JP5591602B2 - フレキシャ及びその配線部形成方法 - Google Patents
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Description
図1は本発明の実施例1に係るフレキシャを示す概略平面図、図2は図1のフレキシャの表面側の要部拡大斜視図、図3は図1のフレキシャの裏面側の要部拡大斜視図、図4は図2に対応するフレキシャの要部拡大参考平面図、図5は図4のフレキシャの要部拡大参考底面図、図6は図1のフレキシャのテール部先端に対応する拡大参考斜視図である。
[配線部形成方法]
本実施例のフレキシャ1の配線部形成方法は、フレキシャ1の空中配線部21を端子部37,39と共に形成するものである。すなわち、本実施例の配線部形成方法では、端子部37,39の形成時に、端子部形成工程を一部省略して配線部7にも部分的に適用する。
(端子部の形成)
図11(a)〜(c)は、端子部形成工程を示す概略断面図である。
(空中配線部の形成)
図12(a)及び(b)は、空中配線部の形成工程を示す概略断面図である。
[剛性寄与率]
図13は、本発明の空中配線部の剛性寄与率を比較例と共に示す図表である。なお、図13は、フレキシャの中心軸周りのロール方向及び中心軸に直交する軸周りのピッチ方向に対し、空中配線部の剛性寄与率を有限要素法によって解析したものである。
[実施例1の効果]
本実施例のフレキシャ1は、先端側にスライダ3を支持する金属基板5と、ベース絶縁層23及び該ベース絶縁層23上の導体層25からなる配線部7とを備え、該配線部7が金属基板5上を通る一般配線部19及び金属基板5上から外れた隙間17上を通る空中配線部21からなり、空中配線部21のベース絶縁層23が一般配線部19のベース絶縁層23よりも薄肉に形成されている。
[その他]
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各種の変更が可能である。
3 スライダ
5 金属基板
7 配線部
11,13 アウトリガー
15 タング
17 隙間(空間部)
19 一般配線部
21 空中配線部
23 ベース絶縁層
25 導体層
31 第1の凹部
37,39 端子部
47 基板開口部(空間部)
49 第2の凹部
53 諧調マスク
Claims (5)
- 先端側にスライダを支持する金属基板と、ベース絶縁層及び導体層からなる配線部とを備え、該配線部が前記金属基板上を通る一般配線部及び前記金属基板上から外れた空間部上を通る空中配線部を備えたフレキシャであって、
前記金属基板の先端の両側に設けられたアウトリガーと、
このアウトリガーの先端側で片持ち状に設けられ前記金属基板の基端側に向けて延設されたタングとを備え、
前記スライダが、前記タングに支持され、
前記空間部が、前記アウトリガーと前記タングとの間に形成された隙間からなるか、又は前記アウトリガー外側の空間部であり、
前記配線部は、タング部の固定端側から延設された前記空中配線部及び一般配線部を備え、
前記空中配線部は、前記金属基板の幅方向で前記アウトリガーに沿って設けられ、
前記空中配線部のベース絶縁層を、前記一般配線部のベース絶縁層よりも薄肉に形成した、
ことを特徴とするフレキシャ。 - 請求項1記載のフレキシャの空中配線部を形成する配線部形成方法であって、
前記配線部が、前記導体層を層方向両側で露出させた端子部を有し、
前記金属基板上に前記配線部のベース絶縁層を形成するベース形成工程と、
前記ベース絶縁層の反金属基板側から前記端子部及び前記空中配線部の第1の凹部を形成する第1の凹部形成工程と、
前記反金属基板側から前記ベース絶縁層に倣って前記配線部の導体層を形成する導体層形成工程と、
前記金属基板を部分的に除去して前記第1の凹部に対応した空間部を形成する空間部形成工程と、
前記空間部内で前記端子部のベース絶縁層に金属基板側から前記第1の凹部に至る第2の凹部を形成する第2の凹部形成工程とを備えた、
ことを特徴とするフレキシャの配線部形成方法。 - 請求項1記載のフレキシャの空中配線部を形成する配線部形成方法であって、
前記配線部が、前記導体層を層方向両側で露出させた端子部を有し、
前記金属基板上に前記配線部のベース絶縁層を形成するベース形成工程と、
前記ベース絶縁層の反金属基板側から前記端子部に第1の凹部を形成する第1の凹部形成工程と、
前記反金属基板側から前記ベース絶縁層に倣って前記配線部に導体層を形成する導体層形成工程と、
前記金属基板を部分的に除去して前記第1の凹部及び前記空中配線部に対応した空間部を形成する空間部形成工程と、
前記空間部内で前記端子部及び前記空中配線部のベース絶縁層に金属基板側から前記第1の凹部に至る深さの第2の凹部を形成する第2の凹部形成工程とを備えた、
ことを特徴とするフレキシャの配線部形成方法。 - 請求項2又は3記載のフレキシャの配線部形成方法であって、
前記ベース絶縁層は、露光量に応じた厚みに形成される感光性樹脂からなり、
前記第1の凹部形成工程は、諧調マスクを介して露光量を異ならせることで前記第1の凹部を形成する、
ことを特徴とするフレキシャの配線部形成方法。 - 請求項2〜4の何れか1項記載のフレキシャの配線部形成方法であって、
前記第2の凹部形成工程は、エッチングによって前記第2の凹部を形成する、
ことを特徴とするフレキシャの配線部形成方法。
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