JP2011243267A - 回路付サスペンション基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
ベース絶縁層12の上に、スライダ7に実装される磁気ヘッド6の接続端子9に接続されるヘッド側端子17を有する導体パターン13を備える回路付サスペンション基板1において、スライダ7が配置されるスライダ搭載領域8の金属支持基板11をエッチングして、ヘッド側端子17が配置されているベース絶縁層12の下面を露出させる開口部15を形成する。
【選択図】図2
Description
(第2実施形態)
図4は、本発明の回路付サスペンション基板の第2実施形態を説明するための説明図である。なお、第2実施形態において、第1実施形態と同様の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
(第3実施形態)
図5は、本発明の回路付サスペンション基板の第3実施形態を説明するための説明図である。図6は、本発明の回路付サスペンション基板の第3実施形態の変形例を説明するための説明図である。なお、第3実施形態において、第1実施形態および第2実施形態と同様の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
(第4実施形態)
図7は、本発明の回路付サスペンション基板の第4実施形態を説明するための説明図である。なお、第4実施形態において、第3実施形態と同様の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
(その他の変形例)
上記した第2実施形態、第3実施形態および第4実施形態では、第1補強部21および第2補強部31を底面視略円形状に形成したが、第1補強部21および第2補強部31の形状は、特に限定されず、例えば、底面視略矩形状や底面視略六角形状に形成することもできる。
まず、厚み20μmのステンレス(熱膨張率:18×10−6/℃)からなる金属支持基板を用意し(図3(a)参照)、次いで、金属支持基板の表面に、感光性ポリアミック酸樹脂のワニスを塗布し、乾燥後、露光および現像し、さらに加熱硬化することにより、厚み10μmのポリイミドからなるベース絶縁層を、上記したパターンで形成した(図3(b)参照)。
第1エッチング工程において、金属支持基板をエッチングしなかった以外は、上記した実施例と同様にして、回路付サスペンション基板を得た。
実施例および比較例で得られた回路付サスペンション基板のスライダ搭載領域に、スライダ(熱膨張率:7.5×10−6/℃)を接合するとともに、ヘッド側端子に磁気ヘッドの接続端子をはんだ接続し、スライダが接合された回路付サスペンション基板を得た。その回路付サスペンション基板を、−40℃から150℃まで加熱、および、150℃から−40℃まで冷却することを1サイクルとして、1000サイクル、加熱および冷却し、磁気ヘッドの接続端子とヘッド側端子との接続部分を観察した。
6 磁気ヘッド
7 スライダ
8 スライダ搭載領域
9 接続端子
11 金属支持基板
12 ベース絶縁層
13 導体パターン
17 ヘッド側端子
21 第1補強部
31 第2補強部
Claims (4)
- 金属支持基板と、前記金属支持基板の上に形成される絶縁層と、前記絶縁層の上に形成され、スライダに実装される磁気ヘッドの接続端子に接続される端子部を有する導体パターンとを備える回路付サスペンション基板であって、
前記スライダが配置されるスライダ搭載領域が区画されており、
前記端子部は、前記スライダ搭載領域において、互いに間隔を隔てて複数設けられており、
前記金属支持基板には、前記スライダ搭載領域において、前記端子部が配置されている前記絶縁層を露出するように開口される開口部が形成されていることを特徴とする、回路付サスペンション基板。 - 前記スライダ搭載領域には、前記開口部内において、前記端子部に対応して、前記金属支持基板からなる第1補強部が設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の回路付サスペンション基板。
- 前記スライダ搭載領域には、前記開口部内において、前記第1補強部から離間するように、前記金属支持基板からなる第2補強部が設けられていることを特徴とする、請求項2に記載の回路付サスペンション基板。
- 金属支持基板と、前記金属支持基板の上に形成される絶縁層と、前記絶縁層の上に形成され、スライダに実装される磁気ヘッドの接続端子に接続される端子部を有する導体パターンとを形成する積層工程と、
前記スライダが配置されるスライダ搭載領域において、前記金属支持基板をエッチングして、前記端子部が配置されている前記絶縁層の下面を露出させるエッチング工程とを備えることを特徴とする、回路付サスペンション基板の製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017107621A (ja) * | 2015-12-07 | 2017-06-15 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板、および、回路付サスペンション基板の製造方法 |
US11005010B2 (en) | 2015-06-12 | 2021-05-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Phosphor and method of manufacturing same, and LED lamp |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6125305B2 (ja) * | 2013-04-19 | 2017-05-10 | 日東電工株式会社 | 回路付きサスペンション基板および回路付きサスペンション基板集合体シートならびにこれらの製造方法 |
JP6280828B2 (ja) * | 2014-07-07 | 2018-02-14 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板 |
JP6802688B2 (ja) * | 2016-11-02 | 2020-12-16 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板 |
JP6951240B2 (ja) * | 2017-12-27 | 2021-10-20 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板および回路付サスペンション基板の製造方法 |
JP2020150026A (ja) * | 2019-03-11 | 2020-09-17 | 株式会社村田製作所 | 多層配線基板 |
Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5896248A (en) * | 1997-09-05 | 1999-04-20 | Read-Rite Corporation | Bond pads for metal welding of flexure to air bearing slider and grounding configuration thereof |
US5914834A (en) * | 1996-06-17 | 1999-06-22 | Hutchinson Technology, Inc. | Head suspension assembly with electrical interconnect by slider bond pads and gimbal bonding zones |
US6052258A (en) * | 1998-05-29 | 2000-04-18 | International Business Machines Corporation | Transducer suspension system |
JP2001043647A (ja) * | 1999-07-15 | 2001-02-16 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ハードディスク装置、スライダ保持構造、ヘッド・ジンバル・アッセンブリ及びその製造方法 |
US6539609B2 (en) * | 1994-07-05 | 2003-04-01 | International Business Machines Corporation | Method of forming a head gimbal assembly |
JP2003123217A (ja) * | 2001-10-11 | 2003-04-25 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 配線一体型サスペンション及びその製造方法 |
JP2004326891A (ja) * | 2003-04-23 | 2004-11-18 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | サスペンション・アセンブリ及び回転円板形記憶装置 |
JP2005251262A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | ヘッド/スライダ支持構造及び回転円板形記憶装置 |
US6965501B1 (en) * | 2000-09-28 | 2005-11-15 | Hitachi Global Storage Technologies, The Netherlands B.V. | Integrated lead suspension for high density drive |
US6965499B1 (en) * | 2002-04-25 | 2005-11-15 | Hutchinson Technology Incorporated | Head suspension configured for improved thermal performance during solder ball bonding to head slider |
JP2006120288A (ja) * | 2004-10-25 | 2006-05-11 | Nitto Denko Corp | 回路付サスペンション基板 |
JP2007012111A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Shinka Jitsugyo Kk | 磁気ヘッドスライダを搭載するサスペンション及びヘッドジンバルアッセンブリ並びにハードディスクドライブ |
JP2008159245A (ja) * | 2006-12-21 | 2008-07-10 | Shinka Jitsugyo Kk | ヘッドジンバルアセンブリとその製造方法及びディスクドライブユニット |
US7403357B1 (en) * | 2004-08-05 | 2008-07-22 | Maxtor Corporation | Disk drive flexure assembly with a plurality of support bond pad apertures with a bond pad disposed over a bond pad support and part of each support bond pad aperture |
JP2010040115A (ja) * | 2008-08-06 | 2010-02-18 | Nitto Denko Corp | 回路付サスペンション基板 |
US20100118443A1 (en) * | 2008-11-11 | 2010-05-13 | Nitto Denko Corporation | Suspension board with circuit and producing method thereof |
US8218268B1 (en) * | 2009-05-27 | 2012-07-10 | Western Digital Technologies, Inc. | Head gimbal assembly having a load beam aperature over conductive heating pads that are offset from head bonding pads |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4019068B2 (ja) * | 2004-05-10 | 2007-12-05 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板 |
US8097811B2 (en) * | 2007-04-04 | 2012-01-17 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Substrate for suspension |
JP2008282995A (ja) * | 2007-05-10 | 2008-11-20 | Nitto Denko Corp | 配線回路基板 |
JP2009259357A (ja) * | 2008-04-18 | 2009-11-05 | Nitto Denko Corp | 回路付サスペンション基板の製造方法 |
JP4989572B2 (ja) * | 2008-07-07 | 2012-08-01 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板およびその製造方法 |
JP5810492B2 (ja) * | 2010-09-01 | 2015-11-11 | 大日本印刷株式会社 | サスペンション用基板、サスペンション、およびサスペンション用基板の製造方法 |
US8861142B2 (en) * | 2010-10-13 | 2014-10-14 | Nitto Denko Corporation | Suspension board with circuit and producing method thereof |
JP5781773B2 (ja) * | 2011-01-12 | 2015-09-24 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板 |
JP5896846B2 (ja) * | 2011-08-22 | 2016-03-30 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板 |
-
2010
- 2010-05-20 JP JP2010116595A patent/JP5603657B2/ja active Active
-
2011
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-
2013
- 2013-07-23 US US13/948,488 patent/US8858810B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6539609B2 (en) * | 1994-07-05 | 2003-04-01 | International Business Machines Corporation | Method of forming a head gimbal assembly |
US5914834A (en) * | 1996-06-17 | 1999-06-22 | Hutchinson Technology, Inc. | Head suspension assembly with electrical interconnect by slider bond pads and gimbal bonding zones |
US5896248A (en) * | 1997-09-05 | 1999-04-20 | Read-Rite Corporation | Bond pads for metal welding of flexure to air bearing slider and grounding configuration thereof |
US6052258A (en) * | 1998-05-29 | 2000-04-18 | International Business Machines Corporation | Transducer suspension system |
JP2001043647A (ja) * | 1999-07-15 | 2001-02-16 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ハードディスク装置、スライダ保持構造、ヘッド・ジンバル・アッセンブリ及びその製造方法 |
US6965501B1 (en) * | 2000-09-28 | 2005-11-15 | Hitachi Global Storage Technologies, The Netherlands B.V. | Integrated lead suspension for high density drive |
US7137187B2 (en) * | 2000-09-28 | 2006-11-21 | Hitachi Global Storage Technologies, The Netherlands B.V. | Integrated lead suspension for high density drive |
JP2003123217A (ja) * | 2001-10-11 | 2003-04-25 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 配線一体型サスペンション及びその製造方法 |
US6965499B1 (en) * | 2002-04-25 | 2005-11-15 | Hutchinson Technology Incorporated | Head suspension configured for improved thermal performance during solder ball bonding to head slider |
JP2004326891A (ja) * | 2003-04-23 | 2004-11-18 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | サスペンション・アセンブリ及び回転円板形記憶装置 |
JP2005251262A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | ヘッド/スライダ支持構造及び回転円板形記憶装置 |
US7403357B1 (en) * | 2004-08-05 | 2008-07-22 | Maxtor Corporation | Disk drive flexure assembly with a plurality of support bond pad apertures with a bond pad disposed over a bond pad support and part of each support bond pad aperture |
JP2006120288A (ja) * | 2004-10-25 | 2006-05-11 | Nitto Denko Corp | 回路付サスペンション基板 |
JP2007012111A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Shinka Jitsugyo Kk | 磁気ヘッドスライダを搭載するサスペンション及びヘッドジンバルアッセンブリ並びにハードディスクドライブ |
JP2008159245A (ja) * | 2006-12-21 | 2008-07-10 | Shinka Jitsugyo Kk | ヘッドジンバルアセンブリとその製造方法及びディスクドライブユニット |
JP2010040115A (ja) * | 2008-08-06 | 2010-02-18 | Nitto Denko Corp | 回路付サスペンション基板 |
US20100118443A1 (en) * | 2008-11-11 | 2010-05-13 | Nitto Denko Corporation | Suspension board with circuit and producing method thereof |
JP2010118096A (ja) * | 2008-11-11 | 2010-05-27 | Nitto Denko Corp | 回路付サスペンション基板およびその製造方法 |
US8218268B1 (en) * | 2009-05-27 | 2012-07-10 | Western Digital Technologies, Inc. | Head gimbal assembly having a load beam aperature over conductive heating pads that are offset from head bonding pads |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11005010B2 (en) | 2015-06-12 | 2021-05-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Phosphor and method of manufacturing same, and LED lamp |
JP2017107621A (ja) * | 2015-12-07 | 2017-06-15 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板、および、回路付サスペンション基板の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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