JP6484073B2 - 回路付サスペンション基板 - Google Patents
回路付サスペンション基板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6484073B2 JP6484073B2 JP2015047356A JP2015047356A JP6484073B2 JP 6484073 B2 JP6484073 B2 JP 6484073B2 JP 2015047356 A JP2015047356 A JP 2015047356A JP 2015047356 A JP2015047356 A JP 2015047356A JP 6484073 B2 JP6484073 B2 JP 6484073B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- portions
- thickness direction
- openings
- terminal
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000725 suspension Substances 0.000 title claims description 79
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 81
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 56
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 41
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 41
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 38
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 34
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 21
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 15
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 17
- 239000010408 film Substances 0.000 description 13
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 5
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 5
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 3
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 3
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/4846—Constructional details of the electrical connection between arm and support
Description
図1に示すように、回路付サスペンション基板1は、ハードディスクドライブに搭載され、磁気ヘッド(図示せず)を実装して、その磁気ヘッドを、磁気ヘッドと磁気ディスクとが相対的に走行する時の空気流に抗して、磁気ディスクとの間に微小な間隔を保持しながら支持するものであり、磁気ヘッドと、外部回路としてのリード・ライト基板とを接続するための配線が、一体的に形成されている。
2.回路付サスペンション基板の製造方法
次に、このような回路付サスペンション基板1の製造方法について、図5A〜図12Cを参照して説明する。
3.作用効果
この回路付サスペンション基板1の製造方法によれば、図10Aおよび図10Bに示すように、支持基板10をエッチングして第1支持開口部51を形成する工程では、支持基板10において、厚み方向に投影したときに、複数の外部側端子32と重なる部分には、第1支持開口部51を形成しない。
4.第2実施形態
図13A〜図21Cを参照して、回路付サスペンション基板およびその製造方法の変形例を説明する。なお、変形例において、上記した実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。
(1)第2実施形態の回路付サスペンション基板の工程
上記した第1実施形態では、図3Bに示すように、回路付サスペンション基板1は、複数の端子接続部16を備えている。
(2)第2実施形態の回路付サスペンション基板の製造方法
第2実施形態の回路付サスペンション基板1の製造方法では、まず、図13A〜図13Cに示すように、支持基板10を用意する。
(3)第2実施形態の作用効果
第2実施形態の回路付サスペンション基板1、および、回路付サスペンション基板1の製造方法によれば、図21Aに示すように、複数の外部側端子32のそれぞれは、厚み方向に投影したときに、複数の厚肉部22のそれぞれと重なる部分を除いて、上面および下面が露出している。
10 支持基板
11 ベース絶縁層
12 導体パターン
15 支持開口部
16 端子接続部
21 ベース開口部
22 厚肉部
23 薄肉部
24 絶縁部
27 接続開口部
32 外部側端子
46 全厚部
47 半厚部
66 全厚部
67 半厚部
Claims (7)
- 厚み方向に貫通する支持開口部を有する金属支持基板と、
前記金属支持基板の前記厚み方向の一方側に配置されるベース絶縁層と、
前記ベース絶縁層の前記厚み方向の一方側に配置される導体層であって、前記厚み方向に投影したときに、前記支持開口部と重なり、互いに間隔を隔てて配置される複数の端子部を備える導体層と、を備え、
前記ベース絶縁層は、
前記厚み方向に貫通し、前記厚み方向に投影したときに、前記複数の端子部の並び方向において、前記複数の端子部の間に配置される複数のベース開口部と、
前記厚み方向に投影したときに、前記厚み方向と前記並び方向との両方と直交する直交方向における、前記複数の端子部のそれぞれの端部と重なる複数の厚肉部と、
前記複数の厚肉部の間において前記複数のベース開口部の縁部に沿って配置され、前記複数の厚肉部の厚みよりも薄い複数の薄肉部と、を備え、
前記各ベース開口部は、前記厚み方向に投影したときに、前記複数の端子部のうち前記並び方向に互いに隣り合う前記端子部の間に1つずつ配置されており、
前記ベース絶縁層の少なくとも一部は、前記厚み方向に投影したときに、前記各端子部の前記直交方向の全体にわたって重なることを特徴とする、回路付サスペンション基板。 - 前記金属支持基板は、前記支持開口部の縁部から離間するように前記支持開口部内に配置され、かつ、前記厚み方向に投影したときに、前記複数の端子部のそれぞれと重なる端子接続部を備え、
前記ベース絶縁層は、
前記厚み方向において、前記端子接続部と前記端子部との間に配置される絶縁部と、
前記絶縁部を前記厚み方向に貫通する接続開口部と、を有し、
前記端子接続部は、前記接続開口部を介して前記端子部と電気的に接続されていることを特徴とする、請求項1に記載の回路付サスペンション基板。 - 前記複数の端子部のそれぞれは、前記厚み方向に投影したときに、前記厚肉部と重なる部分を除いて、前記厚み方向の両側が露出していることを特徴とする、請求項1に記載の回路付サスペンション基板。
- 前記各薄肉部は、前記各ベース開口部を囲むように配置されることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の回路付サスペンション基板。
- 金属支持基板を用意する工程と、
互いに間隔を隔てて配置される厚みの薄い複数の第1部分と、前記複数の第1部分を囲むように配置され、前記複数の第1部分の厚みよりも厚い第2部分と備えるベース絶縁層を、前記金属支持基板の厚み方向の一方側に形成する工程と、
前記厚み方向に投影したときに、前記複数の第1部分の並び方向において、前記複数の第1部分の間の前記第2部分に重なる複数の端子部を備える導体層を、前記ベース絶縁層の前記厚み方向の一方側に形成する工程と、
前記金属支持基板をエッチングして、前記厚み方向に貫通し、前記厚み方向に投影したときに、前記複数の第1部分のそれぞれを含むように配置される複数の第1支持開口部を形成する工程と、
前記複数の第1支持開口部を介して前記ベース絶縁層をエッチングして、前記複数の第1部分を除去して、前記厚み方向に貫通する複数のベース開口部を形成するとともに、前記複数の第1支持開口部から露出し、前記厚み方向に投影したときに、前記複数のベース開口部の周縁部に連続する前記第2部分を複数の薄肉部として形成する工程と、
前記複数の薄肉部を形成した後に、前記金属支持基板をエッチングして、前記金属支持基板において、前記厚み方向に貫通し、前記厚み方向に投影したときに、少なくとも前記厚み方向と前記並び方向との両方と直交する直交方向における前記複数の端子部のそれぞれの端部と重なる複数の第2支持開口部を形成し、前記ベース絶縁層において、前記厚み方向に投影したときに、前記複数の第2支持開口部と重なる前記第2部分を複数の厚肉部として形成する工程と、を含み、
前記ベース絶縁層をエッチングする工程において、前記厚み方向に投影したときに、前記各ベース開口部を、前記複数の端子部のうち前記並び方向に互いに隣り合う前記端子部の間に1つずつ形成するとともに、前記ベース絶縁層の少なくとも一部を、前記各端子部の前記直交方向の全体にわたって重なるように形成することを特徴とする、回路付サスペンション基板の製造方法。 - 金属支持基板を用意する工程と、
互いに間隔を隔てて配置される厚みの薄い複数の第1部分と、前記複数の第1部分を囲むように配置され、前記複数の第1部分の厚みよりも厚い第2部分と備えるベース絶縁層を、前記金属支持基板の厚み方向の一方側に形成する工程と、
前記厚み方向に投影したときに、前記複数の第1部分の並び方向において、前記複数の第1部分の間の前記第2部分に重なる複数の端子部を備える導体層を、前記ベース絶縁層の前記厚み方向の一方側に形成する工程と、
前記金属支持基板をエッチングして、前記厚み方向に貫通し、前記厚み方向に投影したときに、前記複数の第1部分のそれぞれを含むように配置される複数の第1支持開口部を形成する工程と、
前記複数の第1支持開口部を介して前記ベース絶縁層をエッチングして、前記複数の第1部分を除去して、前記厚み方向に貫通する複数のベース開口部を形成するとともに、前記複数の第1支持開口部から露出し、前記厚み方向に投影したときに、前記複数のベース開口部の周縁部に連続する前記第2部分を複数の薄肉部として形成する工程と、
前記複数の薄肉部を形成した後に、前記金属支持基板をエッチングして、前記金属支持基板において、前記厚み方向に貫通し、前記厚み方向に投影したときに、少なくとも前記厚み方向と前記並び方向との両方と直交する直交方向における前記複数の端子部のそれぞれの端部と重なる複数の第2支持開口部を形成し、前記ベース絶縁層において、前記厚み方向に投影したときに、前記複数の第2支持開口部と重なる前記第2部分を複数の厚肉部として形成する工程と、を含み、
前記ベース絶縁層を形成する工程は、前記厚み方向に貫通し、前記並び方向において、前記複数の第1部分の間の前記第2部分に配置される接続開口部を形成する工程を含み、
前記導体層を形成する工程は、前記接続開口部を介して、前記金属支持基板と前記端子部とを電気的に接続する工程を含み、
前記金属支持基板をエッチングして前記複数の第2支持開口部を形成する工程は、前記金属支持基板において、前記厚み方向に投影したときに、前記複数の端子部のそれぞれの中央部と重なる部分を残すように前記複数の第2支持開口部を形成し、前記複数の端子部のそれぞれの中央部と重なる部分を端子接続部として形成する工程を含むことを特徴とする、回路付サスペンション基板の製造方法。 - 金属支持基板を用意する工程と、
互いに間隔を隔てて配置される厚みの薄い複数の第1部分と、前記複数の第1部分を囲むように配置され、前記複数の第1部分の厚みよりも厚い第2部分と備えるベース絶縁層を、前記金属支持基板の厚み方向の一方側に形成する工程と、
前記厚み方向に投影したときに、前記複数の第1部分の並び方向において、前記複数の第1部分の間の前記第2部分に重なる複数の端子部を備える導体層を、前記ベース絶縁層の前記厚み方向の一方側に形成する工程と、
前記金属支持基板をエッチングして、前記厚み方向に貫通し、前記厚み方向に投影したときに、前記複数の第1部分のそれぞれを含むように配置される複数の第1支持開口部を形成する工程と、
前記複数の第1支持開口部を介して前記ベース絶縁層をエッチングして、前記複数の第1部分を除去して、前記厚み方向に貫通する複数のベース開口部を形成するとともに、前記複数の第1支持開口部から露出し、前記厚み方向に投影したときに、前記複数のベース開口部の周縁部に連続する前記第2部分を複数の薄肉部として形成する工程と、
前記複数の薄肉部を形成した後に、前記金属支持基板をエッチングして、前記金属支持基板において、前記厚み方向に貫通し、前記厚み方向に投影したときに、少なくとも前記厚み方向と前記並び方向との両方と直交する直交方向における前記複数の端子部のそれぞれの端部と重なる複数の第2支持開口部を形成し、前記ベース絶縁層において、前記厚み方向に投影したときに、前記複数の第2支持開口部と重なる前記第2部分を複数の厚肉部として形成する工程と、を含み、
前記ベース絶縁層を形成する工程は、前記並び方向において、前記複数の第1部分の間に配置され、前記複数の第1部分の厚みと同一の厚みを有する複数の第3部分を形成する工程を含み、
前記金属支持基板をエッチングして前記複数の第1支持開口部を形成する工程は、前記金属支持基板に、前記厚み方向に貫通し、前記厚み方向に投影したときに、前記複数の第3部分と重なるように配置される複数の第3支持開口部を形成する工程をさらに含み、
前記ベース絶縁層をエッチングする工程は、前記複数の第3支持開口部から露出し、前記厚み方向に投影したときに、前記複数の第3支持開口部と重なる前記第3部分を除去する工程を含むことを特徴とする、回路付サスペンション基板の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015047356A JP6484073B2 (ja) | 2015-03-10 | 2015-03-10 | 回路付サスペンション基板 |
CN201610096183.0A CN105979700A (zh) | 2015-03-10 | 2016-02-22 | 带电路的悬挂基板和其制造方法 |
US15/054,391 US9521745B2 (en) | 2015-03-10 | 2016-02-26 | Suspension board with circuit and producing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015047356A JP6484073B2 (ja) | 2015-03-10 | 2015-03-10 | 回路付サスペンション基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016167330A JP2016167330A (ja) | 2016-09-15 |
JP6484073B2 true JP6484073B2 (ja) | 2019-03-13 |
Family
ID=56886989
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015047356A Active JP6484073B2 (ja) | 2015-03-10 | 2015-03-10 | 回路付サスペンション基板 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9521745B2 (ja) |
JP (1) | JP6484073B2 (ja) |
CN (1) | CN105979700A (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI2679194T3 (fi) * | 2012-06-26 | 2023-11-21 | W & H Dentalwerk Buermoos Gmbh | Lääkinnällinen, erityisesti dentaalinen kahvakappale |
JP6951240B2 (ja) * | 2017-12-27 | 2021-10-20 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板および回路付サスペンション基板の製造方法 |
JP7225150B2 (ja) * | 2020-03-06 | 2023-02-20 | 株式会社東芝 | サスペンションアッセンブリおよびディスク装置 |
CN115376565A (zh) * | 2021-05-20 | 2022-11-22 | 日本发条株式会社 | 磁盘装置用悬架、电子部件以及悬架和电子部件的连接方法 |
US11626133B1 (en) * | 2022-03-30 | 2023-04-11 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Method of manufacturing head gimbal assembly, head gimbal assembly and hard disk drive |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3333816B2 (ja) * | 1998-03-31 | 2002-10-15 | ティーディーケイ株式会社 | 複合型薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
JP2001209918A (ja) | 1999-11-19 | 2001-08-03 | Nitto Denko Corp | 回路付サスペンション基板 |
JP4640802B2 (ja) * | 2005-07-07 | 2011-03-02 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板 |
JP2008198738A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Nitto Denko Corp | 配線回路基板およびその製造方法 |
JP5591602B2 (ja) * | 2010-06-24 | 2014-09-17 | 日本発條株式会社 | フレキシャ及びその配線部形成方法 |
JP5713718B2 (ja) * | 2011-02-17 | 2015-05-07 | 日本発條株式会社 | フレキシャ及びこれを備えたヘッドサスペンション |
JP2012174840A (ja) * | 2011-02-21 | 2012-09-10 | Nitto Denko Corp | 配線回路基板およびその製造方法 |
JP5938223B2 (ja) * | 2012-02-10 | 2016-06-22 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板およびその製造方法 |
JP6169894B2 (ja) * | 2013-05-28 | 2017-07-26 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板 |
-
2015
- 2015-03-10 JP JP2015047356A patent/JP6484073B2/ja active Active
-
2016
- 2016-02-22 CN CN201610096183.0A patent/CN105979700A/zh active Pending
- 2016-02-26 US US15/054,391 patent/US9521745B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105979700A (zh) | 2016-09-28 |
US20160270216A1 (en) | 2016-09-15 |
JP2016167330A (ja) | 2016-09-15 |
US9521745B2 (en) | 2016-12-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4865453B2 (ja) | 配線回路基板およびその製造方法 | |
JP6484073B2 (ja) | 回路付サスペンション基板 | |
JP6460882B2 (ja) | 配線回路基板およびその製造方法 | |
JP2009259357A (ja) | 回路付サスペンション基板の製造方法 | |
US9538639B2 (en) | Wired circuit board and producing method thereof | |
JP2007088056A (ja) | 配線回路基板 | |
JP6169894B2 (ja) | 配線回路基板 | |
JP5938223B2 (ja) | 配線回路基板およびその製造方法 | |
JP5829100B2 (ja) | 配線回路基板 | |
US8835767B2 (en) | Suspension board with circuit | |
JP4740312B2 (ja) | 配線回路基板集合体シート | |
JP2012174840A (ja) | 配線回路基板およびその製造方法 | |
US8917483B2 (en) | Suspension board with circuit and suspension board assembly sheet with circuit, and method of manufacturing the same | |
US10080279B2 (en) | Wired circuit board and producing method thereof | |
JP2011044228A (ja) | 回路付サスペンション基板集合体シートの製造方法 | |
JP6382605B2 (ja) | 回路付サスペンション基板およびその製造方法 | |
JP6027819B2 (ja) | 配線回路基板 | |
JP2020013826A (ja) | コイル基板 | |
JP5131320B2 (ja) | サスペンション用基板およびその製造方法 | |
JP2017147375A (ja) | プリント配線板及びその製造方法 | |
JP5349634B2 (ja) | 回路付サスペンション基板 | |
JP2011048887A (ja) | サスペンション用基板、サスペンション、ヘッド付サスペンションおよびハードディスクドライブ | |
JP2011114296A (ja) | フレキシブル基板およびフレキシブル基板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180118 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180806 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180918 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181113 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190129 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190215 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6484073 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |