JP2012517707A - 結像光学系及びこの種の結像光学系を有するマイクロリソグラフィ用の投影露光装置 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2
Description
ここで、次式(2)が適用される。
Zは、点x,y(x2+y2=r2)における自由曲面の立ち上がり高さ(サジッタ)である。cは、対応する非球面の頂点曲率に対応する定数である。kは、対応する非球面の円錐定数に対応する。Cjは、単項式XmYnの係数である。一般的に、c、k、及びCjの値は、投影光学系7内のミラーの望ましい光学特性に基づいて判断される。単項式の次数m+nは、必要に応じて変更することができる。高次の単項式は、改善された像誤差補正を有する投影光学系の設計をもたらすことができるが、計算することがより複雑であり、m+nは、3と20超の間の値を採用することができる。
5 物体平面
7 結像光学系
8 像視野
9 像平面
18 貫通開口部
M1からM6 ミラー
Claims (16)
- 物体平面(5)の物体視野(4)を像平面(9)の像視野(8)内に結像する複数のミラー(M1からM6)を有し、該物体視野(4)と該像視野(8)の間の結像光(3)のビーム経路における最後のミラー(M6)が該結像光(3)の通過のための貫通開口部(18)を有する結像光学系(7)であって、
物体視野(4)と像視野(8)の間の結像光(3)のビーム経路における結像光学系(7)の最後から2番目のミラー(M5)が、該像視野(8)の前の結像光束(22)の外側に配置され、
前記最後から2番目のミラー(M5)の光学的使用領域における該最後から2番目のミラー(M5)の反射面が、前記結像光(3)の通過のための貫通開口部を持たない、
ことを特徴とする結像光学系(7)。 - 物体平面(5)の物体視野(4)を像平面(9)の像視野(8)内に結像する複数のミラー(M1からM6)を有する結像光学系(7)であって、
20%よりも小さい瞳掩蔽がもたらされるような方法での結像光学系(7)の光学構成要素の配列、
を特徴とする結像光学系(7)。 - 前記結像光(3)の前記ビーム経路における結像光学系(7)の最後から2番目のミラー(M5)の前記像視野(8)からの作動間隔(dw)が、少なくとも20mmであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の結像光学系。
- 前記ビーム経路における最後から2番目のミラー(M5)上の前記結像光(3)の入射角が、最大で35°であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の結像光学系。
- 前記物体視野(4)と前記像視野(8)の間の前記結像光(3)の前記ビーム経路における最後から3番目のミラー(M4)と該ビーム経路における最後から2番目のミラー(M5)との間に結像ビーム経路区画(21)を有し、
一方で前記結像ビーム経路区画(21)の前の前記結像ビーム経路の少なくとも1つの部分、及び他方で前記像視野(8)の前記領域における結像光束(22)が、該結像ビーム経路区画(21)の相対する側で誘導される、
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の結像光学系。 - 前記物体視野(4)と前記像視野(8)の間の前記結像光(3)の前記ビーム経路における最後から3番目のミラー(M4)と該ビーム経路における最後から2番目のミラー(M5)との間に結像ビーム経路区画(21)を有し、
一方で前記結像ビーム経路区画(21)の前の前記結像ビーム経路の少なくとも1つの部分、及び他方で前記像視野(8)の前記領域における結像光束(22)が、該結像ビーム経路区画(21)の同じ側で誘導される、
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の結像光学系。 - 前記物体視野(4)と前記像視野(8)の間の前記結像光(3)の前記ビーム経路における最後から3番目のミラー(M4)及び該ビーム経路における最後から6番目のミラー(M1)が、背中合わせで配置されることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の結像光学系。
- 少なくとも1つの中間像(19,26)が、前記物体視野(4)と前記像視野(8)の間の前記結像光(3)の前記ビーム経路に存在することを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の結像光学系。
- 結像ビーム経路区画(24,28;24,21;28,24;28,25)の間の少なくとも1つの交差領域(29,30,31,32)を特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の結像光学系。
- 少なくとも0.3の開口数を特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の結像光学系。
- 前記像視野(8)は、矩形視野として構成されることを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の結像光学系。
- 結像光学系(7)が、マイクロリソグラフィのための投影光学系として構成されることを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の結像光学系。
- マイクロリソグラフィのための投影露光装置であって、
請求項12に記載の投影光学系(7)を有し、
照明及び結像光(3)のための光源(2)を有し、
結像光学系(7)の物体視野(4)に前記照明光(3)を誘導するための照明光学系(6)を有する、
ことを特徴とする投影露光装置。 - 前記光源(2)は、5nmと30nmの間の波長を有する照明光(3)を生成するように構成されることを特徴とする請求項13に記載の投影露光装置。
- 構造化構成要素を生成する方法であって、
レチクル(10)とウェーハ(11)を準備する方法段階と、
請求項13又は請求項14に記載の投影露光装置を用いて前記レチクル(10)上の構造を前記ウェーハ(11)の感光層上に投影する方法段階と、
前記ウェーハ(11)上に微細構造又はナノ構造を生成する方法段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 請求項15に記載の方法によって製造された構造化構成要素。
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