JP2008159245A - ヘッドジンバルアセンブリとその製造方法及びディスクドライブユニット - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、改良された連結方式によってヘッドスライダとサスペンションを連結したヘッドジンバルアセンブリ、この改良されたヘッドジンバルアセンブリを含むディスクドライブユニット及びヘッドジンバルアセンブリの製造方法を提供する。
【解決手段】連結方式は、ヘッドスライダのエアベアリング面の反対側の面を接続面としてことで実現できる。これで、該接続面は、より多くのスライダ電気接続パッドを設置するようにもっと十分なスペースを提供する。上記ヘッドスライダはその接続面において前記サスペンションと機械的且つ電気的に接続して、良好な耐衝突性能を持っている。上記サスペンションは、ヘッドスライダとフレキシャの間に配置された姿勢制御層も含む。該姿勢制御層によりヘッドスライダの良好な姿勢を確保し、スライダの浮上量の変化を減少して、ヘッドスライダのデータの記録再生性能を向上させる。
【選択図】図4
【解決手段】連結方式は、ヘッドスライダのエアベアリング面の反対側の面を接続面としてことで実現できる。これで、該接続面は、より多くのスライダ電気接続パッドを設置するようにもっと十分なスペースを提供する。上記ヘッドスライダはその接続面において前記サスペンションと機械的且つ電気的に接続して、良好な耐衝突性能を持っている。上記サスペンションは、ヘッドスライダとフレキシャの間に配置された姿勢制御層も含む。該姿勢制御層によりヘッドスライダの良好な姿勢を確保し、スライダの浮上量の変化を減少して、ヘッドスライダのデータの記録再生性能を向上させる。
【選択図】図4
Description
本発明は、情報記録ディスクドライブユニットに係り、特に、ヘッドスライダとサスペンションとが改良方式により連結されたヘッドジンバルアセンブリ及びその製造方法に関し、更には、この改良されたヘッドジンバルアセンブリを含むディスクドライブユニットに関する。
ディスクドライブシステムは、情報記録装置としてよく用いられる。そして、この情報記録装置は、磁気媒体を介してデータを記録し、また、該磁気媒体の上方に設けられた可動式記録/再生ヘッドを用いて、選択的に磁気媒体からのデータの読取りまたは磁気媒体へのデータの書込みを行う。
通常、図1に示すように、ディスクドライブは、回転のためにスピンドルモーターに連結される複数の磁気ディスク6を含む。この磁気ディスク6の表面には、ヘッドジンバルアセンブリ(HGA)1を含む一つの相応なヘッドスタックアセンブリが配置されている。そして、ヘッドジンバルアセンブリ1は駆動アーム4と接続し、且つ、それに取付けられている。また、駆動アーム4には、その運動を制御するためのボイスコイルモーター(VCM)5が連結されて、それによりヘッドジンバルアセンブリ1のヘッドスライダ2における磁気記録再生ヘッドを前記磁気ディスク6の表面の所定のトラックに配置するように制御して、磁気記録再生ヘッドの磁気ディスク6からのデータの読取りまたは磁気ディスク6へのデータの書込みを確保する。
そして、ヘッドジンバルアセンブリ1は、スピンドルモーターにより磁気ディスク6が回転している時、磁気ディスクの表面上で浮上するヘッドスライダ2の浮上姿勢を調整するために用いられる。具体的に言うと、ヘッドジンバルアセンブリ1は、通常、スライダを搭載するためのサスペンションを含む。このサスペンションは、一緒に組み込まれたロードビームと、ベースと、ヒンジ及びフレキシャとを含む。その中で、ロードビームはヒンジを介してベースに連結される。ベースは、ヘッドジンバルアセンブリの全体構造の強度を高めるために用いられる。フレキシャは、可撓性材料から作られ、ヒンジからロードビームまで伸びた構成となっている。ロードビームにおいて、その一端はベースを介して駆動アームと接続し、もう一端はフレキシャと接続している。このロードビームによりヘッドスライダを磁気ディスクの表面に配置し、フレキシャにより該ヘッドスライダに弾性力をもたせる。更に、フレキシャの一端にはヘッドスライダを搭載するためのサスペンションタングが形成されている。
通常、図2aと2bに示すように、ヘッドスライダ2は記録・再生ヘッドを有する。周知の通り、この記録・再生ヘッドは、ヘッドスライダ2の後面23に設置されて、磁気ディスク6の同心のデータトラックからのデータの読取りまたは該同心のデータトラックへのデータの書込みを行う。電気接続を図るために、ヘッドスライダ2の後面23には、この記録・再生ヘッドにより提供した複数の接続パッド24が形成されていると共に、フレキシャ3により相応する接続パッド10を提供する。この時、該接続パッド10は、既にディスクドライブの記録再生回路(図示せず)から伸び出した記録再生ヘッドのトレースに接続されており、また、接続パッド24をそれぞれソルダーバンプ接合或いは超音波接合方式により、ハンダボール或いはその他の金属ボールを介してフレキシャ3の接続パッド10に接続させることで、記録・再生ヘッドとフレキシャとの電気接続を実現する。なお、良好な物理的接続を実現するために、ヘッドスライダ2のフレキシャ3に向っており且つエアベアリング面と反対の表面22にエポキシ接着剤7を付けて、このエポキシ接着剤7を介してヘッドスライダ2の上表面22とフレキシャ3を接続する。
但し、上記のように、ヘッドスライダ2とサスペンションのフレキシャ3との接続方法は極めて複雑である。つまり、ヘッドスライダ2とフレキシャ3は、まず、ハンダボール或いはその他の金属ボール8をヘッドスライダ2及びフレキシャ3の相応するパッドに接続し、その後、エポキシ接着剤7にてヘッドスライダ2とフレキシャ3を固定する操作によって接続される。更に、ヘッドスライダ2とフレキシャ3の電気接続方式と物理的接続方式は別々に単独の二つのプロセスであって、非常に多くの時間と労力を要する。
しかも、消費者は絶えずヘッドスライダのコスト削減を求めている。従って、ヘッドスライダのコストを削減するために、ヘッドスライダのサイズをますます小さくして、1個のウェハがより多くのヘッドスライダに分割されるようにする。このため、ヘッドスライダのサイズ減少に伴って、その後表面23の領域も相応に減少される。同時に、スライダ技術の発展に伴い、より多くの機能的な接続パッドをヘッドスライダの後表面に設置する必要性が増える。このため、小型のヘッドスライダにおいて、ヘッドスライダの後表面23の十分な領域が提供できて接続を実現することが難しくなっている。一方、ヘッドスライダ2は、その後表面23においてハンダボール或いはその他の金属ボールを通してフレキシャ3と接続し、両者は接続拠点を支点として相対に回転するので、このような従来方式による接続は、衝撃応力更には衝突により破損されることもある。
ここで、現在では、より先進的な接続方法を採用してヘッドスライダとサスペンションの間における上記問題を解決している。つまり、ヘッドスライダのエアベアリング面と反対の上表面に複数のスライダ電気接続パッドを設置すると共に、サスペンションに相応するフレキシャ電気接続パッドを設置している。スライダ電気接続パッドをハンダボール或いはその他の金属ボールを介してフレキシャ電気接続パッドと接続して、ヘッドスライダとサスペンションとの物理的及び電気接続を実現する。この場合において、ヘッドスライダの上表面にはスライダ電気接続パッドが設置できるように十分なスペースが提供され、更に、ヘッドスライダとサスペンションの接続方式によって両者間の相対回転を防止する。しかしながら、上記接続方式はまた、別の問題を引き起こす。即ち、ヘッドスライダがハンダボール接合によって支持される時の基準(datum)が無いので、ヘッドスライダの静的ピッチ姿勢(static pitch attitude)及び静的ロール姿勢(static roll attitude)が変化するが、このため、ピッチ姿勢及びロール姿勢の変化によるスライダの浮上量の変化が引き起こされて、それにより、スライダの浮上性能及びデータの記録・再生性能が劣化する。
以上問題に鑑み、改良方式によってヘッドスライダとサスペンションを連結したヘッドジンバルアセンブリとこの改良されたヘッドジンバルアセンブリを含むディスクドライブユニット、及び改良されたヘッドジンバルアセンブリの製造方法を提供して上記の問題を克服することが必要である。
本発明の第一の目的は、改良方式でヘッドスライダとサスペンションを連結したヘッドジンバルアセンブリ(HGA)を提供することであり、このヘッドジンバルアセンブリは、上記改良方式により、例えばピッチ姿勢及びロール姿勢などのスライダ姿勢を制御して、そのヘッドスライダの良好な姿勢を確保し、それにより、ヘッドスライダの浮上量の変化を減少させ、データの記録・再生性能を高めることができる。
本発明の第二の目的は、ヘッドジンバルアセンブリを含むディスクドライブを提供することであり、上記ヘッドジンバルアセンブリにおいて、そのヘッドスライダとサスペンションを改良方式で連結し、この改良方式により、例えばピッチ姿勢及びロール姿勢などのスライダ姿勢を制御して、ヘッドスライダの良好な姿勢を確保し、それにより、ヘッドスライダの浮上量の変化を減少させ、データの記録・再生性能を高めることができる。
本発明の第三の目的は、ヘッドジンバルアセンブリの製造方法を提供することであり、この方法により該ヘッドジンバルアセンブリのヘッドスライダとサスペンションの間において良好な接続を実現することができる。
本発明の第四の目的は、ヘッドスライダを支持しつつ姿勢を制御する姿勢制御層を有するサスペンションを提供することであり、この姿勢制御層を用いて該サスペンションに装着されたヘッドスライダのピッチ姿勢及びロール姿勢などの姿勢を制御することができる。
以上目的を実現するために、本発明に係るヘッドジンバルアセンブリは、ヘッドスライダとサスペンションを含む。その中で、該ヘッドスライダは、エアベアリング面と、該エアベアリング面の反対面である接続面と、該接続面に設置された複数のスライダ電気接続パッドとを含む。該サスペンションは、フレキシャと、姿勢制御層と、フレキシャに設置されたフレキシャ電気接続パッドとを含む。また、上記姿勢制御層は、上記フレキシャ電気接続パッドを露出するように上記フレキシャに設けられている。上記ヘッドスライダがこの姿勢制御層の上に配置され、その中で、上記スライダ電気接続パッドを相応するフレキシャ電気接続パッドに合わせて設置して、スライダ電気接続パッドと相応するフレキシャ電気接続パッドが電気接続されるようにする。
本発明の実施形態の一つにおいて、上記サスペンションは、そのフレキシャに設置されたトレースパターン(trace pattern)も含み、上記フレキシャ電気接続パッドを該トレースパターンに形成する。また、該トレースパターンの上記フレキシャ電気接続パッドに対応する位置に凹部を設けることが好ましい。更に、該凹部の一部に貫通孔を設けることが好ましい。そして、上記フレキシャにおいて、該トレースパターンの貫通孔に対応する位置にも凹部を設けることが好ましい。
なお、本発明の実施形態の一つにおいて、上記フレキシャは、金属基板と、該金属基板と上記トレースパターンの間に配置された絶縁層を含んでいる。また、該金属基板が、上記フレキシャ電気接続パッドの下方に位置する一部がくりぬかれた圧力放出部を有することが好ましい。該圧力放出部は、対称的に設置された複数の貫通孔或いは切り口を有している。また、上記絶縁層において、上記フレキシャ電気接続パッドに対応する位置に凹部を設けることが好ましい。
また、本発明の実施形態において、上記トレースパターンが上記フレキシャ電気接続パッドから外部制御回路にまでそれぞれ延設された複数の導電トレースを有し、上記姿勢制御層を少なくとも一部の導電トレースを被覆するように設置することが好ましい。
なお、本発明の実施形態の一つにおいて、上記姿勢制御層はT字状になっている。また、上記姿勢制御層が、上記フレキシャ電気接続パッドの間にある導電トレースを被覆する1個のT字状のヘッド部、及び上記フレキシャ電気接続パッドの周辺にある導電トレースを被覆する1対のアーム部を含むことが好ましい。また、上記姿勢制御層が、上記フレキシャ電気接続パッドの間にある導電トレースを被覆する1個のH字状のヘッド部、及び上記フレキシャ電気接続パッドの周辺にある導電トレースを被覆する1対のアーム部を含むことが好ましい。
なお、本発明の実施形態の一つにおいて、上記ヘッドスライダは複数の貫通孔が形成された半絶縁層(semi-insulation)も含み、該半絶縁層を上記ヘッドスライダの接続面に覆設し且つ上記ヘッドスライダと連結しており、その中で、上記スライダ電気接続パッドが上記各々の貫通孔に露出されている。ここで、ダイヤモンド状炭素層を半絶縁層とすることが好ましい。また、上記スライダ電気接続パッドは、静電放電(ESD)接続パッドを含み、該静電放電接続パッドにより上記半絶縁層と上記ヘッドスライダを電気接続させることが好ましい。
本発明の実施形態において、上記ヘッドスライダの後表面には複数の第二の接続パッドが設置され、該第二の接続パッドは相応するスライダ電気接続パッドに電気接続されている。
なお、本発明の実施形態の一つにおいて、上記ヘッドスライダは、金属伝導層と、ヘッドスライダの接続面と金属伝導層の間に位置された第一の絶縁層と、金属伝導層に覆設された第二の絶縁層とを含み、その中で、該金属伝導層にはスライダ電気接続パッドが形成されており、該第二の絶縁層は各々のスライダ電気接続パッドを露出するために設置された複数の貫通孔を含む。
また、上記スライダ電気接続パッドは少なくとも1個の接地接続パッド、少なくとも1個の読出し接続パッド及び少なくとも1個の書込み接続パッドを含み、上記金属伝導層は少なくとも1個の接地トレースを含み、該接地トレースは上記接地接続パッドに連結され且つ上記読出し接続パッドと上記書込み接続パッドの間に位置し、更に、上記スライダ電気接続パッドがヒーター用パッドも含むことが好ましい。
本発明に係るディスクドライブユニットは、ヘッドジンバルアセンブリと、該ヘッドジンバルアセンブリと連結する駆動アームと、磁気ディスクを回転させるスピンドルモーターとを含む。該ヘッドジンバルアセンブリは、ヘッドスライダ及びサスペンションを更に含む。その中で、該ヘッドスライダは、エアベアリング面と、該エアベアリング面と反対側にある接続面と、該接続面に設置された複数のスライダ電気接続パッドとを含む。該サスペンションは、フレキシャと、姿勢制御層と、該フレキシャに設置されたフレキシャ電気接続パッドとを含む。また、その姿勢制御層は、上記フレキシャ電気接続パッドが露出されるように上記フレキシャに覆設されている。そして、上記ヘッドスライダをこの姿勢制御層に配置して、上記スライダ電気接続パッドをそれとそれぞれ相応するフレキシャ電気接続パッドに合わせて設置することで、スライダ電気接続パッドを相応するフレキシャ電気接続パッドに電気接続させる。
本発明に係るヘッドジンバルアセンブリの製造方法は、エアベアリング面及び該エアベアリング面の反対側にある接続面を有するヘッドスライダを提供するステップ1と、該ヘッドスライダの接続面に複数のスライダ電気接続パッドを設けるステップ2と、フレキシャを形成して、該フレキシャに複数のフレキシャ電気接続パッドを設けるステップ3と、姿勢制御層を、上記フレキシャ電気接続パッドが露出されるよう上記フレキシャに覆設するステップ4と、上記ヘッドスライダを該姿勢制御層上に配置し、上記スライダ電気接続パッドをそれと対応する上記フレキシャ電気接続パッドに合わせて設置することで、該スライダ電気接続パッドをそれと相応するフレキシャ電気接続パッドに電気接続させるステップ5と、を含む。
本発明の実施形態の一つとして、上記ヘッドジンバルアセンブリの製造方法のステップ2と3の間において、複数の貫通孔を有する半絶縁層を設置し、及び、上記スライダ電気接続パッドが上記各々の貫通孔に露出されるよう該半絶縁層を上記ヘッドスライダの接続面に覆設し、且つ該半絶縁層を該ヘッドスライダに電気接続させるステップを更に含む。また、ダイヤモンド状炭素層を半絶縁層とすることが好ましい。
また、上記フレキシャ電気接続パッドを、導電材料で製造されたトレースパターン(trace pattern)に形成することが好ましい。また、上記ステップ3は、上記トレースパターンの上記フレキシャ電気接続パッドに対応する部位に凹部を形成するステップも含む。
本発明に係るサスペンションは、ヘッドスライダを支持するために用いられ、且つフレキシャと、該フレキシャに位置するトレースパターン及び姿勢制御層を含む。その中で、該トレースパターンは複数のフレキシャ電気接続パッドを有し、該姿勢制御層はフレキシャ電気接続パッドを露出するように上記フレキシャに覆設している。
本発明は、従来の技術と比べ、スライダ電気接続パッドに十分なスペースを提供し、ヘッドスライダとサスペンションを安定に接続させる以外に、また下記の利点も持っている。まず、姿勢制御層をヘッドスライダの配置/支持基準板として用い、これでヘッドスライダとフレキシャを合わせて設置して、ヘッドスライダの良好な姿勢を確保する。ここで、ヘッドスライダの良好な姿勢とは、例えばピッチ姿勢及びロール姿勢のばらつきを抑え、これによって浮上量の変化を減少し、ヘッドスライダの記録・再生性能を向上させることができる。次に、姿勢制御層をヘッドスライダとサスペンションの間に配置することで、ヘッドスライダとサスペンションの両者間の短絡を防止する。なお、姿勢制御層によりヘッドスライダとフレキシャの間に隙間が形成されることで、この隙間からの接続状態を容易に検査することが可能になる。
以下、図面に基いて本発明の実施形態をより詳細に説明する。
上記のように、本発明によるヘッドジンバルアセンブリは、改良方式によりヘッドスライダとサスペンションを連結することで、優れた耐衝撃性能を備え、並びに、良好な接続を実現するのに十分な大きさの接続パッドを提供すると共に、サスペンションに取付けられるヘッドスライダの良好な姿勢を確保することができる。上記連結方式により、エアベアリング面の反対面を接続面とし、該接続面に接続パッドを設けて、ヘッドスライダの接続面とサスペンションを機械的・電気的に接続させ、姿勢制御層をヘッドスライダとサスペンションの間に設置して、その姿勢制御層にてヘッドスライダを支持する。
以下添付した図面を参照し、図3は本発明によるディスクドライブユニットの斜視図であり、図4は該ディスクドライブユニットにおけるヘッドジンバルアセンブリの一部拡大斜視図である。ヘッドジンバルアセンブリ及びディスクドライブユニットの構造及び配置原理をより理解し易く説明するために、まず、本発明における公知の部品と特徴部品に対して説明する。
図3を参照すると、ディスクドライブユニットは、磁気ディスク904と、ヘッドジンバルアセンブリ(HGA)901を備えたヘッドスタックアセンブリとを含む。その中で、磁気ディスク904はスピンドルモータによって回転する。また、ヘッドジンバルアセンブリ(HGA)901は、ヘッドスライダ100及びサスペンション200を含む。該ヘッドジンバルアセンブリ901は駆動アーム903と接続している。上記ヘッドスタックアセンブリは、該駆動アーム903における一つの軸を中心に回転し、また、ボイスコイルモーター905と接続している。該ボイスコイルモーター905は駆動アーム903の動作を制御し、従って、ヘッドスライダ100における磁気記録再生ヘッドを磁気ディスク904の表面の所定のトラックに配置されるように制御して、磁気記録再生ヘッドの磁気ディスク904からのデータの読取りまたは該磁気ディスク904へのデータの書込みを行う。
図3に示すように、サスペンション200は、ロードビーム及び溶接或いは接着にて該ロードビームに接続されたフレキシャを含む。その中で、ロードビームは、フレキシャを通して、ヘッドスライダ100を磁気ディスクに浮上させ支持し、また、フレキシャはヘッドスライダを弾性的に保持する。このような構造によると、ヘッドスライダのディスク表面上で所定の浮上高さにてバランス状態を保持することができる。そして、記録再生回路と接続するよう、フレキシャを駆動アームにまで延伸する。作動時、その記録再生回路にて上記ヘッドスライダの動作を制御する。
以上で、ヘッドスタックアセンブリ及びディスクドライブユニットにおける公知の部品に対して説明したが、続いて、図4〜図21を参照しながら、本発明によるヘッドスタックアセンブリ、ディスクドライブユニット及びサスペンションの原理に対して説明する。
図4に示すように、ヘッドスライダ100は、ハンダボール(或いは金ボール)300を介してサスペンション200と接続し、このハンダボール(或いは金ボール)300によりヘッドスライダ100と記録再生回路の電気接続を実現する。
以下、本発明のヘッドスタックアセンブリのヘッドスライダ100とサスペンション200に対して詳細に説明する。
図5は本発明の第1実施例によるヘッドスライダ100の斜視図である。該ヘッドスライダ100は、エアベアリング面111と、該エアベアリング面の反対面である接続面112と、該接続面112に設置されたスライダ電気接続パッド131,132,133,135と、接地トレース134とを含む。また、該ヘッドスライダ100の後表面にも複数の第二の接続パッド114が設置されている。該第二の接続パッド114は、前記各々スライダ電気接続パッド131,132,133,135とそれぞれ接続することで、上記記録再生回路中の制御信号を伝えることが出来る。詳しく言うと、スライダ電気接続パッドは、一つのヒーター用パッド132と、上記接地トレース134と接続する接地接続パッド135と、再生信号を伝えるための一対の再生接続パッド131と、記録信号を伝えるための一対の記録接続パッド133を含む。接地トレース134は再生接続パッド131と記録接続パッド133の間に設置されて、上記再生信号と記録信号間のクロストーク(crosstalk)を減少し、従って、ヘッドスライダの良好な記録再生性能を確保する。また、ヒーター用パッド132を一つのヒーター用トレースに接続してヒーター用回路を形成し、その熱によるスライダの膨張を利用してヘッドスライダ100の浮上量を調整する。
図6は、本発明の第2実施例によるサスペンション200の分解平面図である。該サスペンション200は、姿勢制御層240、トレースパターン(trace pattern)230及びフレキシャを含む。その中で、フレキシャは絶縁層220と金属基板210を含む。
また、トレースパターン230は絶縁層220の上に位置している。複数のフレキシャ電気接続パッド231,232,233,235は該トレースパターン230と一体に形成される。そして、フレキシャ電気接続パッドとスライダ電気接続パッド間の電気接続を確立するために、フレキシャ電気接続パッド231,232,233,235を、上記スライダ電気接続パッド131,132,133,135に対応するように設置する。なお、トレースパターン230は複数の導電トレース237も含む。該導電トレース237は、その一端が上記フレキシャ電気接続パッドと電気接続し、もう一端が上記記録再生回路と接続する。より詳しく言うと、フレキシャ電気接続パッドは、一つのヒーター用パッド232と、上記接地トレース234と接続する接地接続パッド235と、再生信号を伝導するための2個の再生接続パッド231と、記録信号を伝導するための2個の記録接続パッド133を含む。接地トレース234は再生接続パッド231と記録接続パッド233の間に設置されて、上記再生信号と記録信号間のクロストークを減少させ、それにより、ヘッドスライダ100の良好な記録再生性能を確保する。ヒーター用パッド232は、記録再生回路にまで延伸したヒーター用トレースと接続し、スライダの熱膨張によってヘッドスライダ100の浮上量を調整する。ここで、トレースパターン230のフレキシャ電気接続パッドに対応する部位に凹部236を設けることが好ましい。このようなフレキシャ電気接続パッドの凹部の構造は、より多くのハンダを収容できて、ヘッドスライダとサスペンション間の優れた接続性能を得ることができる。一つの好ましい実施例において、上記凹部236は突き通されて貫通孔になっている。
また、姿勢制御層240を、例えばポリイミド或いはエポキシ樹脂などの電絶縁材料から作ることができる。該姿勢制御層240は、フレキシャ電気接続パッドが露出されるように上記トレースパターン230の上に配置されている。そして、ヘッドスライダを該姿勢制御層240の上に配置して、スライダ電気接続パッドをそれと相応するフレキシャ電気接続パッドに合わせて設置することで、ハンダボール或いは金ボール300を介して両者を連結させる。このように、ヘッドスライダ100を姿勢制御層240に直接設置することにより、該姿勢制御層240を基準板とし、これでヘッドスライダ100を支持し、一方、該ヘッドスライダ100とトレースパターン230を合わせ設置することができて、組立後のヘッドスライダ100の良好な姿勢を確保する。特に、該姿勢制御層240により、ヘッドスライダ100のピッチ(pitch)姿勢及びロール(roll)姿勢の変化を減少させることができて、スライダの浮上量を確保し、従ってヘッドスライダ100のデータの記録再生性能を向上させる。なお、該姿勢制御層240は、ヘッドスライダ100とサスペンション200の間に隙間を形成することができ、組立時、接続品質を検査することが容易になる。つまり、通常、姿勢制御層240は約20μmの厚さになっているので、高さが20μmぐらいの隙間を形成しやすく、この高さは、溶融状態のハンダボールを固体化させるには十分である。固定化されたハンダボールの外観は、顕微鏡或いは赤外線検出装置にて検査することができる。勿論、接続品質も検査できるので、接続品質の最適化を行うこともできる。本実施例において、姿勢制御層240はT字状に設計されて、導電トレース237を局部的に被覆する。
絶縁層220は金属基板210とトレースパターン230の間に位置している。ここで、該絶縁層220は、金属基板210に位置する平らなフレキシャである。該絶縁層220は、例えば、ポリイミドなどのプラスチック或いは高分子樹脂材料から作られ、且つ、トレースパターン230に接続される。そして、本実施例において、この絶縁層220は、トレースパターン230上の導電トレース237及びフレキシャ電気接続パッドを電気的に隔離させて、短絡の発生を防止する。また、該絶縁層220のトレースパターン230の貫通孔236に対応する部位に凹部226を設けることが好ましい。このように、この絶縁層220の凹部226が形成されているため、ハンダ量を増やすことができる。更に、絶縁層220の凹部226が突き通された貫通孔226であることが好ましい。
なお、金属基板210は絶縁層220の下面に位置している。通常、金属基底210は、応力放出部を有し、或いは、環境の温度変化によるサスペンション(特にはフレキシャ)の熱変形を減少させる構造を持っている。ここで、該金属基底210は、例えばステンレスなどの何れかの金属材料から作られる。上記応力放出部は、フレキシャ電気接続パッドの下方に位置し、且つ局部的にくりぬかれている。そして、該圧力放出部に複数の貫通孔或いは切り口を対称的に設置することが好ましい。このような設計によれば、応力を異なる方向に均一に放出することができて、温度変化によるフレキシャの熱変形を防止し或いは大幅に減少し、従って、ヘッドスライダの変形と、この変形伴って発生されるピッチ姿勢またはロール姿勢などのスライダの静態姿勢、及び小さなキャンバー変化などを防止或いは減少して、更にはヘッドスライダの記録再生性能を向上することができる。
図7〜図8を参照してみると、ハンダボール300は、トレースパターン230のフレキシャ電気接続パッド231,232,233,235の各貫通孔236に設置されている。また上記姿勢制御層240は、ハンダボール300が露出されるようにトレースパターン230を局部的に被覆している。ハンダボール300は電気的接続を図るために用いられる材料であって、電気接続ボール(ハンダボール;SBB)に限らず、他の周知の固体の溶接用の材料であってもよく、或いは導電接着剤を採用することもできる。
図9〜図10は、ハンダボール300を介してヘッドスライダ100とサスペンション200を連結する場合の取付時及び取付後の状態を示す図である。ヘッドスライダ100を姿勢制御層240に直接配置して、該ヘッドスライダ100のスライダ電気接続パッドをそれと対応するハンダボール300とそれぞれ接続する。その中で、該ハンダボール300は、既に上記サスペンション200におけるフレキシャ電気接続パッドに接続されている。例えば、図面に詳しく示したように、ハンダボール300を介して、ヘッドスライダ100における再生接続パッド131とサスペンション200のトレースパターン230における再生接続パッド231を電気接続する。本発明の一つの実施例として、ハンダボールの接合は、超音波接合と/或いはレーザービームによりハンダボールを加熱して実行される。そして、ハンダボールを、ジェットハンダボール(J−SBB)形成装置から取って、レーザービーム或いは高温窒素にて溶かす。ハンダボールが固まった後、ヘッドスライダ100の接続面112とハンダボール300がうまく電気接続される。ハンダボールの接合により、スライダ電気接続パッド、ハンダボール及びフレキシャ電気接続パッドの間にはそれらを導電接続するトレースパターンが形成され、その結果、サスペンション200がヘッドスライダ100の接続面112に堅固に固定される。従って、記録再生回路の制御信号は、前記導電トレース237(図9を参照)を通してスムーズに伝送され、次に、トレースパターンを通してヘッドスライダ100にまで確実に伝送されて、該信号によって正確な記録再生操作を確保することが出来る。
また、ヘッドスライダ100とサスペンション200との接続は、該ヘッドスライダ100の接続面112とサスペンション200との接続によって実現できる。このような接続方式には以下のメリットがある。第一は、エアベアリング面111の反対面を接続面112とし、且つ該接続面112に接続パッドを設けたので、接続面112のより大きな領域に接続パッドを設けることができて、スライダ技術の発展に適する。第二は、ヘッドスライダ100とサスペンション200の機械的・電気的な接続がすべて上記接続面で実現され、且つ、一つの接続ステップだけが必要であるので、ヘッドスライダ100とサスペンション200との接続を容易に実現することができる。つまり、本発明において、従来技術で採用したエポキシ接着剤の接合技術が不要である。第三は、ヘッドスライダ100とサスペンション200との相対的な回転がなくなって、該ヘッドスライダ100と該サスペンション200の接続が衝撃の場合においても良好な記録再生性能を保持しつつ、接続部分の耐衝突性能を向上させることができる。なお、ヘッドスライダ100とサスペンション200の間に姿勢制御層240が配置されているので、両者間の短絡を防止することができる。より重要なのは、該姿勢制御層240を基準板として用いて、そこにヘッドスライダ100を配置且つ搭載することができて、ヘッドスライダ100とサスペンション200の位置合わせが容易になり、従って、ヘッドスライダの良好な姿勢が確保できる。ここで、ヘッドスライダの良好な姿勢とは、例えばピッチ姿勢及びロール姿勢の小さな変化を実現することであって、それにより浮上量の変化を減少し、ヘッドスライダ100の記録・再生性能を向上させることができる。なお、姿勢制御層240によりヘッドスライダ100とサスペンション200の間に隙間が形成されたので、該ヘッドスライダ100をサスペンション200に接続させると共に接続品質の検査を行うことができる。
そして、フレキシャ電気接続パッド(或いはスライダ電気接続パッド)は、トレースパターン230(或いは金属伝導層135)の取付けられるべきヘッドスライダ100の中心に相応する位置を中心に対称に設置され、従って、異なる熱膨張係数(CTE;variable constant of thermal expansion)によるヘッドスライダの外部キャンバーの変化を減少することに有利になる。本発明において、例えば、スライダ電気接続パッドと/或いはフレキシャ電気接続パッドを銅、金或いはニッケルから作り、導電トレースを金或いは銅などの何れかの導電材料から作ることができる。
なお、ヘッドスライダ100を最適化された構造を有するように設計することが好ましい。以下、図11aは本発明の第2実施例によるヘッドスライダ100aを示している。同図に示すように、ヘッドスライダ100aは、一緒に組み立てたスライダ本体110と、第一絶縁層120と、金属伝導層130と、第二絶縁層140及び半絶縁層150とを含む。
その中で、図11a及び図11bに示すように、スライダ本体110は、エアベアリング面111’と、該エアベアリング面111’の反対面である接続面112’と、スライダベース115と、外被覆層116と、スライダベース115と外被覆層116の間の内被覆層117とを含む。また、第二接続パッド114が該内被覆層117に設置されている。そして、スライダ本体110には記録再生素子118が設置されている。該記録再生素子118は、内被覆層117に設置され、且つ上記各々の第二接続パッド114と電気接続する。各々の第二接続パッド114は、その一つの分岐が上記外被覆層117の後表面にまで延伸されて、ウェハーレベル(wafer level)の検出に用いられ、もう一つの分岐が接続面112’にまで延伸されて、上記金属伝導層130における相応なスライダ電気接続パッドと電気接続するために用いられる。
同様に、図11aに示すように、第一絶縁層120はスライダ本体110に位置している。該第一絶縁層120を、例えばアルミナ(Al2O3;aluminum oxide)などの何れかの絶縁材料から作ることができる。詳細には、上記第一絶縁層120をスライダ本体110に設置し、且つ該スライダ本体110の全体の長さと幅を被覆するように設置して、金属伝導層130とスライダ本体110の間、及び該金属伝導層130の各スライダ電気接続パッドの間に良好な電気的隔離を確立する。以下、これに対して説明する。つまり、第一絶縁層120の一端側をジグザグ端(zigzag edge)122(交互に凹凸が連続する形状)にカットして、上記第二接続パッド114及び各スライダ電気接続パッドが露出されるようにする。これにより、この第二接続パッド114と各スライダ電気接続パッドとの接続を確立する。更に、第一絶縁層120の一つの隅に第一の直角切り口121を切っておく。
上記金属伝導層130は第一絶縁層120に配置されている。本実施例において、複数のスライダ電気接続パッドは金属伝導層130に形成されており、該複数のスライダ電気接続パッドは、スライダ本体110の縦方向の中心線に対応する金属伝導層130の位置を中心に対称に設置されている。金属伝導層130のスライダ電気接続パッドは、ヒーター用パッド132’と、接地接続パッド135’と、2個の再生接続パッド131’と、2個の記録接続パッド133’とを含む。また、該金属伝導層130には接地トレース134’も設置されている。もちろん、本実施例における電気接続パッドは、第1実施例における電気接続パッドと同じ機能を持っている。
上記第二絶縁層140は金属伝導層130に覆設されている。該第二絶縁層140の上記ヘッドスライダ100aのスライダ電気接続パッドに対応する位置には、該スライダ電気接続パッドを十分に露出させるように、複数の貫通孔142が設けられ、従って、上記サスペンション200とヘッドスライダ100aの直接な電気接続を実現する。また、該第二絶縁層140があるため、スライダ電気接続パッドとフレキシャ電気接続パッドの両者間の短絡を防止することができる。該第二絶縁層140においても、上記第一絶縁層120の第一の直角切り口に対応する隅に第二の直角切り口141をカットして、半絶縁層150とスライダ本体110との電気接続が実現されるようにする。
該半絶縁層150は上記ヘッドスライダ100aの第二絶縁層140に覆設されている。該半絶縁層150の第二絶縁層140の各貫通孔142に対応する部位には、スライダ電気接続パッドを十分に露出するように、複数の貫通孔152が設けられている。本実施例において、半絶縁層150とスライダ本体110を電気接続することで静電放電(ESD)を防止する。ここで、この電気接続は、上記第一絶縁層120の第一の直角切り口121及び第二絶縁層140の第二の直角切り口141の接地回路を介して実現できる。そして、該半絶縁層150がダイヤモンド状炭素層(Diamond-Like Carbon layer)であることが好ましい。
以下、図12aは本発明の第3実施例によるヘッドスライダ100bを示している。本実施例によるヘッドスライダ100bは、それの半絶縁層150が他の方式によってスライダ本体110を接地させること以外、上記ヘッドスライダ100aに似ている。具体的に言うと、金属伝導層130には一つの静電放電(ESD)接続パッド136が設置され、上記半絶縁層150とスライダ本体110はそれぞれ上記第一絶縁層120の第一の直角切り口と第二絶縁層140の第二の直角切り口141を通して静電放電接続パッド136と電気接続し、従って静電放電を防止する。
以下、図12bは本発明の第4実施例によるヘッドスライダ100cを示している。本実施例によるヘッドスライダ100cは、第一絶縁層120の一端側である上記ジグザグ端122部分を、ストレート・エッジ(straight edge)122’に(短く直線状に)カットしたこと以外、上記ヘッドスライダ100aに似ている。つまり、第一絶縁層120が短いので、組立後、該第一絶縁層120にて上記第二接続パッド114とスライダ電気接続パッドを隔離できなく、このため、第二接続パッド114がそれと相応するスライダ電気接続パッドに接続されるようにする。
以下、図12cは本発明の第5実施例によるヘッドスライダ100dを示している。本実施例ヘッドスライダ100dは、半絶縁層150が静電放電接続パッド136を通してスライダ110と電気接続されること以外、上記ヘッドスライダ100cに似ている。
図13〜図20は、本発明によるサスペンションの8種の異なる形状及び組合せを示している。
図13は、本発明の第2実施例によるサスペンション400の分解平面図である。該サスペンション400は、姿勢制御層440と、複数の導電トレースとフレキシャ電気接続パッドのトレースパターン(trace pattern)430と、絶縁層420と、上記フレキシャ電機接続パッドに対応する複数の貫通孔が形成された金属基板410とを含む。その中で、サスペンション400のトレースパターン430と、絶縁層420及び金属基板410は、それぞれ、第1実施例によるサスペンション200のトレースパターン230と、絶縁層220及び金属基板210と同じ構造を持っている。サスペンション400において、姿勢制御層440が、上記フレキシャ電気接続パッドの間にある導電トレースを被覆する1個のT字状のヘッド部441、及び該T字状のヘッド部と分離して設置され且つ上記フレキシャ電気接続パッドの周辺にある導電トレースを被覆する1対のアーム部442を含むことが上記サスペンション200との唯一の相違である。
図14は、本発明の第3実施例によるサスペンション500の分解平面図である。該サスペンション500は、姿勢制御層540と、トレースパターン530と、絶縁層520と、金属基板510とを含む。その中で、サスペンション500のトレースパターン530と絶縁層420は、それぞれ、上記サスペンション400のトレースパターン430と絶縁層420と同じ構造を持っている。該サスペンション500において、姿勢制御層540が1個のH字状のヘッド部541、及び該H字状のヘッド部541と分離して設置された1対のアーム部542を有していることと、金属基板510の貫通孔511が取付けられるべきヘッドスライダの中心に対応する該金属基板510の位置を中心として対称に設置されたことが、上記サスペンション400との相違であり、該サスペンション400において、金属基板410の貫通孔は該金属基板410の中心線を中心に対称に設置されている。
図15は、本発明の第4実施例によるサスペンション600の分解平面図である。該サスペンション600は、姿勢制御層640と、トレースパターン630と、絶縁層620と、金属基板610とを含む。その中で、該サスペンション600のトレースパターン630は上記サスペンション400のトレースパターン430と同じ構造持っている。このサスペンション600において、絶縁層620がトレースパターン630の二つの隣接するフレキシャ電気接続パッドにそれぞれ対応する貫通孔621を有することと、姿勢制御層640が1個のH字状のヘッド部641、及び該H字状のヘッド部641と一体に連結して設置された1対のアーム部642を有することと、金属基板610にその中心線を中心として2個の貫通孔611を対称に形成したことが、前記サスペンション400との相違である。
図16は、本発明の第5実施例によるサスペンション700の分解平面図である。該サスペンション700は、姿勢制御層740と、トレースパターン730と、絶縁層720と、金属基板710とを含む。その中で、サスペンション700のトレースパターン730と絶縁層720は、それぞれ、上記サスペンション400のトレースパターン430と絶縁層420と同じ構造を持っている。該サスペンション700において、姿勢制御層640が1個のT字状のヘッド部741、及び該T字状のヘッド部741と一体に連結して設置された1対のアーム部742を有することと、金属基板710がその中心位置において四角形の貫通孔711が形成された陥凹部712を含むことが、上記サスペンション400との相違である。
図17は、本発明の第6実施例によるサスペンション800の分解平面図である。該サスペンション800は、姿勢制御層840と、トレースパターン830と、絶縁層820と、金属基板810とを含む。その中で、サスペンション800の姿勢制御層840と、トレースパターン830と、絶縁層820は、それぞれ、上記サスペンション700の姿勢制御層740と、トレースパターン730と、絶縁層720と同じ構造を持っている。該サスペンション800において、金属基板810が、その中心位置において円形の貫通孔811が形成された凹部812を含むことが、前記サスペンション700との唯一の相違である。
図18は、本発明の第7実施例によるサスペンション900の分解平面図である。該サスペンション900は、姿勢制御層940と、トレースパターン930と、絶縁層920と、金属基板910とを含む。その中で、サスペンション900の姿勢制御層940と、トレースパターン920と、絶縁層920は、それぞれ、上記サスペンション700の姿勢制御層740と、トレースパターン730と、絶縁層720と同じ構造を持っている。該サスペンション900において、金属基板910が、取付けられるべきヘッドスライダの中心に対応する該金属基板910の位置を中心として対称に設置された4個の貫通孔911を含むことが、前記サスペンション700との唯一の相違である。
図19は、本発明の第8実施例によるサスペンション1000の分解平面図である。該サスペンション1000は、姿勢制御層1040と、トレースパターン1030と、絶縁層1020と、金属基板1010とを含む。その中で、サスペンション1000の姿勢制御層1040と、トレースパターン1030と、絶縁層1020は、それぞれ、上記サスペンション500の姿勢制御層540と、トレースパターン530と、絶縁層520と同じ構造を持っている。該サスペンション1000において、金属基板1010のエッチに沿って、該金属基板1010の中心線を中心に切り口1011を対称に形成したことが、前記サスペンション500との唯一の相違である。
図20は、本発明の第9実施例によるサスペンション1100の分解平面図である。該サスペンション1100は、姿勢制御層1140と、トレースパターン1130と、絶縁層1120と、金属基板1110とを含む。その中で、サスペンション1100の姿勢制御層1140と、トレースパターン1130と、絶縁層1120は、それぞれ、上記サスペンション500の姿勢制御層540と、トレースパターン530と、絶縁層520と同じ構造を持っている。該サスペンション1100において、金属基板1110に、その縦方向の中心線に垂直する線を中心として対称に設置された貫通孔1111を形成したことが、前記サスペンション500との唯一の相違である。
図21は、本発明によるヘッドジンバルアセンブリの製造方法の例示フローチャートである。同図に示すように、このヘッドジンバルアセンブリの製造方法は下記ステップを含む。即ち、ステップ1:エアベアリング面及び該エアベアリング面の反対側にある接続面を有するヘッドスライダを提供する;ステップ2:そのヘッドスライダの接続面に複数のスライダ電気接続パッドを設ける;ステップ3:複数の貫通孔が形成されており、例えばダイヤモンド状炭素などから作られた半絶縁層を設置する;ステップ4:上記スライダ電気接続パッドがそれぞれ相応する貫通孔に露出されるよう、半絶縁層を上記ヘッドスライダの接続面に覆設し、且つ該半絶縁層と該ヘッドスライダを電気接続させる;ステップ5:導電材料から作られたトレースパターンに複数のフレキシャ電気接続パッドを設置し、且つ該トレースパターンのフレキシャ電気接続パッドに対応する位置に凹部を設置する;ステップ6:フレキシャを形成して、該フレキシャに複数のフレキシャ電気接続パッドを設ける;ステップ7:姿勢制御層を、上記フレキシャ電気接続パッドが露出されるように、上記フレキシャに覆設する;ステップ8:上記ヘッドスライダを、そのスライダ電気接続パッドと上記フレキシャ電気接続パッドが合わせるように、上記姿勢制御層上に配置して、該スライダ電気接続パッドを相応するフレキシャ電気接続パッドに電気接続させる。
以上、好ましい実施形態に従って本発明を説明したが、上記の実施形態に限らず、本発明の精神から逸脱せずに様々な変形、同等の組合せが可能であり、そして本発明は本明細書に記載した細部に限定されるものではない。
本発明のヘッドジンバルアセンブリは、磁気ディスクに対してデータを記録再生するディスク装置に組み込んで利用することができ、産業上の利用可能性を有する。
100 ヘッドスライダ
200 サスペンション
300 ハンダボール
200 サスペンション
300 ハンダボール
Claims (39)
- エアベアリング面、前記エアベアリング面と反対側に位置する接続面及び前記接続面に複数のスライダ電気接続パッドを有するヘッドスライダと、フレキシャ及び該フレキシャに設置されたフレキシャ電気接続パッドを有するサスペンションとを含むヘッドジンバルアセンブリにおいて、
前記サスペンションは前記フレキシャ電気接続パッドが露出されるように前記フレキシャに設けられた姿勢制御層を有し、該姿勢制御層上に前記ヘッドスライダを配置して、前記スライダ電気接続パッドをそれに対応する該フレキシャ電気接続パッドとの位置を合わせて配置されており、該スライダ電気接続パッドをそれに相応する該フレキシャ電気接続パッドに電気接続されている、ことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。 - 前記サスペンションは前記フレキシャに設置されたトレースパターンも含み、且つ該トレースパターンに前記フレキシャ電気接続パッドを形成する、ことを特徴とする請求項1記載のヘッドジンバルアセンブリ。
- 前記トレースパターンの前記フレキシャ電気接続パッドに対応する位置に凹部が設けられている、ことを特徴とする請求項2記載のヘッドジンバルアセンブリ。
- 前記凹部の一部が突き通されて貫通孔が形成されている、ことを特徴とする請求項3記載のヘッドジンバルアセンブリ。
- 前記フレキシャの前記フレキシャ電気接続パッドの貫通孔に対応する位置に凹部が設置されている、ことを特徴とする請求項4記載のヘッドジンバルアセンブリ。
- 前記フレキシャは、金属基板と、該金属基板と前記トレースパターンの間に位置する絶縁層とを含む、ことを特徴とする請求項2記載のヘッドジンバルアセンブリ。
- 前記金属基板は、前記フレキシャ電気接続パッドの下方に位置する一部がくりぬかれた圧力放出部を有する、ことを特徴とする請求項6記載のヘッドジンバルアセンブリ。
- 前記圧力放出部は、対称的に設置された複数の貫通孔或いは切り口を有する、ことを特徴とする請求項7記載のヘッドジンバルアセンブリ。
- 前記絶縁層の前記フレキシャ電気接続パッドに対応する位置に凹部が設置されている、ことを特徴とする請求項6記載のヘッドジンバルアセンブリ。
- 前記トレースパターンは前記フレキシャ電気接続パッドから外部制御回路にまでそれぞれ延伸してなる複数の導電トレースを有し、前記姿勢制御層は少なくとも一部の導電トレースを被覆するように設置されている、ことを特徴とする請求項2記載のヘッドジンバルアセンブリ。
- 前記姿勢制御層はT字状を呈する、ことを特徴とする請求項10記載のヘッドジンバルアセンブリ。
- 前記姿勢制御層は、前記フレキシャ電気接続パッドの間に設置されている導電トレースを被覆する1個のT字状のヘッド部、及びそのフレキシャ電気接続パッドの周辺に設置されている導電トレースを被覆する1対のアーム部を含む、ことを特徴とする請求項10記載のヘッドジンバルアセンブリ。
- 前記姿勢制御層は、前記フレキシャ電気接続パッドの間に設置されている導電トレースを被覆する1個のH字状のヘッド部、及び前記フレキシャ電気接続パッドの周辺に設置されている導電トレースを被覆する1対のアーム部を含む、ことを特徴とする請求項10記載のヘッドジンバルアセンブリ。
- 前記ヘッドスライダは、前記ヘッドスライダの接続面に覆設されて前記ヘッドスライダと接続し且つ複数の貫通孔を有する半絶縁層を更に含み、その中で、前記スライダ電気接続パッドが前記各々の貫通孔に露出されている、ことを特徴とする請求項1記載のヘッドジンバルアセンブリ。
- 前記半絶縁層がダイヤモンド状炭素層である、ことを特徴とする請求項14記載のヘッドジンバルアセンブリ。
- 前記スライダ電気接続パッドは、前記半絶縁層と前記ヘッドスライダを電気接続させる静電放電接続パッドを含む、ことを特徴とする請求項14記載のヘッドジンバルアセンブリ。
- 前記ヘッドスライダの後表面には、それぞれ相応するスライダ電気接続パッドと電気接続する複数の第二の接続パッドが設置されている、ことを特徴とする請求項1記載のヘッドジンバルアセンブリ。
- 前記ヘッドスライダは、金属伝導層と、前記ヘッドスライダの接続面と前記金属伝導層の間に配置された第一の絶縁層と、前記金属伝導層に覆設された第二の絶縁層とを含み、その中で、該金属伝導層には前記スライダ電気接続パッドが形成されており、該第二の絶縁層は前記各々のスライダ電気接続パッドを露出するために設置された複数の貫通孔を含む、ことを特徴とする請求項1記載のヘッドジンバルアセンブリ。
- 前記スライダ電気接続パッドは少なくとも1個の接地接続パッドと、少なくとも1個の再生接続パッド及び少なくとも1個の記録接続パッドを含み、前記金属伝導層は、該接地接続パッドに接続され且つ該再生接続パッドと該記録接続パッドの間に配置された少なくとも1個の接地トレースを含む、ことを特徴とする請求項18記載のヘッドジンバルアセンブリ。
- 前記スライダ電気接続パッドがヒーター用パッドを含む、ことを特徴とする請求項18記載のヘッドジンバルアセンブリ。
- エアベアリング面、前記エアベアリング面と反対側に位置する接続面及び前記接続面に複数のスライダ電気接続パッドを有するヘッドスライダと、フレキシャ及び該フレキシャに設置されたフレキシャ電気接続パッドを有するサスペンションとを含むヘッドジンバルアセンブリと;
該ヘッドジンバルアセンブリと連結する駆動アームと;
磁気ディスクと;
該磁気ディスクを回転させるスピンドルモーターと、を含むディスクドライブユニットにおいて、
前記サスペンションは前記フレキシャ電気接続パッドが露出されるように前記フレキシャに設けられた姿勢制御層を有し、該姿勢制御層上に前記ヘッドスライダを配置して、前記スライダ電気接続パッドをそれに対応する該フレキシャ電気接続パッドとの位置を合わせて配置されており、該スライダ電気接続パッドをそれに相応する該フレキシャ電気接続パッドに電気接続されている、ことを特徴とするディスクドライブユニット。 - 前記サスペンションは前記フレキシャに設置されたトレースパターンも含み、且つ該トレースパターンに前記フレキシャ電気接続パッドを形成する、ことを特徴とする請求項21記載のディスクドライブユニット。
- 前記トレースパターンは前記フレキシャ電気接続パッドから外部制御回路にまでそれぞれ延伸してなる複数の導電トレースを有し、前記姿勢制御層は少なくとも一部の導電トレースを被覆するように設置されている、ことを特徴とする請求項22記載のディスクドライブユニット。
- 前記姿勢制御層はT字状を呈する、ことを特徴とする請求項23記載のディスクドライブユニット。
- 前記姿勢制御層は、前記フレキシャ電気接続パッドの間に設置されている導電トレースを被覆する1個のT字状のヘッド部、及び前記フレキシャ電気接続パッドの周辺に設置されている導電トレースを被覆する1対のアーム部を含む、ことを特徴とする請求項23記載のディスクドライブユニット。
- 前記姿勢制御層は、前記フレキシャ電気接続パッドの間に設置されている導電トレースを被覆する1個のH字状のヘッド部、及び前記フレキシャ電気接続パッドの周辺に設置されている導電トレースを被覆する1対のアーム部を含む、ことを特徴とする請求項23記載のディスクドライブユニット。
- 前記ヘッドスライダは、前記ヘッドスライダの接続面に覆設されて前記ヘッドスライダと接続し且つ複数の貫通孔を有する半絶縁層を更に含み、その中で、前記スライダ電気接続パッドが前記各々の貫通孔に露出されている、ことを特徴とする請求項21記載のディスクドライブユニット
- 前記半絶縁層がダイヤモンド状炭素層である、ことを特徴とする請求項27記載のディスクドライブユニット。
- エアベアリング面及び該エアベアリング面の反対面である接続面を有するヘッドスライダを提供するステップ1と、
該ヘッドスライダの接続面に複数のスライダ電気接続パッドを設けるステップ2と、
フレキシャを形成して、該フレキシャに複数のフレキシャ電気接続パッドを設けるステップ3と、
姿勢制御層を、該フレキシャ電気接続パッドが露出されるように、前記フレキシャに覆設するステップ4と、
該姿勢制御層上に前記ヘッドスライダを配置して、その中のスライダ電気接続パッドをそれと相応する前記フレキシャ電気接続パッドに合わせて設置することで、これらのスライダ電気接続パッドをそれと相応するフレキシャ電気接続パッドに電気接続させるステップ5と、
を含むことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリの製造方法。 - 前記ステップ2と3の間に、複数の貫通孔を有する半絶縁層を設置し、及び、前記スライダ電気接続パッドが前記各々の貫通孔に露出されるよう該半絶縁層を前記ヘッドスライダの接続面に覆設し、且つ該半絶縁層を該ヘッドスライダに電気接続させるステップを更に含む、ことを特徴とする請求項29記載のヘッドジンバルアセンブリの製造方法。
- 前記半絶縁層をダイヤモンド状炭素材料で製造する、ことを特徴とする請求項30記載のヘッドジンバルアセンブリの製造方法。
- 前記フレキシャ電気接続パッドが、導電材料で製造されたトレースパターンに形成されている、ことを特徴とする請求項29記載のヘッドジンバルアセンブリの製造方法。
- 前記ステップ3は、前記トレースパターンの前記フレキシャ電気接続パッドに対応する位置に凹部を形成するステップも含む、ことを特徴とする請求項32記載のヘッドジンバルアセンブリの製造方法。
- フレキシャを含み且つヘッドスライダを支持するために用いられるサスペンションであって、
該フレキシャに位置され且つ複数のフレキシャ電気接続パッドを有するトレースパターンと、前記フレキシャ電気接続パッドが露出されるよう、前記フレキシャ及び前記トレースパターンの少なくとも一部を被覆して設置された姿勢制御層とを含む、ことを特徴とするサスペンション。 - 前記トレースパターンと前記フレキシャの少なくとも何れか一方において、前記フレキシャ電気接続パッドに対応する位置に凹部が形成されている、ことを特徴とする請求項34記載のサスペンション。
- 前記トレースパターンは前記フレキシャ電気接続パッドから外部制御回路にまでそれぞれ延伸してなった複数の導電トレースを有し、前記姿勢制御層は少なくとも一部の導電トレースを被覆するように設置されている、ことを特徴とする請求項34記載のサスペンション。
- 前記姿勢制御層はT字状を呈する、ことを特徴とする請求項36記載のサスペンション。
- 前記姿勢制御層は、前記フレキシャ電気接続パッドの間に設置されている導電トレースを被覆する1個のT字状のヘッド部、及び前記フレキシャ電気接続パッドの周辺に設置されている導電トレースを被覆する1対のアーム部を含む、ことを特徴とする請求項36記載のサスペンション。
- 前記姿勢制御層は、前記フレキシャ電気接続パッドの間に設置されている導電トレースを被覆する1個のH字状のヘッド部、及び前記フレキシャ電気接続パッドの周辺に設置されている導電トレースを被覆する1対のアーム部を含む、ことを特徴とする請求項36記載のサスペンション。
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