JP4335886B2 - ディスクドライブ用サスペンション - Google Patents

Description

この発明は、例えばパーソナルコンピュータ等の情報処理装置に内蔵されるディスクドライブ用サスペンションに関する。

回転する磁気ディスクに情報を書込んだり読取ったりするためのハードディスクドライブ（ＨＤＤ）は、軸を中心に旋回可能なキャリッジを有している。このキャリッジは、ポジショニング用モータによって、前記軸を中心に旋回駆動される。例えば下記特許文献１あるいは特許文献２に記載されているように、キャリッジは、アクチュエータアームと、このアクチュエータアームの先端部に設けたサスペンションを有している。このサスペンションは、ベースプレートと、ロードビームと、フレキシャ（flexure）などを備えている。サスペンションの先端部にはスライダを含むヘッド部が設けられている。スライダはフレキシャのタング部に取付けられている。

図１２と図１３は、一般的なサスペンション１を模式的に示している。このサスペンション１は、ロードビーム２と、フレキシャのタング部３（図１３に示す）に取付けられたスライダ４などを備えている。ディスク５が矢印Ｒ方向に高速回転すると、ディスク５とスライダ４との間を空気が流れることにより、エアベアリング６が形成される。当業界では、スライダ４の空気の流入端をリーディング側（leading side）と称し、流出端をトレーリング側（trailing side）と称している。ロードビーム２の先端部付近にディンプル７が形成されている。スライダ４は、ディンプル７を支点として、ピッチ方向とロール方向に揺動することができる。

図１３に示すように、スライダ４のトレーリング側の端部に読取／書込用の素子８が設けられている。スライダ４のトレーリング側の端部からディスク５までの距離がフライハイト（ＦＨ）である。浮上したスライダ４には、サスペンション１の撓みに応じたばね力よる荷重Ｆが、ディンプル７を介してスライダ４に作用するとともに、エアベアリング６の空気圧によるリーディング側の反力Ｐ１とトレーリング側の反力Ｐ２が生じる。さらにスライダ４の浮上特性等を安定化させるために、負圧Ｐ３を生じさせる工夫もなされている。

前記サスペンション１において、アーム（アクチュエータアーム）に対するサスペンション１の取付誤差などにより、取付高さ（図１２に示すＺハイト）が変化することが避けられない。

一般に、サスペンションのＺハイト位置に関してタング部フリー状態でのスライダのピッチ方向の傾きをＰＳＡ（Pitch Static Attitude）と称している。Ｚハイトが変化するとＰＳＡも変化する。例えばＺハイトが増加するとＰＳＡも増加し、Ｚハイトが減少するとＰＳＡも減少する。ディンプル位置がスライダ中央（長さ方向中心位置）にある場合、ＰＳＡとピッチ方向の剛性（stiffness）の積がピッチモーメントとなる。このピッチモーメントはフライングピッチβ（図１３に示す）に影響を与え、荷重とともにフライハイトに大きな影響を及ぼす。特に近年のスライダのエアベアリング設計は、海面からの高度（大気の濃度）に対するフライハイトの影響を小さくするため、荷重よりもＰＳＡに対するフライハイト感度が上がっている。この影響はロードビームの有効長さＬが短くなるほど顕著に表れる。

図１２に示すように有効長さＬが短いロードビーム２´は、有効長さＬが長いロードビーム２と比較して、Ｚハイトの変化に対してロードビームの角度αがより大きく変化するからである。このため有効長さＬが短いロードビーム２´では、Ｚハイトに対するＰＳＡの感度（sensitivity）がさらに高くなり、フライハイトを下げることが一層困難になる。

本発明者の研究によれば、Ｚハイトに対する前記フライングピッチβの感度は、スライダに働くピッチモーメントに比例するので、フレキシャの剛性が大きいほど感度が高くなることが判っている。言い換えると、スライダの重心回りのＰＳＡ感度は、タング部のピッチ方向の剛性が小さくなるほど低減する。このためフライングピッチβの感度の観点からは、フレキシャのピッチ剛性が小さいほど好ましいと言える。

しかしフレキシャのピッチ剛性が小さくなると、サスペンションを前記アーム（アクチュエータアーム）に固定する際や、サスペンションを扱う際などに、何らかの外力がフレキシャの曲げ方向に加わると、フレキシャが容易に変形するという問題がある。

図１４と図１５に示す従来のサスペンション１００，１０１は、それぞれ、ロードビーム１１０の先端部にリミッタ部材１１１を設けることによって、タング部１１２等が所定量以上変位することを抑制している。例えば図１４に示されたサスペンション１００は、リミッタ部材１１１をアウトリガー部１１３に設けられた受け部１１４に対向させることにより、フレキシャ１１５の変形を抑制するようにしている。図１５に示されたサスペンション１０１では、リミッタ部材１１１をタング部１１２の両側に設けられた受け部１１６に対向させることにより、フレキシャ１１５の変形を抑制している。

これらのサスペンション１００，１０１においては、書込用あるいは読取用の電流を流すためのトレース部材１２０がスライダ１２１の端子に電気的に接続されている。このトレース部材１２０は、リミッタ部材１１１との干渉を避けるために、スライダ１２１の両側部近傍を通り、タング部１１２とアウトリガー部１１３との間に配置されている。この種のトレース部材１２０を有するフレキシャは、インナトレース形のフレキシャ（Inner Trace Flexure）と呼ばれている。
日本特許第３４４３０２１号 米国特許第６０４６８８３号

図１４と図１５に示す従来のサスペンション１００，１０１では、トレース部材１２０がタング部１１２とアウトリガー部１１３との間に配置されている。しかし本発明者が鋭意研究したところによれば、トレース部材１２０に電流を流したとき（特に書込用の大電流を流したとき）に、スライダ１２１の端子付近が発熱することに伴い、前記ＰＳＡが変化するとともにフライハイトが変化する可能性があることが判った。

従ってこの発明の目的は、フレキシャが所定量以上変位することを防止できるとともに、スライダが発熱した際などに生じるＰＳＡ変化を低減でき、フライハイトをより安定させることができるディスクドライブ用サスペンションを提供することにある。

本発明のサスペンションは、基部と先端部を有するロードビームと、前記ロードビームに重ねて配置され前記ロードビームに対向する第１の面と前記ロードビームと反対側の第２の面を有するフレキシャと、前記フレキシャに形成されたタング部と、前記ロードビームの先端部に形成され前記タング部に向かって突き出るディンプルと、前記フレキシャに前記タング部の両側縁に沿って形成された一対のアウトリガー部と、前記タング部の両側縁と前記アウトリガー部との間に形成されたスリットと、前記タング部のフレキシャ先端部側の部位と前記アウトリガー部とをつなぐ連結部と、前記タング部に取付けられたスライダと、前記ロードビームに形成され前記フレキシャの前記第１の面側から前記スリットに挿入されて前記第２の面側に突出する折曲部と該折曲部から前記第２の面に沿って前記連結部に向かう延出部を有し該延出部が前記連結部に対し該フレキシャの厚み方向に対向するリミッタ部材と、前記スライダに電気的に接続され前記リミッタ部材よりも外側の領域を通って前記アウトリガー部に沿い前記ロードビームの基部の方向に延びるトレース部材とを具備している。

この構成によれば、フレキシャがピッチ方向等に変形することをリミッタ部材によって防止でき、しかもトレース部材がアウトリガー部の外側を通るため、スライダが発熱した際のＰＳＡ変化を低減することができる。

本発明の好ましい形態では、前記トレース部材のアウトリガー部に沿う部分が前記アウトリガー部の外側に隙間を存して配置されている。この構成によれば、スライダが発熱した際のＰＳＡ変化をさらに低減することができる。

前記リミッタ部材は、例えばロードビームの先端部の両側縁に設けられた凸部を該ロードビームの厚み方向に折曲げることによって形成されている。
本発明の一つの形態では、ロードビームの両側縁を該ロードビームの厚み方向に折曲げることによって一対のレール部が形成され、前記ロードビームの先端部にロード・アンロード用のタブが突設され、前記リミッタ部材が前記レール部の長手方向の一部に設けられた凸部を折曲げることによって形成されている。

本発明の他の形態では、ロードビームの両側縁を該ロードビームの厚み方向に折曲げることによって一対のレール部が形成され、該ロードビームの先端部における前記一対のレール部間の幅が前記フレキシャの先端部の幅よりも大きく、該ロードビームの先端部にロード・アンロード用のタブが突設され、前記リミッタ部材が前記レール部間のロードビームの一部を該ロードビームの厚み方向に切起こすことによって形成されている。

またこれらの形態において、前記タング部のリーディング側の端部に、該タング部が厚み方向に所定量以上変位することを抑制するためのリーディング側リミッタ部材が設けられていてもよい。

本発明によれば、リミッタ部材がスライダの重心に近い位置に設けられるため、コンパクトなリミッタ部材でありながら、フレキシャがディンプル付近で変形し過ぎることを前記リミッタ部材によって効果的に防止することができ、しかもスライダが発熱したときのＰＳＡ変化を低減でき、フライハイトをより安定させることができる。

以下に本発明の第１の実施の形態について、図１から図５を参照して説明する。
図１に示すハードディスクドライブ（ＨＤＤ）１０は、記録媒体としての複数枚のディスク１１と、ヘッド部１２を有する複数のディスクドライブ用サスペンション１３と、これらサスペンション１３を取付けるアーム（アクチュエータアーム）１４などを備えている。ヘッド部１２は、ディスク１１の記録面に情報を磁気的に書込んだり読取ったりする機能を担っている。アーム１４は、図示しないポジショニング用モータによって、軸（図示せず）を中心に旋回駆動される。

図２はサスペンション１３を表側から見た斜視図であり、図３はサスペンション１３を裏側から見た斜視図である。図４は、図２に示されたサスペンション１３のヘッド部１２を拡大して示している。図５はヘッド部１２を裏側から見た斜視図である。

図２と図３に示されるように、サスペンション１３は、ベースプレート１５を備えたベース部１６と、ロードビーム２０と、ロードビーム２０に取付けられたフレキシャ２３と、ヒンジ部材２４などを備えている。フレキシャ２３はロードビーム２０に沿って配置され、ロードビーム２０に重ねて固定されている。

ロードビーム２０は基部３１と先端部３２とを有し、先端部３２付近にディンプル３３（図４に示す）が形成されている。ディンプル３３はフレキシャ２３に向って突出している。ロードビーム２０の厚さは例えば２５〜１００μｍ前後である。ベースプレート１５の厚さは、一般的にロードビーム２０の厚さよりも大きく、例えば１５０〜２００μｍ前後である。ロードビーム２０の両側部には、ロードビーム２０の両側縁を厚み方向に折曲げることによって、一対のレール部３４（図４に示す）が形成されている。

ベースプレート１５に、円筒形のボス部３５（図２に示す）が形成されている。図１に示すようにボス部３５をアーム１４の取付孔３６に挿入し、ボス部３５を内側からかしめる（塑性変形させる）ことにより、ベースプレート１５がアーム１４に固定される。

ヒンジ部材２４の厚さはロードビーム２０の厚さよりも小さく、例えば２５〜４０μｍ前後である。ヒンジ部材２４はばね性を有し、厚さ方向に弾性的に撓むことができる。ヒンジ部材２４の前部がロードビーム２０の基部３１に固定され、ヒンジ部材２４の後部がベースプレート１５に固定されている。このためロードビーム２０は、ベースプレート１５に対し、ヒンジ部材２４を中心として厚さ方向に弾性的に撓むことができる。

フレキシャ２３は、ロードビーム２０のヒンジ部材２４と同じ側の面に重ねて配置されている。すなわちこのフレキシャ２３は、ロードビーム２０と対向する側の第１の面２３ａと、ロードビーム２０と反対側の第２の面２３ｂとを有している。フレキシャ２３は、一般にヒンジ部材２４よりも薄いばね性のあるステンレス鋼板（例えば１５〜２５μｍ前後）からなるメタルベース５０と、配線部であるトレース部材５１などを有している。トレース部材５１は、書込用導電路５２および読取用導電路５３（図５に一部を示す）と、ポリイミドなどからなる電気絶縁層５４を含んでいる。

フレキシャ２３の先端部５５付近に、ばね性を有する可動部分として機能するタング部５６と、タング部５６の両側縁に沿って形成された一対のアウトリガー部５７，５８が設けられている。タング部５６の両側縁とアウトリガー部５７，５８との間に、それぞれスリット６０が形成されている。フレキシャ２３の先端部５５には、タング部５６の先端部５５側の部位とアウトリガー部５７，５８とをつなぐ連結部６１が形成されている。これらタング部５６と、アウトリガー部５７，５８と、連結部６１は、いずれもフレキシャ２３のメタルベース５０の一部である。

タング部５６にディンプル３３の頂部が当接している。タング部５６は、ディンプル３３を中心として、ロール方向（図４に示すＸ軸回りの方向）とピッチ方向（Ｙ軸回りの方向）等に揺動することができる。

タング部５６のディスク１１と対向する面に、ヘッド部１２の構成要素であるスライダ７０が取付けられている。スライダ７０に、トランスジューサとして機能する磁電変換素子等の読取／書込用の素子７１が設けられている。ディスク１１が回転すると、空気の流入端であるリーディング側から、空気の流出端であるトレーリング側に向って空気が流れることにより、ディスク１１との間にエアベアリングが形成される。素子７１はスライダ７０のトレーリング側の端部に設けられている。

図５に示すように、スライダ７０の端子部７２に、トレース部材５１の書込用導電路５２と読取用導電路５３などが電気的に接続されている。トレース部材５１のアウトリガー部５７，５８に沿う部分５１ａ，５１ｂは、端子部７２からスライダ７０を挟んで二方に分かれ、それぞれがスリット６０よりも外側でかつアウトリガー部５７，５８の外側の領域を通り、アウトリガー部５７，５８に沿ってロードビーム２０の基部３１の方向に延びている。アウトリガー部５７，５８に沿う部分５１ａ，５１ｂは、アウトリガー部５７，５８の外側に離れて配置されているため、前記部分５１ａ，５１ｂとアウトリガー部５７，５８との間に隙間Ｇが形成されている。

図４と図５に示すように、ロードビーム２０の先端部３２に一対のリミッタ部材８０が設けられている。これらリミッタ部材８０は、それぞれ、スリット６０に挿入される折曲部８１と延出部８２とを有している。折曲部８１は、フレキシャ２３の前記第１の面２３ａ側からスリット６０を通り抜けてフレキシャ２３の第２の面２３ｂ側に突出している。延出部８２は、折曲部８１から第２の面２３ｂに沿って前記連結部６１の方向に延びている。そしてこの延出部８２が、連結部６１に対しフレキシャ２３の厚み方向に離間対向している。

本実施形態のリミッタ部材８０は、ロードビーム２０の先端部３２の両側縁に設けられたＬ形の凸部を、ロードビーム２０の厚み方向に折曲げることによって形成されている。リミッタ部材８０の延出部８２は連結部６１に対してフレキシャ２３の厚み方向に係合可能に離間対向している。従ってこのサスペンション１３を扱う際などに、タング部５６やアウトリガー部５７，５８などがピッチ方向あるいはロール方向に所定量以上変位しようとすると、リミッタ部材８０の延出部８２が連結部６１に当接する。

このため、タング部５６やアウトリガー部５７，５８が所定量以上変形することをリミッタ部材８０によって抑制することができる。しかもこれらリミッタ部材８０がディンプル３３の近傍すなわちスライダ７０の質量の重心位置近くに設けられているため、タング部５６のピッチ方向およびロール方向の変位を効果的に抑制することができる。

以上説明したように本実施形態では、タング部５６とアウトリガー部５７，５８との間に形成されているスリット６０にリミッタ部材８０を挿入し、このリミッタ部材８０を連結部６１に掛ける構造であるため、トレース部材５１をスリット６０よりも外側に配置することができる。すなわち本実施形態のフレキシャ２３は、アウタトレース形のフレキシャ（Outer Trace Flexure）である。このアウタトレース形のフレキシャ２３のトレース部材５１がアウトリガー部５７，５８の外側を迂回して通るため、トレース部材５１がリミッタ部材８０と干渉することを避けることができる。

図６は、本実施形態に相当する３種類のアウタトレース形のフレキシャのトレース部材に通電したときのＰＳＡ変化（線分ｆ，ｇ，ｈ）と、従来の３種類のインナトレース形のフレキシャのトレース部材に通電したときのＰＳＡ変化（線分ｉ，ｊ，ｋ）を測定した結果を示している。図６の横軸は電流の２乗であり、発熱量に関与するワット相当値を示している。図６から判るように、本実施形態に係るアウタトレース形のフレキシャ（図６中の線分ｆ，ｇ，ｈ）は、インナトレース形のフレキシャ（図６中の線分ｉ，ｊ，ｋ）と比較して、ＰＳＡ変化を大幅に低減させることができる。

このため本実施形態によれば、データの書込み時あるいは読取り時などにトレース部材５１を介してスライダ７０の素子７１に電流を流すことによってスライダ７０が発熱しても、ＰＳＡ変化を小さくすることができる。すなわちフライハイトのばらつきを小さくすることができ、フライハイトを下げることが可能となる。フライハイトが下がれば、より多くの情報をディスク１１の記録面に記録することが可能となり、情報の集積度を高めることができる。

図７と図８は、本発明の第２の実施形態に係るサスペンション１３Ａを示している。このサスペンション１３Ａもロードビーム２０の両側縁にレール部３４を有しているが、このレール部３４は、ロードビーム２０の先端部３２まで延びている。それぞれのレール部３４の長手方向の途中に、リミッタ部材８０が設けられている。これらリミッタ部材８０は、それぞれ、レール部３４に設けられたＬ形の凸部を折返すことによって形成されている。

一対のリミッタ部材８０は、それぞれ、スリット６０に挿入される折曲部８１と、延出部８２とを有している。折曲部８１は、フレキシャ２３の第１の面２３ａ側からスリット６０を通り抜けてフレキシャ２３の第２の面２３ｂ側に突出している。延出部８２は、折曲部８１から第２の面２３ｂに沿って連結部６１に向かって延び、連結部６１に対しフレキシャ２３の厚み方向に対向している。

図７と図８に示されるように、ロードビーム２０の先端部３２にロード・アンロード用のタブ９２が突設されている。ディスクドライブを使用しないときに、このタブ９２が、ディスクの側方に設置されているランプ（支持部材）に乗り上げる。そしてディスクドライブを使用する際に、タブ９２が前記ランプから離れてディスクに向って移動する。それ以外の構成と作用は第１の実施形態のサスペンション１３と同様であるから、両者に共通の部位に共通の符号を付して説明を省略する。

この第２の実施形態のサスペンション１３Ａによれば、レール部３４の長手方向の途中にリミッタ部材８０が設けられているため、レール部３４をロードビーム２０の先端部３２のタブ９２付近まで延ばすことができる。このためロードビーム２０の曲げ剛性を大きくすることができ、タブ９２がランプに乗り上げたときのロードビーム２０の曲がりを少なくすることができる。しかもリミッタ部材８０がディンプル３３の近傍すなわちスライダ７０の質量の重心位置近くに設けられているため、タング部５６のピッチ方向およびロール方向の変位を効果的に抑制することができる。

図９は、本発明の第３の実施形態に係るサスペンション１３Ｂを示している。このサスペンション１３Ｂは、前述したリミッタ部材８０以外に、タング部５６のリーディング側にもリミッタ部材９５が設けられている。これらリミッタ部材８０，９５によって、タング部５６が所定量以上変位することをより効果的に抑制できることがある。それ以外の構成と作用は第２の実施形態のサスペンション１３Ａと同様である。

図１０と図１１は、本発明の第４の実施形態に係るサスペンション１３Ｃを示している。このサスペンション１３Ｃも、ロードビーム２０の両側縁にレール部３４を有しているが、ロードビーム２０の先端部３２における一対のレール部３４間の幅Ｗ１（図１０に示す）がフレキシャ２３の先端部５５の幅よりも大きい。ロードビーム２０の先端部３２にロード・アンロード用のタブ９２が突設されている。また、一対のレール部３４間のロードビーム２０の一部を板厚方向に切起こすことによって、一対のリミッタ部材８０が形成されている。それ以外の構成と作用は第２の実施形態のサスペンション１３Ａと同様であるから、両者に共通の部位に共通の符号を付して説明を省略する。

このサスペンション１３Ｃのリミッタ部材８０も、それぞれ、スリット６０に挿入される折曲部８１と延出部８２とを有している。折曲部８１は、フレキシャ２３の第１の面２３ａ側からスリット６０を通り抜けてフレキシャ２３の第２の面２３ｂ側に突出している。延出部８２は、折曲部８１から第２の面２３ｂに沿って連結部６１に向かって延び、この延出部８２が連結部６１に対してフレキシャ２３の厚み方向に対向している。

このサスペンション１３Ｃも、レール部３４をロードビーム２０の先端部３２のタブ９２付近まで延ばすことができるため、ロードビーム２０の曲げ剛性を大きくすることができ、タブ９２がランプに乗り上げたときのロードビーム２０の曲がりを少なくすることができる。しかもこれらリミッタ部材８０がディンプル３３の近傍すなわちスライダ７０の質量の重心位置近くに設けられているため、タング部５６のピッチ方向およびロール方向の変位を効果的に抑制することができる。

なお前記各実施形態において、トレース部材５１のアウトリガー部５７，５８に沿う部分５１ａ，５１ｂが、アウトリガー部５７，５８に重なって配置されてもよい。またトレース部材５１の一部が、アウトリガー部５７，５８の内側の領域（スリット６０の部分）を通っていてもよい。

前記各実施形態をはじめとして、この発明を実施するに当たり、ロードビーム、フレキシャ、トレース部材、リミッタ部材など、サスペンションの構成要素をこの発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更して実施できることは言うまでもない。

本発明の第１の実施形態に係るサスペンションを備えたディスクドライブの一部の断面図。 図１に示されたディスクドライブに使われるサスペンションの斜視図。 図２に示されたサスペンションを裏側から見た斜視図。 図２に示されたサスペンションのヘッド部を拡大した斜視図。 図４に示されたヘッド部を裏側から見た斜視図。 アウタトレース形のフレキシャとインナトレース形のフレキシャに通電したときのＰＳＡ変化を示す図。 本発明の第２の実施形態に係るサスペンションのヘッド部の斜視図。 図７に示されたヘッド部を裏側から見た斜視図。 本発明の第３の実施形態に係るサスペンションのヘッド部の斜視図。 本発明の第４の実施形態に係るサスペンションのヘッド部の斜視図。 図１０に示されたヘッド部を裏側から見た斜視図。 一般的なサスペンションを模式的に示す側面図。 図１２に示されたサスペンションのスライダに作用する荷重と反力等を模式的に示す図。 従来のサスペンションのヘッド部の斜視図。 他の従来例を示すサスペンションのヘッド部の斜視図。

符号の説明

１０…ディスクドライブ
１３，１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ…サスペンション
２０…ロードビーム
２３…フレキシャ
３３…ディンプル
５１…トレース部材
５６…タング部
５７，５８…アウトリガー部
６０…スリット
６１…連結部
７０…スライダ
８０…リミッタ部材
８１…折曲部
８２…延出部

Claims (6)

1. 基部と先端部を有するロードビームと、
   前記ロードビームに重ねて配置され前記ロードビームに対向する第１の面と前記ロードビームと反対側の第２の面を有するフレキシャと、
   前記フレキシャに形成されたタング部と、
   前記ロードビームの先端部に形成され前記タング部に向かって突き出るディンプルと、
   前記フレキシャに前記タング部の両側縁に沿って形成された一対のアウトリガー部と、 前記タング部の両側縁と前記アウトリガー部との間に形成されたスリットと、
   前記タング部のフレキシャ先端部側の部位と前記アウトリガー部とをつなぐ連結部と、
   前記タング部に取付けられたスライダと、
   前記ロードビームに形成され前記フレキシャの前記第１の面側から前記スリットに挿入されて前記第２の面側に突出する折曲部と該折曲部から前記第２の面に沿って前記連結部に向かう延出部を有し該延出部が前記連結部に対し該フレキシャの厚み方向に対向するリミッタ部材と、
   前記スライダに電気的に接続され前記リミッタ部材よりも外側の領域を通って前記アウトリガー部に沿い前記ロードビームの基部の方向に延びるトレース部材と、
   を具備したことを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。
2. 前記トレース部材の前記アウトリガー部に沿う部分が前記アウトリガー部の外側に隙間を存して配置されていることを特徴とする請求項１に記載のディスクドライブ用サスペンション。
3. 前記リミッタ部材が前記ロードビームの先端部の両側縁に設けられた凸部を該ロードビームの厚み方向に折曲げることによって形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のディスクドライブ用サスペンション。
4. 前記ロードビームの両側縁を該ロードビームの厚み方向に折曲げることによって一対のレール部が形成され、前記ロードビームの先端部にロード・アンロード用のタブが突設され、前記リミッタ部材が前記レール部の長手方向の一部に設けられた凸部を折曲げることによって形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のディスクドライブ用サスペンション。
5. 前記ロードビームの両側縁を該ロードビームの厚み方向に折曲げることによって一対のレール部が形成され、該ロードビームの先端部における前記一対のレール部間の幅が前記フレキシャの先端部の幅よりも大きく、該ロードビームの先端部にロード・アンロード用のタブが突設され、前記リミッタ部材が前記レール部間のロードビームの一部を該ロードビームの厚み方向に切起こすことによって形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のディスクドライブ用サスペンション。
6. 前記タング部のリーディング側の端部に、該タング部が厚み方向に所定量以上変位することを抑制するためのリーディング側リミッタ部材が設けられていることを特徴とする請求項３ないし５のいずれか１項に記載のディスクドライブ用サスペンション。

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