JP2008159245A

JP2008159245A - ヘッドジンバルアセンブリとその製造方法及びディスクドライブユニット

Info

Publication number: JP2008159245A
Application number: JP2007329919A
Authority: JP
Inventors: Xianwen Feng; 馮先文; Yihua Pei; 裴貽華; Kyogo Cho; 張挙剛; Shomei Sho; 章曙明; Takeshi Nakada; 中田剛; Sanrin Hao; ハオ山臨
Original assignee: SAE Magnetics HK Ltd
Current assignee: SAE Magnetics HK Ltd
Priority date: 2006-12-21
Filing date: 2007-12-21
Publication date: 2008-07-10
Also published as: CN101206868A; CN101206868B

Abstract

【課題】本発明は、改良された連結方式によってヘッドスライダとサスペンションを連結したヘッドジンバルアセンブリ、この改良されたヘッドジンバルアセンブリを含むディスクドライブユニット及びヘッドジンバルアセンブリの製造方法を提供する。
【解決手段】連結方式は、ヘッドスライダのエアベアリング面の反対側の面を接続面としてことで実現できる。これで、該接続面は、より多くのスライダ電気接続パッドを設置するようにもっと十分なスペースを提供する。上記ヘッドスライダはその接続面において前記サスペンションと機械的且つ電気的に接続して、良好な耐衝突性能を持っている。上記サスペンションは、ヘッドスライダとフレキシャの間に配置された姿勢制御層も含む。該姿勢制御層によりヘッドスライダの良好な姿勢を確保し、スライダの浮上量の変化を減少して、ヘッドスライダのデータの記録再生性能を向上させる。
【選択図】図４

Description

本発明は、情報記録ディスクドライブユニットに係り、特に、ヘッドスライダとサスペンションとが改良方式により連結されたヘッドジンバルアセンブリ及びその製造方法に関し、更には、この改良されたヘッドジンバルアセンブリを含むディスクドライブユニットに関する。

ディスクドライブシステムは、情報記録装置としてよく用いられる。そして、この情報記録装置は、磁気媒体を介してデータを記録し、また、該磁気媒体の上方に設けられた可動式記録／再生ヘッドを用いて、選択的に磁気媒体からのデータの読取りまたは磁気媒体へのデータの書込みを行う。

通常、図１に示すように、ディスクドライブは、回転のためにスピンドルモーターに連結される複数の磁気ディスク６を含む。この磁気ディスク６の表面には、ヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）１を含む一つの相応なヘッドスタックアセンブリが配置されている。そして、ヘッドジンバルアセンブリ１は駆動アーム４と接続し、且つ、それに取付けられている。また、駆動アーム４には、その運動を制御するためのボイスコイルモーター（ＶＣＭ）５が連結されて、それによりヘッドジンバルアセンブリ１のヘッドスライダ２における磁気記録再生ヘッドを前記磁気ディスク６の表面の所定のトラックに配置するように制御して、磁気記録再生ヘッドの磁気ディスク６からのデータの読取りまたは磁気ディスク６へのデータの書込みを確保する。

そして、ヘッドジンバルアセンブリ１は、スピンドルモーターにより磁気ディスク６が回転している時、磁気ディスクの表面上で浮上するヘッドスライダ２の浮上姿勢を調整するために用いられる。具体的に言うと、ヘッドジンバルアセンブリ１は、通常、スライダを搭載するためのサスペンションを含む。このサスペンションは、一緒に組み込まれたロードビームと、ベースと、ヒンジ及びフレキシャとを含む。その中で、ロードビームはヒンジを介してベースに連結される。ベースは、ヘッドジンバルアセンブリの全体構造の強度を高めるために用いられる。フレキシャは、可撓性材料から作られ、ヒンジからロードビームまで伸びた構成となっている。ロードビームにおいて、その一端はベースを介して駆動アームと接続し、もう一端はフレキシャと接続している。このロードビームによりヘッドスライダを磁気ディスクの表面に配置し、フレキシャにより該ヘッドスライダに弾性力をもたせる。更に、フレキシャの一端にはヘッドスライダを搭載するためのサスペンションタングが形成されている。

通常、図２ａと２ｂに示すように、ヘッドスライダ２は記録・再生ヘッドを有する。周知の通り、この記録・再生ヘッドは、ヘッドスライダ２の後面２３に設置されて、磁気ディスク６の同心のデータトラックからのデータの読取りまたは該同心のデータトラックへのデータの書込みを行う。電気接続を図るために、ヘッドスライダ２の後面２３には、この記録・再生ヘッドにより提供した複数の接続パッド２４が形成されていると共に、フレキシャ３により相応する接続パッド１０を提供する。この時、該接続パッド１０は、既にディスクドライブの記録再生回路（図示せず）から伸び出した記録再生ヘッドのトレースに接続されており、また、接続パッド２４をそれぞれソルダーバンプ接合或いは超音波接合方式により、ハンダボール或いはその他の金属ボールを介してフレキシャ３の接続パッド１０に接続させることで、記録・再生ヘッドとフレキシャとの電気接続を実現する。なお、良好な物理的接続を実現するために、ヘッドスライダ２のフレキシャ３に向っており且つエアベアリング面と反対の表面２２にエポキシ接着剤７を付けて、このエポキシ接着剤７を介してヘッドスライダ２の上表面２２とフレキシャ３を接続する。

但し、上記のように、ヘッドスライダ２とサスペンションのフレキシャ３との接続方法は極めて複雑である。つまり、ヘッドスライダ２とフレキシャ３は、まず、ハンダボール或いはその他の金属ボール８をヘッドスライダ２及びフレキシャ３の相応するパッドに接続し、その後、エポキシ接着剤７にてヘッドスライダ２とフレキシャ３を固定する操作によって接続される。更に、ヘッドスライダ２とフレキシャ３の電気接続方式と物理的接続方式は別々に単独の二つのプロセスであって、非常に多くの時間と労力を要する。

しかも、消費者は絶えずヘッドスライダのコスト削減を求めている。従って、ヘッドスライダのコストを削減するために、ヘッドスライダのサイズをますます小さくして、１個のウェハがより多くのヘッドスライダに分割されるようにする。このため、ヘッドスライダのサイズ減少に伴って、その後表面２３の領域も相応に減少される。同時に、スライダ技術の発展に伴い、より多くの機能的な接続パッドをヘッドスライダの後表面に設置する必要性が増える。このため、小型のヘッドスライダにおいて、ヘッドスライダの後表面２３の十分な領域が提供できて接続を実現することが難しくなっている。一方、ヘッドスライダ２は、その後表面２３においてハンダボール或いはその他の金属ボールを通してフレキシャ３と接続し、両者は接続拠点を支点として相対に回転するので、このような従来方式による接続は、衝撃応力更には衝突により破損されることもある。

ここで、現在では、より先進的な接続方法を採用してヘッドスライダとサスペンションの間における上記問題を解決している。つまり、ヘッドスライダのエアベアリング面と反対の上表面に複数のスライダ電気接続パッドを設置すると共に、サスペンションに相応するフレキシャ電気接続パッドを設置している。スライダ電気接続パッドをハンダボール或いはその他の金属ボールを介してフレキシャ電気接続パッドと接続して、ヘッドスライダとサスペンションとの物理的及び電気接続を実現する。この場合において、ヘッドスライダの上表面にはスライダ電気接続パッドが設置できるように十分なスペースが提供され、更に、ヘッドスライダとサスペンションの接続方式によって両者間の相対回転を防止する。しかしながら、上記接続方式はまた、別の問題を引き起こす。即ち、ヘッドスライダがハンダボール接合によって支持される時の基準（datum）が無いので、ヘッドスライダの静的ピッチ姿勢（static pitch attitude）及び静的ロール姿勢（static roll attitude）が変化するが、このため、ピッチ姿勢及びロール姿勢の変化によるスライダの浮上量の変化が引き起こされて、それにより、スライダの浮上性能及びデータの記録・再生性能が劣化する。

以上問題に鑑み、改良方式によってヘッドスライダとサスペンションを連結したヘッドジンバルアセンブリとこの改良されたヘッドジンバルアセンブリを含むディスクドライブユニット、及び改良されたヘッドジンバルアセンブリの製造方法を提供して上記の問題を克服することが必要である。

特開２００２−１３３８０３号公報

本発明の第一の目的は、改良方式でヘッドスライダとサスペンションを連結したヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）を提供することであり、このヘッドジンバルアセンブリは、上記改良方式により、例えばピッチ姿勢及びロール姿勢などのスライダ姿勢を制御して、そのヘッドスライダの良好な姿勢を確保し、それにより、ヘッドスライダの浮上量の変化を減少させ、データの記録・再生性能を高めることができる。

本発明の第二の目的は、ヘッドジンバルアセンブリを含むディスクドライブを提供することであり、上記ヘッドジンバルアセンブリにおいて、そのヘッドスライダとサスペンションを改良方式で連結し、この改良方式により、例えばピッチ姿勢及びロール姿勢などのスライダ姿勢を制御して、ヘッドスライダの良好な姿勢を確保し、それにより、ヘッドスライダの浮上量の変化を減少させ、データの記録・再生性能を高めることができる。

本発明の第三の目的は、ヘッドジンバルアセンブリの製造方法を提供することであり、この方法により該ヘッドジンバルアセンブリのヘッドスライダとサスペンションの間において良好な接続を実現することができる。

本発明の第四の目的は、ヘッドスライダを支持しつつ姿勢を制御する姿勢制御層を有するサスペンションを提供することであり、この姿勢制御層を用いて該サスペンションに装着されたヘッドスライダのピッチ姿勢及びロール姿勢などの姿勢を制御することができる。

以上目的を実現するために、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、ヘッドスライダとサスペンションを含む。その中で、該ヘッドスライダは、エアベアリング面と、該エアベアリング面の反対面である接続面と、該接続面に設置された複数のスライダ電気接続パッドとを含む。該サスペンションは、フレキシャと、姿勢制御層と、フレキシャに設置されたフレキシャ電気接続パッドとを含む。また、上記姿勢制御層は、上記フレキシャ電気接続パッドを露出するように上記フレキシャに設けられている。上記ヘッドスライダがこの姿勢制御層の上に配置され、その中で、上記スライダ電気接続パッドを相応するフレキシャ電気接続パッドに合わせて設置して、スライダ電気接続パッドと相応するフレキシャ電気接続パッドが電気接続されるようにする。

本発明の実施形態の一つにおいて、上記サスペンションは、そのフレキシャに設置されたトレースパターン（trace pattern）も含み、上記フレキシャ電気接続パッドを該トレースパターンに形成する。また、該トレースパターンの上記フレキシャ電気接続パッドに対応する位置に凹部を設けることが好ましい。更に、該凹部の一部に貫通孔を設けることが好ましい。そして、上記フレキシャにおいて、該トレースパターンの貫通孔に対応する位置にも凹部を設けることが好ましい。

なお、本発明の実施形態の一つにおいて、上記フレキシャは、金属基板と、該金属基板と上記トレースパターンの間に配置された絶縁層を含んでいる。また、該金属基板が、上記フレキシャ電気接続パッドの下方に位置する一部がくりぬかれた圧力放出部を有することが好ましい。該圧力放出部は、対称的に設置された複数の貫通孔或いは切り口を有している。また、上記絶縁層において、上記フレキシャ電気接続パッドに対応する位置に凹部を設けることが好ましい。

また、本発明の実施形態において、上記トレースパターンが上記フレキシャ電気接続パッドから外部制御回路にまでそれぞれ延設された複数の導電トレースを有し、上記姿勢制御層を少なくとも一部の導電トレースを被覆するように設置することが好ましい。

なお、本発明の実施形態の一つにおいて、上記姿勢制御層はＴ字状になっている。また、上記姿勢制御層が、上記フレキシャ電気接続パッドの間にある導電トレースを被覆する１個のＴ字状のヘッド部、及び上記フレキシャ電気接続パッドの周辺にある導電トレースを被覆する１対のアーム部を含むことが好ましい。また、上記姿勢制御層が、上記フレキシャ電気接続パッドの間にある導電トレースを被覆する１個のＨ字状のヘッド部、及び上記フレキシャ電気接続パッドの周辺にある導電トレースを被覆する１対のアーム部を含むことが好ましい。

なお、本発明の実施形態の一つにおいて、上記ヘッドスライダは複数の貫通孔が形成された半絶縁層（semi-insulation）も含み、該半絶縁層を上記ヘッドスライダの接続面に覆設し且つ上記ヘッドスライダと連結しており、その中で、上記スライダ電気接続パッドが上記各々の貫通孔に露出されている。ここで、ダイヤモンド状炭素層を半絶縁層とすることが好ましい。また、上記スライダ電気接続パッドは、静電放電（ＥＳＤ）接続パッドを含み、該静電放電接続パッドにより上記半絶縁層と上記ヘッドスライダを電気接続させることが好ましい。

本発明の実施形態において、上記ヘッドスライダの後表面には複数の第二の接続パッドが設置され、該第二の接続パッドは相応するスライダ電気接続パッドに電気接続されている。

なお、本発明の実施形態の一つにおいて、上記ヘッドスライダは、金属伝導層と、ヘッドスライダの接続面と金属伝導層の間に位置された第一の絶縁層と、金属伝導層に覆設された第二の絶縁層とを含み、その中で、該金属伝導層にはスライダ電気接続パッドが形成されており、該第二の絶縁層は各々のスライダ電気接続パッドを露出するために設置された複数の貫通孔を含む。

また、上記スライダ電気接続パッドは少なくとも１個の接地接続パッド、少なくとも１個の読出し接続パッド及び少なくとも１個の書込み接続パッドを含み、上記金属伝導層は少なくとも１個の接地トレースを含み、該接地トレースは上記接地接続パッドに連結され且つ上記読出し接続パッドと上記書込み接続パッドの間に位置し、更に、上記スライダ電気接続パッドがヒーター用パッドも含むことが好ましい。

本発明に係るディスクドライブユニットは、ヘッドジンバルアセンブリと、該ヘッドジンバルアセンブリと連結する駆動アームと、磁気ディスクを回転させるスピンドルモーターとを含む。該ヘッドジンバルアセンブリは、ヘッドスライダ及びサスペンションを更に含む。その中で、該ヘッドスライダは、エアベアリング面と、該エアベアリング面と反対側にある接続面と、該接続面に設置された複数のスライダ電気接続パッドとを含む。該サスペンションは、フレキシャと、姿勢制御層と、該フレキシャに設置されたフレキシャ電気接続パッドとを含む。また、その姿勢制御層は、上記フレキシャ電気接続パッドが露出されるように上記フレキシャに覆設されている。そして、上記ヘッドスライダをこの姿勢制御層に配置して、上記スライダ電気接続パッドをそれとそれぞれ相応するフレキシャ電気接続パッドに合わせて設置することで、スライダ電気接続パッドを相応するフレキシャ電気接続パッドに電気接続させる。

本発明に係るヘッドジンバルアセンブリの製造方法は、エアベアリング面及び該エアベアリング面の反対側にある接続面を有するヘッドスライダを提供するステップ１と、該ヘッドスライダの接続面に複数のスライダ電気接続パッドを設けるステップ２と、フレキシャを形成して、該フレキシャに複数のフレキシャ電気接続パッドを設けるステップ３と、姿勢制御層を、上記フレキシャ電気接続パッドが露出されるよう上記フレキシャに覆設するステップ４と、上記ヘッドスライダを該姿勢制御層上に配置し、上記スライダ電気接続パッドをそれと対応する上記フレキシャ電気接続パッドに合わせて設置することで、該スライダ電気接続パッドをそれと相応するフレキシャ電気接続パッドに電気接続させるステップ５と、を含む。

本発明の実施形態の一つとして、上記ヘッドジンバルアセンブリの製造方法のステップ２と３の間において、複数の貫通孔を有する半絶縁層を設置し、及び、上記スライダ電気接続パッドが上記各々の貫通孔に露出されるよう該半絶縁層を上記ヘッドスライダの接続面に覆設し、且つ該半絶縁層を該ヘッドスライダに電気接続させるステップを更に含む。また、ダイヤモンド状炭素層を半絶縁層とすることが好ましい。

また、上記フレキシャ電気接続パッドを、導電材料で製造されたトレースパターン（trace pattern）に形成することが好ましい。また、上記ステップ３は、上記トレースパターンの上記フレキシャ電気接続パッドに対応する部位に凹部を形成するステップも含む。

本発明に係るサスペンションは、ヘッドスライダを支持するために用いられ、且つフレキシャと、該フレキシャに位置するトレースパターン及び姿勢制御層を含む。その中で、該トレースパターンは複数のフレキシャ電気接続パッドを有し、該姿勢制御層はフレキシャ電気接続パッドを露出するように上記フレキシャに覆設している。

本発明は、従来の技術と比べ、スライダ電気接続パッドに十分なスペースを提供し、ヘッドスライダとサスペンションを安定に接続させる以外に、また下記の利点も持っている。まず、姿勢制御層をヘッドスライダの配置／支持基準板として用い、これでヘッドスライダとフレキシャを合わせて設置して、ヘッドスライダの良好な姿勢を確保する。ここで、ヘッドスライダの良好な姿勢とは、例えばピッチ姿勢及びロール姿勢のばらつきを抑え、これによって浮上量の変化を減少し、ヘッドスライダの記録・再生性能を向上させることができる。次に、姿勢制御層をヘッドスライダとサスペンションの間に配置することで、ヘッドスライダとサスペンションの両者間の短絡を防止する。なお、姿勢制御層によりヘッドスライダとフレキシャの間に隙間が形成されることで、この隙間からの接続状態を容易に検査することが可能になる。

以下、図面に基いて本発明の実施形態をより詳細に説明する。

上記のように、本発明によるヘッドジンバルアセンブリは、改良方式によりヘッドスライダとサスペンションを連結することで、優れた耐衝撃性能を備え、並びに、良好な接続を実現するのに十分な大きさの接続パッドを提供すると共に、サスペンションに取付けられるヘッドスライダの良好な姿勢を確保することができる。上記連結方式により、エアベアリング面の反対面を接続面とし、該接続面に接続パッドを設けて、ヘッドスライダの接続面とサスペンションを機械的・電気的に接続させ、姿勢制御層をヘッドスライダとサスペンションの間に設置して、その姿勢制御層にてヘッドスライダを支持する。

以下添付した図面を参照し、図３は本発明によるディスクドライブユニットの斜視図であり、図４は該ディスクドライブユニットにおけるヘッドジンバルアセンブリの一部拡大斜視図である。ヘッドジンバルアセンブリ及びディスクドライブユニットの構造及び配置原理をより理解し易く説明するために、まず、本発明における公知の部品と特徴部品に対して説明する。

図３を参照すると、ディスクドライブユニットは、磁気ディスク９０４と、ヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）９０１を備えたヘッドスタックアセンブリとを含む。その中で、磁気ディスク９０４はスピンドルモータによって回転する。また、ヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）９０１は、ヘッドスライダ１００及びサスペンション２００を含む。該ヘッドジンバルアセンブリ９０１は駆動アーム９０３と接続している。上記ヘッドスタックアセンブリは、該駆動アーム９０３における一つの軸を中心に回転し、また、ボイスコイルモーター９０５と接続している。該ボイスコイルモーター９０５は駆動アーム９０３の動作を制御し、従って、ヘッドスライダ１００における磁気記録再生ヘッドを磁気ディスク９０４の表面の所定のトラックに配置されるように制御して、磁気記録再生ヘッドの磁気ディスク９０４からのデータの読取りまたは該磁気ディスク９０４へのデータの書込みを行う。

図３に示すように、サスペンション２００は、ロードビーム及び溶接或いは接着にて該ロードビームに接続されたフレキシャを含む。その中で、ロードビームは、フレキシャを通して、ヘッドスライダ１００を磁気ディスクに浮上させ支持し、また、フレキシャはヘッドスライダを弾性的に保持する。このような構造によると、ヘッドスライダのディスク表面上で所定の浮上高さにてバランス状態を保持することができる。そして、記録再生回路と接続するよう、フレキシャを駆動アームにまで延伸する。作動時、その記録再生回路にて上記ヘッドスライダの動作を制御する。

以上で、ヘッドスタックアセンブリ及びディスクドライブユニットにおける公知の部品に対して説明したが、続いて、図４〜図２１を参照しながら、本発明によるヘッドスタックアセンブリ、ディスクドライブユニット及びサスペンションの原理に対して説明する。

図４に示すように、ヘッドスライダ１００は、ハンダボール（或いは金ボール）３００を介してサスペンション２００と接続し、このハンダボール（或いは金ボール）３００によりヘッドスライダ１００と記録再生回路の電気接続を実現する。

以下、本発明のヘッドスタックアセンブリのヘッドスライダ１００とサスペンション２００に対して詳細に説明する。

図５は本発明の第１実施例によるヘッドスライダ１００の斜視図である。該ヘッドスライダ１００は、エアベアリング面１１１と、該エアベアリング面の反対面である接続面１１２と、該接続面１１２に設置されたスライダ電気接続パッド１３１，１３２，１３３，１３５と、接地トレース１３４とを含む。また、該ヘッドスライダ１００の後表面にも複数の第二の接続パッド１１４が設置されている。該第二の接続パッド１１４は、前記各々スライダ電気接続パッド１３１，１３２，１３３，１３５とそれぞれ接続することで、上記記録再生回路中の制御信号を伝えることが出来る。詳しく言うと、スライダ電気接続パッドは、一つのヒーター用パッド１３２と、上記接地トレース１３４と接続する接地接続パッド１３５と、再生信号を伝えるための一対の再生接続パッド１３１と、記録信号を伝えるための一対の記録接続パッド１３３を含む。接地トレース１３４は再生接続パッド１３１と記録接続パッド１３３の間に設置されて、上記再生信号と記録信号間のクロストーク（crosstalk）を減少し、従って、ヘッドスライダの良好な記録再生性能を確保する。また、ヒーター用パッド１３２を一つのヒーター用トレースに接続してヒーター用回路を形成し、その熱によるスライダの膨張を利用してヘッドスライダ１００の浮上量を調整する。

図６は、本発明の第２実施例によるサスペンション２００の分解平面図である。該サスペンション２００は、姿勢制御層２４０、トレースパターン（trace pattern）２３０及びフレキシャを含む。その中で、フレキシャは絶縁層２２０と金属基板２１０を含む。

また、トレースパターン２３０は絶縁層２２０の上に位置している。複数のフレキシャ電気接続パッド２３１，２３２，２３３，２３５は該トレースパターン２３０と一体に形成される。そして、フレキシャ電気接続パッドとスライダ電気接続パッド間の電気接続を確立するために、フレキシャ電気接続パッド２３１，２３２，２３３，２３５を、上記スライダ電気接続パッド１３１，１３２，１３３，１３５に対応するように設置する。なお、トレースパターン２３０は複数の導電トレース２３７も含む。該導電トレース２３７は、その一端が上記フレキシャ電気接続パッドと電気接続し、もう一端が上記記録再生回路と接続する。より詳しく言うと、フレキシャ電気接続パッドは、一つのヒーター用パッド２３２と、上記接地トレース２３４と接続する接地接続パッド２３５と、再生信号を伝導するための２個の再生接続パッド２３１と、記録信号を伝導するための２個の記録接続パッド１３３を含む。接地トレース２３４は再生接続パッド２３１と記録接続パッド２３３の間に設置されて、上記再生信号と記録信号間のクロストークを減少させ、それにより、ヘッドスライダ１００の良好な記録再生性能を確保する。ヒーター用パッド２３２は、記録再生回路にまで延伸したヒーター用トレースと接続し、スライダの熱膨張によってヘッドスライダ１００の浮上量を調整する。ここで、トレースパターン２３０のフレキシャ電気接続パッドに対応する部位に凹部２３６を設けることが好ましい。このようなフレキシャ電気接続パッドの凹部の構造は、より多くのハンダを収容できて、ヘッドスライダとサスペンション間の優れた接続性能を得ることができる。一つの好ましい実施例において、上記凹部２３６は突き通されて貫通孔になっている。

また、姿勢制御層２４０を、例えばポリイミド或いはエポキシ樹脂などの電絶縁材料から作ることができる。該姿勢制御層２４０は、フレキシャ電気接続パッドが露出されるように上記トレースパターン２３０の上に配置されている。そして、ヘッドスライダを該姿勢制御層２４０の上に配置して、スライダ電気接続パッドをそれと相応するフレキシャ電気接続パッドに合わせて設置することで、ハンダボール或いは金ボール３００を介して両者を連結させる。このように、ヘッドスライダ１００を姿勢制御層２４０に直接設置することにより、該姿勢制御層２４０を基準板とし、これでヘッドスライダ１００を支持し、一方、該ヘッドスライダ１００とトレースパターン２３０を合わせ設置することができて、組立後のヘッドスライダ１００の良好な姿勢を確保する。特に、該姿勢制御層２４０により、ヘッドスライダ１００のピッチ（pitch）姿勢及びロール（roll）姿勢の変化を減少させることができて、スライダの浮上量を確保し、従ってヘッドスライダ１００のデータの記録再生性能を向上させる。なお、該姿勢制御層２４０は、ヘッドスライダ１００とサスペンション２００の間に隙間を形成することができ、組立時、接続品質を検査することが容易になる。つまり、通常、姿勢制御層２４０は約２０μｍの厚さになっているので、高さが２０μｍぐらいの隙間を形成しやすく、この高さは、溶融状態のハンダボールを固体化させるには十分である。固定化されたハンダボールの外観は、顕微鏡或いは赤外線検出装置にて検査することができる。勿論、接続品質も検査できるので、接続品質の最適化を行うこともできる。本実施例において、姿勢制御層２４０はＴ字状に設計されて、導電トレース２３７を局部的に被覆する。

絶縁層２２０は金属基板２１０とトレースパターン２３０の間に位置している。ここで、該絶縁層２２０は、金属基板２１０に位置する平らなフレキシャである。該絶縁層２２０は、例えば、ポリイミドなどのプラスチック或いは高分子樹脂材料から作られ、且つ、トレースパターン２３０に接続される。そして、本実施例において、この絶縁層２２０は、トレースパターン２３０上の導電トレース２３７及びフレキシャ電気接続パッドを電気的に隔離させて、短絡の発生を防止する。また、該絶縁層２２０のトレースパターン２３０の貫通孔２３６に対応する部位に凹部２２６を設けることが好ましい。このように、この絶縁層２２０の凹部２２６が形成されているため、ハンダ量を増やすことができる。更に、絶縁層２２０の凹部２２６が突き通された貫通孔２２６であることが好ましい。

なお、金属基板２１０は絶縁層２２０の下面に位置している。通常、金属基底２１０は、応力放出部を有し、或いは、環境の温度変化によるサスペンション（特にはフレキシャ）の熱変形を減少させる構造を持っている。ここで、該金属基底２１０は、例えばステンレスなどの何れかの金属材料から作られる。上記応力放出部は、フレキシャ電気接続パッドの下方に位置し、且つ局部的にくりぬかれている。そして、該圧力放出部に複数の貫通孔或いは切り口を対称的に設置することが好ましい。このような設計によれば、応力を異なる方向に均一に放出することができて、温度変化によるフレキシャの熱変形を防止し或いは大幅に減少し、従って、ヘッドスライダの変形と、この変形伴って発生されるピッチ姿勢またはロール姿勢などのスライダの静態姿勢、及び小さなキャンバー変化などを防止或いは減少して、更にはヘッドスライダの記録再生性能を向上することができる。

図７〜図８を参照してみると、ハンダボール３００は、トレースパターン２３０のフレキシャ電気接続パッド２３１，２３２，２３３，２３５の各貫通孔２３６に設置されている。また上記姿勢制御層２４０は、ハンダボール３００が露出されるようにトレースパターン２３０を局部的に被覆している。ハンダボール３００は電気的接続を図るために用いられる材料であって、電気接続ボール（ハンダボール；ＳＢＢ）に限らず、他の周知の固体の溶接用の材料であってもよく、或いは導電接着剤を採用することもできる。

図９〜図１０は、ハンダボール３００を介してヘッドスライダ１００とサスペンション２００を連結する場合の取付時及び取付後の状態を示す図である。ヘッドスライダ１００を姿勢制御層２４０に直接配置して、該ヘッドスライダ１００のスライダ電気接続パッドをそれと対応するハンダボール３００とそれぞれ接続する。その中で、該ハンダボール３００は、既に上記サスペンション２００におけるフレキシャ電気接続パッドに接続されている。例えば、図面に詳しく示したように、ハンダボール３００を介して、ヘッドスライダ１００における再生接続パッド１３１とサスペンション２００のトレースパターン２３０における再生接続パッド２３１を電気接続する。本発明の一つの実施例として、ハンダボールの接合は、超音波接合と／或いはレーザービームによりハンダボールを加熱して実行される。そして、ハンダボールを、ジェットハンダボール（Ｊ−ＳＢＢ）形成装置から取って、レーザービーム或いは高温窒素にて溶かす。ハンダボールが固まった後、ヘッドスライダ１００の接続面１１２とハンダボール３００がうまく電気接続される。ハンダボールの接合により、スライダ電気接続パッド、ハンダボール及びフレキシャ電気接続パッドの間にはそれらを導電接続するトレースパターンが形成され、その結果、サスペンション２００がヘッドスライダ１００の接続面１１２に堅固に固定される。従って、記録再生回路の制御信号は、前記導電トレース２３７（図９を参照）を通してスムーズに伝送され、次に、トレースパターンを通してヘッドスライダ１００にまで確実に伝送されて、該信号によって正確な記録再生操作を確保することが出来る。

また、ヘッドスライダ１００とサスペンション２００との接続は、該ヘッドスライダ１００の接続面１１２とサスペンション２００との接続によって実現できる。このような接続方式には以下のメリットがある。第一は、エアベアリング面１１１の反対面を接続面１１２とし、且つ該接続面１１２に接続パッドを設けたので、接続面１１２のより大きな領域に接続パッドを設けることができて、スライダ技術の発展に適する。第二は、ヘッドスライダ１００とサスペンション２００の機械的・電気的な接続がすべて上記接続面で実現され、且つ、一つの接続ステップだけが必要であるので、ヘッドスライダ１００とサスペンション２００との接続を容易に実現することができる。つまり、本発明において、従来技術で採用したエポキシ接着剤の接合技術が不要である。第三は、ヘッドスライダ１００とサスペンション２００との相対的な回転がなくなって、該ヘッドスライダ１００と該サスペンション２００の接続が衝撃の場合においても良好な記録再生性能を保持しつつ、接続部分の耐衝突性能を向上させることができる。なお、ヘッドスライダ１００とサスペンション２００の間に姿勢制御層２４０が配置されているので、両者間の短絡を防止することができる。より重要なのは、該姿勢制御層２４０を基準板として用いて、そこにヘッドスライダ１００を配置且つ搭載することができて、ヘッドスライダ１００とサスペンション２００の位置合わせが容易になり、従って、ヘッドスライダの良好な姿勢が確保できる。ここで、ヘッドスライダの良好な姿勢とは、例えばピッチ姿勢及びロール姿勢の小さな変化を実現することであって、それにより浮上量の変化を減少し、ヘッドスライダ１００の記録・再生性能を向上させることができる。なお、姿勢制御層２４０によりヘッドスライダ１００とサスペンション２００の間に隙間が形成されたので、該ヘッドスライダ１００をサスペンション２００に接続させると共に接続品質の検査を行うことができる。

そして、フレキシャ電気接続パッド（或いはスライダ電気接続パッド）は、トレースパターン２３０（或いは金属伝導層１３５）の取付けられるべきヘッドスライダ１００の中心に相応する位置を中心に対称に設置され、従って、異なる熱膨張係数（ＣＴＥ；variable constant of thermal expansion）によるヘッドスライダの外部キャンバーの変化を減少することに有利になる。本発明において、例えば、スライダ電気接続パッドと／或いはフレキシャ電気接続パッドを銅、金或いはニッケルから作り、導電トレースを金或いは銅などの何れかの導電材料から作ることができる。

なお、ヘッドスライダ１００を最適化された構造を有するように設計することが好ましい。以下、図１１ａは本発明の第２実施例によるヘッドスライダ１００ａを示している。同図に示すように、ヘッドスライダ１００ａは、一緒に組み立てたスライダ本体１１０と、第一絶縁層１２０と、金属伝導層１３０と、第二絶縁層１４０及び半絶縁層１５０とを含む。

その中で、図１１ａ及び図１１ｂに示すように、スライダ本体１１０は、エアベアリング面１１１’と、該エアベアリング面１１１’の反対面である接続面１１２’と、スライダベース１１５と、外被覆層１１６と、スライダベース１１５と外被覆層１１６の間の内被覆層１１７とを含む。また、第二接続パッド１１４が該内被覆層１１７に設置されている。そして、スライダ本体１１０には記録再生素子１１８が設置されている。該記録再生素子１１８は、内被覆層１１７に設置され、且つ上記各々の第二接続パッド１１４と電気接続する。各々の第二接続パッド１１４は、その一つの分岐が上記外被覆層１１７の後表面にまで延伸されて、ウェハーレベル（wafer level）の検出に用いられ、もう一つの分岐が接続面１１２’にまで延伸されて、上記金属伝導層１３０における相応なスライダ電気接続パッドと電気接続するために用いられる。

同様に、図１１ａに示すように、第一絶縁層１２０はスライダ本体１１０に位置している。該第一絶縁層１２０を、例えばアルミナ（Al2O3；aluminum oxide）などの何れかの絶縁材料から作ることができる。詳細には、上記第一絶縁層１２０をスライダ本体１１０に設置し、且つ該スライダ本体１１０の全体の長さと幅を被覆するように設置して、金属伝導層１３０とスライダ本体１１０の間、及び該金属伝導層１３０の各スライダ電気接続パッドの間に良好な電気的隔離を確立する。以下、これに対して説明する。つまり、第一絶縁層１２０の一端側をジグザグ端（zigzag edge）１２２（交互に凹凸が連続する形状）にカットして、上記第二接続パッド１１４及び各スライダ電気接続パッドが露出されるようにする。これにより、この第二接続パッド１１４と各スライダ電気接続パッドとの接続を確立する。更に、第一絶縁層１２０の一つの隅に第一の直角切り口１２１を切っておく。

上記金属伝導層１３０は第一絶縁層１２０に配置されている。本実施例において、複数のスライダ電気接続パッドは金属伝導層１３０に形成されており、該複数のスライダ電気接続パッドは、スライダ本体１１０の縦方向の中心線に対応する金属伝導層１３０の位置を中心に対称に設置されている。金属伝導層１３０のスライダ電気接続パッドは、ヒーター用パッド１３２’と、接地接続パッド１３５’と、２個の再生接続パッド１３１’と、２個の記録接続パッド１３３’とを含む。また、該金属伝導層１３０には接地トレース１３４’も設置されている。もちろん、本実施例における電気接続パッドは、第１実施例における電気接続パッドと同じ機能を持っている。

上記第二絶縁層１４０は金属伝導層１３０に覆設されている。該第二絶縁層１４０の上記ヘッドスライダ１００ａのスライダ電気接続パッドに対応する位置には、該スライダ電気接続パッドを十分に露出させるように、複数の貫通孔１４２が設けられ、従って、上記サスペンション２００とヘッドスライダ１００ａの直接な電気接続を実現する。また、該第二絶縁層１４０があるため、スライダ電気接続パッドとフレキシャ電気接続パッドの両者間の短絡を防止することができる。該第二絶縁層１４０においても、上記第一絶縁層１２０の第一の直角切り口に対応する隅に第二の直角切り口１４１をカットして、半絶縁層１５０とスライダ本体１１０との電気接続が実現されるようにする。

該半絶縁層１５０は上記ヘッドスライダ１００ａの第二絶縁層１４０に覆設されている。該半絶縁層１５０の第二絶縁層１４０の各貫通孔１４２に対応する部位には、スライダ電気接続パッドを十分に露出するように、複数の貫通孔１５２が設けられている。本実施例において、半絶縁層１５０とスライダ本体１１０を電気接続することで静電放電（ＥＳＤ）を防止する。ここで、この電気接続は、上記第一絶縁層１２０の第一の直角切り口１２１及び第二絶縁層１４０の第二の直角切り口１４１の接地回路を介して実現できる。そして、該半絶縁層１５０がダイヤモンド状炭素層（Diamond-Like Carbon layer）であることが好ましい。

以下、図１２ａは本発明の第３実施例によるヘッドスライダ１００ｂを示している。本実施例によるヘッドスライダ１００ｂは、それの半絶縁層１５０が他の方式によってスライダ本体１１０を接地させること以外、上記ヘッドスライダ１００ａに似ている。具体的に言うと、金属伝導層１３０には一つの静電放電（ＥＳＤ）接続パッド１３６が設置され、上記半絶縁層１５０とスライダ本体１１０はそれぞれ上記第一絶縁層１２０の第一の直角切り口と第二絶縁層１４０の第二の直角切り口１４１を通して静電放電接続パッド１３６と電気接続し、従って静電放電を防止する。

以下、図１２ｂは本発明の第４実施例によるヘッドスライダ１００ｃを示している。本実施例によるヘッドスライダ１００ｃは、第一絶縁層１２０の一端側である上記ジグザグ端１２２部分を、ストレート・エッジ（straight edge）１２２’に（短く直線状に）カットしたこと以外、上記ヘッドスライダ１００ａに似ている。つまり、第一絶縁層１２０が短いので、組立後、該第一絶縁層１２０にて上記第二接続パッド１１４とスライダ電気接続パッドを隔離できなく、このため、第二接続パッド１１４がそれと相応するスライダ電気接続パッドに接続されるようにする。

以下、図１２ｃは本発明の第５実施例によるヘッドスライダ１００ｄを示している。本実施例ヘッドスライダ１００ｄは、半絶縁層１５０が静電放電接続パッド１３６を通してスライダ１１０と電気接続されること以外、上記ヘッドスライダ１００ｃに似ている。

図１３〜図２０は、本発明によるサスペンションの８種の異なる形状及び組合せを示している。

図１３は、本発明の第２実施例によるサスペンション４００の分解平面図である。該サスペンション４００は、姿勢制御層４４０と、複数の導電トレースとフレキシャ電気接続パッドのトレースパターン（trace pattern）４３０と、絶縁層４２０と、上記フレキシャ電機接続パッドに対応する複数の貫通孔が形成された金属基板４１０とを含む。その中で、サスペンション４００のトレースパターン４３０と、絶縁層４２０及び金属基板４１０は、それぞれ、第１実施例によるサスペンション２００のトレースパターン２３０と、絶縁層２２０及び金属基板２１０と同じ構造を持っている。サスペンション４００において、姿勢制御層４４０が、上記フレキシャ電気接続パッドの間にある導電トレースを被覆する１個のＴ字状のヘッド部４４１、及び該Ｔ字状のヘッド部と分離して設置され且つ上記フレキシャ電気接続パッドの周辺にある導電トレースを被覆する１対のアーム部４４２を含むことが上記サスペンション２００との唯一の相違である。

図１４は、本発明の第３実施例によるサスペンション５００の分解平面図である。該サスペンション５００は、姿勢制御層５４０と、トレースパターン５３０と、絶縁層５２０と、金属基板５１０とを含む。その中で、サスペンション５００のトレースパターン５３０と絶縁層４２０は、それぞれ、上記サスペンション４００のトレースパターン４３０と絶縁層４２０と同じ構造を持っている。該サスペンション５００において、姿勢制御層５４０が１個のＨ字状のヘッド部５４１、及び該Ｈ字状のヘッド部５４１と分離して設置された１対のアーム部５４２を有していることと、金属基板５１０の貫通孔５１１が取付けられるべきヘッドスライダの中心に対応する該金属基板５１０の位置を中心として対称に設置されたことが、上記サスペンション４００との相違であり、該サスペンション４００において、金属基板４１０の貫通孔は該金属基板４１０の中心線を中心に対称に設置されている。

図１５は、本発明の第４実施例によるサスペンション６００の分解平面図である。該サスペンション６００は、姿勢制御層６４０と、トレースパターン６３０と、絶縁層６２０と、金属基板６１０とを含む。その中で、該サスペンション６００のトレースパターン６３０は上記サスペンション４００のトレースパターン４３０と同じ構造持っている。このサスペンション６００において、絶縁層６２０がトレースパターン６３０の二つの隣接するフレキシャ電気接続パッドにそれぞれ対応する貫通孔６２１を有することと、姿勢制御層６４０が１個のＨ字状のヘッド部６４１、及び該Ｈ字状のヘッド部６４１と一体に連結して設置された１対のアーム部６４２を有することと、金属基板６１０にその中心線を中心として２個の貫通孔６１１を対称に形成したことが、前記サスペンション４００との相違である。

図１６は、本発明の第５実施例によるサスペンション７００の分解平面図である。該サスペンション７００は、姿勢制御層７４０と、トレースパターン７３０と、絶縁層７２０と、金属基板７１０とを含む。その中で、サスペンション７００のトレースパターン７３０と絶縁層７２０は、それぞれ、上記サスペンション４００のトレースパターン４３０と絶縁層４２０と同じ構造を持っている。該サスペンション７００において、姿勢制御層６４０が１個のＴ字状のヘッド部７４１、及び該Ｔ字状のヘッド部７４１と一体に連結して設置された１対のアーム部７４２を有することと、金属基板７１０がその中心位置において四角形の貫通孔７１１が形成された陥凹部７１２を含むことが、上記サスペンション４００との相違である。

図１７は、本発明の第６実施例によるサスペンション８００の分解平面図である。該サスペンション８００は、姿勢制御層８４０と、トレースパターン８３０と、絶縁層８２０と、金属基板８１０とを含む。その中で、サスペンション８００の姿勢制御層８４０と、トレースパターン８３０と、絶縁層８２０は、それぞれ、上記サスペンション７００の姿勢制御層７４０と、トレースパターン７３０と、絶縁層７２０と同じ構造を持っている。該サスペンション８００において、金属基板８１０が、その中心位置において円形の貫通孔８１１が形成された凹部８１２を含むことが、前記サスペンション７００との唯一の相違である。

図１８は、本発明の第７実施例によるサスペンション９００の分解平面図である。該サスペンション９００は、姿勢制御層９４０と、トレースパターン９３０と、絶縁層９２０と、金属基板９１０とを含む。その中で、サスペンション９００の姿勢制御層９４０と、トレースパターン９２０と、絶縁層９２０は、それぞれ、上記サスペンション７００の姿勢制御層７４０と、トレースパターン７３０と、絶縁層７２０と同じ構造を持っている。該サスペンション９００において、金属基板９１０が、取付けられるべきヘッドスライダの中心に対応する該金属基板９１０の位置を中心として対称に設置された４個の貫通孔９１１を含むことが、前記サスペンション７００との唯一の相違である。

図１９は、本発明の第８実施例によるサスペンション１０００の分解平面図である。該サスペンション１０００は、姿勢制御層１０４０と、トレースパターン１０３０と、絶縁層１０２０と、金属基板１０１０とを含む。その中で、サスペンション１０００の姿勢制御層１０４０と、トレースパターン１０３０と、絶縁層１０２０は、それぞれ、上記サスペンション５００の姿勢制御層５４０と、トレースパターン５３０と、絶縁層５２０と同じ構造を持っている。該サスペンション１０００において、金属基板１０１０のエッチに沿って、該金属基板１０１０の中心線を中心に切り口１０１１を対称に形成したことが、前記サスペンション５００との唯一の相違である。

図２０は、本発明の第９実施例によるサスペンション１１００の分解平面図である。該サスペンション１１００は、姿勢制御層１１４０と、トレースパターン１１３０と、絶縁層１１２０と、金属基板１１１０とを含む。その中で、サスペンション１１００の姿勢制御層１１４０と、トレースパターン１１３０と、絶縁層１１２０は、それぞれ、上記サスペンション５００の姿勢制御層５４０と、トレースパターン５３０と、絶縁層５２０と同じ構造を持っている。該サスペンション１１００において、金属基板１１１０に、その縦方向の中心線に垂直する線を中心として対称に設置された貫通孔１１１１を形成したことが、前記サスペンション５００との唯一の相違である。

図２１は、本発明によるヘッドジンバルアセンブリの製造方法の例示フローチャートである。同図に示すように、このヘッドジンバルアセンブリの製造方法は下記ステップを含む。即ち、ステップ１：エアベアリング面及び該エアベアリング面の反対側にある接続面を有するヘッドスライダを提供する；ステップ２：そのヘッドスライダの接続面に複数のスライダ電気接続パッドを設ける；ステップ３：複数の貫通孔が形成されており、例えばダイヤモンド状炭素などから作られた半絶縁層を設置する；ステップ４：上記スライダ電気接続パッドがそれぞれ相応する貫通孔に露出されるよう、半絶縁層を上記ヘッドスライダの接続面に覆設し、且つ該半絶縁層と該ヘッドスライダを電気接続させる；ステップ５：導電材料から作られたトレースパターンに複数のフレキシャ電気接続パッドを設置し、且つ該トレースパターンのフレキシャ電気接続パッドに対応する位置に凹部を設置する；ステップ６：フレキシャを形成して、該フレキシャに複数のフレキシャ電気接続パッドを設ける；ステップ７：姿勢制御層を、上記フレキシャ電気接続パッドが露出されるように、上記フレキシャに覆設する；ステップ８：上記ヘッドスライダを、そのスライダ電気接続パッドと上記フレキシャ電気接続パッドが合わせるように、上記姿勢制御層上に配置して、該スライダ電気接続パッドを相応するフレキシャ電気接続パッドに電気接続させる。

以上、好ましい実施形態に従って本発明を説明したが、上記の実施形態に限らず、本発明の精神から逸脱せずに様々な変形、同等の組合せが可能であり、そして本発明は本明細書に記載した細部に限定されるものではない。

本発明のヘッドジンバルアセンブリは、磁気ディスクに対してデータを記録再生するディスク装置に組み込んで利用することができ、産業上の利用可能性を有する。

従来技術によるディスクドライブユニットの斜視図である。図１に示したディスクドライブユニットの従来技術によるヘッドジンバルアセンブリの一部側面図であり、ヘッドスライダがその後表面でサスペンションと電気的に接続し且つその上表面でサスペンションと機械的に接続する様子を示す。従来のヘッドジンバルアセンブリの一部側面図である。本発明によるディスクドライブユニットの斜視図である。図３に示したディスクドライブユニットのヘッドジンバルアセンブリの一部拡大斜視図であり、本発明の原理をより明確に説明するために、サスペンションのロードビームの表示を略した図である。図４に示したヘッドジンバルアセンブリの第１実施例によるヘッドスライダの拡大斜視図である。図４に示したヘッドジンバルアセンブリの第１実施例によるサスペンションの分解斜視図である。図６に示したサスペンションの局部を拡大した組立斜視図であり、ハンダボールがそのサスペンションに組み立てられている。図７の断面図である。ヘッドスライダを図７に示したサスペンションに取付けようとする場合の一部側面図である。図９に示したヘッドスライダをサスペンションに取付けた後の一部側面図である。本発明の第２実施例によるヘッドスライダの分解斜視図であり、半絶縁層は接地回路を介してヘッドスライダに電気接続される。図１１ａに示したヘッドスライダのスライダ本体の局部斜視図であり、スライダ本体の第二の接続パッドを詳細に示す。本発明の第３実施例によるヘッドスライダの分解斜視図であり、半絶縁層は静電放電接続パッドを介してヘッドスライダに電気接続される。本発明の第４実施例によるヘッドスライダの分解斜視図である。本発明の第５実施例によるヘッドスライダの分解斜視図である。本発明の第２実施例によるサスペンションの分解平面図である。本発明の第３実施例によるサスペンションの分解平面図である。本発明の第４実施例によるサスペンションの分解平面図である。本発明の第５実施例によるサスペンションの分解平面図である。本発明の第６実施例によるサスペンションの分解平面図である。本発明の第７実施例によるサスペンションの分解平面図である。本発明の第８実施例によるサスペンションの分解平面図である。本発明の第９実施例によるサスペンションの分解平面図である。本発明のヘッドジンバルアセンブリの製造方法の例示フローチャートである。

符号の説明

１００ヘッドスライダ
２００サスペンション
３００ハンダボール

Claims

エアベアリング面、前記エアベアリング面と反対側に位置する接続面及び前記接続面に複数のスライダ電気接続パッドを有するヘッドスライダと、フレキシャ及び該フレキシャに設置されたフレキシャ電気接続パッドを有するサスペンションとを含むヘッドジンバルアセンブリにおいて、
前記サスペンションは前記フレキシャ電気接続パッドが露出されるように前記フレキシャに設けられた姿勢制御層を有し、該姿勢制御層上に前記ヘッドスライダを配置して、前記スライダ電気接続パッドをそれに対応する該フレキシャ電気接続パッドとの位置を合わせて配置されており、該スライダ電気接続パッドをそれに相応する該フレキシャ電気接続パッドに電気接続されている、ことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
前記サスペンションは前記フレキシャに設置されたトレースパターンも含み、且つ該トレースパターンに前記フレキシャ電気接続パッドを形成する、ことを特徴とする請求項１記載のヘッドジンバルアセンブリ。
前記トレースパターンの前記フレキシャ電気接続パッドに対応する位置に凹部が設けられている、ことを特徴とする請求項２記載のヘッドジンバルアセンブリ。
前記凹部の一部が突き通されて貫通孔が形成されている、ことを特徴とする請求項３記載のヘッドジンバルアセンブリ。
前記フレキシャの前記フレキシャ電気接続パッドの貫通孔に対応する位置に凹部が設置されている、ことを特徴とする請求項４記載のヘッドジンバルアセンブリ。
前記フレキシャは、金属基板と、該金属基板と前記トレースパターンの間に位置する絶縁層とを含む、ことを特徴とする請求項２記載のヘッドジンバルアセンブリ。
前記金属基板は、前記フレキシャ電気接続パッドの下方に位置する一部がくりぬかれた圧力放出部を有する、ことを特徴とする請求項６記載のヘッドジンバルアセンブリ。
前記圧力放出部は、対称的に設置された複数の貫通孔或いは切り口を有する、ことを特徴とする請求項７記載のヘッドジンバルアセンブリ。
前記絶縁層の前記フレキシャ電気接続パッドに対応する位置に凹部が設置されている、ことを特徴とする請求項６記載のヘッドジンバルアセンブリ。
前記トレースパターンは前記フレキシャ電気接続パッドから外部制御回路にまでそれぞれ延伸してなる複数の導電トレースを有し、前記姿勢制御層は少なくとも一部の導電トレースを被覆するように設置されている、ことを特徴とする請求項２記載のヘッドジンバルアセンブリ。
前記姿勢制御層はＴ字状を呈する、ことを特徴とする請求項１０記載のヘッドジンバルアセンブリ。
前記姿勢制御層は、前記フレキシャ電気接続パッドの間に設置されている導電トレースを被覆する１個のＴ字状のヘッド部、及びそのフレキシャ電気接続パッドの周辺に設置されている導電トレースを被覆する１対のアーム部を含む、ことを特徴とする請求項１０記載のヘッドジンバルアセンブリ。
前記姿勢制御層は、前記フレキシャ電気接続パッドの間に設置されている導電トレースを被覆する１個のＨ字状のヘッド部、及び前記フレキシャ電気接続パッドの周辺に設置されている導電トレースを被覆する１対のアーム部を含む、ことを特徴とする請求項１０記載のヘッドジンバルアセンブリ。
前記ヘッドスライダは、前記ヘッドスライダの接続面に覆設されて前記ヘッドスライダと接続し且つ複数の貫通孔を有する半絶縁層を更に含み、その中で、前記スライダ電気接続パッドが前記各々の貫通孔に露出されている、ことを特徴とする請求項１記載のヘッドジンバルアセンブリ。
前記半絶縁層がダイヤモンド状炭素層である、ことを特徴とする請求項１４記載のヘッドジンバルアセンブリ。
前記スライダ電気接続パッドは、前記半絶縁層と前記ヘッドスライダを電気接続させる静電放電接続パッドを含む、ことを特徴とする請求項１４記載のヘッドジンバルアセンブリ。
前記ヘッドスライダの後表面には、それぞれ相応するスライダ電気接続パッドと電気接続する複数の第二の接続パッドが設置されている、ことを特徴とする請求項１記載のヘッドジンバルアセンブリ。
前記ヘッドスライダは、金属伝導層と、前記ヘッドスライダの接続面と前記金属伝導層の間に配置された第一の絶縁層と、前記金属伝導層に覆設された第二の絶縁層とを含み、その中で、該金属伝導層には前記スライダ電気接続パッドが形成されており、該第二の絶縁層は前記各々のスライダ電気接続パッドを露出するために設置された複数の貫通孔を含む、ことを特徴とする請求項１記載のヘッドジンバルアセンブリ。
前記スライダ電気接続パッドは少なくとも１個の接地接続パッドと、少なくとも１個の再生接続パッド及び少なくとも１個の記録接続パッドを含み、前記金属伝導層は、該接地接続パッドに接続され且つ該再生接続パッドと該記録接続パッドの間に配置された少なくとも１個の接地トレースを含む、ことを特徴とする請求項１８記載のヘッドジンバルアセンブリ。
前記スライダ電気接続パッドがヒーター用パッドを含む、ことを特徴とする請求項１８記載のヘッドジンバルアセンブリ。
エアベアリング面、前記エアベアリング面と反対側に位置する接続面及び前記接続面に複数のスライダ電気接続パッドを有するヘッドスライダと、フレキシャ及び該フレキシャに設置されたフレキシャ電気接続パッドを有するサスペンションとを含むヘッドジンバルアセンブリと；
該ヘッドジンバルアセンブリと連結する駆動アームと；
磁気ディスクと；
該磁気ディスクを回転させるスピンドルモーターと、を含むディスクドライブユニットにおいて、
前記サスペンションは前記フレキシャ電気接続パッドが露出されるように前記フレキシャに設けられた姿勢制御層を有し、該姿勢制御層上に前記ヘッドスライダを配置して、前記スライダ電気接続パッドをそれに対応する該フレキシャ電気接続パッドとの位置を合わせて配置されており、該スライダ電気接続パッドをそれに相応する該フレキシャ電気接続パッドに電気接続されている、ことを特徴とするディスクドライブユニット。
前記サスペンションは前記フレキシャに設置されたトレースパターンも含み、且つ該トレースパターンに前記フレキシャ電気接続パッドを形成する、ことを特徴とする請求項２１記載のディスクドライブユニット。
前記トレースパターンは前記フレキシャ電気接続パッドから外部制御回路にまでそれぞれ延伸してなる複数の導電トレースを有し、前記姿勢制御層は少なくとも一部の導電トレースを被覆するように設置されている、ことを特徴とする請求項２２記載のディスクドライブユニット。
前記姿勢制御層はＴ字状を呈する、ことを特徴とする請求項２３記載のディスクドライブユニット。
前記姿勢制御層は、前記フレキシャ電気接続パッドの間に設置されている導電トレースを被覆する１個のＴ字状のヘッド部、及び前記フレキシャ電気接続パッドの周辺に設置されている導電トレースを被覆する１対のアーム部を含む、ことを特徴とする請求項２３記載のディスクドライブユニット。
前記姿勢制御層は、前記フレキシャ電気接続パッドの間に設置されている導電トレースを被覆する１個のＨ字状のヘッド部、及び前記フレキシャ電気接続パッドの周辺に設置されている導電トレースを被覆する１対のアーム部を含む、ことを特徴とする請求項２３記載のディスクドライブユニット。
前記ヘッドスライダは、前記ヘッドスライダの接続面に覆設されて前記ヘッドスライダと接続し且つ複数の貫通孔を有する半絶縁層を更に含み、その中で、前記スライダ電気接続パッドが前記各々の貫通孔に露出されている、ことを特徴とする請求項２１記載のディスクドライブユニット
前記半絶縁層がダイヤモンド状炭素層である、ことを特徴とする請求項２７記載のディスクドライブユニット。
エアベアリング面及び該エアベアリング面の反対面である接続面を有するヘッドスライダを提供するステップ１と、
該ヘッドスライダの接続面に複数のスライダ電気接続パッドを設けるステップ２と、
フレキシャを形成して、該フレキシャに複数のフレキシャ電気接続パッドを設けるステップ３と、
姿勢制御層を、該フレキシャ電気接続パッドが露出されるように、前記フレキシャに覆設するステップ４と、
該姿勢制御層上に前記ヘッドスライダを配置して、その中のスライダ電気接続パッドをそれと相応する前記フレキシャ電気接続パッドに合わせて設置することで、これらのスライダ電気接続パッドをそれと相応するフレキシャ電気接続パッドに電気接続させるステップ５と、
を含むことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリの製造方法。
前記ステップ２と３の間に、複数の貫通孔を有する半絶縁層を設置し、及び、前記スライダ電気接続パッドが前記各々の貫通孔に露出されるよう該半絶縁層を前記ヘッドスライダの接続面に覆設し、且つ該半絶縁層を該ヘッドスライダに電気接続させるステップを更に含む、ことを特徴とする請求項２９記載のヘッドジンバルアセンブリの製造方法。
前記半絶縁層をダイヤモンド状炭素材料で製造する、ことを特徴とする請求項３０記載のヘッドジンバルアセンブリの製造方法。
前記フレキシャ電気接続パッドが、導電材料で製造されたトレースパターンに形成されている、ことを特徴とする請求項２９記載のヘッドジンバルアセンブリの製造方法。
前記ステップ３は、前記トレースパターンの前記フレキシャ電気接続パッドに対応する位置に凹部を形成するステップも含む、ことを特徴とする請求項３２記載のヘッドジンバルアセンブリの製造方法。
フレキシャを含み且つヘッドスライダを支持するために用いられるサスペンションであって、
該フレキシャに位置され且つ複数のフレキシャ電気接続パッドを有するトレースパターンと、前記フレキシャ電気接続パッドが露出されるよう、前記フレキシャ及び前記トレースパターンの少なくとも一部を被覆して設置された姿勢制御層とを含む、ことを特徴とするサスペンション。
前記トレースパターンと前記フレキシャの少なくとも何れか一方において、前記フレキシャ電気接続パッドに対応する位置に凹部が形成されている、ことを特徴とする請求項３４記載のサスペンション。
前記トレースパターンは前記フレキシャ電気接続パッドから外部制御回路にまでそれぞれ延伸してなった複数の導電トレースを有し、前記姿勢制御層は少なくとも一部の導電トレースを被覆するように設置されている、ことを特徴とする請求項３４記載のサスペンション。
前記姿勢制御層はＴ字状を呈する、ことを特徴とする請求項３６記載のサスペンション。
前記姿勢制御層は、前記フレキシャ電気接続パッドの間に設置されている導電トレースを被覆する１個のＴ字状のヘッド部、及び前記フレキシャ電気接続パッドの周辺に設置されている導電トレースを被覆する１対のアーム部を含む、ことを特徴とする請求項３６記載のサスペンション。
前記姿勢制御層は、前記フレキシャ電気接続パッドの間に設置されている導電トレースを被覆する１個のＨ字状のヘッド部、及び前記フレキシャ電気接続パッドの周辺に設置されている導電トレースを被覆する１対のアーム部を含む、ことを特徴とする請求項３６記載のサスペンション。