JP2011071497A5 - プラズマｃｖｄ装置 - Google Patents

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  1. 反応室内に第１の電極と第２の電極とを有し、
    前記第２の電極は、基板が載置される機能を有し、
    前記第１の電極は、前記第２の電極と対向している面に複数の凹部を有し、
    前記第１の電極は、前記凹部にガス供給口を有し、
    前記凹部は、テーパを側面に有し、
    前記側面の端は、丸みを有することを特徴とするプラズマＣＶＤ装置。
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