明の1つの実施形態に係る、ゲートドライバ出力を可能にする/不可能にするための電圧Venable入力を伴うSiC高温グランド参照非反転ゲートドライバ(400)の回路図を、図4に示す。図4に示されるように、ゲートドライバ(400)は、以下をさらに含む:(i)ゲートドライバの出力Voutを可能にする、または不可能にするためのイネーブル電圧入力Venable、(ii)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有している第7JFET(Q407)、ここで、第7JFET(Q407)のゲート端子は、イネーブル電圧入力Venableに電気的に繋がれ、第7JFET(Q407)のソース端子は、グランド端子に電気的に繋がれ;および、第7JFET(Q407)のドレイン端子は、第4JFET(Q404)のドレイン端子、第3JFET(Q403)のゲート端子およびソース端子、および第5JFETのゲート端子にそれぞれ電気的に繋がれる、および(iii)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する第8JFET(Q408)、ここで、第8JFET(Q408)のゲート端子は、イネーブル電圧入力Venableおよび第7JFET(Q407)のゲート端子に電気的に繋がれ、第8JFET(Q408)のソース端子は、グランド端子に電気的に繋がれ、及び、第8JFET(Q408)のドレイン端子は、第6JFET(Q406)のドレイン端子、第5JFET(Q405)のソース端子および出力Voutに電気的にそれぞれ繋がれる。
1つの実施形態において、ゲートドライバの入力Vinは、弱電流のグランド参照入力ロジック信号、または弱電流スイッチ共通参照入力ロジック信号である。ゲートドライバの出力Voutは、グランド参照信号又はスイッチ共通参照信号である。
別の態様において、本発明は反転ゲートドライバに関する。図5に示されるような1つの実施形態において、反転ゲートドライバ(500)は、(i)入力Vin、(ii)出力Vout、(iii)第1供給電圧Vddを受け取るための第1基準線、(iv)第2供給電圧Vssを受け取るための第2基準線、(v)グランド端子、(vi)第1JFET(Q501)、(vii)第2JFET(Q502)、(viii)第3JFET、(Q503)、(ix)第4JFET(Q504)、(x)第5JFET(Q505)、および(xi)第6JFET(Q506)を含む。第1JFET(Q501)、第2JFET(Q502)、第3JFET(Q503)、第4JFET(Q504)、第5JFET(Q505)および第6JFET(Q506)の各々は、ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する。
図5に示されるように、非反転ゲートドライバ(500)回路は、以下の構成で配置され得る:
●第1JFET(Q501)のゲート端子は、第1JFET(Q501)のソース端子に電気的に繋がれる、および
●第1JFET(Q501)のドレイン端子は、第1供給電圧Vddを受け取るための第1基準線に電気的にそれぞれ繋がれる;
●第2JFET(Q502)のゲート端子は、レベルシフトコンデンサCを経て入力Vinに電気的に繋がれる、
●第2JFET(Q502)のドレイン端子は、第1JFET(Q501)のゲート端子およびソース端子に電気的に繋がれる、および
●第2JFET(Q502)のソース端子は、第2供給電圧Vssを受け取るための第2基準線に電気的にそれぞれ繋がれる;
●第3JFET(Q503)のゲート端子は、第3JFET(Q503)のソース端子に電気的に繋がれる、および
●第3JFET(Q503)のドレイン端子は、第1供給電圧Vddを受け取るための第1基準線および第1JFET(Q501)のドレイン端子に電気的にそれぞれ繋がれる;
●第4JFET(Q504)のゲート端子は、第1JFET(Q501)のソース端子およびゲート端子および第2JFET(Q502)のドレイン端子に電気的に繋がれる、?
●第4JFET(Q504)のドレイン端子は、第3JFET(Q503)のゲート端子およびソース端子に電気的に繋がれる、および
●第4JFET(Q504)のソース端子は、第2供給電圧Vssを受け取るための第2基準線および第2JFET(Q502)のソース端子に電気的にそれぞれ繋がれる;
●第5JFET(Q505)のゲート端子は、第1JFET(Q501)のソース端子およびゲート端子、第2JFET(Q502)のドレイン端子、および第4JFET(Q504)のゲート端子に電気的に繋がれる、
●第5JFET(Q505)のドレイン端子は、第1供給電圧Vddを受け取るための第1基準線、第3JFET(Q503)のドレイン端子、および第1JFET(Q501)のドレイン端子に電気的に繋がれる、
●第5JFET(Q505)のソース端子は、出力Voutに電気的にそれぞれ繋がれる、および
●第6JFET(Q506)のゲート端子は、第3JFET(Q503)のゲート端子およびソース端子、および第4JFET(Q504)のドレイン端子に電気的に繋がれる、
●第6JFET(Q506)のドレイン端子は、第5JFET(Q505)のソース端子および出力Voutに電気的に繋がれる、および
●第6JFET(Q506)のソース端子は、第2JFET(Q502)のソース端子、第4JFET(Q504)のソース端子および第2供給電圧Vssを受け取るための第2基準線に電気的にそれぞれ繋がれる。
1つの実施形態において、ゲートドライバ(500)の第1JFET(Q501)、第2JFET(Q502)、第3JFET(Q503)、第4JFET(Q504)、第5JFET(Q505)および第6JFET(Q506)は、炭化ケイ素NチャネルJFETである。
1つの実施形態において、ゲートドライバ(500)の第1JFET(Q501)および第3JFET(Q503)は、デプレションモード型JFETであり、およびゲートドライバ(500)の第2JFET(Q502)、第4JFET(Q504)、第5JFET(Q505)、および第6JFET(Q506)は、エンハンスメントモード型JFETである。
図5に示されるような実施形態において、第1供給電圧Vddを受け取るためのゲートドライバの第1基準線は、グランド参照陽極電源電圧又はスイッチ共通参照陽極電源電圧に電気的に繋がれる。第2供給電圧Vssを受け取るための第2基準線は、グランド参照陰極電源電圧又はスイッチ共通参照陰極電源電圧に電気的に繋がれる。
図6に示されるような別の実施形態において、第1供給電圧Vddを受け取るためのゲートドライバの第1基準線は、グランド参照陽極電源電圧又はスイッチ共通参照陽極電源電圧に電気的に繋がれる。第2供給電圧Vssを受け取るための第2基準線は、グランド端子またはスイッチ共通端子に電気的に繋がれる。
1つの実施形態において、ゲートドライバの入力Vinは、弱電流の、グランド参照ロジック信号、又は弱電流スイッチ共通参照ロジック信号である。ゲートドライバの出力Voutは、グランド参照信号、又は弱電流スイッチ共通参照信号である。
図1−6において、反転バッファ段は、抵抗負荷型、エンハンスメント負荷型、又はデプレッション負荷型の構成に基づいて作成され得る。第1および第2JFETを含む第1反転バッファは、第3および第4JFET、およびトーテムポールトランジスタの1つ、非反転回路用の第6JFETおよび反転回路用の第5JFETを含む第2インバータを駆動させる。第1インバータは、トーテムポールトランジスタの1つを駆動するために十分な電流増幅を提供する。その後、第2インバータは、他のトーテムポールトランジスタ、非反転回路用の第5JFETおよび反転回路用の第6JFETを駆動するために使用される。
図2−6に示される他の実施形態において、主な違いは、第1インバータは、反転回路用の第6JFETの代わりに非反転回路用の第5JFETを駆動させ、および第2のインバータは、反転回路用の第5JFETの代わりに非反転回路用の第6JFETを駆動させることである。図1に示されるような非反転回路のために、ロジックハイ状態への入力制御電圧Vin変化として、第2JFET(エンハンスメントモード型トランジスタ)は第1インバータの出力を低く下げる通電へと駆動される。第1トランジスタ(デプレションモード型トランジスタ)は飽和へと導かれ、そのオンステージ電圧をVddまで浮上させる。第4JFET(エンハンスメントモード型)のゲートは、グランドまで下げられ、第1インバータの出力によってピンチオフ状態で保持される。その後、第2インバータの出力は、第3JFET(デプレションモード型トランジスタ)によってVddまで引き上げられる。第2インバータの出力は、通電へ第5JFET(エンハンスメントモード型トランジスタ)を駆動させ、Vddまでの回路の出力を引き上げる。一旦入力がロジックロ−状態に移行すれば、第2JFETは、ピンチオフされ、第1JFETは、第1インバータの出力を高く引き上げる。第4JFETは、第2のインバータの出力を低く引き下げる時に作動される。第5JFETはピンチオフされ、および第6JFETは、ドライバ回路の出力を低く引き下げる時に作動される。
図7は、図1−4の非反転ゲートドライバ用の波形を示す。
図8は、図5−6の反転ゲートドライバ用の波形を示す。
最初に記述されたSiCパワーJFETを備える本発明のゲートドライバを十分に利用するために、さらなるドライバインターフェース回路が使用されてもよい。図9Aにおいて、RC駆動インターフェース回路が、本発明の1つの実施形態によって示される。図9Bにおいてアンチパラレルダイオード駆動インターフェース回路が、本発明の1つの実施形態によって示される。これらの回路は、さらなる電圧準位のシフトおよびゲート電流制御のために使用することができる。さらなる一連のゲート抵抗(それが個別部品であろうと、または等価抵抗であろうと)が、さらなるdV/dt制御を提供するために含まれ得る。
本発明の実施形態は、本出願に基づく様々な方法で作り上げることができる。
1つの実施形態において、ゲートドライバは、個別の、小信号の、炭化ケイ素の、デプレションモード型およびエンハンスメントモード型の、NチャネルJFETを使用することによって作り上げることができる。
別の実施形態において、ゲートドライバは、SiCパワーJFETを駆動するためにシングルチップ・ゲートドライバを提供するために、高温で作動可能なパッケージ内の集積回路において製造することができる。この形態において、シングルチップ・ゲートドライバは、SiCパワーJFETに非常に接近して配置することができる。
さらなる別の実施形態において、ゲートドライバは、集積ゲートドライバ/スイッチソリューションを提供するために、高温で作動可能なパッケージに入れられたパワーJFETを備えるシングルチップ集積回路において製造することができる。
入力制御信号は、ドライバ回路の出力に接続されたパワートランジスタとして、同じグランドまたはスイッチコモンに言及され得る。この回路は、ほとんどのローサイドとハイサイドの適用に適している。
本発明の代表的な実施形態の前述の記載は、説明と記載のためにのみ示されており、本発明を、開示された正確な形式に徹底する、または制限することは意図されない。多くの修正および変形が上記の教示内容に照らして可能である。
実施形態は、当業者が本発明および様々な実施形態を利用するように、本発明の原理とそれらの実用化について説明するために選ばれ記述され、そして予期される特定の使用に適するような様々な改良を伴う。代替的な実施形態が、本発明がその精神及び範囲から外れることなく、関係する当該技術分野の当業者に明白になるだろう。従って、本発明の範囲は、本明細書の前述の記載および例示的実施形態ではなく、添付された特許請求の範囲によって定義される。
参考文献
[1]D. A. Neamen, "Electronic Circuit Analysis and Design," Irwin, 1996, pp. 934- 936
[2]米国特許第3,700,981号。
[3] 米国特許第4,042,839号。
[4]米国特許第3,775,693号。

Claims (22)

  1. (a)入力、
    (b)出力、
    (c)第1供給電圧を受け取るための第1基準線、
    (d)第2供給電圧を受け取るための第2基準線、
    (e)グランド端子、
    (f)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する第1接合形電界効果トランジスタ(JFET)、
    (g)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する第2JFET、
    (h)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する第3JFET、
    (i)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する第4JFET、
    (j)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する第5JFET、および
    (k)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する第6JFET、
    を含む非反転ゲートドライバであって、
    前記第1JFETにおいて、それぞれ、第1JFETのゲート端子は、第1JFETのソース端子に電気的に繋がれ、及び、第1JFETのドレイン端子は、第1供給電圧を受け取るための第1基準線に電気的に繋がれ、
    前記第2JFETにおいて、それぞれ、第2JFETのゲート端子は、入力に電気的に繋がれ、第2JFETのドレイン端子は、第1JFETのゲート端子およびソース端子に電気的に繋がれ、および、第2JFETのソース端子は、第2供給電圧を受け取るための第2基準線に電気的に繋がれ、
    前記第3JFETにおいて、それぞれ、第3JFETのゲート端子は、第3JFETのソース端子に電気的に繋がれ、及び、第3JFETのドレイン端子は、第1供給電圧を受け取るための第1基準線および第1JFETのドレイン端子に電気的に繋がれ、
    前記第4JFETにおいて、それぞれ、第4JFETのゲート端子は、第1JFETのソース端子及びゲート端子並びに第2JFETのドレイン端子に電気的に繋がれ、第4JFETのドレイン端子は、第3JFETのゲート端子およびソース端子に電気的に繋がれ、及び、第4JFETのソース端子は、第2供給電圧を受け取るための第2基準線および第2JFETのソース端子に電気的に繋がれ、
    前記第5JFETにおいて、それぞれ、第5JFETのゲート端子は、第3JFETのソース端子及びゲート端子並びに第4JFETのドレイン端子に電気的に繋がれ、第5JFETのドレイン端子は、第1供給電圧を受け取るための第1基準線、第3JFETのドレイン端子および第1JFETのドレイン端子に電気的に繋がれ、及び、第5JFETのソース端子は出力に電気的に繋がれ、
    前記第6JFETにおいて、それぞれ、第6JFETのゲート端子は、第1JFETのゲート端子及びソース端子、第2JFETのドレイン端子、並びに第4JFETのゲート端子に電気的に繋がれ、第6JFETのドレイン端子は、第5JFETのソース端子および出力に電気的に繋がれ、及び第6JFETのソース端子は、第2JFETのソース端子、第4JFETのソース端子、および第2供給電圧を受け取るための第2基準線に電気的に繋がれる、
    ことを特徴とする非反転ゲートドライバ。
  2. 前記第1JFET、前記第2JFET、前記第3JFET、前記第4JFET、前記第5JFETおよび前記第6JFETは、各々、炭化ケイ素NチャネルJFETを含むことを特徴とする請求項1に記載のゲートドライバ。
  3. 前記第1JFETおよび前記第3JFETは、各々、デプレションモード型JFETを含み、および前記第2JFET、前記第4JFET、前記第5JFET、および前記第6JFETは、各々、エンハンスメントモード型JFETを含むことを特徴とする請求項2に記載のゲートドライバ。
  4. 第1供給電圧を受け取るための前記第1基準線は、グランド参照陽極電源電圧またはスイッチ共通参照陽極電源電圧に電気的に繋がれ、および第2供給電圧を受け取るための前記第2基準線は、グランド参照陰極電源電圧またはスイッチ共通参照陰極電源電圧および第2供給電圧に電気的に繋がれることを特徴とする請求項1に記載のゲートドライバ。
  5. 第1端子および第2端子を有するレベルシフトコンデンサをさらに含む請求項4に記載のゲートドライバであって、前記コンデンサの第1端子は、入力に電気的に繋がれ、および前記コンデンサの第2端子は、前記第2JFETのゲート端子に電気的に繋がれることを特徴とする請求項4に記載のゲートドライバ。
  6. (l)前記ゲートドライバの出力を可能にする、または不可能にするためのイネーブル電圧入力、および
    (m)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する第7JFET、
    をさらに含む請求項5に記載のゲートドライバであって、
    前記第7JFETにおいて、第7JFETのゲート端子は、前記イネーブル電圧入力に電気的に繋がれ、第7JFETのドレイン端子は、第1JFETのソース端子およびゲート端子、第2JFETのドレイン端子、第4JFETのゲート端子、第6JFETのゲート端子に電気的に繋がれ、及び第7JFETのソース端子は、グランド端子に電気的に繋がれることを特徴とする請求項5に記載のゲートドライバ。
  7. 第1供給電圧を受け取るための前記第1基準線は、グランド参照陽極電源電圧またはスイッチ共通参照陽極電源電圧に電気的に繋がれ、及び第2供給電圧を受け取るための前記第2基準線は、グランド端子又はスイッチ共通端子に電気的に繋がれることを特徴とする請求項1に記載のゲートドライバ。
  8. (l)前記ゲートドライバの出力を可能にする、または不可能にするためのイネーブル電圧入力、
    (m)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する第7JFET、および
    (n)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する第8JFET、
    をさらに含む請求項7に記載のゲートドライバであって、
    前記第7JFETにおいて、それぞれ、第7JFETのゲート端子は、前記イネーブル電圧入力に電気的に繋がれ、第7JFETのドレイン端子は、第4JFETのドレイン端子、第3JFETのゲート端子およびソース端子、並びに第5JFETのゲート端子に電気的に繋がれ、及び、第7JFETのソース端子は、グランド端子に電気的に繋がれ、
    前記第8JFETにおいて、それぞれ、第8JFETのゲート端子は、イネーブル電圧入力および第7JFETのゲート端子に電気的に繋がれ、第8JFETのドレイン端子は、第6JFETのドレイン端子、第5JFETのソース端子および出力に電気的に繋がれ、及び第8JFETのソース端子は、グランド端子に電気的に繋がれる、
    ことを特徴とする請求項7に記載のゲートドライバ。
  9. 前記入力は、弱電流グランド参照入力ロジック信号または弱電流スイッチ共通参照入力ロジック信号であることを特徴とする請求項1に記載のゲートドライバ。
  10. 前記出力は、グランド参照信号又はスイッチ共通参照信号であることを特徴とする請求項1に記載のゲートドライバ。
  11. (a)入力、
    (b)出力、
    (c)第1供給電圧を受け取るための第1基準線、
    (d)第2供給電圧を受け取るための第2基準線、
    (e)グランド端子、
    (f)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する第1JFET、
    (g)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する第2JFET、
    (h)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する第3JFET、
    (i)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する第4JFET、
    (j)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する第5JFET、および
    (k)ゲート端子、ソース端子およびドレイン端子を有する第6JFET、
    を含む反転ゲートドライバであって、
    前記第1JFETにおいて、それぞれ、第1JFETのゲート端子は、第1JFETのソース端子に電気的に繋がれ、および、第1JFETのドレイン端子は、第1供給電圧を受け取るための第1基準線に電気的に繋がれ、
    前記第2JFETにおいて、それぞれ、第2JFETのゲート端子は、入力に電気的に繋がれ、第2JFETのドレイン端子は、第1JFETのゲート端子およびソース端子に電気的に繋がれ、及び、第2JFETのソース端子は、第2供給電圧を受け取るための第2基準線に電気的に繋がれ、
    前記第3JFETにおいて、それぞれ、第3JFETのゲート端子は、第3JFETのソース端子に電気的に繋がれ、及び、第3JFETのドレイン端子は、第1供給電圧を受け取るための第1基準線および第1JFETのドレイン端子に電気的に繋がれ、
    前記第4JFETにおいて、それぞれ、第4JFETのゲート端子は、第1JFETのソース端子及びゲート端子、並びに第2JFETのドレイン端子に電気的に繋がれ、第4JFETのドレイン端子は、第3JFETのゲート端子およびソース端子に電気的に繋がれ、及び、第4JFETのソース端子は、第2供給電圧を受け取るための第2基準線および第2JFETのソース端子に電気的に繋がれ、
    前記第5JFETにおいて、それぞれ、第5JFETのゲート端子は、第1JFETのソース端子およびゲート端子、第2JFETのドレイン端子および第4JFETのゲート端子に電気的に繋がれ、第5JFETのドレイン端子は、第1供給電圧を受け取るための第1基準線、第3JFETのドレイン端子および第1JFETのドレイン端子に電気的に繋がれ、及び第5JFETのソース端子は、出力に電気的に繋がれ、
    前記第6JFETにおいて、それぞれ、第6JFETのゲート端子は、第3JFETのゲート端子及びソース端子並びに第4JFETのドレイン端子に電気的に繋がれ、第6JFETのドレイン端子は、第5JFETのソース端子および出力に電気的に繋がれ、および、第6JFETのソース端子は、第2JFETのソース端子、第4JFETのソース端子及び第2供給電圧を受け取るための第2基準線に電気的に繋がれる、
    ことを特徴とする反転ゲートドライバ。
  12. 前記第1JFET、前記第2JFET、前記第3JFET、前記第4JFET、前記第5JFETおよび前記第6JFETは、炭化ケイ素NチャネルJFETを含むことを特徴とする請求項11に記載のゲートドライバ。
  13. 前記第1JFETおよび前記第3JFETは、各々、デプレションモード型JFETを含み、および前記第2JFET、前記第4JFET、前記第5JFET、および前記第6JFETは、各々、エンハンスメントモード型JFETを含むことを特徴とする請求項12に記載のゲートドライバ。
  14. 第1供給電圧を受け取るための前記第1基準線は、グランド参照陽極電源電圧またはスイッチ共通参照陽極電源電圧に電気的に繋がれ、及び第2供給電圧は、グランド参照陰極端子又はスイッチ共通陰極電源電圧に電気的に繋がれることを特徴とする請求項11に記載のゲートドライバ。
  15. 第1端子および第2端子を有するレベルシフトコンデンサをさらに含む請求項14に記載のゲートドライバであって、前記コンデンサの第1端子は、入力に電気的に繋がれ、及び、前記コンデンサの第2の端子は、第2JFETのゲート端子に電気的に繋がれることを特徴とする請求項14に記載のゲートドライバ。
  16. 第1供給電圧を受け取るための前記第1基準線は、グランド参照陽極電源電圧又はスイッチ共通参照陽極電源電圧に電気的に繋がれ、及び、第2供給電圧を受け取るための前記第2基準線は、グランド端子またはスイッチ共通端子に電気的に繋がれることを特徴とする請求項11に記載のゲートドライバ。
  17. 前記入力は、弱電流グランド参照入力ロジック信号または弱電流スイッチ共通参照入力ロジック信号を含むことを特徴とする請求項11に記載のゲートドライバ。
  18. 前記出力は、グランド参照信号又はスイッチ共通参照信号を含むことを特徴とする請求項11に記載のゲートドライバ。
  19. 請求項1に記載の非反転ゲートドライバ、
    任意に、RC駆動インターフェース回路又はアンチパラレルダイオード駆動インターフェース回路、および
    ワイドバンドギャップ半導体パワーJFET、
    を含むことを特徴とする集積回路。
  20. 前記ワイドバンドギャップ半導体パワーJFETが、SiCパワーJFETであることを特徴とする請求項19に記載の集積回路。
  21. 請求項11に記載の反転ゲートドライバ、
    任意に、RC駆動インターフェース回路又はアンチパラレルダイオード駆動インターフェース回路、および
    ワイドバンドギャップ半導体パワーJFET、
    を含むことを特徴とする集積回路。
  22. 前記ワイドバンドギャップ半導体パワーJFETが、SiCパワーJFETであることを特徴とする請求項21に記載の集積回路。
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