JP5817594B2 - テストパッド付サスペンション用基板、サスペンション用基板、サスペンション、素子付サスペンションおよびハードディスクドライブ - Google Patents
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本発明のテストパッド付サスペンション用基板は、金属支持基板と、上記金属支持基板上に形成された絶縁層と、上記絶縁層上に形成された配線層とを有し、サスペンション用基板およびテストパッドから構成されるテストパッド付サスペンション用基板であって、上記サスペンション用基板は、上記配線層として、素子に接続される素子用端子部と、外部回路基板に接続される外部回路基板用端子部と、上記素子用端子部および上記外部回路基板用端子部を接続する第一引き回し部とを有し、上記テストパッドは、上記配線層として、テスト用端子部を有し、上記外部回路基板用端子部および上記テスト用端子部は、上記配線層である第二引き回し部により接続され、上記外部回路基板用端子部は、長手方向が上記サスペンション用基板の短手方向と一致するように形成され、複数の上記外部回路基板用端子部は、上記サスペンション用基板の長手方向に沿って配置され、上記サスペンション用基板および上記テストパッドの間に、上記金属支持基板が存在しない領域が形成され、上記領域において、上記サスペンション用基板の短手方向の一方の端部側に、複数の上記第二引き回し部が配置され、上記サスペンション用基板の短手方向の他方の端部側に、上記第二引き回し部と実質的に同じ高さを有する高さ調整部が形成されていることを特徴とするものである。
以下、本発明のテストパッド付サスペンション用基板について、テストパッド付サスペンション用基板の部材と、テストパッド付サスペンション用基板の構成とに分けて説明する。
まず、本発明のテストパッド付サスペンション用基板の部材について説明する。本発明のテストパッド付サスペンション用基板は、サスペンション用基板およびテストパッドから構成されるものである。さらに、サスペンション用基板およびテストパッドは、それぞれ、金属支持基板、絶縁層および配線層を少なくとも有する。
次に、本発明のテストパッド付サスペンション用基板の構成について説明する。本発明のテストパッド付サスペンション用基板は、サスペンション用基板およびテストパッドから構成される。本発明におけるサスペンション用基板は、配線層として、素子に接続される素子用端子部と、外部回路基板に接続される外部回路基板用端子部と、素子用端子部および外部回路基板用端子部を接続する第一引き回し部とを有する。
次に、本発明のサスペンション用基板について説明する。本発明のサスペンション用基板は、金属支持基板と、上記金属支持基板上に形成された絶縁層と、上記絶縁層上に形成された配線層とを有するサスペンション用基板であって、上記サスペンション用基板は、上記配線層として、素子に接続される素子用端子部と、外部回路基板に接続される外部回路基板用端子部と、上記素子用端子部および上記外部回路基板用端子部を接続する第一引き回し部と、上記外部回路基板用端子部に接続された第二引き回し部とを有し、上記外部回路基板用端子部は、長手方向が上記サスペンション用基板の短手方向と一致するように形成され、複数の上記外部回路基板用端子部は、上記サスペンション用基板の長手方向に沿って配置され、上記サスペンション用基板の長手方向の端部において、上記サスペンション用基板の短手方向の一方の端部側に、複数の上記第二引き回し部が配置され、上記サスペンション用基板の短手方向の他方の端部側に、上記第二引き回し部と実質的に同じ高さを有する高さ調整部が形成されていることを特徴とするものである。
次に、本発明のサスペンションについて説明する。本発明のサスペンションは、上述したテストパッド付サスペンション用基板、または、上述したサスペンション用基板と、上記金属支持基板側の表面に設けられたロードビームと、を有することを特徴とするものである。
次に、本発明の素子付サスペンションについて説明する。本発明の素子付サスペンションは、上述したサスペンションと、上記サスペンションに配置された記録再生用素子と、を有することを特徴とするものである。
次に、本発明のハードディスクドライブについて説明する。本発明のハードディスクドライブは、上述した素子付サスペンションを有することを特徴とするものである。
まず、厚さ18μmのSUS304(金属支持部材)、厚さ10μmのポリイミド樹脂層(絶縁部材)、厚さ9μmの電解銅層(導体部材)を有する積層部材を準備した(図12(a))。次に、ドライフィルムレジストを積層部材の両面にラミネートし、レジストパターンを形成した。次に、塩化第二鉄液を用いてエッチングし、エッチング後レジスト剥膜を行った。これにより、導体部材から配線層を形成し(図12(b))、金属支持部材に治具孔を形成した。
Claims (9)
- 金属支持基板と、前記金属支持基板上に形成された絶縁層と、前記絶縁層上に形成された配線層とを有し、サスペンション用基板およびテストパッドから構成されるテストパッド付サスペンション用基板であって、
前記サスペンション用基板は、前記配線層として、素子に接続される素子用端子部と、外部回路基板に接続される外部回路基板用端子部と、前記素子用端子部および前記外部回路基板用端子部を接続する第一引き回し部とを有し、
前記テストパッドは、前記配線層として、テスト用端子部を有し、
前記外部回路基板用端子部および前記テスト用端子部は、前記配線層である第二引き回し部により接続され、
前記外部回路基板用端子部は、長手方向が前記サスペンション用基板の短手方向と一致するように形成され、
複数の前記外部回路基板用端子部は、前記サスペンション用基板の長手方向に沿って配置され、
前記サスペンション用基板および前記テストパッドの間に、前記金属支持基板が存在しない領域が形成され、
前記領域において、前記サスペンション用基板の短手方向の一方の端部側に、複数の前記第二引き回し部が配置され、前記サスペンション用基板の短手方向の他方の端部側に、前記第二引き回し部と実質的に同じ高さを有する高さ調整部が形成されていることを特徴とするテストパッド付サスペンション用基板。 - 前記高さ調整部が、前記配線層と電気的に接続されていないダミー配線部であることを特徴とする請求項1に記載のテストパッド付サスペンション用基板。
- 前記高さ調整部が、前記第一引き回し部から分岐したもの、または、前記テストパッドの前記第二引き回し部から分岐したものであることを特徴とする請求項1に記載のテストパッド付サスペンション用基板。
- 金属支持基板と、前記金属支持基板上に形成された絶縁層と、前記絶縁層上に形成された配線層とを有するサスペンション用基板であって、
前記サスペンション用基板は、前記配線層として、素子に接続される素子用端子部と、外部回路基板に接続される外部回路基板用端子部と、前記素子用端子部および前記外部回路基板用端子部を接続する第一引き回し部と、前記外部回路基板用端子部に接続された第二引き回し部とを有し、
前記外部回路基板用端子部は、長手方向が前記サスペンション用基板の短手方向と一致するように形成され、
複数の前記外部回路基板用端子部は、前記サスペンション用基板の長手方向に沿って配置され、
前記サスペンション用基板の長手方向の端部において、前記サスペンション用基板の短手方向の一方の端部側に、複数の前記第二引き回し部が配置され、前記サスペンション用基板の短手方向の他方の端部側に、前記第二引き回し部と実質的に同じ高さを有する高さ調整部が形成されていることを特徴とするサスペンション用基板。 - 前記高さ調整部が、前記配線層と電気的に接続されていないダミー配線部であることを特徴とする請求項4に記載のサスペンション用基板。
- 前記高さ調整部が、前記第一引き回し部から分岐したものであることを特徴とする請求項4に記載のサスペンション用基板。
- 請求項1から請求項3までのいずれかの請求項に記載のテストパッド付サスペンション用基板、または、請求項4から請求項6までのいずれかの請求項に記載のサスペンション用基板と、前記金属支持基板側の表面に設けられたロードビームと、を有することを特徴とするサスペンション。
- 請求項7に記載のサスペンションと、前記サスペンションに配置された記録再生用素子と、を有することを特徴とする素子付サスペンション。
- 請求項8に記載の素子付サスペンションを有することを特徴とするハードディスクドライブ。
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